專利名稱：一種帶有恒溫槽保護(hù)裝置的三氯氧磷控溫系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于太陽能光伏發(fā)電領(lǐng)域，涉及半導(dǎo)體設(shè)備，進(jìn)一步是指晶體硅太陽能電池生產(chǎn)線中擴(kuò)散設(shè)備的三氯氧磷控溫系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
太陽能電池需要一個(gè)大面積的PN結(jié)以實(shí)現(xiàn)光能到電能的轉(zhuǎn)換，而擴(kuò)散爐即為制造太陽能電池PN結(jié)的專用設(shè)備。在850—900攝氏度高溫下使用氮?dú)鈱⑷妊趿讕胧⑷萜髦泻凸杵M(jìn)行反應(yīng)，形成PN結(jié)。制造PN結(jié)是太陽能電池生產(chǎn)最基本也是最關(guān)鍵的工序。太陽能電池所用的主要擴(kuò)散雜質(zhì)源有氣態(tài)源(磷化氫PH3)、液態(tài)源(三氯氧磷P0CL3)、 固態(tài)源(五氧化二磷P2O5)等，考慮到安全、操作保存、量產(chǎn)以及均勻性等因素，目前擴(kuò)散工藝一般采用三氯氧磷液態(tài)源作為擴(kuò)散源，三氯氧磷很容易發(fā)生水解，極易揮發(fā)，高溫下蒸汽壓很高，為了保持蒸汽壓的穩(wěn)定，得到均勻性好的PN結(jié)，需要精確控制三氯氧磷的溫度，通常是把裝有三氯氧磷的源瓶放在20°C的恒溫槽中。由于以空氣做介質(zhì)的低溫恒溫槽價(jià)格昂貴，因此，目前擴(kuò)散爐大多把源瓶放入以水為介質(zhì)的恒溫槽中來控制溫度，而三氯氧磷為無色澄清液體，有刺激性氣味，遇水猛烈分解，產(chǎn)生大量的熱和濃煙，甚至爆炸。一旦員工把裝有三氯氧磷的源瓶進(jìn)氣與出氣管接反，或者出氣閥門由于故障未打開，源瓶就會(huì)爆破，使三氯氧磷與恒溫槽中的水直接反應(yīng)，釋放有毒氣體并對(duì)恒溫槽形成腐蝕。其次，裝有三氯氧磷的源瓶，直接放置在恒溫槽的水浴堝中，隨著三氯氧磷的不斷消耗，瓶子由于變輕而慢慢的浮上水面，給控溫帶來不利影響，也影響源瓶進(jìn)氣、出氣接口的密封性，進(jìn)一步影響工藝穩(wěn)定性和對(duì)擴(kuò)散設(shè)備的腐蝕性威脅。現(xiàn)有的進(jìn)口恒溫槽設(shè)備沒有有效的裝置解除以上威脅， 造成大量的設(shè)備損壞，影響穩(wěn)定生產(chǎn)，增加生產(chǎn)成本。圖1所述為目前太陽能行業(yè)正在廣泛使用的三氯氧磷控溫系統(tǒng)，該系統(tǒng)由恒溫槽 1、控溫容器2、源瓶3三大部分組成，首先在控溫容器2中加入去離子水，再把裝滿三氯氧磷的源瓶3放入控溫容器2中，由恒溫槽1控制去離子水的溫度，達(dá)到控制三氯氧磷溫度的目的。在源瓶3的入口接入隊(duì)管，由擴(kuò)散設(shè)備的氣體控制系統(tǒng)，控制通入一定量的N2進(jìn)入源瓶3中的三氯氧磷液體中，再由隊(duì)攜帶三氯氧磷從源瓶3的出口離開進(jìn)入擴(kuò)散設(shè)備的工藝管中進(jìn)行擴(kuò)散工藝。從圖中可以看出，一旦把源瓶3的隊(duì)進(jìn)氣口與出氣口接反，必然會(huì)造成源瓶3爆裂，致使源瓶3中的三氯氧磷與控溫容器2中的去離子水直接反應(yīng)，產(chǎn)生危險(xiǎn)， 進(jìn)而腐蝕恒溫槽1。還有，由于源瓶3是直接放在控溫容器2的去離子水中，隨著三氯氧磷的消耗，源瓶3會(huì)慢慢浮起來，影響源溫的控制效果。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是，針對(duì)現(xiàn)有進(jìn)口恒溫槽對(duì)源瓶爆破后，無法有效的防止三氯氧磷與水介質(zhì)的直接反應(yīng)帶來的危險(xiǎn)，根據(jù)恒溫槽對(duì)源溫的控制要求以及員工對(duì)源瓶的操作要求，設(shè)計(jì)出一種帶有恒溫槽保護(hù)裝置的三氯氧磷控溫系統(tǒng)，解決源瓶爆破后三氯氧磷與水反應(yīng)帶來的危險(xiǎn)，防止恒溫槽受到意外的腐蝕，而又不影響源溫的精確控制。