本實用新型屬于半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種晶圓載臺。

背景技術(shù)：

隨著半導(dǎo)體金屬工藝的不斷發(fā)展，與之配合的出貨方式也越來越多樣化，目前出貨類型除了一般的晶圓，還新增了8寸帶鋼圈晶圓和料盤(Tray)等。通常的晶圓載臺只能承載單一尺寸的晶圓，一旦晶圓尺寸改變，晶圓載臺就無法使用，適應(yīng)性差，加大了成本。

而且，現(xiàn)有目檢機臺的載臺已經(jīng)很難滿足這些出貨方式的目檢需求。目前的做法是：檢驗人員根據(jù)不同的產(chǎn)品更換載臺，或者是另一個目檢機臺完成目檢任務(wù)。其做法有種種缺陷：如，目前的8寸晶圓載臺只能目檢8寸晶圓；8寸帶鋼圈晶圓托盤具有傾倒以及碰撞的風(fēng)險；料盤也存在著只能目檢一個料盤，更換料盤時容易打翻以及所使用的TVK紙存在顆粒靜電的風(fēng)險等等。

因此，基于現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，設(shè)計一種多功能的載臺，特別是用同一個載臺完成不同類型的產(chǎn)品的目檢任務(wù)，實屬必要。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本實用新型的目的在于提供一種晶圓載臺，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中晶圓載臺只能承載單一尺寸晶圓，只能滿足單一出貨方式的產(chǎn)品的問題。

為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種晶圓載臺，用于承載晶圓或料盤，所述晶圓載臺包括：主體，所述主體內(nèi)設(shè)有若干個間隔分布的容置孔；若干個可以彈起和復(fù)位的卡柱，所述卡柱與所述容置孔對應(yīng)設(shè)置，所述卡柱彈起時，所述卡柱的頂部穿過所述容置孔并突出于所述主體的上表面上方；控制裝置，與所述卡柱相連接，適于根據(jù)需要控制對應(yīng)的所述卡柱彈起或復(fù)位。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述卡柱包括若干個第一卡柱和若干個第二卡柱；若干個所述第一卡柱以所述主體的中心為中心呈圓周分布，若干個所述第一卡柱彈起時在所述主體表面形成至少一個待測晶圓放置區(qū)域；若干個所述第二卡柱彈起時在所述主體表面形成至少一個料盤放置區(qū)域。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述第一卡柱及所述第二卡柱復(fù)位時，至少所述第一卡柱的頂部與所述主體的上表面相平齊或低于所述主體的上表面。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述料盤放置區(qū)域的形狀為正方形。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述料盤放置區(qū)域的一個端點位于所述主體的中心。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述晶圓載臺還包括：第一連接柱、第一支撐盤，

其中，所述第一卡柱通過所述第一連接柱與所述第一支撐盤相連接，所述控制裝置與所述第一支撐盤相連接，適于通過控制所述第一支撐盤的運動以控制所述第一卡柱的彈起和復(fù)位。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述第一連接柱與所述第一支撐盤為面連接。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述晶圓載臺還包括：第二連接柱、第二支撐盤，且所述第二支撐盤套至于所述第一支撐盤的外圍，

其中，所述第二卡柱通過所述第二連接柱與所述第二支撐盤相連接，所述控制裝置與所述第二支撐盤相連接，適于通過控制所述第二支撐盤的運動以控制所述第二卡柱的彈起和復(fù)位。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述控制裝置為按鈕，所述晶圓載臺還包括：第一氣缸、第二氣缸、第一電磁閥、第二電磁閥，所述第一氣缸與所述第一支撐盤相連接，且位于所述第一支撐盤遠離所述第一卡柱的一側(cè)，所述第二氣缸與所述第二支撐盤相連接，且位于所述第二支撐盤遠離所述第二卡柱的一側(cè)，

其中，所述按鈕通過所述第一電磁閥控制所述第一氣缸以控制所述第一支撐盤的運動，所述按鈕通過所述第二電磁閥控制所述第二氣缸以控制所述第二支撐盤的運動。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述第二氣缸包括上部和下部，所述下部的形狀為圓臺狀；其中，所述上部與所述第二支撐盤相連接，所述下部的上表面與所述上部相連接。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述第一卡柱與所述第二卡柱分別包括上下兩部分，所述第一卡柱下部與所述第一支撐盤相連接，所述第二卡柱下部與所述第二支撐盤相連接。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述控制裝置包括第一卡柱控制開關(guān)、第二卡柱控制開關(guān)、復(fù)位開關(guān)以及系統(tǒng)啟動開關(guān)，其中，所述第一卡柱控制開關(guān)閉合時所述第一卡柱彈起，所述第二卡柱控制開關(guān)閉合時所述第二卡柱彈起，所述復(fù)位開關(guān)閉合時所述第一卡柱控制開關(guān)及所述第二卡柱控制開關(guān)均斷開，所述第一卡柱和所述第二卡柱復(fù)位，所述系統(tǒng)啟動開關(guān)用于所述晶圓載臺的上電啟動。

