本發(fā)明涉及太陽能電池加工裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種硅片抓取裝置及使用該裝置的太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備。

背景技術(shù)：

晶硅太陽能電池具有工藝簡單、太陽能轉(zhuǎn)化效率較高等優(yōu)點而被大規(guī)模應用，在晶硅電池的生產(chǎn)中，RIE干法制絨和PECVD真空鍍膜是兩個重要的真空工藝技術(shù)。RIE干法制絨是在真空化學氣氛下經(jīng)等離子激發(fā)形成低反射率的粗糙表面。而等離子強化的化學氣相沉積(PECVD)真空鍍膜是用在正表面氮化硅抗反射膜和背表面氧化鋁和氮化硅鈍化膜的形成。

RIE干法制絨和PECVD真空鍍膜技術(shù)的通常工藝流程為：將硅片在大氣中放置在載板上，載板通過滾輪傳輸?shù)窖b載腔中，在裝載腔抽真空抽到10Pa左右；然后再傳輸?shù)焦に嚽唤邮躌IE刻蝕或PECVD鍍膜。工藝完成后，載板進入卸載腔(放氣腔)，再將處理后的硅片從載板上取走。在這個過程中，硅片的放置速度和效率對后續(xù)工藝有著至關(guān)重要的影響?，F(xiàn)有的硅片抓取裝置占地面積大，而且對硅片的抓取和放置效率低，導致太陽能電池的生產(chǎn)效率下降。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種硅片抓取裝置，已解決現(xiàn)有的硅片抓取裝置存在的占用空間大、抓取和放置效率低的技術(shù)問題。

本發(fā)明的目的還在于提供一種太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備，以解決現(xiàn)有的太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備因硅片抓取裝置的抓取和放置效率低而導致的生產(chǎn)效率低的技術(shù)問題。

基于上述第一目的，本發(fā)明提供了一種硅片抓取裝置，包括機架、第一機械臂、第二機械臂、電機、第一升降機構(gòu)和第二升降機構(gòu)；所述機架上安裝有平移機構(gòu)，所述平移機構(gòu)上連接有機械臂安裝架，所述第一機械臂和所述第二機械臂均與所述機械臂安裝架連接；所述電機用于驅(qū)動所述平移機構(gòu)以使所述第一機械臂和所述第二機械臂沿所述機架的長度方向往復運動；所述第一升降機構(gòu)與所述第一機械臂相連接，用于驅(qū)動所述第一機械臂升起或降落，所述第二升降機構(gòu)與所述第二機械臂相連接，用于驅(qū)動所述第二機械臂升起或降落；所述第一機械臂與所述第二機械臂均設(shè)置有吸盤座，所述吸盤座的下表面設(shè)置有吸盤；所述吸盤用于吸附硅片；所述第一機械臂的吸盤座與所述第二機械臂的吸盤座之間的距離為所述硅片的邊長的兩倍。

進一步的，所述平移機構(gòu)包括直線導軌和絲杠；所述直線導軌固定安裝于所述機架上，且所述直線導軌的長度方向與所述機架的長度方向相平行；所述絲杠設(shè)置在所述直線導軌的內(nèi)部，所述絲杠上設(shè)置有平移滑塊，所述平移滑塊能夠沿所述絲杠的長度方向往復移動；所述平移滑塊設(shè)置有與所述直線導軌相配合的滑槽，所述電機用于驅(qū)動所述絲杠轉(zhuǎn)動；所述機械臂安裝架與所述平移滑塊固定連接。

進一步的，所述機架包括兩個平行設(shè)置的架梁，所述平移機構(gòu)為兩個，其中，兩個所述直線導軌分別固定安裝于兩個所述架梁上；所述電機通過同步傳動裝置驅(qū)動兩個所述絲杠轉(zhuǎn)動。