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是，一種帶有恒溫槽保護(hù)裝置的三氯氧磷控溫系統(tǒng)，包括控溫容器和源瓶，其特征是，源瓶外部套裝保護(hù)筒，控溫容器上設(shè)有蓋板，并在蓋板頂部開孔，所述保護(hù)筒置于蓋板孔內(nèi)，且保護(hù)筒固定在蓋板上。圖2所述為裝備了本實(shí)用新型恒溫槽保護(hù)裝置的三氯氧磷源溫控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)由恒溫槽1、控溫容器2、源瓶3、控溫容器蓋板4、保護(hù)筒5五大部分組成，首先在控溫容器2 中加入去離子水，把控溫容器蓋板4蓋好，再把保護(hù)筒5插入控溫容器蓋板4的孔中并固定好；最后把裝滿三氯氧磷的源瓶3放入保護(hù)筒5中，由恒溫槽1控制去離子水的溫度來控制保護(hù)筒5中的空氣溫度，這樣就以空氣為介質(zhì)，達(dá)到控制三氯氧磷溫度的目的，在源瓶3的入口接入隊(duì)管，由擴(kuò)散設(shè)備的氣體控制系統(tǒng)，控制通入一定量的隊(duì)進(jìn)入源瓶3中的三氯氧磷液體中，再由隊(duì)攜帶三氯氧磷從源瓶3的出口離開進(jìn)入擴(kuò)散設(shè)備的工藝管中進(jìn)行擴(kuò)散工藝。這樣，即使源瓶3的進(jìn)氣口與出氣口接反造成源瓶3爆裂，源瓶3中的三氯氧磷也只會(huì)流入保護(hù)筒5中，不會(huì)與控溫容器2中的去離子水直接反應(yīng)而產(chǎn)生嚴(yán)重的后果，有效的保護(hù)了恒溫槽1不受到腐蝕。同時(shí)，源瓶3是處在保護(hù)筒5中，無浮力的影響，無論三氯氧磷消耗多少，源瓶3都不會(huì)浮動(dòng)，源溫控制、氣路密封性得到有效保障。由以上可知，本實(shí)用新型為一種帶有恒溫槽保護(hù)裝置的三氯氧磷控溫系統(tǒng)，有效的隔斷了源瓶爆破后三氯氧磷與水的直接接觸反應(yīng)，進(jìn)而保護(hù)恒溫槽免受進(jìn)一步腐蝕的危險(xiǎn)。本實(shí)用新型造價(jià)低，改造簡單明了，效果顯著。

圖1為現(xiàn)有三氯氧磷控溫系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型所述帶有恒溫槽保護(hù)裝置的三氯氧磷控溫系統(tǒng)。
具體實(shí)施方式
如圖2所示，一種帶有恒溫槽保護(hù)裝置的三氯氧磷控溫系統(tǒng)，包括控溫容器2和源瓶3，源瓶3外部套裝保護(hù)筒5，控溫容器2上設(shè)有蓋板4，并在蓋板4頂部開孔，所述保護(hù)筒 5置于蓋板孔內(nèi)，且保護(hù)筒5固定在蓋板4上。
權(quán)利要求1. 一種帶有恒溫槽保護(hù)裝置的三氯氧磷控溫系統(tǒng)，包括控溫容器( 和源瓶(3)，其特征是，源瓶( 外部套裝保護(hù)筒( ，控溫容器( 上設(shè)有蓋板(4)，并在蓋板(4)頂部開孔， 所述保護(hù)筒(5)置于蓋板孔內(nèi)，且保護(hù)筒(5)固定在蓋板(4)上。
專利摘要本實(shí)用新型屬于太陽能光伏發(fā)電領(lǐng)域，涉及半導(dǎo)體設(shè)備，進(jìn)一步是指晶體硅太陽能電池生產(chǎn)線中擴(kuò)散設(shè)備的三氯氧磷控溫系統(tǒng)，包括控溫容器和源瓶，源瓶外部套裝保護(hù)筒，控溫容器上設(shè)有蓋板，并在蓋板頂部開孔，所述保護(hù)筒置于蓋板孔內(nèi)，且保護(hù)筒固定在蓋板上。本實(shí)用新型為一種帶有恒溫槽保護(hù)裝置的三氯氧磷控溫系統(tǒng)，有效的隔斷了源瓶爆破后三氯氧磷與水的直接接觸反應(yīng)，進(jìn)而保護(hù)恒溫槽免受進(jìn)一步腐蝕的危險(xiǎn)。本實(shí)用新型造價(jià)低，改造簡單明了，效果顯著。
文檔編號(hào)H01L31/18GK202247018SQ20112039516
公開日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2011年10月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月17日
發(fā)明者劉松, 周大良, 周小榮, 湯輝, 羅亮 申請(qǐng)人:湖南紅太陽新能源科技有限公司