本實用新型涉及有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)、連續(xù)式制造方法、有機膜裝置以及施體基板組，更具體而言，涉及一種利用兩個施體基板和有機膜蒸鍍工序，在元件基板蒸鍍有機膜層，從而確保經(jīng)蒸鍍的有機膜的均勻性，減少有機物的損失，并且縮減工序時間(TACT time)以提高生產(chǎn)性的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)、連續(xù)式制造方法、有機膜裝置以及施體基板組。

背景技術(shù)：

平板顯示裝置中，有機電場發(fā)光顯示裝置的響應速度在1ms以下，具有高響應速度，耗電量低，并且由于自主發(fā)光，沒有視角問題，因此與裝置大小無關地成為優(yōu)秀的動態(tài)影像顯示媒介。此外，能夠在低溫下制作，并且基于現(xiàn)有的半導體工藝技術(shù)，制造工藝簡單，因此作為未來的新一代平板顯示裝置，備受矚目。此外，有機電場發(fā)光顯示裝置中使用的有機膜自主發(fā)光，因此在整個面上蒸鍍多層有機膜后，對上下端施加電場時，可用于OLED照明裝置中。與現(xiàn)有的LED照明是點光源不同，OLED照明是面光源，因此作為新一代照明受到極大的關注。

根據(jù)這種有機電場發(fā)光顯示裝置以及OLED照明的制造工藝中形成有機薄膜時所采用的材料和工序，大致可以分為采用濕式工藝的高分子型元件以及使用蒸鍍工序的低分子型元件。例如，在高分子或者低分子發(fā)光層的形成方法中，當采用噴墨印刷方法時，除發(fā)光層以外的有機層的材料受到限制，還存在需要在基板上形成用于噴墨印刷的結(jié)構(gòu)的麻煩。此外，當通過蒸鍍工序形成發(fā)光層時，會使用額外的金屬掩膜，而隨著平板顯示裝置的大型化，金屬掩膜也需要大型化，此時，隨著金屬掩膜的大型化，發(fā)生下垂現(xiàn)象，因此在制作大型元件方面存在困難。

另一方面，已經(jīng)公開了利用焦耳加熱形成有機發(fā)光層的技術(shù)。該技術(shù)首先將有機發(fā)光層形成在施體基板上，接著將施體基板和元件基本對置，然后 通過焦耳加熱對施體基板進行加熱，從而將形成在施體基板上的有機發(fā)光層蒸鍍到元件基板上。

然而，利用焦耳加熱形成有機發(fā)光層的技術(shù)需要增加施體基板或者元件基板的翻轉(zhuǎn)等不必要的工序，從而增加工序時間(TACT time)。

在先技術(shù)文獻

專利文獻

(專利文獻1)韓國授權(quán)專利公報第10-1405502號(公告日2014年06月27日)

(專利文獻2)韓國授權(quán)專利公報第10-1169002號(公告日2012年07月26日)

(專利文獻3)韓國授權(quán)專利公報第10-1169001號(公開日2012年07月26日)

(專利文獻4)韓國公開專利公報第10-2012-0129507號(公開日2012年11月28日)

技術(shù)實現(xiàn)要素：

所要解決的技術(shù)問題

本實用新型的目的在于，一種利用兩個施體基板向元件基板蒸鍍有機膜的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)、連續(xù)式制造方法、有機膜裝置以及施體基板組，從而處理利用焦耳加熱方式的有機膜蒸鍍工序。

本實用新型的另一目的在于，提供一種有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)、連續(xù)式制造方法、有機膜裝置以及施體基板組，從而確保經(jīng)蒸鍍的有機膜的均勻性，并且減少有機物的損失。

本實用新型的又一目的在于，提供一種有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)、連續(xù)式制造方法、有機膜裝置以及施體基板組，從而縮短工序時間。

解決技術(shù)問題的方案

為了解決上述技術(shù)問題，根據(jù)本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)可以包括：第一涂覆裝置，用于在第一有機物用施體基板涂覆第一有機物；第二涂覆裝置，用于在第二有機物用施體基板涂覆第二有機物；以及蒸鍍裝置，其與所述第一涂覆裝置以及所述第二涂覆裝置相連，對被搬送的所 述第一有機物用施體基板施加電場，從而將所述第一有機物蒸鍍到元件基板上，接著對所述第二有機物用施體基板施加電場，從而將所述第二有機物蒸鍍到所述元件基板上。

此外，根據(jù)本實用新型，所述第一有機物用施體基板可以包括：第一施體基板，設置在所述第一涂覆裝置中，所述第一有機物經(jīng)過一次溶液涂覆被涂覆在該第一施體基板上；第二施體基板，設置在所述蒸鍍裝置中，當對所述第一施體基板施加電場時，使一次溶液涂覆在所述第一施體基板上的所述第一有機物被二次蒸鍍到該第二施體基板上。

此外，根據(jù)本實用新型，可以進一步包括第n涂覆裝置(n是正整數(shù))，用于在第n有機物用施體基板涂覆第n有機物，所述蒸鍍裝置可以與所述第n涂覆裝置相連，對被搬送的所述第n有機物用施體基板施加電場，以對搬送到第n位置的所述元件基板進行蒸鍍，并且進一步包括元件基板搬送裝置，所述元件基板搬送裝置能夠?qū)⑺鲈鍙牡趎位置搬送到第n+1位置。

此外，根據(jù)本實用新型，所述n可以是1至4中的任一整數(shù)，所述第一涂覆裝置包括用于噴涂HIL有機物的HIL涂覆室，所述第二涂覆裝置包括用于噴涂HTL有機物的HTL涂覆室，所述第三涂覆裝置包括用于噴涂EML有機物的EML涂覆室，所述第四涂覆裝置包括用于噴涂ETL有機物的ETL涂覆室。

此外，根據(jù)本實用新型，所述n可以是1至5中的任一整數(shù)，所述第五涂覆裝置包括用于噴涂EIL有機物的EIL涂覆室。

此外，根據(jù)本實用新型，在所述EML涂覆室中，在EML有機物用第一施體基板涂覆EML有機物，所述蒸鍍裝置對通過施體基板搬送裝置搬送的所述EML有機物用第一施體基板施加電場，從而將所述EML有機物蒸鍍到EML有機物用第二施體基板上，并對所述EML有機物用第二施體基板施加電場，從而將所述EML有機物蒸鍍到所述元件基板上。

此外，根據(jù)本實用新型，所述EML有機物用第一施體基板可以以朝上的方式設置在所述EML涂覆室中，由所述施體基板搬送裝置進行水平搬送，所述EML有機物用第二施體基板可以以朝下的方式設置在第一高度上，能夠通過驅(qū)動部下降到第二高度，以便能夠與水平搬送到所述蒸鍍裝置中的所述EML有機物用第一施體基板隔開第一間隔，所述元件基板可以以朝上的方式 設置在所述EML有機物用第二施體基板的下方。

此外，根據(jù)本實用新型，所述EML有機物用第一施體基板可以包括電熱層上未形成有圖案的無圖案型四邊形薄膜層，所述EML有機物用第二施體基板可以包括電熱層上形成有圖案或者電熱層上形成具有圖案的隔壁層的圖案型四邊形薄膜層。

此外，根據(jù)本實用新型，所述第一涂覆裝置可以在第一有機物用第一施體基板涂覆第一有機物，所述蒸鍍裝置可以對通過施體基板搬送裝置搬送的所述第一有機物用第一施體基板施加電場，從而將所述第一有機物蒸鍍到第一有機物用第二施體基板上，并對所述第一有機物用第二施體基板施加電場，從而將所述第一有機物蒸鍍到所述元件基板上。

此外，根據(jù)本實用新型，所述蒸鍍裝置可以包括：蒸鍍室，能夠在其內(nèi)部形成真空環(huán)境；第一供電裝置，設置在所述蒸鍍室的一側(cè)，能夠?qū)λ龅谝皇w基板施加電場；第二供電裝置，設置在所述蒸鍍室的另一側(cè)，能夠?qū)λ龅诙w基板施加電場。

此外，根據(jù)本實用新型，所述蒸鍍室可以是連通式長方形腔室，其前端形成有投入口，后端形成有排出口，沿著長度方向延伸，以使一側(cè)分別與所述第一涂覆裝置和所述第二涂覆裝置相連，內(nèi)部設置有具備連通口的隔板或者門板。

