光譜共焦傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)及方法
【專利摘要】一種光譜共焦傳感器校準(zhǔn)方法包括：設(shè)置與影像量測機(jī)臺連接的光譜共焦傳感器的類型；手動調(diào)整該機(jī)臺的光學(xué)鏡頭至最大倍率；計(jì)算該光學(xué)鏡頭的影像中心和光譜共焦傳感器的影像中心間的X、Y、Z軸偏差，記為第一偏差；利用標(biāo)準(zhǔn)量測球校準(zhǔn)上述第一偏差中的X、Y軸偏差至少兩次；比較該至少兩次校準(zhǔn)后的X、Y軸偏差，當(dāng)比較結(jié)果在第一允許范圍內(nèi)時，存儲最后一次校準(zhǔn)得到的X、Y軸偏差；利用標(biāo)準(zhǔn)量測塊規(guī)校準(zhǔn)上述第一偏差中的Z軸偏差至少兩次；及比較該至少兩次校準(zhǔn)后的Z軸偏差，當(dāng)比較結(jié)果在第二允許范圍內(nèi)時，存儲最后一次校準(zhǔn)得到的Z軸偏差。本發(fā)明還提供一種執(zhí)行上述方法的系統(tǒng)。利用本發(fā)明可以提高量測速度與精確度。
【專利說明】?16 (d, J=8.8Hz, 1H, quinolineH), 8.54 (s, 1H, quinolineH), 8.74 (d, 1H, pyridineH) ； 13CNMR(IOOMHz1MeOD) δ:27.4，28.6，36.9，113.2，114.8，115.6，118.0，120.0， 122.5，123.7，125.7，126.6，126.8，127.3，128.6，130.1, 130.4，131.9，132.4，134.5，140.4，142.9，143.6，144.5，147.2，153.3，153.5，154.9，161.7
[0183]實(shí)施例4:2-甲某-2-{4-{3_甲某_2氣代_8-「6-(4_氟苯某)吡啶-3-某? -1H-2.3- 光譜共焦傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種光譜共焦量測方法，尤其涉及一種光譜共焦量測中的傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)前，影像量測(VMS)機(jī)臺因其量測精度有限，無法準(zhǔn)確達(dá)到三維效果。尤其是Z軸量測精度更是一大難題，且無法完成如鏡面、透明材料以及流體等特殊形體的量測。因此，如何提高VMS機(jī)臺的量測范圍與Z軸量測精度成為當(dāng)務(wù)之急。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]鑒于以上內(nèi)容，有必要提供一種光譜共焦傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)，在當(dāng)前影像量測機(jī)臺的基礎(chǔ)上搭配一個光譜共焦系統(tǒng)，通過多色光的光譜進(jìn)行量測。由于特殊的量測方式，使得影像量測機(jī)臺具有精度高、量測速度快等特點(diǎn)，并可對鏡面、透明材料以及流體等特殊形體進(jìn)行量測。
[0004]所述光譜共焦傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)運(yùn)行于電子裝置中。該系統(tǒng)包括:設(shè)置模塊，用于設(shè)置與影像量測機(jī)臺連接的光譜共焦傳感器的類型；初步校準(zhǔn)模塊，用于在手動調(diào)整該影像量測機(jī)臺的光學(xué)鏡頭后，將該光學(xué)鏡頭的縮放倍率設(shè)置成最大倍率，其中，該光學(xué)鏡頭為一倍物鏡；計(jì)算步驟模塊，用于計(jì)算該光學(xué)鏡頭的影像中心和光譜共焦傳感器的影像中心間的X、Y、Z軸偏差，記錄該X、Y、Z軸偏差為第一偏差；XY軸校準(zhǔn)模塊，利用標(biāo)準(zhǔn)量測球校準(zhǔn)上述第一偏差中的X、Y軸偏差至少兩次；XY軸補(bǔ)償模塊，用于比較該至少兩次校準(zhǔn)后的X、Y軸偏差，當(dāng)比較結(jié)果在第一允許范圍內(nèi)時，存儲最后一次校準(zhǔn)得到的Χ、r軸偏差；ζ軸校準(zhǔn)模塊，利用標(biāo)準(zhǔn)量測塊規(guī)校準(zhǔn)上述第一偏差中的Z軸偏差至少兩次 '及Z軸補(bǔ)償模塊，用于比較該至少兩次校準(zhǔn)后的Z軸偏差，當(dāng)比較結(jié)果在第二允許范圍內(nèi)時，存儲最后一次校準(zhǔn)得到的Z軸偏差。