進一步的，所述同步傳動裝置包括同步軸，所述電機通過所述同步軸驅(qū)動所述絲杠轉(zhuǎn)動；所述同步軸固定連接有第一主錐齒輪和第二主錐齒輪；兩個所述絲杠分別固定連接有第一從錐齒輪和第二從錐齒輪，所述第一主錐齒輪與所述第一從錐齒輪相嚙合，所述第二主錐齒輪與所述第二從錐齒輪相嚙合。

進一步的，所述機械臂安裝架的與所述機架長度方向相垂直的兩個側(cè)面上分別設(shè)置有第一升降滑軌和第二升降滑軌；所述第一機械臂包括第一機械臂連接板和吸盤安裝架，所述第一機械臂連接板與所述吸盤安裝架固定連接，所述第一機械臂連接板上設(shè)置有與所述第一升降滑軌相配合的第一滑塊；所述第二機械臂包括第二機械臂連接板和所述吸盤安裝架，所述第二機械臂連接板與所述吸盤安裝架固定連接，所述第二機械臂連接板上設(shè)置有與所述第二升降滑軌相配合的第二滑塊。

進一步的，所述第一升降機構(gòu)為第一升降氣缸，所述第一升降氣缸的活塞桿與所述第一機械臂連接板固定連接；所述第二升降機構(gòu)為第二升降氣缸，所述第二升降氣缸的活塞桿與所述第二機械臂連接板固定連接。

進一步的，所述機械臂安裝架與所述平移滑塊之間設(shè)置有加強筋板。

進一步的，所述吸盤座設(shè)置在所述吸盤安裝架上。

進一步的，所述吸盤為伯努利吸盤。

基于上述第二目的，本發(fā)明還提供了一種太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備，包括載板和所述的硅片抓取裝置，所述硅片抓取裝置用于將所述硅片放置于所述載板上或?qū)⑺龉杵瑥乃鲚d板上取下。

本發(fā)明提供的硅片抓取裝置，通過在機械臂安裝架上同時設(shè)置第一機械臂和第二機械臂，能夠節(jié)省空間，提高硅片的抓取和放置效率。在使用時，放置有硅片的承接板到位后，通過電機驅(qū)動平移機構(gòu)，以使第一機械臂和第二機械臂同時向載板所在的方向移動，當?shù)谝粰C械臂到達預吸附的硅片的正上方后，即當吸盤座的中心與硅片的中心的連線垂直于硅片所在平面時，由于第一機械臂的吸盤座與第二機械臂的吸盤座之間的距離為硅片的邊長的兩倍，此時，第二機械臂也處于其預吸附的硅片的正上方，電機停止工作；第一升降機構(gòu)驅(qū)動第一機械臂下降，同時，第二升降機構(gòu)驅(qū)動第二機械臂下降，直至吸盤到達吸取位置，通氣，將硅片吸牢，然后第一升降機構(gòu)驅(qū)動第一機械臂上升，同時，第二升降機構(gòu)驅(qū)動第二機械臂上升；電機繼續(xù)工作，第一機械臂和第二機械臂向載板所在的方向移動。到達載板的上方后，第一升降機構(gòu)和第二升降機構(gòu)分別同時驅(qū)動第一機械臂和第二機械臂下降，直至吸盤到達放置位置，停止對吸盤供氣，將所吸附的硅片平穩(wěn)地放置于載板的預定位置。本發(fā)明提供的硅片抓取裝置，通過第一機械臂和第二機械臂同時對硅片進行抓取和放置，提高了硅片的抓取和放置效率，節(jié)約了時間。

本發(fā)明提供的太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備，通過使用本發(fā)明提供的硅片抓取裝置，提高了硅片的抓取和放置效率，從而提高了太陽能電池的生產(chǎn)效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明具體實施方式或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對具體實施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實施方式，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實施例一提供的硅片抓取裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1的主視圖；