此外，根據(jù)本實用新型，所述第一涂覆裝置可以包括：第一側(cè)方涂覆室，其以所述蒸鍍裝置的長度方向為基準，設置在第一寬度方向上；第二側(cè)方涂覆室，其以所述蒸鍍裝置的所述長度方向為基準，設置在第二寬度方向上。

此外，根據(jù)本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)，可以進一步包括：裝載裝置，用于將所述元件基板裝載到所述蒸鍍裝置的第一位置；卸載裝置，用于從所述蒸鍍裝置卸載所述元件基板；以及控制部，能夠向所述第一涂覆裝置、所述第二涂覆裝置、所述蒸鍍裝置、所述裝載裝置以及所述卸載裝置施加控制信號。

此外，根據(jù)本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)，可以進一步包括：第一電極形成裝置，設置在所述裝載裝置與所述蒸鍍裝置之間，用于在所述元件基板上形成第一電極層。

此外，根據(jù)本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)，可以進一步 包括：第二電極形成裝置，設置在所述蒸鍍裝置與所述卸載裝置之間，用于在所述元件基板上形成第二電極層。

此外，根據(jù)本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)，可以進一步包括：封裝(encapsulation)裝置，設置在所述第二電極形成裝置與所述卸載裝置之間，用于對所述元件基板進行封裝。

此外，根據(jù)本實用新型，所述第一涂覆裝置可以包括：第一涂覆室；噴霧裝置，設置在所述第一涂覆室中，用于向所述第一有機物用施體基板噴涂所述第一有機物；固化裝置，通過烘烤板或者光照射裝置，使涂覆在所述第一有機物用施體基板上的所述第一有機物固化；以及施體基板搬送裝置，用于將所述第一有機物用施體基板搬送到所述蒸鍍裝置中。

此外，根據(jù)本實用新型，所述第一涂覆室可以是進行噴涂后能夠形成真空環(huán)境的加載互鎖室兼噴霧室。

此外，根據(jù)本實用新型，所述噴霧裝置可以是能夠在真空環(huán)境下噴涂所述第一有機物的真空噴霧裝置。

此外，根據(jù)本實用新型，可以在所述蒸鍍裝置與所述第一涂覆裝置之間、或者所述裝載裝置與所述蒸鍍裝置之間設置加載互鎖室。

此外，根據(jù)本實用新型，所述加載互鎖室可以是垂直加載型加載互鎖室，其能夠?qū)⒍鄠€所述元件基板沿著垂直方向加載在托盤上。

此外，根據(jù)本實用新型，可以在所述第一涂覆裝置以及所述蒸鍍裝置中的任意一個以上的裝置上設置有對齊裝置，用于對齊所述第一有機物用第一施體基板或者所述元件基板。

此外，根據(jù)本實用新型，所述對齊裝置可以包括能夠進行多軸對齊的多軸對齊裝置。

另一方面，用于解決上述技術(shù)問題的本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)可以包括：第一涂覆裝置，用于在第一有機物用第一施體基板涂覆第一有機物；第二涂覆裝置，用于在第二有機物用第一施體基板涂覆第二有機物；蒸鍍裝置，其與所述第一涂覆裝置以及所述第二涂覆裝置相連，能夠?qū)νㄟ^施體基板搬送裝置搬送的所述第一有機物用第一施體基板施加電場，從而將所述第一有機物蒸鍍到第一有機物用第二施體基板上，接著能夠?qū)νㄟ^施體基板搬送裝置搬送的所述第二有機物用第一施體基板施加電場， 從而將所述第二有機物蒸鍍到第二有機物用第二施體基板上；裝載裝置，用于將元件基板裝載到所述蒸鍍裝置的第一位置；元件基板搬送裝置，設置在所述蒸鍍裝置中，能夠?qū)⑺鲈鍙乃龅谝晃恢冒崴偷降诙恢?；卸載裝置，用于從所述蒸鍍裝置卸載所述元件基板；以及控制部，能夠向所述第一涂覆裝置、所述第二涂覆裝置、所述蒸鍍裝置、所述裝載裝置、所述元件基板搬送裝置以及所述卸載裝置施加控制信號，所述蒸鍍裝置對所述第一有機物用第二施體基板施加電場，從而將所述第一有機物蒸鍍到位于所述第一位置的元件基板上，并對所述第二有機物用第二施體基板施加電場，從而將所述第二有機物蒸鍍到位于所述第二位置的所述元件基板的所述第一有機物上。

另一方面，用于解決上述技術(shù)問題的本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)可以包括：第一涂覆裝置，用于在第一有機物用第一施體基板涂覆第一有機物；第二涂覆裝置，用于在第二有機物用第一施體基板涂覆第二有機物；蒸鍍裝置，其與所述第一涂覆裝置以及所述第二涂覆裝置相連，能夠?qū)νㄟ^施體基板搬送裝置搬送的所述第一有機物用第一施體基板施加電場，從而將所述第一有機物蒸鍍到第一有機物用第二施體基板上，接著能夠?qū)νㄟ^施體基板搬送裝置搬送的所述第二有機物用第一施體基板施加電場，從而將所述第二有機物蒸鍍到第二有機物用第二施體基板上；元件基板搬送裝置，設置在所述蒸鍍裝置中，能夠?qū)⑺鲈鍙乃龅谝晃恢冒崴偷降诙恢茫灰约翱刂撇?，能夠向所述第一涂覆裝置、所述第二涂覆裝置、所述蒸鍍裝置以及所述元件基板移送裝置施加控制信號，所述蒸鍍裝置對所述第一有機物用第二施體基板施加電場，從而將所述第一有機物蒸鍍到位于所述第一位置的所述元件基板上，并對所述第二有機物用第二施體基板施加電場，從而將所述第二有機物蒸鍍到位于所述第二位置的所述元件基板的所述第一有機物上。

另一方面，用于解決上述技術(shù)問題的本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)可以包括：第一涂覆裝置，用于在第一有機物用施體基板涂覆第一有機物；第二涂覆裝置，用于在第二有機物用施體基板涂覆第二有機物；蒸鍍裝置，其與所述第一涂覆裝置以及所述第二涂覆裝置相連，能夠利用通過施體基板搬送裝置搬送的所述第一有機物用施體基板的焦耳熱，將所述第 一有機物蒸鍍到元件基板上，接著能夠利用通過施體基板搬送裝置搬送的所述第二有機物用施體基板的焦耳熱，將所述第二有機物蒸鍍到所述元件基板上；裝載裝置，用于將元件基板裝載到所述蒸鍍裝置的第一位置；元件基板搬送裝置，設置在所述蒸鍍裝置中，能夠?qū)⑺鲈鍙乃龅谝晃恢冒崴偷降诙恢?；卸載裝置，用于從所述蒸鍍裝置卸載所述元件基板；以及控制部，能夠向所述第一涂覆裝置、所述第二涂覆裝置、所述蒸鍍裝置、所述裝載裝置、所述元件基板搬送裝置以及所述卸載裝置施加控制信號。

另一方面，用于解決上述技術(shù)問題的本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)可包括：涂覆室，在第一有機物用施體基板涂覆第一有機物，并在第二有機物用施體基板涂覆第二有機物；蒸鍍裝置，其與所述涂覆室相連，對所述第一有機物用施體基板施加電場，從而將所述第一有機物蒸鍍到元件基板上，并對所述第二有機物用施體基板施加電場，從而將所述第二有機物蒸鍍到所述元件基板上；裝載裝置，用于將所述元件基板裝載到所述蒸鍍裝置；卸載裝置，用于從所述蒸鍍裝置卸載所述元件基板；以及控制部，能夠向所述涂覆室、所述蒸鍍裝置、所述裝載裝置以及所述卸載裝置施加控制信號。

