一種機(jī)臺(tái)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種機(jī)臺(tái)，用于承載基板，解決了由于靜電消除不完全導(dǎo)致基板的破損以及ESD不良的技術(shù)問題。包括：本體；銷孔，在厚度方向貫穿本體；支撐銷，容納在銷孔中，可在厚度方向上下移動(dòng)，支撐銷包括內(nèi)置的腔，支撐銷可從腔中向本體上表面噴灑防靜電液。本發(fā)明中的支撐銷通過對本體上表面噴灑防靜電液，使防靜電液在本體表面形成導(dǎo)電薄膜層，從而消除基板在送入和送出的過程中在本體表面產(chǎn)生的靜電，減少本體的ESD不良和基板的破損，提高產(chǎn)品的品質(zhì)。
【專利說明】一種機(jī)臺(tái)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件或TFT-LCD面板生產(chǎn)領(lǐng)域，特別是指用于清除基板靜電的機(jī)臺(tái)。

【背景技術(shù)】
[0002]Array CVD Repair設(shè)備是TFT-1XD面板領(lǐng)域在陣列段主要維修設(shè)備，用于對陣列基板的線不良和點(diǎn)不良進(jìn)行查看、判級和維修，如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)中，機(jī)臺(tái)包括承載基板I的本體2和支撐銷3，當(dāng)基板I送入時(shí)，支撐銷3升起，在本體2上方支撐基板1，隨著支撐銷3下降，基板I放置在本體2上；當(dāng)基板I送出時(shí)，支撐銷3升起，在本體2上方支撐基板1，隨后取出基板1，在以上過程中，離子棒吹的去離子風(fēng)由于基板I的阻擋和存在盲區(qū)，無法到達(dá)本體2上方和基板I上方部分區(qū)域，因此存在以下風(fēng)險(xiǎn):
[0003]1、在基板I送入或送出過程中，基板I和本體2之間有接觸，使基板I在本體2表面產(chǎn)生摩擦，從而使本體2表面的靜電平衡被打破，局部產(chǎn)生靜電積累，誘導(dǎo)TFT整列基板上信號(hào)線交疊處電荷聚集，因此在后端工藝條件激發(fā)下，產(chǎn)生不能維修的斷路或短路不良;
[0004]2、在支撐銷3下降，脫離基板I時(shí)，由于支撐銷3與基板I分離的速度過快，基板I上分布的信號(hào)線交疊處，因?yàn)橹車h(huán)境的驟變，產(chǎn)生靜電擊穿現(xiàn)象，使部分信號(hào)線短路或短路的ESD不良；
[0005]3、隨著基板I的厚度逐漸減小(0.7T — 0.4T)，本體2表面一旦有靜電積累，會(huì)吸附基板1，從而在基板I被托起時(shí)，產(chǎn)生彎曲變形，導(dǎo)致裂紋破損。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明提出一種機(jī)臺(tái)，解決了現(xiàn)有技術(shù)中由于基板在機(jī)臺(tái)上因?yàn)殪o電導(dǎo)致的斷路、短路不良以及損壞的技術(shù)問題。
[0007]本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0008]一種機(jī)臺(tái)，用于承載基板，包括:
[0009]本體；
[0010]銷孔，在厚度方向貫穿本體；
[0011]支撐銷，容納在銷孔中，可在厚度方向上下移動(dòng)，支撐銷包括內(nèi)置的腔，支撐銷可從腔中向本體上表面噴灑防靜電液。
[0012]優(yōu)選的，還包括輸液管和儲(chǔ)液容器，輸液管與支撐銷的腔連通且其下端浸入儲(chǔ)液容器的防靜電液中，支撐銷的側(cè)壁上設(shè)置有用于噴灑防靜電液的通孔。
[0013]優(yōu)選的，支撐銷為多個(gè)，多個(gè)支撐銷噴灑的防靜電液能覆蓋整個(gè)本體的上表面。
[0014]優(yōu)選的，所述支撐銷為多個(gè)，輸液管包括輸液總管和與輸液總管連通的多個(gè)分支管，輸液總管的總輸入口通過開口與儲(chǔ)液容器連通，每個(gè)分支管的輸出口與一個(gè)支撐銷的腔連通。
