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一種多孔硅粉的制備方法與流程

文檔序號:11092710閱讀:1708來源:國知局
一種多孔硅粉的制備方法與制造工藝

本發(fā)明涉及多孔納米功能材料制備領域,具體涉及一種多孔硅粉的制備方法。



背景技術:

早在1956年時,美國貝爾實驗室Uhlir首次發(fā)現(xiàn)并報道了通過電化學腐蝕法可以形成多孔硅薄膜。自從多孔硅被發(fā)現(xiàn)以后,多孔硅被廣泛應用于生物與化學傳感器、光催化、能源、超級電容器、生物成像、藥物遞送等領域。

目前,多孔硅的制備方法有國內(nèi)外出現(xiàn)的制備多孔硅的方法有多種,但總體可歸納為電化學方法、光化學腐蝕法、刻蝕法和水熱腐蝕法。當前較成熟的多孔硅制備方法有陽極電化學刻蝕法、鎂熱還原法、水熱法。但是陽極電化學刻蝕法僅適用于硅片的多孔結(jié)構(gòu)制備,不僅硅片原料價格昂貴,而且能耗較高,此方法不適用于多孔硅粉的制備。

同濟大學包志豪等人公開了一種用鎂熱還原法制備多孔硅的方法(公開號:CN 102259858A),該方法以硅的氧化物SiOx(x=0.5-2)為原料,通過鎂熱還原反應生成硅和氧化鎂的混合物,再使用酸選擇性溶解掉氧化鎂,最終獲得自支撐的多孔硅材料。雖然該方法較電化學陽極腐蝕方法工藝簡單,避免使用價格昂貴的單晶硅片,但是它反應能耗高、需惰性氣體保護導致成本較高。因此,限制了鎂熱還原法的大規(guī)模應用。

陳乾旺等人提出了水熱法制備多孔硅的技術(公開號:CN 1212989A),將硅粉置于高壓釜內(nèi),含0.1~0.8mol/L氟離子的水溶液中,填充度為60%~80%,調(diào)節(jié)體系的氧化氣氛為2.0-10.0N/L,在100℃~250℃溫度下保持0.5~2小時。盡管這種方法較其他方法簡便,但是加熱溫度較高,同時孔隙較小,孔隙結(jié)構(gòu)可控性較差。



技術實現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的在于根據(jù)當前多孔硅粉的制備中的缺點,提供一種多孔硅粉的制備方法,以鋁硅合金粉為原料,在酸腐蝕體系中,直接腐蝕合金粉中的鋁后形成多孔硅粉,在硅粉內(nèi)部形成孔隙率、結(jié)構(gòu)可控的孔隙,所述方法

一種多孔硅粉的制備方法,包括以下步驟:

1)采用刻蝕液對鋁硅合金粉進行刻蝕,經(jīng)過1-600min的刻蝕得到含有納米級孔道的多孔硅,孔徑在1-1000nm;

2)將含有納米級孔道的多孔硅置于酸性溶液中浸泡,之后經(jīng)清洗去除雜質(zhì),得到多孔硅粉。

所述的刻蝕液為由FeCl3、HCl、乙醇和水組成的混合溶液或者由AgNO3、HCl、乙醇和水組成的混合溶液。

本方法在刻蝕劑中加入金屬鹽溶液作為催化劑,金屬離子優(yōu)先置換合金粉中的鋁,使反應中加入電化學反應,極大的提高了反應速度。相較于單純的酸刻蝕,縮短了反應時間,提高產(chǎn)量。

步驟1)中,所述的鋁硅合金粉的粒徑小于等于500μm。所述的鋁硅合金粉

所述的刻蝕液中,F(xiàn)eCl3或AgNO3的質(zhì)量百分數(shù)為1%~10%,HCl的質(zhì)量百分數(shù)為5%~15%,乙醇的質(zhì)量百分數(shù)為0.5%~5%。

所述的刻蝕的溫度為30℃~90℃。進一步優(yōu)選,所述的刻蝕的溫度為30℃~40℃。所述的刻蝕的溫度為30℃。

所述的刻蝕的過程采用機械攪拌或者磁力攪拌。

步驟2)中,所述的酸性溶液為HCl、HF、H2SO4、HNO3中的一種或兩種以上(包括兩種),酸性溶液可以是單一酸或者混合酸。所述的浸泡的時間為0.5-5小時。

所述的酸性溶液的質(zhì)量百分數(shù)為1%~10%。

所述的清洗去除雜質(zhì)采用去離子水清洗。

最優(yōu)選的,一種多孔硅粉的制備方法,包括以下步驟:

1)采用刻蝕液對鋁硅合金粉進行刻蝕,經(jīng)過30℃、60min的刻蝕,刻蝕的過程采用300r/min磁力攪拌,得到含有納米級孔道的多孔硅,孔徑在1-1000nm;

所述的鋁硅合金粉的粒徑小于等于200μm;

所述的刻蝕液為由FeCl3、HCl、乙醇和水組成的混合溶液,所述的刻蝕液中,F(xiàn)eCl3的質(zhì)量百分數(shù)為5%,HCl的質(zhì)量百分數(shù)為10%,乙醇的質(zhì)量百分數(shù)為2%;

2)將含有納米級孔道的多孔硅置于質(zhì)量百分數(shù)為5%鹽酸溶液中浸泡1小時,之后采用去離子水清洗去除雜質(zhì),干燥得到多孔硅粉。

與現(xiàn)有技術相比,本發(fā)明具有如下優(yōu)點:

本發(fā)明提供的刻蝕硅粉制備多孔硅,引入AgNO3或FeCl3、HCl、乙醇和水,通過控制腐蝕液濃度可控制多孔硅粉的形貌、孔徑、成孔速度等。本法相較于傳統(tǒng)的電化學陽極刻蝕法、鎂熱還原等方法,避免了高溫導致的高能耗、昂貴的高溫設備及復雜操作。本方法在刻蝕劑中加入金屬鹽溶液作為催化劑,金屬離子優(yōu)先置換合金粉中的鋁,使反應中加入電化學反應,極大的提高了反應速度。相較于單純的酸刻蝕,縮短了反應時間,提高產(chǎn)量。

本方法的優(yōu)勢在于利用簡單反應加電化學反應常溫下制備多孔硅,避免了加熱設備。本方法具有設備簡單、反應時間短、操作方便、成本低、材料結(jié)構(gòu)可控、能適應大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)等優(yōu)勢。

附圖說明

圖1為實施例1制備的具有納米孔的多孔硅的SEM圖片圖像,其中放大倍數(shù)為×50K。

具體實施方式

下面通過具體實例詳細介紹本發(fā)明的技術方案,但本發(fā)明不局限于實施例,以下實例僅限于解釋本發(fā)明,本發(fā)明的保護范圍應包括權(quán)利要求書中的所有內(nèi)容。

如無特別說明,本發(fā)明實施例中出現(xiàn)的百分數(shù)均為質(zhì)量百分數(shù)。

實施例1

本實例所述多孔硅的制備方法,具體包括以下步驟:

(1)硅粉的刻蝕:鋁硅合金粉的粒徑小于等于200μm,在30℃下放入5%FeCl3、10%鹽酸、2%酒精和水的混合液中進行刻蝕,同時進行磁力攪拌(攪拌速度為300r/min),經(jīng)過60min的刻蝕,得到多孔硅,孔徑在1-1000nm之間。

(2)將(1)中得到的多孔硅的放入5%的HCl中進行浸泡1小時得到的多孔硅粉。

(3)將(2)中得到的多孔硅粉用去離子水清洗3次,然后干燥即可得到多孔硅粉。

實施例2

本實例所述多孔硅的制備方法,具體包括以下步驟:

(1)硅粉的刻蝕:在30℃下放入5%FeCl3、20%%鹽酸與2%混酒精合液中進行刻蝕(攪拌速度為300r/min),同時進行磁力攪拌,經(jīng)過60min的刻蝕。

(2)將(1)中得到的多孔硅的放入5%的HCl中進行浸泡1小時。

(3)將(2)中得到的多孔硅粉用去離子水清洗3次,然后干燥即可得到多孔硅粉。

實施例3

本實例所述多孔硅的制備方法,具體包括以下步驟:

(1)硅粉的刻蝕:在30℃下放入5%AgNO3、10%鹽酸與2%混酒精合液中進行刻蝕,同時進行磁力攪拌(攪拌速度為300r/min),經(jīng)過60min的刻蝕。

(2)將(1)中得到的多孔硅的放入5%的HCl中進行浸泡1小時。

(3)將(2)中得到的多孔硅粉用去離子水清洗3次,然后干燥即可得到多孔硅粉。

實施例4

本實例所述多孔硅的制備方法,具體包括以下步驟:

(1)硅粉的刻蝕:在30℃下放入5%AgNO3、20%鹽酸與2%混酒精合液中進行刻蝕,同時進行磁力攪拌(攪拌速度為300r/min),經(jīng)過60min的刻蝕。

(2)將(1)中得到的多孔硅的放入5%的HCl中進行浸泡1小時。

(3)將(2)中得到的多孔硅粉用去離子水清洗3次,然后干燥即可得到多孔硅粉。

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