另一方面，用于解決上述技術(shù)問題的本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)可以包括：第一涂覆裝置，將由混合揮發(fā)性介質(zhì)和第一有機物混合而成的第一液狀體，以平面狀涂覆到第一有機物用第一施體基板上，并使所述揮發(fā)性介質(zhì)揮發(fā)；第二涂覆裝置，將由混合揮發(fā)性介質(zhì)和第二有機物混合而成的第二液狀體，以平面狀涂覆到第二有機物用第一施體基板上，并使所述揮發(fā)性介質(zhì)揮發(fā)；蒸鍍裝置，其與所述第一涂覆裝置以及所述第二涂覆裝置相連，能夠?qū)νㄟ^施體基板搬送裝置搬送的所述第一有機物用第一施體基板施加電場，從而將所述第一有機物以平面狀蒸鍍到第一有機物用第二施體基板上，接著能夠?qū)νㄟ^施體基板搬送裝置搬送的所述第二有機物用第一施體基板施加電場，從而將所述第二有機物以平面狀蒸鍍到第二有機物用第二施體基板上；所述蒸鍍裝置對所述第一有機物用第二施體基板施加電場，從而將所述第一有機物蒸鍍到元件基板上，并對所述第二有機物用第二施體基板施加電場，從而將所述第二有機物蒸鍍到所述元件基板的所述第一有機物上。

另一方面，用于解決上述技術(shù)問題的本實用新型的有機發(fā)光元件的在線制造方法可以包括以下步驟：準備步驟，該準備步驟包括：第一涂覆步驟，在第一有機物用第一施體基板涂覆第一有機物；第二涂覆步驟，在第二有機物用第一施體基板涂覆第二有機物；第一有機物用第二施體基板準備步驟，與第一涂覆裝置以及第二涂覆裝置相連，對通過施體基板搬送裝置搬送的所述第一有機物用第一施體基板施加電場，從而將所述第一有機物蒸鍍到第一有機物用第二施體基板上；以及第二有機物用第二施體基板準備步驟，對通過施體基板搬送裝置搬送的所述第二有機物用第一施體基板施加電場，從而將所述第二有機物蒸鍍到第二有機物用第二施體基板上；裝載步驟，將元件基板裝載到所述蒸鍍裝置的第一位置；第一有機物蒸鍍步驟，對所述第一有機物用第二施體基板施加電場，從而將所述第一有機物蒸鍍到位于所述第一位置的所述元件基板上；元件基板搬送步驟，將所述元件基板從所述第一位置搬送到第二位置；第二有機物蒸鍍步驟，對所述第二有機物用第二施體基板施加電場，從而將所述第二有機物蒸鍍到位于所述第二位置的所述元件基板的所述第一有機物上；以及卸載步驟，從所述蒸鍍裝置卸載所述元件基板。

另一方面，用于解決上述技術(shù)問題的本實用新型的有機膜裝置可以通過所述有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造方法制造。

另一方面，用于解決上述技術(shù)問題的本實用新型的有機發(fā)光元件制造用施體基板組可以包括：第一施體基板，具有：第一基底層；第一電熱層，形成在所述第一基底層上，第一有機物經(jīng)過一次溶液涂覆被涂覆在該第一電熱層上；以及第一導電層，形成在所述第一基底層上，并且與所述第一電熱層電連接，以便對所述第一電熱層施加電場；以及第二施體基板，具有：第二基底層；第二電熱層，形成在所述第二基底層上，與所述第一電熱層對應，當對所述第一施體基板施加電場時，能夠使一次溶液涂覆在所述第一施體基板上的所述第一有機物被二次蒸鍍到該第二電熱層上；以及第二導電層，與所述第二電熱層電連接，以便對所述第二電熱層施加電場。

實用新型效果

如上所述，本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)、連續(xù)式制造方法、有機膜裝置以及施體基板組利用兩個施體基板和元件基板處理有機膜蒸鍍工序，從而能夠確保經(jīng)蒸鍍的有機膜的均勻性，并且防止有機物的損失。

此外，本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)、連續(xù)式制造方法、有機膜裝置以及施體基板組利用兩個施體基板和元件基板處理有機膜蒸鍍工序，因此有利于大型元件的制作，并且能夠縮短工序時間。

此外，本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)、連續(xù)式制造方法、有機膜裝置以及施體基板組通過濕式工藝在施體基板上形成有機膜，從而能夠減少有機物的損失。

此外，本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)、連續(xù)式制造方法、有機膜裝置以及施體基板組以連續(xù)的形式構(gòu)成涂覆室、加載互鎖室以及蒸鍍室，因此容易實現(xiàn)設備，能夠節(jié)約制造成本，并且能夠縮短工序時間。

附圖說明

圖1是示出本實用新型的一實施例涉及的利用焦耳加熱的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)的框圖。

圖2是示出圖1中示出的涂覆裝置的結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖3是示出圖1中示出的蒸鍍裝置的結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖4是示出圖3中示出的蒸鍍裝置中固定部下降而使第一施體基板與第二施體基板配置為隔開一定距離的結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖5是示出圖3中示出的蒸鍍裝置中元件基板通過搬送裝置投入到蒸鍍室中后下降而配置為與第二施體基板隔開一定距離的結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖6是根據(jù)另一實施例示出在圖3中示出的蒸鍍裝置中的蒸鍍室的側(cè)面設有側(cè)面支撐部的結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖7是根據(jù)又一實施例示出在圖3中示出的蒸鍍裝置具備設置在固定臺上的支撐部和中央支撐部的結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖8a是示出圖7中示出的蒸鍍裝置中的中央支撐部的一實施例的俯視圖。

圖8b是示出圖7中示出的蒸鍍裝置中的中央支撐部的另一實施例的俯視圖。

圖9是示出本實用新型的一實施例涉及的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造方法的順序圖。

圖10是示出本實用新型的另一實施例涉及的利用焦耳加熱的有機發(fā)光元 件的連續(xù)式制造系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)的平面配置圖。

圖11是示出圖10中示出的涂覆裝置的結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖12是示出圖10中示出的蒸鍍裝置的結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖13是示出圖12中示出的蒸鍍裝置中固定部下降而使第二施體基板與第一施體基板配置為隔開一定距離并進行一次蒸鍍的結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖14是示出圖13中示出的蒸鍍裝置中元件基板通過搬送裝置投入到蒸鍍室中的結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖15是示出圖14中示出的蒸鍍裝置中第二施體基板下降而配置為與元件基板隔開一定距離并進行二次蒸鍍的結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖16是放大示出圖12中示出的蒸鍍裝置中的第一施體基板的一例的剖視放大圖。

圖17是放大示出圖14中示出的蒸鍍裝置中的第二施體基板的一例的剖視放大圖。

圖18是示出本實用新型的又一實施例涉及的利用焦耳加熱的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)的平面配置圖。

圖19是示出圖12的加載互鎖室的另一例的剖視圖。

圖20是示出圖12的蒸鍍裝置的另一例的剖視圖。

圖21是示出通過本實用新型的一實施例涉及的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造方法制造的有機發(fā)光元件的剖視圖。

圖22是示出本實用新型的另一實施例涉及的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造方法的順序圖。

附圖標記：

100：有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)

102：控制部

110：涂覆裝置

130：加載互鎖室

150：蒸鍍裝置

200、210：施體基板

220：元件基板

具體實施方式

本實用新型的實施例可以變形為各種形式，不應解釋為本實用新型的范圍由以下描述的實施例限定。本實施例的提供旨在向本領域的普通技術(shù)人員更加完整地說明本實用新型。因此附圖中夸大了構(gòu)成要素的形狀等，以強調(diào)更加明確的說明。

下面，參照圖1至圖9，對本實用新型的實施例進行詳細說明。

圖1是示出本實用新型涉及的利用焦耳加熱的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)的框圖，圖2是示出圖1中示出的涂覆裝置的結(jié)構(gòu)的剖視圖，圖3是示出圖1中示出的蒸鍍裝置的結(jié)構(gòu)的剖視圖，圖4是示出圖3中示出的蒸鍍裝置中固定部下降而使第一施體基板與第二施體基板配置為隔開一定距離的結(jié)構(gòu)的剖視圖，圖5是示出圖3中示出的蒸鍍裝置中元件基板通過搬送裝置投入到蒸鍍室中后下降而配置為與第二施體基板隔開一定距離的結(jié)構(gòu)的剖視圖，圖6是根據(jù)另一實施例示出在圖3中示出的蒸鍍裝置中的蒸鍍室的側(cè)面設有側(cè)面支撐部的結(jié)構(gòu)的剖視圖，圖7是根據(jù)又一實施例示出在圖3中示出的蒸鍍裝置具備設置在固定臺上的支撐部和中央支撐部的結(jié)構(gòu)的剖視圖，圖8a是示出圖7中示出的蒸鍍裝置中的中央支撐部的一實施例的俯視圖，圖8b是示出圖7中示出的蒸鍍裝置中的中央支撐部的另一實施例的俯視圖。