圖3為圖1的俯視圖；

圖4為圖1中A處的局部放大圖。

圖標：101-第一機械臂；102-第二機械臂；103-電機；104-機械臂安裝架；105-吸盤；106-直線導軌；107-平移滑塊；108-滑槽；109-架梁；110-承接板；111-載板；112-同步軸；113-第一升降滑軌；114-第二升降滑軌；115-第一機械臂連接板；116-吸盤安裝架；117-第一滑塊；118-第二機械臂連接板；119-第二滑塊；120-加強筋板；121-第一升降氣缸；122-第二升降氣缸；123-吸盤座；124-真空吸盤；125-電磁閥；126-硅片。

具體實施方式

下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。

在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。

在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。

實施例一

圖1為本發(fā)明實施例一提供的硅片抓取裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1的主視圖；圖3為圖1的俯視圖；圖4為圖1中A處的局部放大圖。為清楚描述本發(fā)明的技術(shù)方案，圖1中將承接板110和載板111示出，圖3中將承接板110和載板111省略。參見圖1至圖4所示，本實施例提供了一種硅片抓取裝置，包括機架、第一機械臂101、第二機械臂102、電機103、第一升降機構(gòu)和第二升降機構(gòu)；機架上安裝有平移機構(gòu)，平移機構(gòu)上連接有機械臂安裝架104，第一機械臂101和第二機械臂102均與機械臂安裝架104連接；電機103用于驅(qū)動平移機構(gòu)以使第一機械臂101和第二機械臂102沿機架的長度方向往復運動；第一升降機構(gòu)與第一機械臂101相連接，用于驅(qū)動第一機械臂101升起或降落，第二升降機構(gòu)與第二機械臂102相連接，用于驅(qū)動第二機械臂102升起或降落；第一機械臂101與第二機械臂102均設(shè)置有吸盤座123，吸盤座123的下表面設(shè)置有吸盤105；吸盤105用于吸附硅片126；第一機械臂101的吸盤座123與第二機械臂102的吸盤座123之間的距離為硅片126的邊長的兩倍。具體而言，第一機械臂101的吸盤座123的中心與第二機械臂102的吸盤座123的中心之間的距離(圖3中以d表示)為硅片126的邊長(圖3中以a表示)的兩倍。作為優(yōu)選，本實施例提供的第一機械臂101上的吸盤座123為五個，且沿第一機械臂101的長度方向均勻間隔設(shè)置；第二機械臂102上的吸盤座123為五個，且沿第二機械臂102的長度方向均勻間隔設(shè)置，其中，每個吸盤座123的下表面均設(shè)置有吸盤105。作為優(yōu)選，參見圖3所示，吸盤座123呈方形，第一機械臂101的吸盤座123的中心和與其相對的第二機械臂102的吸盤座123的中心之間的距離(圖3中以d表示)為硅片126的邊長(圖3中以a表示)的兩倍。這樣的方式能夠使第一機械臂101和第二機械臂102同時對準兩排硅片126，即每次可同時吸附十個硅片126，既能夠使硅片抓取裝置的整體結(jié)構(gòu)更加緊湊，節(jié)省空間，同時又能夠提高硅片126的抓取和放置效率。本實施例提供的硅片抓取裝置，通過在機械臂安裝架104上同時設(shè)置第一機械臂101和第二機械臂102，能夠節(jié)省空間，提高硅片126的抓取和放置效率。在使用時，放置有硅片126的承接板110到位后，通過電機103驅(qū)動平移機構(gòu)，以使第一機械臂101和第二機械臂102同時向承接板110所在的方向移動，當?shù)谝粰C械臂101到達預吸附的硅片126的正上方后，即當吸盤座123的中心與硅片126的中心的連線垂直于硅片126所在平面時，由于第一機械臂101的吸盤座123的中心與第二機械臂102的吸盤座123的中心之間的距離為硅片126的邊長的兩倍，此時，第二機械臂102也處于其所預吸附的硅片126的正上方，電機103停止工作；第一升降機構(gòu)驅(qū)動第一機械臂101下降，同時，第二升降機構(gòu)驅(qū)動第二機械臂102下降，直至吸盤105到達吸取位置，通氣，將硅片126吸牢，然后第一升降機構(gòu)驅(qū)動第一機械臂101上升，同時，第二升降機構(gòu)驅(qū)動第二機械臂102上升；電機103繼續(xù)工作，第一機械臂101和第二機械臂102向載板111所在的方向移動。當?shù)谝粰C械臂101和第二機械臂102到達載板111的上方后，第一升降機構(gòu)和第二升降機構(gòu)分別同時驅(qū)動第一機械臂101和第二機械臂102下降，直至吸盤105到達放置位置，停止對吸盤105供氣，將所吸附的硅片126平穩(wěn)地放置于載板111的預定位置。本發(fā)明提供的硅片抓取裝置，通過第一機械臂101和第二機械臂102同時對硅片126進行抓取和放置，節(jié)約了時間，提高了硅片126的抓取和放置效率。

