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多光譜圖像傳感器及其制作方法與流程

文檔序號(hào):12680717閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種多光譜圖像傳感器,包括:

前端結(jié)構(gòu),用于進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換和處理;

設(shè)置于所述前端結(jié)構(gòu)上的像素層;

其中,所述像素層具有N個(gè)像素單元,N≥4,所述像素單元排列成多個(gè)陣列,每個(gè)陣列中各個(gè)像素單元的感光波長(zhǎng)不同。

2.如權(quán)利要求1所述的多光譜圖像傳感器,其特征在于,所述像素單元排列成多個(gè)重復(fù)的陣列。

3.如權(quán)利要求2所述的多光譜圖像傳感器,其特征在于,在每個(gè)陣列中像素單元的感光波長(zhǎng)依次增加。

4.如權(quán)利要求3所述的多光譜圖像傳感器,其特征在于,在每個(gè)陣列的像素單元的感光半波長(zhǎng)寬度為λi/2-20nm~λi/2+20nm,其中λi為第i像素單元的設(shè)定感光波長(zhǎng),1≤i≤N。

5.如權(quán)利要求1所述的多光譜圖像傳感器,其特征在于,所述前端結(jié)構(gòu)具有金屬連線,每個(gè)像素單元皆設(shè)置在相鄰金屬連線之間。

6.如權(quán)利要求1所述的多光譜圖像傳感器,其特征在于,還包括:設(shè)置于所述像素層上的微透鏡層。

7.如權(quán)利要求1所述的多光譜圖像傳感器,其特征在于,還包括:設(shè)置于所述前端結(jié)構(gòu)邊緣的焊盤區(qū)。

8.一種多光譜圖像傳感器的制作方法,包括:

提供前端結(jié)構(gòu),所述前端結(jié)構(gòu)用于進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換和處理;

在所述前端結(jié)構(gòu)上形成像素層;

其中,所述像素層具有N個(gè)像素單元,N≥4,所述像素單元排列成多個(gè)陣列,每個(gè)陣列中各個(gè)像素單元的感光波長(zhǎng)不同。

9.如權(quán)利要求8所述的多光譜圖像傳感器的制作方法,其特征在于,在所述前端結(jié)構(gòu)上形成像素層的步驟包括:

在前端結(jié)構(gòu)上涂覆第一材料層,覆蓋前端結(jié)構(gòu)上的金屬連線;

在第一材料層上涂覆第一感光材料層,并通過光刻形成第一像素單元;

在第一材料層上涂覆第K感光材料層,并通過光刻形成第K像素單元;

在第一材料層上涂覆第N感光材料層,并通過光刻形成第N像素單元;其中,每個(gè)像素單元與其相鄰的像素單元不同,第一感光材料層至第N感光材料層的感光波長(zhǎng)不同,1<K<N。

10.如權(quán)利要求9所述的多光譜圖像傳感器的制作方法,其特征在于,第一像素單元至第N像素單元依次排布成陣列。

11.如權(quán)利要求9所述的多光譜圖像傳感器的制作方法,其特征在于,第一感光材料層至第N感光材料層的感光半波長(zhǎng)寬度為λi/2-20nm~λi/2+20nm,其中λi為第i感光材料層的設(shè)定感光波長(zhǎng),1≤i≤N。

12.如權(quán)利要求9所述的多光譜圖像傳感器的制作方法,其特征在于,將每個(gè)像素單元皆形成在相鄰金屬連線之間。

13.如權(quán)利要求9所述的多光譜圖像傳感器的制作方法,其特征在于,在所述前端結(jié)構(gòu)上形成像素層之后,還包括:

形成第二材料層覆蓋所述像素層和第一材料層;

在第二材料層位于像素層上的區(qū)域上形成透鏡材料層;

經(jīng)過光刻工藝使得所述透鏡材料層形成微透鏡層;

形成第三材料層覆蓋所述微透鏡層和第二材料層;

經(jīng)過光刻、刻蝕工藝暴露出所述前端結(jié)構(gòu)的邊緣部分區(qū)域,形成焊盤區(qū)。

去除所述第三材料層。

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