[0015]優(yōu)選的，儲(chǔ)液容器包括氣動(dòng)控制輸液裝置，用于控制輸液管的防靜電液的噴灑。
[0016]優(yōu)選的，氣動(dòng)控制輸液裝置包括氣源、與氣源連通的輸氣管和控制氣體排放的電磁閥，輸氣管與儲(chǔ)液容器連通。
[0017]優(yōu)選的，還包括靜電測試裝置和控制單元，靜電測試裝置用于測試本體和/或承載基板的靜電參數(shù)并傳送給控制單元，控制單元用于根據(jù)測得的靜電參數(shù)控制電磁閥的開閉和支撐銷的升降，從而控制防靜電液的噴灑。
[0018]優(yōu)選的，還包括報(bào)警單元，與控制單元相連，當(dāng)靜電參數(shù)超出閾值時(shí)，控制單元控制報(bào)警單元發(fā)出警示信息。
[0019]優(yōu)選的，本體的上表面設(shè)置有凹陷，靜電測試裝置置于凹陷中。
[0020]優(yōu)選的，靜電測試裝置測試的靜電參數(shù)為從第一設(shè)定電壓到第二設(shè)定電壓的靜電消散時(shí)間，其中第一設(shè)定電壓高于第二設(shè)定電壓。
[0021 ] 優(yōu)選的，控制單元還用于根據(jù)靜電參數(shù)的大小，分為多個(gè)級別，根據(jù)級別控制電磁閥的開啟時(shí)間和/或開啟檔位。
[0022]本發(fā)明的有益效果是:
[0023]本發(fā)明將支撐銷內(nèi)部設(shè)置空腔，通過空腔向本體上表面噴灑防靜電液，使防靜電液在本體表面形成導(dǎo)電薄膜層，消除本體表面的靜電，達(dá)到徹底消除靜電的目的。
[0024]此外，支撐銷與裝有防靜電液的儲(chǔ)液容器相連，再將儲(chǔ)液容器與氣動(dòng)控制輸液裝置相連接，通過控制氣體的電磁閥門，控制防靜電液的流量和噴灑時(shí)間，能有效消除摩擦等原因產(chǎn)生的靜電，防止靜電干擾及灰塵粘附現(xiàn)象。
[0025]同時(shí)在本體中還安裝靜電測試裝置，監(jiān)控本體表面區(qū)域的靜電量，一旦超出設(shè)定的范圍內(nèi)，將會(huì)出現(xiàn)報(bào)警，從而建立靜電報(bào)警與防靜電液噴出控制系統(tǒng)，能夠自動(dòng)涂抹防靜電液，防靜電液的量和時(shí)間均可控，代替現(xiàn)有通過人工涂抹帶來的時(shí)間浪費(fèi)和涂抹不均勻，使涂抹均勻，便捷。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0027]圖1為本發(fā)明現(xiàn)有技術(shù)中基板送入和送出時(shí)的狀態(tài)圖；
[0028]圖2為本發(fā)明的立體圖；
[0029]圖3為圖2所示機(jī)臺(tái)的俯視圖；
[0030]圖4為圖2所示機(jī)臺(tái)的側(cè)視圖；
[0031]圖5為圖2所示機(jī)臺(tái)的工作原理圖；
[0032]圖6為圖2所示機(jī)臺(tái)的原理框圖。
[0033]圖中:
[0034]1、基板；2、本體；3、支撐銷；4、銷孔；5、通孔；6、輸液管；7、儲(chǔ)液容器；8、氣源；9、
輸氣管；10、電磁閥；11、靜電測試裝置；12、控制單元；13、報(bào)警單元；14、安裝部件；15、移云力馬達(dá);16、結(jié)構(gòu)支架；17、激光單元。

【具體實(shí)施方式】
[0035]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清除、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例，基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0036]除非另作定義，本文使用的技術(shù)術(shù)語或者科學(xué)術(shù)語應(yīng)當(dāng)為本發(fā)明所屬領(lǐng)域內(nèi)具有一般技能的人士所理解的通常意義。本發(fā)明專利申請說明書以及權(quán)利要求書中使用的“第一”、“第二”以及類似的詞語并不表示任何順序、數(shù)量或者重要性，而只是用來區(qū)分不同的組成部分。同樣，“一個(gè)”、“一”或者“該”等類似詞語也不表示數(shù)量限制，而是表示存在至少一個(gè)?！鞍ā被蛘摺鞍钡阮愃频脑~語意指出現(xiàn)該詞前面的元件或者物件涵蓋出現(xiàn)在該詞后面列舉的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件?！吧稀?、“下”、等僅用于表示相對位置關(guān)系，當(dāng)被描述對象的絕對位置改變后，則該相對位置關(guān)系也可能相應(yīng)地改變。
