技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種晶圓轉(zhuǎn)向裝置，用以將晶圓的擺放方式由平放改變?yōu)橹狈拧＞A轉(zhuǎn)向裝置包括一殼體、一轉(zhuǎn)向件和一晶圓載具。殼體包括一開口。轉(zhuǎn)向件連接殼體，用以使殼體旋轉(zhuǎn)，使得開口旋轉(zhuǎn)至朝向一第一方向或一第二方向。晶圓載具位于殼體內(nèi)，用以承載晶圓。在晶圓從外部以平放的方式放入殼體內(nèi)部之前，轉(zhuǎn)向件使殼體旋轉(zhuǎn)，使得開口朝向第二方向。當(dāng)晶圓以平放的方式放入殼體內(nèi)部之后，轉(zhuǎn)向件使殼體旋轉(zhuǎn)，使得開口朝向第一方向，并且使晶圓承載于晶圓載具，且晶圓的擺放方式由平放改變?yōu)橹狈拧?br/>
技術(shù)研發(fā)人員：林生海;高自強(qiáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：辛耘企業(yè)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.04.29
技術(shù)公布日：2017.10.10