作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，在所述主體周向，并于其表面上開設(shè)有缺口。

如上所述，本實用新型提供的晶圓載臺，在具體操作過程中，具有如下有益效果：

1.本實用新型提供的晶圓載臺可以取代局限性的載臺，同時滿足目檢8寸晶圓、12寸晶圓、帶鋼圈的晶圓、料盤等不同出貨方式的產(chǎn)品；

2.本實用新型提供的晶圓載臺屬于便攜式載臺，可以移動安裝在放大鏡下，也可以固定安裝在顯微鏡上，可以消除了載臺/托盤不穩(wěn)定的隱患；

3.本實用新型提供的晶圓載臺可以一次性目檢一整個料盤組(十個料盤)，降低了更換料盤時可能造成產(chǎn)品翻落的風(fēng)險，大大提升了目檢效率，同時也解決了顆粒缺陷和靜電問題。

附圖說明

圖1顯示為本實用新型實施例中提供的晶圓載臺的俯視圖。

圖2顯示為本實用新型實施例中提供的晶圓載臺的內(nèi)部結(jié)構(gòu)連接圖。

圖3顯示為圖2結(jié)構(gòu)連接圖中虛線框內(nèi)部結(jié)構(gòu)的局部放大圖。

圖4顯示為本實用新型實施例中提供的晶圓載臺正視透視圖。

元件標號說明

11 主體

111 容置孔

12 卡柱

121 第一卡柱

1211 第一卡柱上部

1212 第一卡柱下部

122 第二卡柱

1221 第二卡柱上部

1222 第二卡柱下部

13 控制裝置

131 第一卡柱控制開關(guān)

132 第二卡柱控制開關(guān)

133 復(fù)位開關(guān)

134 系統(tǒng)啟動開關(guān)

14 缺口

21 第一連接柱

22 第一支撐盤

23 第一氣缸

24 第一電磁閥

241 CDA

31 第二連接柱

32 第二支撐盤

33 第二氣缸

34 第二電磁閥

具體實施方式

以下通過特定的具體實例說明本實用新型的實施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點與功效。本實用新型還可以通過另外不同的具體實施方式加以實施或應(yīng)用，本說明書中的各項細節(jié)也可以基于不同觀點與應(yīng)用，在沒有背離本實用新型的精神下進行各種修飾或改變。

請參閱圖1至圖4。需要說明的是，本實施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本實用新型的基本構(gòu)想，雖圖示中僅顯示與本實用新型中有關(guān)的組件而非按照實際實施時的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實際實施時各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局形態(tài)也可能更為復(fù)雜。

如圖1至圖4所示，本實施例提供一種晶圓載臺，用于承載晶圓或料盤，所述晶圓載臺包括：主體11，所述主體11內(nèi)設(shè)有若干個間隔分布的容置孔111(圖中未示出)；若干個可以彈起和復(fù)位的卡柱12，所述卡柱12與所述容置孔111對應(yīng)設(shè)置，所述卡柱12彈起時，所述卡柱12的頂部穿過所述容置孔111并突出于所述主體11的上表面上方；控制裝置13，與所述卡柱12相連接，適于根據(jù)需要控制對應(yīng)的所述卡柱12彈起或復(fù)位。

其中，所述卡柱12彈起的高度可根據(jù)實際需求而控制，不限于單一的高度。同時，所述主體11的大小可以根據(jù)實際需求而設(shè)置，在本實施例中，所述主體11的直徑為30cm；所述主體11的高度為4cm。

作為示例，所述卡柱12包括若干個第一卡柱121和若干個第二卡柱122；若干個所述第一卡柱121以所述主體11的中心為中心呈圓周分布，若干個所述第一卡柱121彈起時在所述主體11表面形成待測晶圓放置區(qū)域；若干個所述第二卡柱122彈起時在所述主體11表面形成至少一個料盤放置區(qū)域。