[0037]如圖2所示，本發(fā)明中的機(jī)臺(tái)，用于承載基板，包括:銷孔4設(shè)置在本體2上并在厚度方向貫穿本體2，支撐銷3容納在銷孔4中，可在本體2的厚度方向上下移動(dòng)，支撐銷3為內(nèi)部設(shè)置有空腔的圓柱體結(jié)構(gòu)，支撐銷3可從空腔中向本體2上表面噴灑防靜電液。進(jìn)一步地，支撐銷3以矩陣排列的方式均勻分布在本體2的各個(gè)位置，在噴灑防靜電液時(shí)，可以完全覆蓋整個(gè)本體2表面，支撐銷3的個(gè)數(shù)可按照機(jī)臺(tái)的實(shí)際需要設(shè)置。
[0038]本體2上還設(shè)置有放置例如為靜電測試儀的靜電測試裝置11的凹陷14，從而方便隨時(shí)檢測機(jī)臺(tái)上表面的靜電，凹陷14的個(gè)數(shù)可以為4個(gè)但不限于4個(gè)，并分別設(shè)置在本體2的四個(gè)區(qū)域，靜電測試裝置11用于實(shí)時(shí)測試本體2和/或承載基板I的靜電參數(shù)并傳送給控制單元12,通過數(shù)據(jù)傳輸、反饋,實(shí)時(shí)分析本體2上的靜電參數(shù)變化,防止本體2靜電過大，對基板I產(chǎn)生影響。
[0039]注意，機(jī)臺(tái)可以為任何能夠承載基板的設(shè)備，除了本發(fā)明所描述的部件之外，其還可能包括其他部件來完成所需功能。例如如圖2所示，該機(jī)臺(tái)上還包括:激光單元17，用于對基板上導(dǎo)電薄膜的金屬殘留物進(jìn)行切割，移動(dòng)馬達(dá)15，置于本體2寬度方向的兩側(cè)，用于驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)支架16移動(dòng)；結(jié)構(gòu)支架16，置于移動(dòng)馬達(dá)15的上方，通過沿本體2的長度方向移動(dòng)從而對不良點(diǎn)進(jìn)行查看并判級。
[0040]如圖3和圖4所示，支撐銷3為頂端密封的中空的圓柱體結(jié)構(gòu)，側(cè)壁上設(shè)置有4個(gè)用于噴灑防靜電液的圓形通孔5，通孔5的大小相等，以支撐銷3的中心對稱分布，可以保證通孔5噴出的防靜電液均勻，流量大小容易控制。本發(fā)明中通孔5的形狀和數(shù)量不限于本實(shí)施例提供的形狀和數(shù)量，可根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)需要進(jìn)行通孔5的設(shè)計(jì)，通過通孔5使噴出來的防靜電液成霧狀，使涂抹均勻，便捷。
[0041]每個(gè)支撐銷3的腔與對應(yīng)的輸液管6連通，具體的，如圖4所示，支撐銷3為多個(gè)，儲(chǔ)液容器7的上表面分別設(shè)置有容納輸液管6和輸氣管9的開口，輸液管6包括輸液總管和與輸液總管連通的多個(gè)分支管，輸液總管的總輸入口浸入儲(chǔ)液容器7的防靜電液中，每個(gè)分支管的輸出口與一個(gè)支撐銷3的腔連通。其中，輸液總管的管徑大于分支管的管徑，從而便于防靜電液通過分支管引入支撐銷3。
[0042]輸液總管的下端通過對應(yīng)的開口浸入儲(chǔ)液容器7的防靜電液中，便于將防靜電液完全輸入到對應(yīng)的支撐銷3的腔內(nèi)部，防止防靜電液外漏。本實(shí)施例中的輸液管6采用分-總結(jié)構(gòu)的輸液管，即多個(gè)輸出口對應(yīng)一個(gè)總輸入口，輸液管6的各個(gè)分支管的輸出口與對應(yīng)的支撐銷3的腔密閉連通，輸液管6的輸液總管的總輸入口浸入儲(chǔ)液容器7的防靜電液中，儲(chǔ)液容器7包括用于控制輸液管6中的防靜電液的噴灑的氣動(dòng)控制輸液裝置，氣動(dòng)控制輸液裝置包括氣源8、與氣源8連通的輸氣管9和控制氣體排放的電磁閥10，輸氣管9的另一端通過開口與儲(chǔ)液容器7密閉連通。