參照圖1，本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)100在制作大型的有機電場發(fā)光顯示裝置(Organic Light Emitting Device:OLED)以及OLED照明基板時，為了確保有機膜的均勻性，減少有機物損失，并且縮短工序時間，例如，處理焦耳加熱方式的有機膜蒸鍍工序，其利用玻璃、陶瓷或者塑料材料的第一及第二施體基板在元件基板蒸鍍有機膜。

為此，本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)100包括：涂覆裝置110，用于在第一施體基板200涂覆有機膜；加載互鎖室130，用于將涂覆有有機物的第一施體基板200投入到蒸鍍裝置150中，或者從蒸鍍裝置150中排出所述第一施體基板200；蒸鍍裝置150，用于采用焦耳加熱方式，通過第二施體基板210，將涂覆在第一施體基板200上的有機膜蒸鍍到元件基板220上；以及控制部102，用于對有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)100的相關動作的處理進行控制。

例如，控制部102由筆記本電腦、個人電腦、觸摸面板以及可編程邏輯控制器(PLC)等構(gòu)成，其控制涂覆裝置110、加載互鎖室130以及蒸鍍裝置150以處理有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)100的相關動作。關于這種控制部102的內(nèi)容，將在圖9中詳細說明。

此外，在本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)100中，在涂覆裝置110、加載互鎖室130以及蒸鍍裝置150之間設有搬送裝置(未圖示)，用于搬送第一施體基板200、第二施體基板210。搬送裝置可以包括傳送帶、搬送機器人等。

此外，有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)100中還可以設有：濕式或者干式方式的清洗裝置(未圖示)，用于除去已在元件基板220完成有機膜蒸鍍的第一施體基板200上殘留的有機物；干燥裝置(未圖示)，用于對清洗的第一施體基板200進行干燥。

其中，在第一及第二施體基板上形成有導電膜，從而在后續(xù)的蒸鍍工序中能夠產(chǎn)生焦耳熱。例如，導電膜由金屬或者金屬合金形成，其形狀與沉積在元件基板上的有機膜圖案的形狀相同。這種導電膜用于對電極施加電場以產(chǎn)生焦耳熱，使有機膜通過所產(chǎn)生的焦耳熱蒸發(fā)，從而將有機膜蒸鍍到第二施體基板或者元件基板上。

具體參照圖2，例如，為了能夠減少工序時間以及工序成本，涂覆裝置110通過利用例如噴頭、旋轉(zhuǎn)噴嘴等的濕式工藝涂覆有機膜。本實施例的涂覆裝置110包括涂覆室112、工作臺116、至少一個噴頭118以及有機物供給裝置120。

涂覆室112形成內(nèi)部空間，在該內(nèi)部空間內(nèi)對投入到內(nèi)部的第一施體基板200涂覆有機膜。涂覆室112的一側(cè)設有開閉的門114，另一側(cè)設有在加載互鎖室130之間開閉的第一門132。通過門114，將第一施體基板200投入到涂覆室112中。涂覆室112的下部配置有安放第一施體基板200的工作臺116，上部配置有噴頭118。為了在第一施體基板200上涂覆有機膜，涂覆室112被門114以及加載互鎖室130的第一門132密閉，并在其內(nèi)部形成氮氣氛圍。

工作臺116用于安放投入到涂覆室112中的第一施體基板200。例如，工作臺116由真空卡盤、靜電卡盤或者花崗巖平板等構(gòu)成，以安放并固定大型的第一施體基板200。

噴頭118形成為噴霧式，為了在涂覆室112內(nèi)部對安放在工作臺116上的第一施體基板200的表面涂覆有機物而噴射有機物。根據(jù)第一施體基板200的大小，第一施體基板200的上部設置至少一個噴頭118。

并且，有機物供給裝置120向噴頭118供給有機物。此外，涂覆裝置110中可以設有回收裝置(未圖示)，用于將在第一施體基板200涂覆有機膜之后剩余的有機物回收到有機物供給裝置120中。為了便于說明，以采用噴頭的噴涂裝置進行了說明，然而也可以是基于旋轉(zhuǎn)涂覆等公知的濕式工藝的涂覆裝置。

這種涂覆裝置110在將第一施體基板200投入到涂覆室112中并安放到工作臺116上之后，從有機物供給裝置120向噴頭118供給有機物，并從噴頭118將有機物噴射到第一施體基板200上。被噴射的有機物沉積在第一施體基板200上，從而涂覆有機膜。此時，涂覆在第一施體基板200上的有機膜的厚度只需能夠充分地覆蓋形成在第一施體基板200上的導電膜即可。這是因為，在后續(xù)工序的蒸鍍裝置150中，通過對施加到第一施體基板200的電極的電場施加條件進行控制，就能夠?qū)φ翦冊谠?圖4的220)上的有機膜的厚度進行調(diào)節(jié)。如此涂覆有有機膜的第一施體基板200通過搬送裝置搬送到加載互鎖室130中。

如圖3所示，加載互鎖室130包括：第一門132，設置在一側(cè)，用于從涂覆裝置110接收第一施體基板200；第二門134，設置在另一側(cè)，用于將第一施體基板200投入到蒸鍍裝置150中或者從蒸鍍裝置150中排出第一施體基板200。由此，加載互鎖室130將涂覆有有機膜的第一施體基板200投入到蒸鍍裝置150中，或者排出將有機物蒸鍍到第二施體基板210上的第一施體基板200。

并且，參照圖3至圖5，蒸鍍裝置150利用第一及第二施體基板，在元件基板蒸鍍有機膜。本實施例的蒸鍍裝置150包括蒸鍍室152、固定臺154、固定部156、驅(qū)動部158、供電裝置160。

蒸鍍室152形成內(nèi)部空間，在該內(nèi)部空間中采用焦耳加熱方式，將有機膜從投入到加載互鎖室130中的第一施體基板200蒸鍍到第二施體基板210上，并采用焦耳加熱方式，將有機膜從第二施體基板210蒸鍍到元件基板220上。在蒸鍍室152的一側(cè)配置有加載互鎖室130的第二門134，用于投入并排 出第一施體基板200，另一側(cè)設有門162，用于投入并排出元件基板220。

此外，下部設有用于固定第二施體基板210的固定臺154，從而將第二施體基板210固定并置于所述固定臺154上。

另一方面，當投入第一施體基板200時，通過加載互鎖室130的第二門134和門162，將蒸鍍室152的內(nèi)部空間形成為真空氛圍。在蒸鍍室152中，第二施體基板210被固定并置于下部的固定臺154上的狀態(tài)下，上部固定有第一施體基板200的固定部156進行升降，以使第一施體基板200與第二施體基板配置為隔開最小限度的一定距離d。通過第二門134和門162對這種蒸鍍室152進行密閉。

固定臺154設置在蒸鍍室152的下部，用于安放并固定第二施體基板210。此時，第二施體基板210在進行本實用新型涉及的利用焦耳加熱的有機膜蒸鍍工序時，發(fā)揮將涂覆在第一施體基板200上的有機膜蒸鍍到元件基板220上的媒介的功能。

固定部156設置在蒸鍍室152的上部，呈下部末端的一部分折彎的形狀，以便固定從加載互鎖室130投入的第一施體基板200，并且為了處理有機膜蒸鍍工序，通過驅(qū)動部158進行升降，從而使第一施體基板200與第二施體基板210之間保持最小限度的一定距離。

此時，固定部156并非局限于如上所述的、下部末端的一部分折彎以便承載第一施體基板200的形狀，只要能夠固定第一施體基板200并進行升降，就不局限于特定形狀，也可以使用靜電卡盤等卡盤來從上部固定第一施體基板200。

當完成將有機膜從第一施體基板200蒸鍍到第二施體基板210上的工序時，第一施體基板200上升，然后通過第二門134從蒸鍍室152排出，并通過第一門132再次投入到涂覆裝置112中。

第一施體基板200從蒸鍍室152排出后，元件基板220通過搬送裝置170，從蒸鍍室152的門162投入到蒸鍍室152中，然后通過搬送裝置170進行下降，從而位于與蒸鍍有機膜的第二施體基板210保持最小限度的一定距離d之處。作為搬送裝置170，可以使用諸如機械臂的常規(guī)的搬送裝置。