在該實施例的可選方案中，平移機構(gòu)包括直線導軌106和絲杠；直線導軌106固定安裝于機架上，且直線導軌106的長度方向與機架的長度方向相平行；絲杠設(shè)置在直線導軌106的內(nèi)部，絲杠上設(shè)置有平移滑塊107，平移滑塊107能夠沿絲杠的長度方向往復移動；平移滑塊107設(shè)置有與直線導軌106相配合的滑槽108，電機103用于驅(qū)動絲杠轉(zhuǎn)動；機械臂安裝架104與平移滑塊107固定連接。

在該可選方案中，電機103的動力輸出端與絲杠的一端相連接，當電機103驅(qū)動絲杠沿自身的軸線轉(zhuǎn)動時，平移滑塊107能夠沿絲杠的長度方向往復移動，從而帶動機械臂安裝架104沿絲杠的長度方向往復移動，以實現(xiàn)第一機械臂101和第二機械臂102沿絲杠的長度方向往復移動。

在平移滑塊107上設(shè)置與直線導軌106相配合的滑槽108，當平移滑塊107沿絲杠的長度方向往復移動時，直線導軌106能夠?qū)ζ揭苹瑝K107起到導向作用，使得平移滑塊107能夠在水平方向往復運動，而不會發(fā)生偏移，從而使第一機械臂101和第二機械臂102能夠在水平方向往復移動，以使吸盤105與預吸附的硅片126之間的距離保持不變，防止第一機械臂101和第二機械臂102在移動過程中向下偏移而導致的吸盤105與預吸附的硅片126之間的距離過小，從而有效地避免了因吸盤105與預吸附的硅片126之間的距離過小而碰碎硅片126的現(xiàn)象發(fā)生。

作為優(yōu)選，本實施例提供的絲杠采用現(xiàn)有的滾珠絲杠。

作為優(yōu)選，本實施例提供的機架包括兩個平行設(shè)置的架梁109，平移機構(gòu)為兩個，其中，兩個直線導軌106分別固定安裝于兩個架梁109上；電機103通過同步傳動裝置驅(qū)動兩個絲杠轉(zhuǎn)動。兩個架梁109平行間隔設(shè)置，機械臂安裝架104位于兩個架梁109之間，機械臂安裝架104的兩端分別與平移滑塊107固定連接，這樣的方式能夠?qū)Φ谝粰C械臂101和第二機械臂102起到更加牢固的支撐作用以及更加準確的導向作用。

通過設(shè)置同步傳動裝置，本實施例只采用一個電機103就能夠同時驅(qū)動兩個絲杠同時轉(zhuǎn)動，不僅節(jié)省能耗，降低生產(chǎn)成本，而且能夠保證兩個絲杠的轉(zhuǎn)動速度相同，從而使第一機械臂101和第二機械臂102在水平方向上移動的過程中，其長度方向始終與架梁109的長度方向相垂直，當?shù)谝粰C械臂101和第二機械臂102到達預吸附的硅片126的上方后，能夠保證每個吸盤105準確定位于與其相對應的預吸附的硅片126的正上方，避免了因第一機械臂101和第二機械臂102發(fā)生傾斜而導致吸盤105無法吸取預吸附的硅片126的現(xiàn)象。

