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一種多晶硅硅錠的清洗方法與流程

文檔序號(hào):11955549閱讀:520來(lái)源:國(guó)知局

本發(fā)明涉及多晶硅技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種多晶硅硅錠的清洗方法



背景技術(shù):

目前,鑄錠生產(chǎn)對(duì)于硅料的清洗都是用HF和HNO3的混合酸來(lái)清洗,這種清洗方法幾乎適用于每一種原料。更有甚者,需要先用NaOH浸泡后再進(jìn)行酸洗。這種清洗方法不僅需要特定的酸洗設(shè)備和尾氣處理設(shè)備,成本較高,而且會(huì)對(duì)環(huán)境產(chǎn)生很大的影響,不利于環(huán)境的可持續(xù)發(fā)展。酸洗僅適用于專業(yè)的酸處理廠家,并不適用于提倡新能源的多晶硅鑄錠企業(yè)。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的是:提供一種非酸洗的一種硅料的清洗方法,對(duì)于適用原料不僅能夠達(dá)到理想的清洗效果,同時(shí)也不會(huì)對(duì)環(huán)境產(chǎn)生影響,成本很低。

本發(fā)明提供了一種多晶硅硅錠的清洗方法,包括以下步驟:步驟S100:清洗前要對(duì)需要清洗的硅塊料進(jìn)行噴砂處理,時(shí)間在20-40min之間;步驟S200:用酒精把硅塊頭尾的字跡,污漬擦洗干凈;步驟S300:往清洗機(jī)的1號(hào)水槽中加入適量純水后加入3L-5L硅片清洗液,加熱到45-55℃,把用酒精清洗過(guò)的硅塊放入水槽,超聲清洗10-30min;步驟S400:往清洗機(jī)的2號(hào)水槽中加入適量純水,鼓泡清洗5-15min分鐘進(jìn)行初漂洗;步驟S500:往清洗機(jī)的3號(hào)水槽中加入食用級(jí)檸檬酸5-8L,加熱到65-85℃,把漂洗過(guò)的硅塊放入3號(hào)水槽中,清洗5-15min,并用無(wú)塵紙擦洗表面;步驟S600:重復(fù)步驟S400后,將硅塊放入已進(jìn)行清洗的托盤(pán)上,硅塊底部要墊上無(wú)塵紙;步驟S700:把清洗過(guò)放在烘干托盤(pán)上的硅塊進(jìn)行烘干處理,烘干溫度150-200℃,時(shí)間為1-2h;步驟S800: 用干凈的聚乙稀塑料包裝袋放入周轉(zhuǎn)箱內(nèi),密封好,并做好標(biāo)示。

優(yōu)選的,所述步驟S300:往清洗機(jī)的1號(hào)水槽中加入適量純水后加入3L硅片清洗液,加熱到50℃,把用酒精清洗過(guò)的硅塊放入水槽,超聲清洗10min。此舉可有效清除硅錠表面附著的油污等堿溶性的雜質(zhì)。

優(yōu)選的,所述步驟S400:往清洗機(jī)的2號(hào)水槽中加入適量純水,鼓泡清洗10min分鐘進(jìn)行初漂洗??梢郧宄蝗苄缘碾s質(zhì)附著。

優(yōu)選的,所述步驟S500:往清洗機(jī)的3號(hào)水槽中加入食用級(jí)檸檬酸5L,加熱到70℃,把漂洗過(guò)的硅塊放入3號(hào)水槽中,清洗10min,并用無(wú)塵紙擦洗表面??捎行コ崛苄噪s質(zhì)。

優(yōu)選的,所述步驟S700:把清洗過(guò)放在烘干托盤(pán)上的硅塊進(jìn)行烘干處理,烘干溫度150℃,時(shí)間為2h。溫度適中,既不造成硅錠表面氧化,也減少烘干時(shí)間。

有益效果:這種清洗方法可以使得清洗成本從7元/kg降低為3元/kg;清洗過(guò)程中不使用嚴(yán)重污染的HF和HNO3,有利于環(huán)境保護(hù)。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明解決的技術(shù)問(wèn)題、采用的技術(shù)方案和達(dá)到的技術(shù)效果更加清楚,下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明??梢岳斫獾氖?,此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用于解釋本發(fā)明,而非對(duì)本發(fā)明的限定。本發(fā)明是在沒(méi)有酸洗設(shè)備和不能排酸的情況下的一種硅料的清洗方法,適用于提純小方錠,回爐硅塊和T2循環(huán)料等表面較為光滑的硅料。進(jìn)入清洗室必須穿好工作衣,工作鞋,戴工作帽,清洗操作時(shí)必須佩帶防酸堿手套和口罩。用專業(yè)毛巾清洗工作臺(tái),保證工作臺(tái)面的清潔度。