此時，為了精確地保持第二施體基板210和元件基板220之間的最小距離d，如圖6所示，可以在蒸鍍室152的側(cè)面設置側(cè)面支撐部164。

此外，大面積的元件基板220有可能發(fā)生基板中心部的下垂，因此，如圖7所示，也可以具備固定在蒸鍍室152的下部，朝向下部工作臺154的側(cè)面上部凸出并且末端的一部分被折彎的下部支撐部166。此時，可以在固定工作臺154的上部設置一個以上的中央支撐部168。如圖8a及圖8b所示，中央支撐部168設置在第二施體基板210所處的區(qū)域之外，可以構(gòu)成為形態(tài)連續(xù)的凸出部，也可以以鑷子形式彼此隔開地設置多個。

驅(qū)動部158結(jié)合于蒸鍍室152的上部，通過控制部102的控制，使固定有第一施體基板的固定部156和元件基板220搬送用搬送裝置170上下移動。

并且，供電裝置160進行供電，以對第一施體基板200或者第二施體基板210的電極施加電場。為此，供電裝置160接觸形成在第一施體基板200以及第二施體基板210上的導電膜，從而施加電場。此時，可以根據(jù)導電膜的電阻、長度、厚度等各種因素確定電場施加條件。本實施例中施加的電流可以是直流或者交流，施加的電場可以是約1kW/cm²至1000kW/cm²，施加一次電場的時間可以約在1/1000000～100秒以內(nèi)。

如圖3所示，這種蒸鍍裝置150首先在將涂覆有有機膜的第一施體基板200從加載互鎖室130投入到蒸鍍室152中后，將第一施體基板200置于固定部156上并進行固定。蒸鍍裝置150通過驅(qū)動部158，使固定在固定部156上的第一施體基板200下降，以接近或遠離位于固定臺154上的第二施體基板210一定距離，然后由供電裝置160向第一施體基板200供電，從而對第一施體基板200施加電場。由此，涂覆在第一施體基板200上的有機膜被進行焦耳加熱，從而在第二施體基板210上蒸鍍有機膜。即，當對第一施體基板200施加電場時，形成在第一施體基板200上的導電膜上產(chǎn)生焦耳熱，所產(chǎn)生的焦耳熱傳遞到形成在第一施體基板200上部的有機膜，通過所傳遞的焦耳熱，形成在存在導電膜的部分的有機膜進行蒸發(fā)而轉(zhuǎn)印到第二施體基板210上，從而在第二施體基板210上蒸鍍有機膜。

此外，蒸鍍裝置150在將有機膜蒸鍍到第二施體基板210上后，通過驅(qū)動部158上升固定部156，以使第二施體基板210與第一施體基板200隔開，然后將第一施體基板200排出到加載互鎖室130。

該工序結(jié)束后，如圖5所示的蒸鍍裝置150，搬送裝置170通過門162將元件基板220投入到蒸鍍室152中，然后元件基板220下降以與第二施體基 板210保持一定間隔。

此外，蒸鍍裝置150由供電裝置160向第二施體基板210供電，以對第二施體基板210施加電場，由此將蒸鍍在第二施體基板210上的有機膜轉(zhuǎn)印到元件基板220上，從而在元件基板220上蒸鍍有機膜。同樣，在此對第二施體基板210施加電場時，形成在第二施體基板210上的導電膜上產(chǎn)生焦耳熱，所產(chǎn)生的焦耳熱傳遞到形成在第二施體基板210上部的有機膜，由此使形成在第二施體基板210上存在導電膜的部分的有機膜蒸發(fā)，以使有機膜蒸鍍到元件基板220上，從而完成通過焦耳加熱對于一個元件基板220的有機膜蒸鍍工序。

接著，蒸鍍裝置150通過搬送裝置170使蒸鍍有有機膜的元件基板220上升后，從蒸鍍室152排出，并通過加載互鎖室130投入另一個第一施體基板200，由此反復處理上述的有機膜蒸鍍工序。此外，對于完成有機膜蒸鍍工序而從蒸鍍裝置150排出的第一施體基板200，通過清洗裝置以及干燥裝置而被清洗以及干燥。

本實施例中說明的結(jié)構(gòu)為，在蒸鍍裝置150中，通過蒸鍍室152上部的固定部156固定或者通過搬送裝置170移動第一施體基板200或者元件基板220，并且將第二施體基板210配置在固定臺155上，然而只要是第一施體基板200或者元件基板220與第二施體基板210對置的結(jié)構(gòu)，可以變更以及變形為各種形式。

此外，在本實施例中，驅(qū)動第一施體基板200或者元件基板220使其上下移動以接近第二施體基板，然而作為另一例，移動第二施體基板210使其能夠接近第一施體基板200或者元件基板220也是顯而易見的。

如上所述，本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)100通過焦耳加熱方式，利用第一施體基板200以及第二施體基板210，將有機膜蒸鍍到元件基板220上，并且反復地進行這種處理，從而能夠減少有機物的損失，并且能夠縮短工序時間。

繼續(xù)，圖9是示出本實用新型涉及的利用焦耳加熱的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)的有機膜蒸鍍順序的流程圖。該順序是有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)100進行處理的利用焦耳加熱的有機膜蒸鍍工序，通過有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)100的控制部102的控制進行處理。

參照圖9，本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)100，首先在步驟S300中，涂覆裝置110在形成有導電膜的第一施體基板200涂覆有機膜。本實施例中，通過噴頭118向第一施體基板200供給有機物以涂覆有機膜。利用搬送裝置將涂覆有有機膜的第一施體基板200搬送到加載互鎖室130中。

在步驟S310中，從加載互鎖室130將涂覆有有機膜的第一施體基板200投入到蒸鍍裝置150中。被投入的第一施體基板200以與安放在固定臺154上的第二施體基板210對置的方式，固定并配置在固定部156上。并且，通過驅(qū)動部158，朝固定臺154的方向移動固定部156，以使第一施體基板200接近第二施體基板210。

在步驟S320中，由供電裝置160向第一施體基板200供電，從而對第一施體基板200的導電膜施加電場。在步驟S330中，涂覆在被施加電場的第一施體基板200上的有機膜轉(zhuǎn)印到第二施體基板210上，從而蒸鍍有機膜。在步驟S340中，在第二施體基板210上蒸鍍有機膜后，將第一施體基板搬送到加載互鎖室并排出。

在步驟S350中，利用搬送裝置170，將元件基板220投入到蒸鍍裝置150中。此時，以與安放在固定臺154上的第二施體基板210對置的方式，固定并配置被投入的元件基板220。然后，控制驅(qū)動部158，朝固定臺154的方向移動搬送裝置170，從而使元件基板220接近第二施體基板210。

在步驟S360中，由供電裝置160向第二施體基板210供電，以對第二施體基板210的導電膜施加電場。在步驟S370中，蒸鍍在被施加了電場的第二施體基板210上的有機膜轉(zhuǎn)印到元件基板220上，從而蒸鍍有機膜。接著在步驟S380中，從蒸鍍裝置150排出蒸鍍有有機膜的元件基板220。

并且，通過加載互鎖室130投入另一個第一施體基板200，從而反復處理上述的有機膜蒸鍍工序步驟S300～S380。

圖10是示出本實用新型的另一實施例涉及的利用焦耳加熱的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)的平面配置圖，圖11是示出圖10中示出的涂覆裝置的結(jié)構(gòu)的剖視圖，圖12是示出圖10中示出的蒸鍍裝置的結(jié)構(gòu)的剖視圖，圖13是示出圖12中示出的蒸鍍裝置中固定部下降而使第二施體基板與第一施體基板配置為隔開一定距離并進行一次蒸鍍的結(jié)構(gòu)的剖視圖，圖14是示出圖13中示出的蒸鍍裝置中元件基板通過搬送裝置投入到蒸鍍室中的結(jié) 構(gòu)的剖視圖，圖15是示出圖14中示出的蒸鍍裝置中第二施體基板下降而配置為與元件基板隔開一定距離并進行二次蒸鍍的結(jié)構(gòu)的剖視圖。

下面，參照圖10至圖15，對本實用新型的實施例進行詳細說明。

參照圖10，本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)400可以包括涂覆裝置110以及蒸鍍裝置150，所述涂覆裝置110包括第一涂覆裝置110-1、第二涂覆裝置110-2、第三涂覆裝置110-3、第四涂覆裝置110-4以及第五涂覆裝置110-5。

