技術總結
本發(fā)明提供一種靜電卡盤裝置，其通過靜電吸附用電極吸附板狀試樣，并且對板狀試樣進行冷卻，所述靜電卡盤裝置具有靜電卡盤部，所述靜電卡盤部以陶瓷燒結體為形成材料，所述靜電卡盤部的一個主面是載置板狀試樣的載置面，在載置面設置有支承板狀試樣的多個突起部，突起部在頂面與板狀試樣接觸并支承板狀試樣，并且截面積從頂面的高度位置向下方遞增，突起部的從頂面的下端向下方距離0.6μm的位置的截面積相對于頂面的下端的截面積為110％以下。

技術研發(fā)人員：河野仁;牛坊文洋
受保護的技術使用者：住友大阪水泥股份有限公司
文檔號碼：201580046810
技術研發(fā)日：2015.09.09
技術公布日：2017.05.10