實(shí)施例1

步驟S100:清洗前要對(duì)需要清洗的硅塊料進(jìn)行噴砂處理,時(shí)間在20min之間;步驟S200:用酒精把硅塊頭尾的字跡,污漬擦洗干凈;步驟S300:往清洗機(jī)的1號(hào)水槽中加入適量純水后加入3L硅片清洗液,加熱到45℃,把用酒精清洗過(guò)的硅塊放入水槽,超聲清洗10min;步驟S400:往清洗機(jī)的2號(hào)水槽中加入適量純水,鼓泡清洗5min分鐘進(jìn)行初漂洗;步驟S500:往清洗機(jī)的3號(hào)水槽中加入食用級(jí)檸檬酸5L,加熱到65℃,把漂洗過(guò)的硅塊放入3號(hào)水槽中,清洗5min,并用無(wú)塵紙擦洗表面;步驟S600:重復(fù)步驟S400后,將硅塊放入已進(jìn)行清洗的托盤(pán)上,硅塊底部要墊上無(wú)塵紙;步驟S700:把清洗過(guò)放在烘干托盤(pán)上的硅塊進(jìn)行烘干處理,烘干溫度150℃,時(shí)間為1h;步驟S800:用干凈的聚乙稀塑料包裝袋放入周轉(zhuǎn)箱內(nèi),密封好,并做好標(biāo)示。

實(shí)施例2

步驟S100:清洗前要對(duì)需要清洗的硅塊料進(jìn)行噴砂處理,時(shí)間在30min之間;步驟S200:用酒精把硅塊頭尾的字跡,污漬擦洗干凈;步驟S300:往清洗機(jī)的1號(hào)水槽中加入適量純水后加入4L硅片清洗液,加熱到50℃,把用酒精清洗過(guò)的硅塊放入水槽,超聲清洗20min;步驟S400:往清洗機(jī)的2號(hào)水槽中加入適量純水,鼓泡清洗10min分鐘進(jìn)行初漂洗;步驟S500:往清洗機(jī)的3號(hào)水槽中加入食用級(jí)檸檬酸6.5L,加熱到75℃,把漂洗過(guò)的硅塊放入3號(hào)水槽中,清洗10min,并用無(wú)塵紙擦洗表面;步驟S600:重復(fù)步驟S400后,將硅塊放入已進(jìn)行清洗的托盤(pán)上,硅塊底部要墊上無(wú)塵紙;步驟S700:把清洗過(guò)放在烘干托盤(pán)上的硅塊進(jìn)行烘干處理,烘干溫度175℃,時(shí)間為1.5h;步驟S800:用干凈的聚乙稀塑料包裝袋放入周轉(zhuǎn)箱內(nèi),密封好,并做好標(biāo)示。

實(shí)施例3

步驟S100:清洗前要對(duì)需要清洗的硅塊料進(jìn)行噴砂處理,時(shí)間在40min之 間;步驟S200:用酒精把硅塊頭尾的字跡,污漬擦洗干凈;步驟S300:往清洗機(jī)的1號(hào)水槽中加入適量純水后加入5L硅片清洗液,加熱到55℃,把用酒精清洗過(guò)的硅塊放入水槽,超聲清洗30min;步驟S400:往清洗機(jī)的2號(hào)水槽中加入適量純水,鼓泡清洗15min分鐘進(jìn)行初漂洗;步驟S500:往清洗機(jī)的3號(hào)水槽中加入食用級(jí)檸檬酸8L,加熱到85℃,把漂洗過(guò)的硅塊放入3號(hào)水槽中,清洗15min,并用無(wú)塵紙擦洗表面;步驟S600:重復(fù)步驟S400后,將硅塊放入已進(jìn)行清洗的托盤(pán)上,硅塊底部要墊上無(wú)塵紙;步驟S700:把清洗過(guò)放在烘干托盤(pán)上的硅塊進(jìn)行烘干處理,烘干溫度200℃,時(shí)間為2h;步驟S800:用干凈的聚乙稀塑料包裝袋放入周轉(zhuǎn)箱內(nèi),密封好,并做好標(biāo)示。

最后應(yīng)說(shuō)明的是:以上各實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案,而非對(duì)其限制;盡管參照前述各實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改,或者對(duì)其中部分或者全部技術(shù)特征進(jìn)行等同替換,并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的范圍。

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