1.一種晶元片多探針檢測(cè)頭，其特征是，包括探針座，所述探針座的上端中心設(shè)有凹腔，所述凹腔底部設(shè)有若干探針定位通孔，所述探針定位通孔內(nèi)設(shè)有探針，所述探針的下端伸出探針座底面，所述凹腔的底面設(shè)有與探針一一對(duì)應(yīng)連接的導(dǎo)電片，所述的導(dǎo)電片與凹腔底面之間螺栓連接，每個(gè)導(dǎo)電片上均設(shè)有導(dǎo)電柱，所述凹腔的內(nèi)壁上設(shè)有環(huán)形階梯面，所述的環(huán)形階梯面上設(shè)有線路板，所述的線路板與導(dǎo)電柱之間電連接，所述凹腔的開口端設(shè)有端蓋，端蓋與凹腔開口端之間螺紋連接，所述端蓋的上側(cè)面中心設(shè)有連接柱；所述探針座的底面中心設(shè)有限位柱。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶元片多探針檢測(cè)頭，其特征是，所述限位柱與探針座之間螺紋連接，所述限位柱的外側(cè)套設(shè)有調(diào)節(jié)套，所述的限位柱為螺柱，所述調(diào)節(jié)套與限位柱之間螺紋連接，所述調(diào)節(jié)套的側(cè)面設(shè)有限位螺栓，所述調(diào)節(jié)套的下端設(shè)有緩沖墊片。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶元片多探針檢測(cè)頭，其特征是，所述凹腔的側(cè)面設(shè)有引線孔，線路板上的數(shù)據(jù)線穿過(guò)引線孔，數(shù)據(jù)線的外端設(shè)有數(shù)據(jù)插頭，所述的引線孔內(nèi)設(shè)有防水套。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的一種晶元片多探針檢測(cè)頭，其特征是，所述端蓋的下側(cè)面邊緣與線路板邊緣處設(shè)有密封圈。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶元片多探針檢測(cè)頭，其特征是，所述的探針與探針定位通孔的內(nèi)壁之間設(shè)有防水膠。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶元片多探針檢測(cè)頭，其特征是，所有探針的檢測(cè)端面為球面，所有探針的檢測(cè)端面共面。