例如，所述第一涂覆裝置110-1是在第一有機物用施體基板DS1涂覆第一有機物1-1的裝置，所述第二涂覆裝置110-2是在第二有機物用施體基板DS1涂覆第二有機物1-2的裝置，所述第三涂覆裝置110-3是在第三有機物用施體基板DS1涂覆第三有機物1-3的裝置，所述第四涂覆裝置110-4是在第四有機物用施體基板DS1涂覆第四有機物1-4的裝置，所述第五涂覆裝置110-5是在第五有機物用施體基板DS1涂覆第五有機物1-5的裝置。

此外，例如，所述第一涂覆裝置110-1可以包括：第一側(cè)方涂覆室110-1a，其以所述蒸鍍裝置150的長度方向為基準，設置在第一寬度方向上；以及第二側(cè)方涂覆室110-1b，其以所述蒸鍍裝置150的所述長度方向為基準，設置在第二寬度方向上。

由此，根據(jù)在所述涂覆裝置110中涂覆所需的時間相對長而在所述蒸鍍裝置150中蒸鍍所需的時間相對短，從兩個方向接收被涂覆的施體基板，從而能夠提高生產(chǎn)性，并且縮短工序時間(TACT time)。

此外，例如，本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)400可以進一步包括：裝載裝置LD，用于將所述元件基板220裝載到所述蒸鍍裝置的第一位置；卸載裝置UD，用于從所述蒸鍍裝置卸載所述元件基板220；以及控制部102，能夠?qū)灿嬍畟€的所述涂覆裝置110、所述蒸鍍裝置150、所述裝載裝置LD以及所述卸載裝置UD施加控制信號。

然而，這種所述涂覆裝置110并非局限于五種共計十個的涂覆裝置，還可以包括n種涂覆裝置，即，用于在第n有機物用施體基板涂覆第n有機物的第n涂覆裝置(n是正整數(shù))。

圖11是示出圖10中示出的涂覆裝置的結(jié)構(gòu)的剖視圖，圖12是示出圖10中示出的蒸鍍裝置的結(jié)構(gòu)的剖視圖。

如圖12所示，所述蒸鍍裝置150可以與所述第n涂覆裝置相連，并對所述第n有機物用施體基板施加電場，以在被搬送到第n位置的所述元件基板220進行蒸鍍，本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)400可以進一步包括元件基板搬送裝置170，用于將所述元件基板220從第n位置搬送到第n+1位置。

舉更加具體的示例，所述n可以包括1至5中的任意一個以上，所述第一涂覆裝置110-1可以包括用于噴涂HIL有機物(HIL)的HIL涂覆室，所述第二涂覆裝置110-2可以包括用于噴涂HTL有機物(HTL)的HTL涂覆室，所述第三涂覆裝置110-3可以包括用于噴涂EML有機物(EML)的EML涂覆室，所述第四涂覆裝置110-4可以包括用于噴涂ETL有機物(ETL)的ETL涂覆室，所述第五涂覆裝置110-5可以包括用于噴涂EIL有機物(EIL)的EIL涂覆室。其中，所述HIL有機物(HIL)、所述HTL有機物(HTL)、所述EML有機物(EML)、所述ETL有機物(ETL)以及所述EIL有機物(EIL)是構(gòu)成有機發(fā)光元件的有機物，可以采用這些組合中的任意一種以上，各技術(shù)思想都是公知的，因此省略詳細說明。

圖21是示出通過本實用新型的一實施例涉及的有機發(fā)光元件的連續(xù)式連續(xù)式制造系統(tǒng)制造的有機發(fā)光元件的剖視圖。

因此，如圖21所示，通過本實用新型的一實施例涉及的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)500制造的有機膜裝置1000可以從下開始按照所述HIL有機物(HIL)、所述HTL有機物(HTL)、所述EML有機物(EML)、所述ETL有機物(ETL)以及所述EIL有機物(EIL)的順序沉積，由此能夠執(zhí)行有機發(fā)光作用。

此外，例如，只有所述EML有機物(EML)使用兩個施體基板，其余有機物可以分別使用一個施體基板進行蒸鍍，在這種情況下，可以在所述EML涂覆室中，在EML有機物用第一施體基板200涂覆EML有機物(EML)，所述蒸鍍裝置150可以對通過施體基板搬送裝置180搬送的所述EML有機物用第一施體基板200施加電場，從而將所述EML有機物(EML)蒸鍍到EML有機物用第二施體基板210上，并向所述EML有機物用第二施體基板210施加電場，從而將所述EML有機物(EML)蒸鍍到所述元件基板220上。

圖13是示出圖12中示出的蒸鍍裝置中固定部下降而使第二施體基板與 第一施體基板配置為隔開一定距離并進行第一次蒸鍍的結(jié)構(gòu)的剖視圖。圖14是是示出圖13中示出的蒸鍍裝置中，元件基板通過搬送裝置被投入到蒸鍍室中的結(jié)構(gòu)的剖視圖。圖15是示出圖14中示出的蒸鍍裝置中第二施體基板下降以與元件基板隔開一定距離配置并進行第二次蒸鍍的結(jié)構(gòu)的剖視圖。

如圖11至圖15所示，所述EML有機物用第一施體基板200可以以朝上的方式設置在所述EML涂覆室中，能夠由所述施體基板搬送裝置180進行水平搬送，所述EML有機物用第二施體基板210可以以朝下的方式設置在第一高度H1上，能夠通過驅(qū)動部158下降到第二高度H2，以便能夠與水平搬送到所述蒸鍍裝置150中的所述EML有機物用第一施體基板200隔開第一間隔d，所述元件基板220可以以朝上的方式設置在所述EML有機物用第二施體基板210的下方。

圖16是放大示出圖12中示出的蒸鍍裝置中的第一施體基板的一例的剖視放大圖。圖17是放大示出圖14中示出的蒸鍍裝置中的第二施體基板的一例的剖視放大圖。

其中，如圖16所示，所述EML有機物用第一施體基板200可以包括電熱層203上未形成有圖案的無圖案型四邊形薄膜層，并且如圖17的放大部分中所示，所述EML有機物用第二施體基板210可以包括電熱層203上形成有圖案或者電熱層203上形成具有圖案的隔壁層W的圖案型四邊形薄膜層。

此外，所有的有機物都可以分別使用兩個施體基板進行蒸鍍，例如，所述第一有機物用施體基板DS1可以包括：第一施體基板200，設置在所述第一涂覆裝置110-1中，所述第一有機物1-1經(jīng)過一次溶液涂覆被涂覆在該第一施體基板200上；第二施體基板210，設置在所述蒸鍍裝置150中，當對所述第一施體基板200施加電場時，使一次溶液涂覆在所述第一施體基板200上的所述第一有機物1-1被二次蒸鍍到該第二施體基板210上。

因此，如圖11至圖15所示，所述第一涂覆裝置110-1可以將由揮發(fā)性介質(zhì)和第一有機物1-1混合而成的第一液狀體，以平面狀涂覆到第一有機物用第一施體基板200上，所述蒸鍍裝置150可以對通過施體基板搬送裝置180搬送的所述第一有機物用第一施體基板200施加電場，從而能夠?qū)⑺龅谝挥袡C物1-1蒸鍍到第一有機物用第二施體基板210上，并對所述第一有機物用第二施體基板210施加電場，從而能夠?qū)⑺龅谝挥袡C物1-1蒸鍍到所述元件基 板220上。

此外，所述第二涂覆裝置110-2可以將由揮發(fā)性介質(zhì)和第二有機物1-2混合而成的第一液狀體，以平面狀涂覆到第二有機物用第一施體基板200上，所述蒸鍍裝置150可以對通過施體基板搬送裝置180搬送的所述第二有機物用第一施體基板200施加電場，從而能夠?qū)⑺龅诙袡C物1-2蒸鍍到第二有機物用第二施體基板210上，并對所述第二有機物用第二施體基板210施加電場，從而能夠?qū)⑺龅诙袡C物1-2蒸鍍到所述元件基板220的第一有機物1-1上。

