專利名稱：一種打標機的料條高精度定位系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及IC料條打標的料條定位系統(tǒng)，更準確地說，涉及料條被輸送到激光打標位置下方時，由針式定位(縱向定位)、糾偏壓平定位(橫向定位)、托平壓平定位(豎向定位)等組成的系統(tǒng)對料條進行定位的一種打標機的料條高精度定位系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
打標機廣泛應(yīng)用于IC行業(yè)的集成電路的表面打標。根據(jù)使用要求的不同，IC行業(yè)使用的集成電路板有料條(組合芯片)或芯片(塊粒狀芯片)和晶圓三種形式。料條是由若干芯片組合而成的板料，對料條上的每一粒芯片打標時，是直接通過輸送料條和定位料條來實現(xiàn)自動打標的。在現(xiàn)有的打標機中，當料條輸送到打標位置時，只是靠安裝在兩條料條輸送導軌之間的一個氣動升降擋塊實現(xiàn)料條定位的。即料條快輸送到位時，控制系統(tǒng)控制氣動擋塊下降，擋住料條繼續(xù)前進而被定位在兩條料條輸送導軌之間，等待激光打標機的打標頭對該料條上的每一塊芯片打標。這種定位方式簡單方便，但定位精度差，只在料條輸送方向?qū)嵭辛藛蜗蚨ㄎ?。對于較薄和較寬的料條存在的下垂彎曲變形以及芯片尺寸較小的料條的定位誤差，都將嚴重影響打標精度和質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決自動打標機的上述對料條在打標時的定位精度不高的問題，本發(fā)明提供了一套料條高精度定位系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括設(shè)置于打標機的兩條輸送軌道之一上的用于當料條進入料條打標區(qū)域過程中，通過至少一個糾偏壓輪將料條的側(cè)邊向另一側(cè)的輸送軌道橫向推壓，之后又能將到位的料條自上而下壓平的糾偏壓平裝置；還包括，優(yōu)選的是，還包括設(shè)置在打標機其中一條輸送軌道上的當料條輸送到料條打標位置時，料條高精度定位系統(tǒng)的料條托平裝置上的托板能從料條下方將其托平的托平裝置；優(yōu)選的是，還包括設(shè)置在一條輸送軌道上的當料條輸送到料條打標位置時，料條高精度定位系統(tǒng)的針式定位裝置上定位針會自上而下穿過料條側(cè)邊上定位孔，再繼續(xù)向下插入前導軌支承料條的臺階上的定位缺口上，而將料條進行縱向精確定位的針式定位裝置。優(yōu)選的是，糾偏壓平裝置包括設(shè)置為中間有可調(diào)間隙的上、下導軌，以及設(shè)置在兩導軌之間的施加橫向彈性壓力的結(jié)構(gòu)；在上導軌上還設(shè)有通過一驅(qū)動件驅(qū)動上導軌相對下導軌作上、下運動的主動壓板，該主動壓板上還設(shè)有伸至打標機的輸送軌道軌間的柵格狀壓板，該柵格狀壓板設(shè)置為允許料條的待打標區(qū)域從柵格露出。優(yōu)選的是，托平裝置主要由料條托板，托平板連接板，導向軸，導向套，滾珠絲杠螺母，滾珠絲杠，電機，控制板以及安裝板組成。其中，料條托板用于與料條底部相接觸托起料條，托平板連接板連接于料條托板下方，托平板連接板的底部中間位置連接一滾珠絲杠副的滾珠絲杠螺母，與該滾珠絲杠螺母配合的滾珠絲杠與電機的電機軸相耦合，電機固連在安裝板上，驅(qū)動電機即可實現(xiàn)料條托板的上升和下降運動。安裝板上還設(shè)有導向套，導向套內(nèi)延伸有導向軸，導向軸的一端與托平板連接板固連，導向軸和導向套的配合可實現(xiàn)料條托板的平穩(wěn)升降。優(yōu)選的是，針式定位裝置主要由針式定位裝置支承座組件、針式定位裝置扣板組件、針式定位裝置定位針組件等三大組件組成；針式定位裝置支承座組件在該裝置的下方，其支承座與工作臺相固連，安裝板固裝在與支承座之間有上下高度調(diào)整的調(diào)整軸上，定位針升降氣缸固裝在安裝板的下平面上，該氣缸的活塞桿穿過安裝板的中部圓孔，推頂定位針組件上升，使定位針上升到脫離定位的位置。