[0005]還有必要提供一種光譜共焦傳感器校準(zhǔn)方法，在當(dāng)前影像量測機(jī)臺的基礎(chǔ)上搭配一個光譜共焦系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)快速量測的目的，且量測精度高。
[0006]所述光譜共焦傳感器校準(zhǔn)方法應(yīng)用于電子裝置中。該方法包括:設(shè)置步驟，設(shè)置與影像量測機(jī)臺連接的光譜共焦傳感器的類型；初步校準(zhǔn)步驟，在手動調(diào)整該影像量測機(jī)臺的光學(xué)鏡頭后，將該光學(xué)鏡頭的縮放倍率設(shè)置成最大倍率，其中，該光學(xué)鏡頭為一倍物鏡；計(jì)算步驟，計(jì)算該光學(xué)鏡頭的影像中心和光譜共焦傳感器的影像中心間的X、Y、Z軸偏差，記錄該X、Y、Z軸偏差為第一偏差；ΧΥ軸校準(zhǔn)步驟，利用標(biāo)準(zhǔn)量測球校準(zhǔn)上述第一偏差中的X、Y軸偏差至少兩次；χr軸補(bǔ)償步驟，比較該至少兩次校準(zhǔn)后的X、Y軸偏差，當(dāng)比較結(jié)果在第一允許范圍內(nèi)時，存儲最后一次校準(zhǔn)得到的X、Y軸偏差；ζ軸校準(zhǔn)步驟，利用標(biāo)準(zhǔn)量測塊規(guī)校準(zhǔn)上述第一偏差中的Z軸偏差至少兩次；及Z軸補(bǔ)償步驟，比較該至少兩次校準(zhǔn)后的Z軸偏差，當(dāng)比較結(jié)果在第二允許范圍內(nèi)時，存儲最后一次校準(zhǔn)得到的Z軸偏差。
[0007]相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明在當(dāng)前影像量測機(jī)臺的基礎(chǔ)上搭配一個光譜共焦系統(tǒng)進(jìn)行量測，大大提升了影像量測機(jī)臺的量測范圍與Z軸量測精度，并可對作為輔助設(shè)備的光譜共焦傳感器預(yù)先進(jìn)行校準(zhǔn)，根據(jù)用戶的指令將光譜共焦傳感器移動到指定位置，達(dá)到量測目的。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1是本發(fā)明較佳實(shí)施例中的光譜共焦傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)的運(yùn)行環(huán)境示意圖。
[0009]圖2是本發(fā)明較佳實(shí)施例中的光譜共焦傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)的功能模塊圖。
[0010]圖3是本發(fā)明較佳實(shí)施例中的光譜共焦傳感器校準(zhǔn)方法的作業(yè)流程圖。
[0011]圖4是圖3步驟S7中對X、Y軸偏差進(jìn)行校準(zhǔn)的具體作業(yè)流程圖。
[0012]主要元件符號說明
【權(quán)利要求】
1.一種光譜共焦傳感器校準(zhǔn)方法，應(yīng)用于電子裝置中，其特征在于，該方法包括: 設(shè)置步驟，設(shè)置與影像量測機(jī)臺連接的光譜共焦傳感器的類型； 初步校準(zhǔn)步驟，在手動調(diào)整該影像量測機(jī)臺的光學(xué)鏡頭后，將該光學(xué)鏡頭的縮放倍率設(shè)置成最大倍率，其中，該光學(xué)鏡頭為一倍物鏡； 計(jì)算步驟，計(jì)算該光學(xué)鏡頭的影像中心和光譜共焦傳感器的影像中心間的X、Y、Z軸偏差，記錄該X、Y、Z軸偏差為第一偏差； XY軸校準(zhǔn)步驟，利用標(biāo)準(zhǔn)量測球校準(zhǔn)上述第一偏差中的X、Y軸偏差至少兩次； XY軸補(bǔ)償步驟，比較該至少兩次校準(zhǔn)后的X、Y軸偏差，當(dāng)比較結(jié)果在第一允許范圍內(nèi)時，存儲最后一次校準(zhǔn)得到的X、Y軸偏差； Z軸校準(zhǔn)步驟，利用標(biāo)準(zhǔn)量測塊規(guī)校準(zhǔn)上述第一偏差中的Z軸偏差至少兩次 '及Z軸補(bǔ)償步驟，比較該至少兩次校準(zhǔn)后的Z軸偏差，當(dāng)比較結(jié)果在第二允許范圍內(nèi)時，存儲最后一次校準(zhǔn)得到的Z軸偏差。