此外，本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)400中，在各涂覆裝置110、加載互鎖室130以及蒸鍍裝置150之間設有用于搬送第一施體基板200、第二施體基板210的搬送裝置(未圖示)。作為搬送裝置，可以采用利用滾軸、傳送帶、傳送鏈或者傳送線等的傳送裝置、搬送臂、搬送機器人等。

具體參照圖11，為了能夠減少工序時間以及工序成本，例如，涂覆裝置110包括：噴霧裝置，其具有至少一個噴頭118a以及有機物供給裝置120；涂覆室112；固化裝置119；以及施體基板搬送裝置117。

例如，所述第一涂覆裝置110-1可以包括：第一涂覆室112；噴霧裝置118a，設置在所述第一涂覆室112中，用于對所述第一有機物用施體基板DS1噴涂所述第一有機物1-1；固化裝置119，通過烘烤板或者光照射裝置，使涂覆在所述第一有機物用施體基板DS1上的所述第一有機物1-1固化；以及施體基板搬送裝置180，用于將所述第一有機物用施體基板DS1搬送到所述蒸鍍裝置150中。

其中，所述第一涂覆室112可以是進行噴涂后能夠形成真空環(huán)境的加載互鎖室兼噴霧室。

此外，所述噴霧裝置118a可以是能夠在真空環(huán)境下噴涂所述第一有機物1-1的真空噴霧裝置。

施體基板搬送裝置117上可以設置可伸縮的多段搬送臂。然而，并非一定局限于此，也可以采用利用滾軸、傳送帶、傳送鏈或者傳送線等的傳送裝置、搬送臂、搬送機器人等。

涂覆室112形成內(nèi)部空間，用于在投入到內(nèi)部的第一施體基板200涂覆有機膜1。涂覆室112的一側(cè)設有開閉的門114，另一側(cè)設有在加載互鎖室130 之間開閉的第一門132。通過門114，將第一施體基板200投入到涂覆室112中。涂覆室112的下部配置有安放第一施體基板200的施體基板搬送裝置117，上部配置有可通過前進后退驅(qū)動裝置進行往返運動的噴頭118a。為了在第一施體基板200上涂覆有機膜1，涂覆室112被門114以及加載互鎖室130的第一門132密閉，并在其內(nèi)部形成氮氣氛圍。

施體基板搬送裝置117中可以設有安放臺，用于安放投入到涂覆室112中的第一施體基板200。例如，這種安放臺由真空卡盤、靜電卡盤或者花崗巖平板等構(gòu)成，以便安放并固定大型的第一施體基板200。

噴頭118a形成為噴霧式，為了在涂覆室112內(nèi)部對安放在工作臺上的第一施體基板200的表面涂覆有機膜1而噴射有機物。除了噴霧嘴之外，這種噴頭118a也可以是噴墨方式的噴嘴。

并且，有機物供給裝置120向噴頭118a供給有機物。此外，涂覆裝置110中可以設有回收裝置(未圖示)，用于將在第一施體基板200涂覆有機膜之后剩余的有機物回收到有機物供給裝置120中。為了便于說明，以采用噴頭的噴涂裝置進行了說明，然而也可以是基于旋轉(zhuǎn)涂覆等公知的濕式工藝的涂覆裝置。

此外，固化裝置119用于使揮發(fā)性介質(zhì)從混合有機物和揮發(fā)性介質(zhì)的混合物中揮發(fā)，從而使第一施體基板200上的有機膜1固化，可以采用烘烤板或者光照射裝置。

這種涂覆裝置110在將第一施體基板200投入到涂覆室112后，由有機物供給裝置120向噴頭118a供給有機物，并由噴頭118a向第一施體基板200噴射有機物。噴射的有機物沉積在第一施體基板200上，從而涂覆有機膜1。接著，涂覆有有機膜1的第一施體基板200通過施體基板搬送裝置117，經(jīng)過能夠?qū)崿F(xiàn)真空環(huán)境的加載互鎖室130之后，被搬送到蒸鍍裝置150中。

參照圖12至圖15，蒸鍍裝置150利用第一施體基板200以及第二施體基板210，在元件基板220蒸鍍有機膜1。本實施例中的蒸鍍裝置150包括蒸鍍室152、固定臺154、固定部156、驅(qū)動部158、第一供電裝置160-1以及第二供電裝置160-2。

其中，所述第一供電裝置160-1是設置在所述蒸鍍室152的一側(cè)并且能夠?qū)λ龅谝皇w基板200施加電場的裝置，所述第二供電裝置160-2是設置在 所述蒸鍍室152的另一側(cè)并且能夠?qū)λ龅诙w基板210施加電場的裝置。

這種所述第一供電裝置160-1以及所述第二供電裝置160-2可以合并為一個供電裝置。

如圖12所示，蒸鍍室152形成內(nèi)部空間，在所述內(nèi)部空間中采用焦耳加熱方式，將有機膜1從投入到加載互鎖室130中的第一施體基板200蒸鍍到第二施體基板210上，并采用焦耳加熱方式，將有機膜1從第二施體基板210蒸鍍到元件基板220上，如圖10所示，蒸鍍室152可以是連通式長方形腔室，其前端形成有投入口，后端形成有排出口，沿著長度方向延伸，以使一側(cè)分別與多個涂覆裝置110相連，內(nèi)部設置有具備連通口的隔板或者門板G。

在蒸鍍室152的一側(cè)配置有用于投入并排出第一施體基板200的加載互鎖室130的第二門134，另一側(cè)設有用于投入元件基板220的投入口以及用于排出元件基板220的排出口。

此外，上部設有用于固定第二施體基板210的固定部156，以便將第一施體基板200固定并置于所述頂桿L上。

另一方面，投入第一施體基板200后，通過加載互鎖室130的第二門134和門162，將蒸鍍室152的內(nèi)部空間形成為真空環(huán)境。如圖13所示，在蒸鍍室152，所述第一施體基板200與所述供電裝置160電連接，在上部，固定有第二施體基板210的固定部156進行升降，以使第二施體基板210與第一施體基板200之間隔開最小限度的規(guī)定距離d，使得在下部，第一施體基板200以安放在頂桿L的狀態(tài)與通過作動機構(gòu)A能夠升降的盤P電連接。通過第二門134和門162對這種蒸鍍室152進行密閉。

第一施體基板200安放并固定在位于蒸鍍室152的下部的頂針L上。此時，第二施體基板210在進行本實用新型涉及的利用焦耳加熱的有機膜蒸鍍工序時，發(fā)揮將涂覆在第一施體基板200上的有機膜1蒸鍍到元件基板220上的媒介的功能。

固定部156設置在蒸鍍室152的上部，用于固定第二施體基板210，通過螺栓或螺絲等，與所述第二施體基板210可拆裝地組裝，以便使所述第二施體基板210能夠通過盤P與所述供電裝置160電連接于。

此外，為了處理有機膜蒸鍍工序，固定部156通過驅(qū)動部158進行升降，以使第一施體基板200和第二施體基板210之間保持最小限度的一定距離。

此時，固定部156可以使用靜電卡盤、真空卡盤或者磁鐵等卡盤來從上部固定第二施體基板210。

接著，如圖13所示，當完成將有機膜從第一施體基板200蒸鍍到第二施體基板210上的工序后，第一施體基板200通過第二門134從蒸鍍室152排出，并通過第一門132再次投入到涂覆裝置112中。

接著，如圖14所示，當?shù)谝皇w基板200從蒸鍍室152排出后，元件基板220可以通過元件基板搬送裝置170，從蒸鍍室152的門162投入到蒸鍍室152中。

其中，關于所述元件基板搬送裝置170，圖14中示出了利用滾軸的傳送裝置，然而并非一定局限與此，可以采用利用滾軸、傳送帶、傳送鏈或者傳送線等的各種傳送裝置、搬送臂、搬送機器人等。同時，這種所述元件基板搬送裝置170還可以包括收容元件基板220的搬送車或者托盤等。

接著，如圖15所示，使元件基板220與蒸鍍有有機膜1的第二施體基板210保持最小限度的一定距離d。此時，驅(qū)動部158結(jié)合于蒸鍍室152的上部，通過控制部102的控制，將固定有第二施體基板210的固定部156上下移動。

接著，由供電裝置160向第二施體基板210供電，以對第二施體基板210施加電場，由此將蒸鍍在第二施體基板210上的有機膜轉(zhuǎn)印到元件基板220上，從而在元件基板220上蒸鍍有機膜。