本實施例提供的同步傳動裝置包括同步軸112，電機103通過同步軸112驅(qū)動絲杠轉(zhuǎn)動；同步軸112固定連接有第一主錐齒輪和第二主錐齒輪；兩個絲杠分別固定連接有第一從錐齒輪和第二從錐齒輪，第一主錐齒輪與第一從錐齒輪相嚙合，第二主錐齒輪與第二從錐齒輪相嚙合。

在同步軸112的一端固定連接第一主錐齒輪，在同步軸112的另一端固定連接第二主錐齒輪，當電機103驅(qū)動同步軸112轉(zhuǎn)動時，同步軸112上的第一主錐齒輪和第二主錐齒輪分別帶動與其相嚙合的第一從錐齒輪和第二從錐齒輪轉(zhuǎn)動，從而帶動兩個絲杠同時沿自身的軸線轉(zhuǎn)動，使得平移滑塊107能夠沿絲杠的長度方向往復移動，從而帶動機械臂安裝架104沿絲杠的長度方向往復移動，以實現(xiàn)第一機械臂101和第二機械臂102沿絲杠的長度方向往復移動。

在該實施例的可選方案中，參見圖4所示，機械臂安裝架104的與機架長度方向相垂直的兩個側(cè)面上分別設(shè)置有第一升降滑軌113和第二升降滑軌114，作為優(yōu)選，第一升降滑軌113和第二升降滑軌114分別為兩個；第一機械臂101包括第一機械臂連接板115和吸盤安裝架116，第一機械臂連接板115與吸盤安裝架116固定連接，第一機械臂連接板115上設(shè)置有與第一升降滑軌113相配合的第一滑塊117；第二機械臂102包括第二機械臂連接板118和吸盤安裝架116，第二機械臂連接板118與吸盤安裝架116固定連接，第二機械臂連接板118上設(shè)置有與第二升降滑軌114相配合的第二滑塊119。

在該可選方案中，機械臂安裝架104的長度方向與兩個架梁109的長度方向相垂直，第一機械臂連接板115的板面和第二機械臂連接板118的板面均與兩個架梁109的長度方向相垂直，吸盤安裝架116的板面與架梁109的長度方向相垂直。在第一機械臂連接板115上設(shè)置與第一升降滑軌113相配合的第一滑塊117，在第二機械臂連接板118上設(shè)置與第二升降滑軌114相配合的第二滑塊119，這樣的方式能夠?qū)Φ谝粰C械臂101和第二機械臂102的升降起到導向作用，使得第一滑塊117和第二滑塊119能夠在豎直方向往復運動，而不會發(fā)生偏移，從而使第一機械臂101和第二機械臂102能夠在豎直方向往復運動，以使吸盤105的下表面所在平面與預吸附的硅片126的上表面所在平面相平行，從而保證吸盤105與預吸附的硅片126的接觸面積最大，防止因吸盤105傾斜導致吸盤105對預吸附的硅片126的吸附力不足，避免硅片126在運輸過程中意外掉落導致原料浪費或停產(chǎn)檢修情況的發(fā)生。

作為優(yōu)選，第一升降機構(gòu)為第一升降氣缸121，第一升降氣缸121的活塞桿與第一機械臂連接板115固定連接；第二升降機構(gòu)為第二升降氣缸122，第二升降氣缸122的活塞桿與第二機械臂連接板118固定連接。

將第一升降氣缸121和第二升降氣缸122設(shè)置在機械臂安裝架104的上方，通過控制第一升降氣缸121的活塞桿和第二升降氣缸122的活塞桿的伸出或回縮，分別控制第一機械臂連接板115和第二機械臂連接板118的下降或上升，以實現(xiàn)第一機械臂101和第二機械臂102的下降或上升。

