技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種基于超表面窄帶濾光的多光譜芯片，包括面陣圖像傳感器和超表面結(jié)構(gòu)濾光片陣列，所述超表面結(jié)構(gòu)濾光片陣列包括兩層納米膜鈍化層及位于兩層納米膜鈍化層之間的金屬納米孔周期陣列結(jié)構(gòu)；所述超表面結(jié)構(gòu)濾光片陣列位于面陣圖像傳感器上；所述金屬納米孔周期陣列結(jié)構(gòu)包括金屬介質(zhì)膜層，所述金屬介質(zhì)膜層上具有不同尺寸的周期性納米孔陣列。本發(fā)明通過在同一厚度金屬介質(zhì)膜層上制備不同尺寸的周期性納米結(jié)構(gòu)陣列，實現(xiàn)對目標圖像在多光譜譜段上的窄帶濾光；本發(fā)明適用于更精細的圖譜信息采集，在圖像傳感器表面制備金屬納米周期性結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)面陣多光譜芯片，在工藝上更易于實現(xiàn)，并具有廣泛的適用性。

技術(shù)研發(fā)人員：魚衛(wèi)星;楊靖忠;仝曉剛;胡炳樑
受保護的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機械研究所
文檔號碼：201611261268
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.30
技術(shù)公布日：2017.06.13