其中，在實際實施方式中，所述待測晶圓放置區(qū)域以及所述料盤放置區(qū)域的數(shù)量可以為一個或者多個，以根據(jù)需求放置不同數(shù)量的晶圓或者料盤。例如，在本實施例中，若干個所述第一卡柱121可以選擇為6個白色第一卡柱，所述第一卡柱121與所述主體11之間的距離可以為10cm，若干個所述第二卡柱122可以選擇為27個黑色卡柱，用于固定10個料盤。

作為示例，所述第一卡柱121及所述第二卡柱122復(fù)位時，至少所述第一卡柱121的頂部與所述主體11的上表面相平齊或低于所述主體11的上表面。

其中，在所述卡柱12復(fù)位時，在某一實施例中，所述第一卡柱121和所述第二卡柱122頂部均低于所述主體11的上表面或者與所述主體11的上表面相平齊，此時，晶圓載臺可以用于放置待測產(chǎn)品，如12寸晶圓或者8寸帶鋼圈的晶圓等；在另一實施例中，所述第一卡柱121頂部低于所述主體11的上表面或者與所述主體11的上表面相平齊，所述第二卡柱122頂部高于所述主體11的上表面，此時，晶圓載臺可以用于放置待測產(chǎn)品，如料盤等。

另外，在其他實施例中，還存在所述第一卡柱121頂部高于所述主體11的上表面，所述第二卡柱122頂部低于所述主體11的上表面或者與所述主體11的上表面相平齊的情況，此時，晶圓載臺可以用于放置待測產(chǎn)品，如8寸晶圓等；在又一實施例中，也存在所述第一卡柱121頂部高于所述主體11的上表面，所述第二卡柱122頂部高于所述主體11的上表面，此時，晶圓載臺可以用于放置待測產(chǎn)品，如料盤等。

作為示例，所述料盤放置區(qū)域的形狀為正方形，在本實施例中，所述正方形的邊長可以為5.2cm，在其他實施例中，所述料盤放置區(qū)域也可以設(shè)置為其他可以放置料盤的形狀。

作為示例，所述料盤放置區(qū)域的一個端點位于所述主體11的中心。

作為示例，所述晶圓載臺還包括：第一連接柱21、第一支撐盤22，其中，所述第一卡柱121通過所述第一連接柱21與所述第一支撐盤22相連接，所述控制裝置13與所述第一支撐盤相22連接，適于通過控制所述第一支撐盤22的運動以控制所述第一卡柱121的彈起和復(fù)位。

作為示例，所述第一連接柱121與所述第一支撐盤22為面連接。

其中，在具體實施方式中，所述第一連接柱21與所述第一支撐盤22的連接方式可以為，所述第一連接柱21的一端與所述第一支撐盤22的周向側(cè)面相連接；在其他實施方式中，所述第一連接柱21還可以與所述第一支撐盤22面連接，所述面連接包括：所述第一連接柱21一端位于所述第一支撐盤22的上表面，另一端與一個所述第一卡柱121相連接，還包括所述第一連接柱21中間部分位于所述第一支撐盤22的上表面，兩端遠離所述第一支撐盤22，并且兩端各與一個所述第一卡柱121相連接，優(yōu)選地，所述第一連接柱21位于所述第一支撐盤22上的部分過所述第一支撐盤22的圓心。

另外，在本實施例中，所述第一支撐盤厚度可以為0.2cm，所述第一連接柱21與所述第一支撐盤22為面連接，且至少所述第一連接柱與所述第一支撐盤連接處的厚度為0.1mm，所述第一連接柱21可以選擇為硬質(zhì)材料。

作為示例，所述晶圓載臺還包括：第二連接柱31、第二支撐盤32，且所述第二支撐盤32套至于所述第一支撐盤22的外圍，其中，所述第二卡柱122通過所述第二連接柱31與所述第二支撐盤32相連接，所述控制裝置13與所述第二支撐盤32相連接，適于通過控制所述第二支撐盤32的運動以控制所述第二卡柱122的彈起和復(fù)位。

其中，所述第二支撐盤32為可套置于所述第一支撐盤22外圍的環(huán)形結(jié)構(gòu)，其內(nèi)徑大于或者等于所述第一支撐盤22的直徑。所述第二連接柱31與所述第二支撐盤32的連接方式以及厚度、材質(zhì)等可以與所述第一連接柱21與所述第一支撐盤22的相同，在此不再贅述。