2.如權(quán)利要求1所述的光譜共焦傳感器校準(zhǔn)方法，其特征在于，該方法還包括: 根據(jù)所設(shè)置的光譜共焦傳感器的類型調(diào)出相應(yīng)的補(bǔ)償數(shù)據(jù)；及 設(shè)置光譜共焦傳感器的采樣率與光強(qiáng)亮度，該采樣率指光譜共焦傳感器量測時的取點(diǎn)頻率。
3.如權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器校準(zhǔn)方法，其特征在于，所述利用標(biāo)準(zhǔn)量測球進(jìn)行校準(zhǔn)包括: 將標(biāo)準(zhǔn)量測球放置于影像量測機(jī)臺的工作臺上； 切換光學(xué)鏡頭的縮放倍率至最小倍率，打開影像量測機(jī)臺的輪廓光，在標(biāo)準(zhǔn)量測球的影像區(qū)域內(nèi)找到該標(biāo)準(zhǔn)量測球的邊界進(jìn)行對焦； 利用邊界掃描工具在該標(biāo)準(zhǔn)量測球的邊界上進(jìn)行掃描，得到一組點(diǎn)云，將點(diǎn)云擬合成圓，計(jì)算該圓的圓心坐標(biāo)； 將光譜共焦傳感器移動至該標(biāo)準(zhǔn)量測球上，從左至右，從上至下進(jìn)行線掃描，生成兩組點(diǎn)云，并將該兩組點(diǎn)云擬合成球，計(jì)算該球的球心坐標(biāo)；及 計(jì)算所述圓心坐標(biāo)和球心坐標(biāo)間的差值，以校準(zhǔn)所述第一偏差中的X、Y軸偏差。
4.如權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器校準(zhǔn)方法，其特征在于，所述Z軸校準(zhǔn)步驟中利用標(biāo)準(zhǔn)量測塊規(guī)進(jìn)行校準(zhǔn)包括: 將標(biāo)準(zhǔn)量測塊規(guī)放置于影像量測機(jī)臺的工作臺上； 將光學(xué)鏡頭的縮放倍率切換至最大倍率，打開影像量測機(jī)臺的同軸光，在該標(biāo)準(zhǔn)量測塊規(guī)的表面對焦取點(diǎn)； 將光譜共焦傳感器移動到上述光學(xué)鏡頭取點(diǎn)的位置進(jìn)行取點(diǎn)；及 計(jì)算所取兩個點(diǎn)間的Z軸差值，利用該Z軸差值校準(zhǔn)所述第一偏差中的Z軸偏差。
5.如權(quán)利要求1所述的光譜共焦傳感器校準(zhǔn)方法，其特征在于，該方法還包括: 將光學(xué)鏡頭調(diào)整為二倍物鏡； 利用標(biāo)準(zhǔn)量測塊規(guī)校準(zhǔn)該光學(xué)鏡頭在一倍物鏡下和二倍物鏡下焦點(diǎn)間的差值；及 存儲該校準(zhǔn)后的差值。
6.一種光譜共焦傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)，運(yùn)行于電子裝置中，其特征在于，該系統(tǒng)包括: 設(shè)置模塊，用于設(shè)置與影像量測機(jī)臺連接的光譜共焦傳感器的類型；初步校準(zhǔn)模塊，用于在手動調(diào)整該影像量測機(jī)臺的光學(xué)鏡頭后，將該光學(xué)鏡頭的縮放倍率設(shè)置成最大倍率，其中，該光學(xué)鏡頭為一倍物鏡； 