技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種銅鋅錫硫薄膜的制備方法，包括步驟：1）以銅鹽、鋅鹽、錫鹽、硫脲四種化合物為原料，按原子比Cu/(Zn+Sn)=0.7~1，Zn/Sn=1~1.2的比例溶解于有機(jī)溶劑中形成銅鋅錫硫溶液；2）將所述銅鋅錫硫溶液旋涂于基底；3）于200℃~300℃下進(jìn)行預(yù)退火制成銅鋅錫硫薄膜；4）將所述銅鋅錫硫薄膜放入退火腔室，于500℃~600℃下進(jìn)行后退火。本發(fā)明可有效解決銅鋅錫硫高溫分解的問題，成膜后的金屬比例與前驅(qū)體溶液比例一致，可以輕松獲得理想的貧銅富鋅金屬比例。本發(fā)明可以提高了薄膜的結(jié)晶度，有利于銅鋅錫硫太陽電池效率的提升；本發(fā)明可有效避免污染問題，并節(jié)約生產(chǎn)成本，具有實用價值，因充入氮氣的初始壓強(qiáng)可控，可實現(xiàn)不同壓強(qiáng)對成膜影響的研究，具有重要意義。

技術(shù)研發(fā)人員：姜海龍;孟凡英;黃勇亮;韋小慶
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
文檔號碼：201610573931
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.20
技術(shù)公布日：2017.02.22