技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種控制硅納米線走向的裝置，包括反應(yīng)釜體、可調(diào)電源、控制單元、盛放蝕刻溶液器皿和泵，反應(yīng)釜體的中部設(shè)有硅片架，反應(yīng)釜體由硅片架及硅片平分為左右兩個(gè)腔室，盛放蝕刻溶液器皿通過管道分別連接至兩個(gè)腔室，泵設(shè)于管道的前端，反應(yīng)釜體的頂部設(shè)有端蓋，端蓋上設(shè)有環(huán)形導(dǎo)軌和滑塊，滑塊與環(huán)形導(dǎo)軌相匹配，兩個(gè)腔室分別設(shè)有惰性電極，惰性電極與硅片架相對面為平面，惰性電極通過穿設(shè)于端蓋及滑塊的長螺栓與可調(diào)電源電連接，兩個(gè)長螺栓通過連桿連接，惰性電極與可調(diào)電源電連接，可調(diào)電源和泵分別受控制單元的控制。本發(fā)明制備可控硅表面納米結(jié)構(gòu)的裝置具有操作簡單、生產(chǎn)效率高、產(chǎn)品質(zhì)量高等特點(diǎn)，適合大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

技術(shù)研發(fā)人員：巢炎;劉先歡;王志權(quán);姚安琦;吳立群;席俊華
受保護(hù)的技術(shù)使用者：杭州電子科技大學(xué)
文檔號碼：201710046206
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.22
技術(shù)公布日：2017.06.20