當需要定位時，氣缸換向后，定位針組件靠自重下降，使定位針將料條定位在支承料條的導軌臺階上的定位缺口上；扣板組件在支承座組件的上方，其上的導向軸精密插入支承座組件的導向軸套內(nèi)，定位針升降氣缸的活塞桿上升時，扣板組件整體上升，定位針升降氣缸的活塞桿下降時，扣板組件整體靠自重下降；安裝在扣板組件安裝板上的定位銷是用來定位和安裝定位針組件的；安裝在扣板組件安裝板上的扣板也是用來定位和安裝定位針組件的；為保證定位和安裝精度，扣板組件安裝板是由一塊整料精密加工出來的。定位針組件定位安裝在扣板組件的內(nèi)側(cè)面和支承座組件的上方，兩根定位針安裝在定位針安裝板上，安裝板側(cè)面上的兩個孔與扣板組件上的定位銷精密配合，固裝在定位針安裝板上的扣槽與扣板組件的扣板扣合。優(yōu)選的是，為保證定位和安裝精度，定位針安裝板是由一塊整料精密加工出來的。該系統(tǒng)有以下特點1.該系統(tǒng)由料條擋塊與針式定位裝置、糾偏壓平裝置、托平裝置組成。2.氣動擋塊與針式定位裝置負責料條的縱向精確定位。3.糾偏壓平裝置負責料條的橫向精確定位和料條向上翹曲變形的定位。4.托平裝置負責料條的垂直方向定位， 保證料條不會向下產(chǎn)生彎曲變形。打標機的料條高精度定位系統(tǒng)是利用現(xiàn)代機械技術(shù)，控制技術(shù)，計算機技術(shù)，檢測傳感技術(shù)等多種技術(shù)手段，將需要打標的IC料條以快速、有序、穩(wěn)定、準確地定位在打標位置上，從而實現(xiàn)高精度定位打標的目標。


圖1為依照本發(fā)明的打標機的料條高精度定位系統(tǒng)圖；圖2為料條托平裝置的結(jié)構(gòu)立體圖；圖3a為不帶壓平柵格的糾偏壓平裝置的立體圖；圖北為帶壓平柵格的糾偏壓平裝置的立體圖；圖3c為帶壓平柵格的糾偏壓平裝置的后視圖；圖3d為帶壓平柵格的糾偏壓平裝置的爆炸圖；圖如為針式定位裝置立體圖；圖4b為針式定位裝置支承座組件圖；圖如為針式定位裝置扣板組件圖；圖4d為針式定位裝置定位針組件圖。CN 102456536 A說明書3/5 頁
具體實施例方式打標機的料條高精度定位系統(tǒng)如圖1所示，主要由料條托平裝置1，針式定位裝置 2，前導軌3，后導軌4，料條輸送電機5，糾偏壓平裝置6，從動輸送壓輪7，主動輸送滾輪8， 料條擋塊9等組成。打標機的料條高精度定位系統(tǒng)一般安裝在打標機整條料條輸送裝置的中部，其正上方安裝有激光打標頭。料條高精度定位系統(tǒng)的料條擋塊9通過橫梁和氣缸，安裝在前導軌3(即料條前進方向右側(cè)的導軌)一側(cè)，固裝在前導軌外側(cè)的氣缸的活塞桿上端通過水平但垂直于前導軌3的橫梁，將料條擋塊連接，氣缸的活塞桿上下運動，就會帶動料條擋塊上下移動，實現(xiàn)對料條的擋料和放料；料條高精度定位系統(tǒng)的托平裝置安裝在前后導軌之間且適當靠近前導軌一側(cè)，整個托平裝置處在打標料條的下方，其上的托平板在滾珠絲桿帶動下可上升托平待打標的料條；料條高精度定位系統(tǒng)的糾偏裝置安裝在后導軌4 一側(cè)， 其上的糾偏組件和壓平組件直接與該段導軌關(guān)聯(lián)，其上的料條壓平柵格的外伸部分，可在料條的上方對料條從上向下實施壓平；料條高精度定位系統(tǒng)的針式定位裝置安裝在前導軌 3—側(cè)，其上的兩根定位插針隨定位組件靠自重下移時，可穿過料條的定位邊孔和前導軌托料臺階上的定位缺口，將料條固定在前導軌托料臺階上的定位缺口處。待打標的料條由前級輸送導軌(前導軌3和后導軌4)上的輸送滾輪，從左向右輸送料條，當料條的前端進入料條高精度定位系統(tǒng)打標區(qū)域時，由料條輸送電機5通過兩級同步帶帶動的主動輸送滾輪8滾動，再借助由氣缸驅(qū)動的從動輸送壓輪7，由主動輸送滾輪 8和氣缸驅(qū)動的壓輪7使料條繼續(xù)向前輸送。