技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明一種多區(qū)主動(dòng)矩陣溫控系統(tǒng)，該溫控系統(tǒng)設(shè)有溫控矩陣和柵極驅(qū)動(dòng)器；溫控矩陣包含：組成N行M列矩陣的N*M個(gè)溫控模塊、電源供應(yīng)線、電源返回線；每個(gè)溫控模塊包含：溫控單元，其通電加熱進(jìn)行溫度控制；半導(dǎo)體開關(guān)，其設(shè)有連接?xùn)艠O驅(qū)動(dòng)器的柵極，其柵極觸發(fā)導(dǎo)通或斷開的兩端分別連接電源供應(yīng)線和經(jīng)過溫控單元連接至電源返回線；溫控矩陣中，同一行或同一列溫控模塊的溫控單元連接電源返回線的一端串聯(lián)連接，并連接至電源返回線；同一行或同一列溫控模塊的半導(dǎo)體開關(guān)連接電源供應(yīng)線的一端串聯(lián)連接，并連接至電源供應(yīng)線。本發(fā)明可精準(zhǔn)對(duì)靜電吸盤每個(gè)區(qū)域進(jìn)行溫度控制，大幅減少靜電吸盤引出線的數(shù)量。

技術(shù)研發(fā)人員：倪圖強(qiáng);左濤濤;吳狄;謝林
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.24
技術(shù)公布日：2017.07.04