1.一種晶圓載臺，用于承載晶圓或料盤，其特征在于，所述晶圓載臺包括：
主體，所述主體內設有若干個間隔分布的容置孔；
若干個可以彈起和復位的卡柱，所述卡柱與所述容置孔對應設置，所述卡柱彈起時，所述卡柱的頂部穿過所述容置孔并突出于所述主體的上表面上方；
控制裝置，與所述卡柱相連接，適于根據需要控制對應的所述卡柱彈起或復位。
2.根據權利要求1所述的晶圓載臺，其特征在于，所述卡柱包括若干個第一卡柱和若干個第二卡柱；若干個所述第一卡柱以所述主體的中心為中心呈圓周分布，若干個所述第一卡柱彈起時在所述主體表面形成至少一個待測晶圓放置區(qū)域；若干個所述第二卡柱彈起時在所述主體表面形成至少一個料盤放置區(qū)域。
3.根據權利要求2所述的晶圓載臺，其特征在于，所述第一卡柱及所述第二卡柱復位時，至少所述第一卡柱的頂部與所述主體的上表面相平齊或低于所述主體的上表面。
4.根據權利要求2所述的晶圓載臺，其特征在于，所述料盤放置區(qū)域的形狀為正方形。
5.根據權利要求4所述的晶圓載臺，其特征在于，所述料盤放置區(qū)域的一個端點位于所述主體的中心。
6.根據權利要求2所述的晶圓載臺，其特征在于，所述晶圓載臺還包括：第一連接柱、第一支撐盤，
其中，所述第一卡柱通過所述第一連接柱與所述第一支撐盤相連接，所述控制裝置與所述第一支撐盤相連接，適于通過控制所述第一支撐盤的運動以控制所述第一卡柱的彈起和復位。
7.根據權利要求6所述的晶圓載臺，其特征在于，所述第一連接柱與所述第一支撐盤為面連接。
8.根據權利要求6所述的晶圓載臺，其特征在于，所述晶圓載臺還包括：第二連接柱、第二支撐盤，且所述第二支撐盤套至于所述第一支撐盤的外圍，
其中，所述第二卡柱通過所述第二連接柱與所述第二支撐盤相連接，所述控制裝置與所述第二支撐盤相連接，適于通過控制所述第二支撐盤的運動以控制所述第二卡柱的彈起和復位。
9.根據權利要求8所述的晶圓載臺，其特征在于，所述控制裝置為按鈕，所述晶圓載臺還包括：第一氣缸、第二氣缸、第一電磁閥、第二電磁閥，所述第一氣缸與所述第一支撐盤相連接，且位于所述第一支撐盤遠離所述第一卡柱的一側，所述第二氣缸與所述第二支撐盤相連接，且位于所述第二支撐盤遠離所述第二卡柱的一側，
其中，所述按鈕通過所述第一電磁閥控制所述第一氣缸以控制所述第一支撐盤的運動，所述按鈕通過所述第二電磁閥控制所述第二氣缸以控制所述第二支撐盤的運動。
10.根據權利要求9所述的晶圓載臺，其特征在于，所述第二氣缸包括上部和下部，所述下部的形狀為圓臺狀；其中，所述上部與所述第二支撐盤相連接，所述下部的上表面與所述上部相連接。
11.根據權利要求8所述的晶圓載臺，其特征在于，所述第一卡柱與所述第二卡柱分別包括上下兩部分，所述第一卡柱下部與所述第一支撐盤相連接，所述第二卡柱下部與所述第二支撐盤相連接。
12.根據權利要求2所述的晶圓載臺，其特征在于，所述控制裝置包括第一卡柱控制開關、第二卡柱控制開關、復位開關以及系統(tǒng)啟動開關，其中，所述第一卡柱控制開關閉合時所述第一卡柱彈起，所述第二卡柱控制開關閉合時所述第二卡柱彈起，所述復位開關閉合時所述第一卡柱控制開關及所述第二卡柱控制開關均斷開，所述第一卡柱和所述第二卡柱復位，所述系統(tǒng)啟動開關用于所述晶圓載臺的上電啟動。
13.根據權利要求1所述的晶圓載臺，其特征在于，在所述主體周向，并于其表面上開設有缺口。