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一種多晶硅硅錠的清洗方法與流程

文檔序號:11955549閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種多晶硅硅錠的清洗方法。包括以下步驟:清洗前進(jìn)行噴砂處理,時間在20?40min之間;往清洗機(jī)的1號水槽中加入適量純水后加入3L?5L硅片清洗液,加熱到45?55℃,超聲清洗10?30min;往清洗機(jī)的2號水槽中加入適量純水,鼓泡清洗5?15min分鐘進(jìn)行初漂洗;往清洗機(jī)的3號水槽中加入食用級檸檬酸5?8L,加熱到65?85℃,把漂洗過的硅塊放入3號水槽中,清洗5?15min,并用無塵紙擦洗表面;將硅塊放入已進(jìn)行清洗的托盤上;烘干處理,烘干溫度150?200℃,時間為1?2h;用干凈的聚乙稀塑料包裝袋放入周轉(zhuǎn)箱內(nèi),密封好,并做好標(biāo)示。

技術(shù)研發(fā)人員:王峰;姚玉杰;李鵬廷;姜大川
受保護(hù)的技術(shù)使用者:大工(青島)新能源材料技術(shù)研究院有限公司
文檔號碼:201610519314
技術(shù)研發(fā)日:2016.07.01
技術(shù)公布日:2016.12.07

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