本實施例中說明的結(jié)構(gòu)為，在蒸鍍裝置150中，將第一施體基板200或者元件基板220配置在蒸鍍室152的下部，并將第二施體基板210配置在上部，然而只要是第一施體基板200或者元件基板220與第二施體基板210對置的結(jié)構(gòu)，可以變更以及變形為各種形式。

此外，在本實施例中，驅(qū)動第二施體基板210使其上下移動以接近第一施體基板200或者元件基板220，然而作為另一例，移動第一施體基板200或者元件基板220以使其能夠接近，也是顯而易見的。

如上所述，本實用新型的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)100、300，通過焦耳加熱方式，利用第一施體基板200以及第二施體基板210，將有機膜蒸鍍到元件基板220上，并且反復地進行這種處理，從而能夠減少有機物的損失，并且能夠縮短工序時間。

圖16是放大示出圖12中示出的蒸鍍裝置中的第一施體基板的一例的剖 視放大圖。

如圖16所示，上述的用于蒸鍍有機膜1的第一施體基板200上可以形成有：第一基底層201；第一電熱層203，形成在所述第一基底層201上，第一有機物1-1經(jīng)過一次溶液涂覆被涂覆到該第一電熱層203上；以及第一導電層202，形成在所述第一基底層201上，并且與所述第一電熱層203電連接，以便對所述第一電熱層203施加電場。

例如，第一導電層202和第一電熱層203都是導電膜的一種，第一導電層202可以包含導電性優(yōu)秀的銅、鋁、鉑金、金成分等，從而發(fā)揮將電流均勻地分散并傳遞到第一電熱層203的作用或者端子的作用。

此外，例如，第一電熱層203可以包含電熱性優(yōu)秀的鎳、鉻、碳、石英等成分，從而發(fā)揮從第一導電層202接收電流并將其轉(zhuǎn)化為電阻熱能的作用。

從而，可使第一電熱層203瞬間被焦耳熱加熱，由此將涂覆的有機膜1以平面狀蒸鍍到第二施體基板210上。

圖17是放大示出圖14中示出的蒸鍍裝置中的第二施體基板的一例的剖視放大圖。

如圖17所示，上述的用于蒸鍍有機膜1的第二施體基板210上可以形成有：第二基底層211；第二電熱層213，形成在所述第二基底層211上，與所述第一電熱層203對應，當對所述第一施體基板200施加電場時，使一次溶液涂覆在所述第一施體基板200上的所述第一有機物1-1被二次蒸鍍到該第二電熱層213上；以及第二導電層212，與所述第二電熱層213電連接，以便對所述第二電熱層213施加電場。

例如，第二導電層212和第二電熱層213都是導電膜的一種，第二導電層212可以包含導電性優(yōu)秀的銅、鋁、鉑金、金成分等，從而發(fā)揮將電流均勻地分散并傳遞到第二電熱層213的作用或者端子的作用。

此外，例如，第二電熱層213可以包含電熱性優(yōu)秀的鎳、鉻、碳、石英等成分，從而發(fā)揮從第二導電層212接收電流并將其轉(zhuǎn)化為電阻熱能的作用。

因此，可以使第二電熱層213瞬間被焦耳熱加熱，由此將一次蒸鍍的有機膜1以平面狀二次蒸鍍到元件基板220上。

圖18是示出本實用新型的又一實施例涉及的利用焦耳加熱的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)的平面配置圖。

如圖18所示，本實用新型的又一實施例涉及的利用焦耳加熱的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)500可以進一步包括：第一電極形成裝置191，設置在所述裝載裝置LD與所述蒸鍍裝置150之間，用于在所述元件基板220上形成第一電極層P1；第二電極形成裝置192，設置在所述蒸鍍裝置150與所述卸載裝置UD之間，用于在所述元件基板220上形成第二電極層P2；以及封裝(encapsulation)裝置193，設置在所述第二電極形成裝置192與所述卸載裝置UD之間，用于通過封裝材料C對所述元件基板220進行封裝。

另一方面，雖然未圖示，但根據(jù)需要，可以在各裝置之間設置能夠翻轉(zhuǎn)元件基板220或者施體基板200、210的翻轉(zhuǎn)裝置。

因此，如圖21所示，通過本實用新型的一實施例涉及的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)500或方法制造的有機膜裝置1000的元件基板220上，可以從下開始按照所述第一電極層P1、所述HIL有機物(HIL)、所述HTL有機物(HTL)、所述EML有機物(EML)、所述ETL有機物(ETL)、所述EIL有機物(EIL)、所述第二電極層P2的順序沉積，并且可以制造成由所述封裝材料C對其進行封裝狀態(tài)，從而在外部的濕氣或異物等中對其進行保護，由此可執(zhí)行有機發(fā)光作用。

通過本實用新型的一實施例涉及的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)500或方法制造的各種有機膜、有機發(fā)光元件、有機發(fā)光面板等各種有機膜均適用于這種所述有機膜裝置1000。

圖19是示出圖12的加載互鎖室的另一例的剖視圖。

例如，可以在所述蒸鍍裝置150與所述第一涂覆裝置110-1之間、或者所述裝載裝置LD與所述蒸鍍裝置150之間設置有加載互鎖室130。

作為這種加載互鎖室130，可以采用非常多樣的加載互鎖室，舉具體的示例，如圖19所示，所述加載互鎖室130可以是垂直加載型加載互鎖室，其能夠?qū)⒍鄠€所述元件基板220沿著垂直方向加載在可通過驅(qū)動部131進行升降的托盤T上。因此，能夠利用這種加載互鎖室130依次形成真空環(huán)境，能夠提高生產(chǎn)性，并且能夠縮短工序時間。

圖20是示出圖12的蒸鍍裝置的另一例的剖視圖。

如圖20所示，可以在所述第一涂覆裝置110-1以及所述蒸鍍裝置150中的任意一個以上的裝置上設置有對齊裝置AL，用于對齊所述第一有機物用第 一施體基板200或者所述元件基板220。

例如，作為這種對齊裝置，可以采用各種對齊桿、對齊臺、對齊突起、對齊槽或者能夠進行多軸對齊的多軸對齊裝置等形式非常多樣的對齊裝置。

圖22是示出本實用新型的另一實施例涉及的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造方法的順序圖。

如圖10至圖22所示，本實用新型的另一實施例涉及的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造方法可以包括以下步驟：準備步驟S400，該準備步驟包括：第一涂覆步驟S401，在第一有機物用第一施體基板200涂覆第一有機物1-1；第二涂覆步驟S402，在第二有機物用第一施體基板200涂覆第二有機物1-2；第一有機物用第二施體基板準備步驟S403，所述第一涂覆裝置110-1以及所述第二涂覆裝置110-2相連，對通過施體基板搬送裝置180搬送的所述第一有機物用第一施體基板200施加電場，從而將所述第一有機物1-1蒸鍍到第一有機物用第二施體基板210上；以及第二有機物用第二施體基板準備步驟S404，對通過施體基板搬送裝置180搬送的所述第二有機物用第一施體基板200施加電場，從而將所述第二有機物1-2蒸鍍到第二有機物用第二施體基板210上；裝載步驟S410，將元件基板220裝載到所述蒸鍍裝置150的第一位置；第一有機物蒸鍍步驟S420，對所述第一有機物用第二施體基板210施加電場，以將所述第一有機物1-1蒸鍍到位于所述第一位置的所述元件基板220上；元件基板搬送步驟S430，將所述元件基板220從所述第一位置搬送到第二位置；第二有機物蒸鍍步驟S440，對所述第二有機物用第二施體基板210施加電場，以將所述第二有機物蒸鍍到位于所述第二位置的所述元件基板220的所述第一有機物1-1上；以及卸載步驟S450，從所述蒸鍍裝置150卸載所述元件基板220。

本實用新型并不局限于上述的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)、連續(xù)式制造方法，而是可以包括由此制造的有機發(fā)光元件1000以及包含上述的第一施體基板200以及第二施體基板210的施體基板組。

以上，對本實用新型涉及的利用焦耳加熱的有機發(fā)光元件的連續(xù)式制造系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)以及作用進行了詳細說明以及圖示，然而這只是通過實施例進行的說明，可以在不脫離本實用新型的技術(shù)思想的范圍內(nèi)進行各種改變以及變更。