作為優(yōu)選，機械臂安裝架104與平移滑塊107之間設(shè)置有加強筋板120。這樣的方式能夠使得機械臂安裝架104與平移滑塊107之間的連接更加牢固，從而使機械臂安裝架104更平穩(wěn)地沿直線導軌106的長度方向往復運動。

該實施例提供的吸盤座123設(shè)置在吸盤安裝架116上。吸盤安裝架116與吸盤座123固定連接，吸盤安裝架116的板面與吸盤座123的板面相垂直。

在使用時，放置有硅片126的承接板110到位后，通過電機103驅(qū)動平移機構(gòu)，以使第一機械臂101和第二機械臂102同時向承接板110所在的方向移動，當?shù)谝粰C械臂101到達預吸附的硅片126的正上方后，即當吸盤座123的中心與硅片126的中心的連線垂直于硅片126所在平面時，由于第一機械臂101的吸盤座123的中心與第二機械臂102的吸盤座123的中心之間的距離為硅片126的邊長的兩倍，此時，第二機械臂102也處于其所預吸附的硅片126的正上方，電機103停止工作；第一升降氣缸121驅(qū)動第一機械臂101下降，同時，第二升降氣缸122驅(qū)動第二機械臂102下降，直至吸盤105到達吸取位置，通氣，將硅片126吸牢，然后第一升降氣缸121驅(qū)動第一機械臂101上升，同時，第二升降氣缸122驅(qū)動第二機械臂102上升；電機103繼續(xù)工作，第一機械臂101和第二機械臂102向載板111所在的方向移動。當?shù)谝粰C械臂101和第二機械臂102到達載板111的上方后，第一升降氣缸121和第二升降氣缸122分別同時驅(qū)動第一機械臂101和第二機械臂102下降，直至吸盤105到達放置位置，停止對吸盤105供氣，將所吸附的硅片126平穩(wěn)地放置于載板111的預定位置。最后，第一升降氣缸121和第二升降氣缸122分別同時驅(qū)動第一機械臂101和第二機械臂102上升，電機103繼續(xù)工作，驅(qū)動第一機械臂101和第二機械臂102返回初始位置。至此，硅片抓取裝置完成一個工作周期。

本實施例提供的硅片抓取裝置在一個工作周期內(nèi)可完成十個硅片126的抓取和放置，且完成一個工作周期的時間為9s。

在本實施例的可選方案中，吸盤105為伯努利吸盤。

當伯努利吸盤位于預吸附的硅片126的上方時，向伯努利吸盤的內(nèi)部充入壓縮空氣，壓縮空氣由伯努利吸盤的中心沿徑向迅速擴散，從而使得硅片126上部的氣流速度遠高于其下部的氣流速度，此時，硅片126下部的氣壓大于其上部的氣壓，因此，伯努利吸盤無需擠壓硅片126便可對其進行吸附，有效地降低了碎片率，達到高效抓取的目的。

為了防止硅片126意外掉落，提高對硅片126的吸附強度，本實施例的吸盤座123的下表面還設(shè)置有真空吸盤124，真空吸盤124通過真空氣管與真空泵連通。真空氣管上設(shè)置有電磁閥125，電磁閥125固定安裝于吸盤安裝架116上。真空吸盤124均勻間隔設(shè)置在伯努利吸盤的周圍，作為優(yōu)選，真空吸盤124分別設(shè)置在吸盤座123的四角上，用以輔助伯努利吸盤對硅片126進行抓取。

本實施例提供的伯努利吸盤采用現(xiàn)有的伯努利吸盤，本實施例提供的真空吸盤124采用現(xiàn)有的真空吸盤。

本實施例提供的硅片抓取裝置，還包括控制系統(tǒng)，吸盤105上設(shè)置有位置傳感器，位置傳感器與控制系統(tǒng)電連接，用于獲取吸盤105的高度位置信息，從而精確控制吸盤105與硅片126之間的距離。

