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一種高透過率薄膜晶體管制備方法與流程

文檔序號:12369965閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種高透過率薄膜晶體管制備方法,其特征在于,包括如下步驟:

(1)在玻璃基板上從下至上依次形成第一金屬層和第一絕緣層,所述第一金屬層包括柵極金屬線和存儲電容金屬線;

(2)對第一絕緣層進行半蝕刻;

(3)在第一絕緣層上依次形成第二金屬層和第二絕緣層,所述第二金屬層包括源極電極和漏極電極。

2.根據(jù)權利要求1所述的高透過率薄膜晶體管制備方法,其特征在于,所述步驟(2)包括如下步驟:

(21)采用曝光工藝在存儲電容位置形成CS過孔;

(22)采用干法蝕刻對CS過孔處的第一絕緣層進行半蝕刻。

3.根據(jù)權利要求2所述的高透過率薄膜晶體管制備方法,其特征在于,步驟(22)中對CS過孔處的第一絕緣層進行半蝕刻,蝕刻掉的厚度為第一絕緣層原厚度的10%-90%。

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