作為示例，所述控制裝置13為按鈕，所述晶圓載臺還包括：第一氣缸23、第二氣缸33、第一電磁閥24、第二電磁閥34，所述第一氣缸23與所述第一支撐盤22相連接，且位于所述第一支撐22盤遠離所述第一卡柱121的一側(cè)，所述第二氣缸33與所述第二支撐盤32相連接，且位于所述第二支撐盤32遠離所述第二卡柱122的一側(cè)，其中，所述按鈕通過所述第一電磁閥24控制所述第一氣缸23以控制所述第一支撐盤22的運動，所述按鈕通過所述第二電磁閥34控制所述第二氣缸33以控制所述第二支撐盤32的運動。

其中，所述第一氣缸23以及所述第二氣缸33可以采用薄型氣缸、稱緊湊型或短行程氣缸。所述第一電磁閥24以及所述第二電磁閥34為CDA(氣動元件氣缸電磁閥)241。在具體實施例中，所述按鈕可以為按鈕開關(guān)。

作為示例，所述第二氣缸包括上部331和下部332，所述下部332的形狀為圓臺狀；其中，所述上部331與所述第二支撐盤32相連接，所述下部332的上表面與所述上部331相連接。

其中，在具體實施方式中，所述第一氣缸23的長度為1-3cm，所述第二氣缸33的上部331的長度為1-3cm，所述第二氣缸33的下部332的高度為0.1-2cm。在本實施例中，所述第一氣缸23的長度為2cm，所述第二氣缸33的上部331的長度為2cm，所述第二氣缸33的下部332的高度為1cm。

作為示例，所述第一卡柱121與所述第二卡柱122分別包括上下兩部分，所述第一卡柱下部1212與所述第一支撐盤22相連接，所述第一卡柱上部1211與所述第一卡柱下部1212相連接，所述第二卡柱下部1222與所述第二支撐盤32相連接，所述第二卡柱上部1221與所述第二卡柱下部1222相連接。

其中，在具體實施方式中，所述第一支柱121的長度為1-2cm，所述第一支柱上部1211長度小于0.4cm；所述第二支柱122長度為0.4-0.6cm，所述第二支柱上部1221長度小于0.4cm；所述第一支柱121和所述第二支柱122的截面的直徑為0.1-0.3cm；所述主體11的厚度為3-5cm。在本實施例中，所述第一卡柱121的長度為1.5cm，所述第一支柱上部1211長度為0.2cm；所述第二支柱122長度為0.5cm，所述第二支柱上部1221長度為0.2cm；所述第一支柱121和所述第二支柱122的截面的直徑為0.2cm。

作為示例，所述控制裝置13包括第一卡柱控制開關(guān)131、第二卡柱控制開關(guān)132、復(fù)位開關(guān)133以及系統(tǒng)啟動開關(guān)134，其中，所述第一卡柱控制開關(guān)131閉合時所述第一卡柱121彈起，所述第二卡柱控制開關(guān)132閉合時所述第二卡柱122彈起，所述復(fù)位開關(guān)133閉合時所述第一卡柱控制開關(guān)131及所述第二卡柱控制開關(guān)132均斷開，所述第一卡柱121和所述第二卡柱122復(fù)位，所述系統(tǒng)啟動開關(guān)134用于所述晶圓載臺的上電啟動。

其中，所述系統(tǒng)啟動開關(guān)134控制所述第一卡柱控制開關(guān)131、所述第二卡柱控制開關(guān)132以及所述復(fù)位開關(guān)133。

作為示例，沿所述主體11周向，并于其表面上開設(shè)有缺口14。

綜上所述，本實用新型提供一種晶圓載臺，用于承載晶圓或料盤，所述晶圓載臺包括：主體，所述主體內(nèi)設(shè)有若干個間隔分布的容置孔；若干個可以彈起和復(fù)位的卡柱，所述卡柱與所述容置孔對應(yīng)設(shè)置，所述卡柱彈起時，所述卡柱的頂部穿過所述容置孔并突出于所述主體的上表面上方；控制裝置，與所述卡柱相連接，適于根據(jù)需要控制對應(yīng)的所述卡柱彈起或復(fù)位。通過上述方案的實施，克服了現(xiàn)有載臺不能同時滿足目檢8寸晶圓、12寸晶圓、帶鋼圈的晶圓、料盤等不同出貨方式的產(chǎn)品，同時，本實用新型提供的晶圓載臺使用時可以固定在顯微鏡上，消除了載臺/托盤不穩(wěn)定的隱患，另外，本實用新型提供的晶圓載臺可以一次性目檢一整個料盤組(十個料盤)，降低了更換料盤時可能造成產(chǎn)品翻落的風(fēng)險，大大提升了目檢效率，同時也解決了顆粒和靜電問題。

上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實用新型的權(quán)利要求所涵蓋。