本實施例提供的位置傳感器采用現(xiàn)有的位置傳感器。

需要說明的是，本發(fā)明提供的實施例一的可選方案中，吸盤105的形式和個數(shù)不僅局限于上述一種，也可以根據(jù)實際生產(chǎn)加工情況自由選取其他形式和數(shù)量的吸盤105，用以實現(xiàn)高效抓取硅片126的功能；對于其他形式和數(shù)量的吸盤105本實施例一不再一一具體贅述。

實施例二

本實施例也提供了一種硅片抓取裝置，該實施例的硅片抓取裝置描述了平移機構(gòu)的另一種實現(xiàn)方案，除此之外的實施例一的技術(shù)方案也屬于該實施例，在此不再重復描述。相同的零部件使用與實施例一相同的附圖標記，在此參照對實施例一的描述。

本實施例提供的平移機構(gòu)包括直線導軌106和同步帶傳動裝置，同步帶傳動裝置設(shè)置在直線導軌106的內(nèi)部，同步帶傳動裝置包括相互嚙合的同步帶和同步帶輪；同步帶上設(shè)置有平移滑塊107，平移滑塊107能夠沿同步帶的長度方向往復移動，平移滑塊107設(shè)置有與直線導軌106相配合的滑槽108，機械臂安裝架104與平移滑塊107固定連接。作為優(yōu)選，平移機構(gòu)為兩個，其中，兩個直線導軌106分別固定安裝于兩個架梁109上，且直線導軌106的長度方向與機架的長度方向相平行；電機103通過同步軸112驅(qū)動兩個同步帶輪轉(zhuǎn)動，使得平移滑塊107隨同步帶一起沿直線導軌106的長度方向往復運動，從而帶動第一機械臂101和第二機械臂102沿直線導軌106的長度方向往復運動。這樣的方式使得本實施例提供的平移機構(gòu)的結(jié)構(gòu)更加簡單，制造成本也較低，此外，只采用一個電機103就能夠驅(qū)動兩個同步帶傳動裝置同時轉(zhuǎn)動，不僅節(jié)省能耗，降低生產(chǎn)成本，而且能夠保證兩個同步帶傳動裝置的轉(zhuǎn)動速度相同，從而使第一機械臂101和第二機械臂102在水平方向上移動的過程中，其長度方向始終與架梁109的長度方向相垂直，當?shù)谝粰C械臂101和第二機械臂102到達預吸附的硅片126的上方后，能夠保證每個吸盤105準確定位于與其相對應的預吸附的硅片126的正上方，避免了因第一機械臂101和第二機械臂102發(fā)生傾斜而導致吸盤105無法吸取預吸附的硅片126的現(xiàn)象。

實施例三

本實施例提供了一種太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備，包括載板111和實施例一提供的硅片抓取裝置，硅片抓取裝置用于將硅片126放置于載板111上或?qū)⒐杵?26從載板111上取下。

在太陽能電池片制造用鏈式真空裝備工作過程中，承接板110上放置有若干塊規(guī)則排列的硅片126，需要通過硅片抓取裝置將其移送到載板111上，以便進行后續(xù)RIE干法制絨和PECVD真空鍍膜技術(shù)的工藝處理。