[0043]如圖2至圖6所示，本發(fā)明的工作原理是:
[0044]機(jī)臺(tái)啟動(dòng)后，靜電測試裝置11開始采集靜電參數(shù)，具體的，當(dāng)基板I被送入本體2表面時(shí)，支撐銷3升起以支撐基板I，此后支撐銷3下降，將基板I放到本體2上，此時(shí)對基板I吹氣，卡夾(未示出)夾持基板I進(jìn)行位置校準(zhǔn)和固定，停止吹氣，解除卡夾，結(jié)構(gòu)支架移動(dòng)對不良點(diǎn)進(jìn)行查看并判級，結(jié)束判級和維修后，支撐銷3升起，基板I取出，期間靜電測試裝置11實(shí)時(shí)采集本體2表面的靜電參數(shù)，并進(jìn)行分析處理。
[0045]本發(fā)明中的靜電參數(shù)可以為從第一設(shè)定電壓到第二設(shè)定電壓的靜電消散時(shí)間，其中第一設(shè)定電壓高于第二設(shè)定電壓。例如為當(dāng)電壓升到1000V后再下降到OV時(shí)的靜電消散時(shí)間，在基板I送入和送出的過程中，靜電測試裝置11開始測量，當(dāng)電壓升到1000V后再下降到OV的靜電消散時(shí)間在1s以內(nèi)為正常環(huán)境，當(dāng)靜電消散時(shí)間在10-20S內(nèi)時(shí)，定義為四級報(bào)警，當(dāng)靜電消散時(shí)間在20-30S為三級報(bào)警，當(dāng)靜電消散時(shí)間在30-60S為二級報(bào)警，當(dāng)靜電消散時(shí)間大于60s為一級報(bào)警，控制單元12根據(jù)測得的靜電消散時(shí)間控制電磁閥10的開閉和支撐銷3的升降，從而控制防靜電液的噴灑，本發(fā)明中的靜電參數(shù)不限于靜電消散時(shí)間，可根據(jù)需要自行設(shè)計(jì)。當(dāng)靜電參數(shù)超出閾值時(shí)，基板I移走，支撐銷3升起，根據(jù)報(bào)警的級別，控制單元12控制電磁閥10的打開時(shí)間和檔位大小，從而通過控制氣流的大小和持續(xù)時(shí)間，將防靜電液從儲(chǔ)液容器7中通過輸液管6排到支撐銷3側(cè)壁上的通孔5，并通過通孔5噴灑出去，從而控制防靜電液的流量和噴灑時(shí)間，當(dāng)防靜電液落在本體2表面后，形成極薄的交織透明的導(dǎo)電薄膜，提供高效的靜電耗散功能，能有效消除摩擦等原因產(chǎn)生的靜電，防止靜電干擾及灰塵粘附現(xiàn)象，且防靜電液是由極性基團(tuán)和非極性基團(tuán)組成，可以溶于水和醇類液體，無毒、不燃、無污染，使用安全。
[0046]進(jìn)一步地，控制單元12還與報(bào)警單元13相連，當(dāng)靜電參數(shù)超出相應(yīng)的報(bào)警級別時(shí)，控制單元12控制報(bào)警單元13發(fā)出警示信息，警示信息可以采用LED閃爍或蜂鳴等。當(dāng)有警示信息時(shí)，噴出防靜電液消除靜電，靜電測試裝置11檢測靜電參數(shù)正常后，基板I送入，結(jié)構(gòu)支架移動(dòng)進(jìn)行不良點(diǎn)查看、判級和維修，靜電測試裝置11繼續(xù)監(jiān)控本體2表面的靜電狀況，從而可以系統(tǒng)地控制防靜電液的涂抹，代替原來通過人工涂抹帶來的時(shí)間浪費(fèi)、涂抹不均勻和產(chǎn)能低的問題，而自動(dòng)涂抹防靜電液，防靜電液的量和時(shí)間均可控。
[0047]應(yīng)該理解的是，在本發(fā)明中，控制單元可以包括各種硬件和軟件，硬件例如CPU、PLC、單片機(jī)、存儲(chǔ)器件、開關(guān)器件、邏輯電路等，本發(fā)明對此不作限定?？刂茊卧梢詾榧梢惑w的單元，也可以包括各個(gè)分立單元。其他器件可與控制單元存在信號(hào)聯(lián)系。本發(fā)明還可以包括由控制單元單元控制的電機(jī)等來實(shí)現(xiàn)對支撐銷3等的移動(dòng)。
