技術(shù)編號：7062094
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供一種機臺，用于承載基板，解決了由于靜電消除不完全導致基板的破損以及ESD不良的技術(shù)問題。包括本體；銷孔，在厚度方向貫穿本體；支撐銷，容納在銷孔中，可在厚度方向上下移動，支撐銷包括內(nèi)置的腔，支撐銷可從腔中向本體上表面噴灑防靜電液。本發(fā)明中的支撐銷通過對本體上表面噴灑防靜電液，使防靜電液在本體表面形成導電薄膜層，從而消除基板在送入和送出的過程中在本體表面產(chǎn)生的靜電，減少本體的ESD不良和基板的破損，提高產(chǎn)品的品質(zhì)。專利說明一種機臺 [0001]...
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