具體工作過程：放置有硅片126的承接板110到位后，通過電機103驅(qū)動平移機構(gòu)，以使第一機械臂101和第二機械臂102同時向承接板110所在的方向移動，當?shù)谝粰C械臂101到達預吸附的硅片126的正上方后，即當吸盤座123的中心與硅片126的中心的連線垂直于硅片126所在平面時，由于第一機械臂101的吸盤座123的中心與第二機械臂102的吸盤座123的中心之間的距離為硅片126的邊長的兩倍，此時，第二機械臂102也處于其所預吸附的硅片126的正上方，電機103停止工作；第一升降氣缸121驅(qū)動第一機械臂101下降，同時，第二升降氣缸122驅(qū)動第二機械臂102下降，直至吸盤105到達吸取位置，通氣，將硅片126吸牢，然后第一升降氣缸121驅(qū)動第一機械臂101上升，同時，第二升降氣缸122驅(qū)動第二機械臂102上升；電機103繼續(xù)工作，第一機械臂101和第二機械臂102向載板111所在的方向移動。當?shù)谝粰C械臂101和第二機械臂102到達載板111的上方后，第一升降氣缸121和第二升降氣缸122分別同時驅(qū)動第一機械臂101和第二機械臂102下降，直至吸盤105到達放置位置，停止對吸盤105供氣，將所吸附的硅片126平穩(wěn)地放置于載板111的預定位置。最后，第一升降氣缸121和第二升降氣缸122分別同時驅(qū)動第一機械臂101和第二機械臂102上升，電機103繼續(xù)工作，驅(qū)動第一機械臂101和第二機械臂102返回初始位置。至此，硅片抓取裝置完成一個工作周期。

本實施例提供的承接板110的規(guī)格為(5片×8)/板，即每個承接板110上可放置40片硅片126，本實施例提供的太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備由于使用了實施例一提供的硅片抓取裝置，在四個工作周期(時間約為36s)內(nèi)就可以完成對40片硅片126的抓取和放置，因此，本實施例提供的太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備對硅片126的處理速度為3600片/h，極大地提高了太陽能電池的生產(chǎn)效率。

在太陽能電池片制造用鏈式真空裝備工作過程中，還要通過硅片抓取裝置將處理后的硅片126移送到下一個工作位。

具體工作過程：放置有處理后的硅片126的載板111到位后，通過電機103驅(qū)動平移機構(gòu)，以使第一機械臂101和第二機械臂102同時向載板111所在的方向移動，當?shù)谝粰C械臂101到達預吸附的硅片126的正上方后，即當吸盤座123的中心與硅片126的中心的連線垂直于硅片126所在平面時，由于第一機械臂101的吸盤座123的中心與第二機械臂102的吸盤座123的中心之間的距離為硅片126的邊長的兩倍，此時，第二機械臂102也處于其所預吸附的硅片126的正上方，電機103停止工作；第一升降氣缸121驅(qū)動第一機械臂101下降，同時，第二升降氣缸122驅(qū)動第二機械臂102下降，直至吸盤105到達吸取位置，通氣，將硅片126吸牢，然后第一升降氣缸121驅(qū)動第一機械臂101上升，同時，第二升降氣缸122驅(qū)動第二機械臂102上升；電機103繼續(xù)工作，第一機械臂101和第二機械臂102向下一個工作位所在的方向移動。當?shù)谝粰C械臂101和第二機械臂102到達下一個工作位的上方后，第一升降氣缸121和第二升降氣缸122分別同時驅(qū)動第一機械臂101和第二機械臂102下降，直至吸盤105到達放置位置，停止對吸盤105供氣，將所吸附的硅片126平穩(wěn)地放置于下一個工作位的預定位置。最后，第一升降氣缸121和第二升降氣缸122分別同時驅(qū)動第一機械臂101和第二機械臂102上升，電機103繼續(xù)工作，驅(qū)動第一機械臂101和第二機械臂102返回初始位置。至此，硅片抓取裝置完成一個工作周期。

本實施例提供的載板111的規(guī)格為(5片×8)/板，即每個載板111上可放置40片硅片126，本實施例提供的太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備由于使用了實施例一提供的硅片抓取裝置，在四個工作周期(時間約為36s)內(nèi)就可以完成對40片硅片126的抓取和放置，因此，本實施例提供的太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備對硅片126的處理速度為3600片/h，極大地提高了太陽能電池的生產(chǎn)效率。

最后應說明的是：以上各實施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述各實施例對本發(fā)明進行了詳細的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應當理解：其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分或者全部技術(shù)特征進行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實施例技術(shù)方案的范圍。