技術(shù)特征：

1.三點(diǎn)支撐式晶圓加熱裝置，其特征是：它包括加熱盤、膠墊和加熱裝置組成，加熱裝置供熱，膠墊與加熱盤組合用于放置晶圓。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三點(diǎn)支撐式晶圓加熱裝置，其特征是：所述的加熱裝置置于加熱盤下方，為加熱盤供熱，通過螺釘與加熱盤固定，加熱溫度不低于180^oC。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三點(diǎn)支撐式晶圓加熱裝置，其特征是：所述的加熱盤置于加熱裝置上方，加熱盤正面有三個(gè)孔用于放置膠墊，三個(gè)孔位置采用等邊三角形組合，三個(gè)孔距加熱盤中心位置距離相等。