計(jì)算步驟模塊，用于計(jì)算該光學(xué)鏡頭的影像中心和光譜共焦傳感器的影像中心間的X、Y、Z軸偏差,記錄該X、Y、Z軸偏差為第一偏差； XY軸校準(zhǔn)模塊，利用標(biāo)準(zhǔn)量測球校準(zhǔn)上述第一偏差中的X、Y軸偏差至少兩次； XY軸補(bǔ)償模塊，用于比較該至少兩次校準(zhǔn)后的X、Y軸偏差，當(dāng)比較結(jié)果在第一允許范圍內(nèi)時，存儲最后一次校準(zhǔn)得到的X、Y軸偏差； Z軸校準(zhǔn)模塊，利用標(biāo)準(zhǔn)量測塊規(guī)校準(zhǔn)上述第一偏差中的Z軸偏差至少兩次 '及Z軸補(bǔ)償模塊，用于比較該至少兩次校準(zhǔn)后的Z軸偏差，當(dāng)比較結(jié)果在第二允許范圍內(nèi)時，存儲最后一次校準(zhǔn)得到的Z軸偏差。
7.如權(quán)利要求6所述的光譜共焦傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述設(shè)置模塊還用于: 根據(jù)所設(shè)置的光譜共 焦傳感器的類型調(diào)出相應(yīng)的補(bǔ)償數(shù)據(jù)；及 設(shè)置光譜共焦傳感器的采樣率與光強(qiáng)亮度，該采樣率指光譜共焦傳感器量測時的取點(diǎn)頻率。
8.如權(quán)利要求7所述的光譜共焦傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述XY軸校準(zhǔn)模塊通過下述步驟執(zhí)行一次X、Y軸偏差的校準(zhǔn): 將標(biāo)準(zhǔn)量測球放置于影像量測機(jī)臺的工作臺上； 切換光學(xué)鏡頭的縮放倍率至最小倍率，打開影像量測機(jī)臺的輪廓光，在標(biāo)準(zhǔn)量測球的影像區(qū)域內(nèi)找到該標(biāo)準(zhǔn)量測球的邊界進(jìn)行對焦； 利用邊界掃描工具在該標(biāo)準(zhǔn)量測球的邊界上進(jìn)行掃描，得到一組點(diǎn)云，將點(diǎn)云擬合成圓，計(jì)算該圓的圓心坐標(biāo)； 將光譜共焦傳感器移動至該標(biāo)準(zhǔn)量測球上，從左至右，從上至下進(jìn)行線掃描，生成兩組點(diǎn)云，并將該兩組點(diǎn)云擬合成球，計(jì)算該球的球心坐標(biāo)；及 計(jì)算所述圓心坐標(biāo)和球心坐標(biāo)間的差值，以校準(zhǔn)所述第一偏差中的X、Y軸偏差。
9.如權(quán)利要求7所述的光譜共焦傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述Z軸校準(zhǔn)模塊通過下述步驟執(zhí)行一次Z軸偏差的校準(zhǔn): 將標(biāo)準(zhǔn)量測塊規(guī)放置于影像量測機(jī)臺的工作臺上； 將光學(xué)鏡頭的縮放倍率切換至最大倍率，打開影像量測機(jī)臺的同軸光，在該標(biāo)準(zhǔn)量測塊規(guī)的表面對焦取點(diǎn)； 將光譜共焦傳感器移動到上述光學(xué)鏡頭取點(diǎn)的位置進(jìn)行取點(diǎn)；及 計(jì)算所取兩個點(diǎn)間的Z軸差值，利用該Z軸差值校準(zhǔn)所述第一偏差中的Z軸偏差。
10.如權(quán)利要求6所述的光譜共焦傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述Z軸校準(zhǔn)模塊還用于將光學(xué)鏡頭調(diào)整為二倍物鏡，利用標(biāo)準(zhǔn)量測塊規(guī)校準(zhǔn)該光學(xué)鏡頭在一倍物鏡下和二倍物鏡下焦點(diǎn)間的差值，及存儲該校準(zhǔn)后的差值。
【文檔編號】G01B11/24GK103837093SQ201210471161
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2012年11月20日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月20日
【發(fā)明者】張旨光, 蔣理, 薛曉光, 余娜, 鄒志軍 申請人:鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司