[0048]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對半發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求以及等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種機(jī)臺(tái)，用于承載基板，其特征在于，包括: 本體； 銷孔，在厚度方向貫穿所述本體； 支撐銷，容納在所述銷孔中，可在厚度方向上下移動(dòng)，所述支撐銷包括內(nèi)置的腔，所述支撐銷可從所述腔中向所述本體上表面噴灑防靜電液。
2.如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺(tái)，其特征在于，還包括輸液管和儲(chǔ)液容器，所述輸液管與所述支撐銷的腔連通且其下端浸入所述儲(chǔ)液容器的防靜電液中，所述支撐銷的側(cè)壁上設(shè)置有用于噴灑所述防靜電液的通孔。
3.如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述支撐銷為多個(gè)，所述多個(gè)支撐銷噴灑的防靜電液能覆蓋整個(gè)所述本體的上表面。
4.如權(quán)利要求2所述的機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述支撐銷為多個(gè)，所述輸液管包括輸液總管和與所述輸液總管連通的多個(gè)分支管，所述輸液總管的總輸入口通過開口與所述儲(chǔ)液容器連通，每個(gè)所述分支管的輸出口與一個(gè)所述支撐銷的腔連通。
5.如權(quán)利要求2所述的機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述儲(chǔ)液容器包括氣動(dòng)控制輸液裝置，用于控制所述輸液管的防靜電液的噴灑。
6.如權(quán)利要求5所述的機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述氣動(dòng)控制輸液裝置包括氣源、與所述氣源連通的輸氣管和控制氣體排放的電磁閥，所述輸氣管與所述儲(chǔ)液容器連通。
7.如權(quán)利要求6所述的機(jī)臺(tái)，其特征在于，還包括靜電測試裝置和控制單元，所述靜電測試裝置用于測試所述本體和/或所承載基板的靜電參數(shù)并傳送給所述控制單元，所述控制單元用于根據(jù)測得的所述靜電參數(shù)控制所述電磁閥的開閉和所述支撐銷的升降，從而控制防靜電液的噴灑。
8.如權(quán)利要求7所述的機(jī)臺(tái)，其特征在于，還包括報(bào)警單元，與所述控制單元相連，當(dāng)所述靜電參數(shù)超出閾值時(shí)，所述控制單元控制所述報(bào)警單元發(fā)出警示信息。
9.如權(quán)利要求7所述的機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述本體的上表面設(shè)置有凹陷，所述靜電測試裝置置于所述凹陷中。
10.如權(quán)利要求7所述的機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述靜電測試裝置測試的所述靜電參數(shù)為從第一設(shè)定電壓到第二設(shè)定電壓的靜電消散時(shí)間，其中第一設(shè)定電壓高于第二設(shè)定電壓。
11.如權(quán)利要求7所述的機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述控制單元還用于根據(jù)所述靜電參數(shù)的大小，分為多個(gè)級別，根據(jù)級別控制所述電磁閥的開啟時(shí)間和/或開啟檔位。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK104409389SQ201410625878
【公開日】2015年3月11日 申請日期:2014年11月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月7日
【發(fā)明者】王海濤, 汪雯, 賈宏康 申請人:合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司