在料條向前輸送過程中，設(shè)置在后導軌4內(nèi)側(cè)的糾偏裝置的糾偏壓輪壓住料條側(cè)邊使料條向前導軌內(nèi)側(cè)靠齊，實現(xiàn)料條的橫向定位；當料條的前端到達料條擋塊9時，被其擋住，實現(xiàn)料條的縱向粗定位；與此同時，料條輸送電機5和主動輸送滾輪8停止轉(zhuǎn)動，壓輪7在氣缸驅(qū)動下抬起并與料條脫離接觸；之后，料條托平裝置1適當上升托平料條實現(xiàn)垂直方向單向定位；設(shè)置在料條前進方向右側(cè)的針式定位裝置的兩根插針插入料條一側(cè)面的定位孔和前導軌托料臺階上的定位缺口，實現(xiàn)料條的縱向精定位；糾偏壓平裝置的料條壓平組件從上向下將料條適當壓平(即活動導軌將料條前進方向左側(cè)的孔邊壓住，料條壓平柵格將料條上面的非打標部分壓住)，實現(xiàn)料條的垂直定位。上述定位完成之后，安放在料條上方的激光打標頭立即啟動對料條上的各芯片逐一打標。打標完成后，針式定位裝置、料條托平裝置，糾偏壓平裝置的壓平組件等定位部分立即恢復到原位；料條擋塊9在氣缸帶動下立即上升，解除對該料條的阻擋；料條輸送電機啟動，通過兩級同步帶帶動的主動輸送滾輪8滾動，再借助由氣缸驅(qū)動的從動輸送壓輪7，由主動輸送滾輪8和氣缸驅(qū)動的壓輪7使料條送出高精度定位系統(tǒng)打標區(qū)，再由后續(xù)的料條輸送裝置將該料條送往下面的加工工序。與此同時，第二塊待打標的料條如第一塊料條的輸送步驟一樣，進入高精度定位系統(tǒng)，接受定位和打標。如此反復進行，就能將一塊塊料條實現(xiàn)高精度定位和打標。料條托平裝置1是指當料條輸送到料條打標位置時，料條高精度定位系統(tǒng)的料條托平裝置上的托板能從料條下方將其托平的裝置。如圖2所示，托平裝置1主要由料條托板101，托平板連接板102，導向軸103，導向套104，滾珠絲杠螺母105，滾珠絲杠106，電機107，控制板108以及安裝板109組成。其中，料條托板101用于與料條底部相接觸托起料條，托平板連接板102連接于料條托板101 下方，托平板連接板102的底部中間位置連接一滾珠絲杠副的滾珠絲杠螺母105，與該滾珠絲杠螺母105配合的滾珠絲杠106與電機107的電機軸相耦合，電機107固連在安裝板109 上，驅(qū)動電機即可實現(xiàn)料條托板101的上升和下降運動。安裝板109上還設(shè)有導向套104， 導向套內(nèi)延伸有導向軸103，導向軸103的一端與托平板連接板102固連，導向軸103和導向套的配合可實現(xiàn)料條托板101的平穩(wěn)升降。打標機的料條糾偏壓平裝置6是指當料條進入料條打標區(qū)域過程中，料條高精度定位系統(tǒng)的料條糾偏壓平裝置上的糾偏壓輪，會壓住的側(cè)邊將料條向料條前進方向的右側(cè)導軌(導軌幻一側(cè)靠攏，之后又能將到位的料條自上而下壓平的一種裝置。如圖3a至3d所示，糾偏壓平裝置6主要由料條導向固定導軌601，可上下活動導軌602，活動導軌導向銷釘603，主動壓板604，主動壓板升降氣缸605，糾偏彈簧座板606，糾偏彈簧607，糾偏壓輪608，糾偏彈簧擺臂609，擺臂支承軸610，糾偏組件蓋板611，蓋板緊固螺釘612，糾偏彈簧座板緊固螺釘613，料條壓平柵格614，壓平柵格緊固螺釘615，糾偏壓輪銷軸616，壓縮彈簧617組成。其中，固定導軌601設(shè)置于前導軌或后導軌上，可上下活動導軌602通過活動導軌導向銷釘603配合于料條導向固定導軌601上，導向銷釘603略長于兩導軌的厚度之和，且在可上下活動導軌602與料條導向固定導軌601之間設(shè)置有彈簧617， 這樣兩導軌就有間距，且該間距就可在彈簧的作用下被壓縮或因彈簧恢復而擴大。間距的壓縮是通過設(shè)置于可上下活動導軌602上方的主動壓板604實現(xiàn)的，該主動壓板604由升降氣缸605驅(qū)動帶動可上下活動導軌602上下運動，從而改變其與導向固定導軌601的間隙，在兩導軌(601、602)上還設(shè)有至少一套橫向調(diào)整結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)包括糾偏彈簧擺臂609， 其設(shè)置于固定導軌601的一個凹部內(nèi)，其一端樞接在擺臂支承軸610上，另一端通過糾偏壓輪銷軸616與糾偏壓輪608樞接，這樣，糾偏彈簧擺臂609可沿其一端樞轉(zhuǎn)，從而另一端可帶動糾偏壓輪608轉(zhuǎn)動，同時偏壓輪608自身也可樞轉(zhuǎn)，在凹部內(nèi)與糾偏彈簧擺臂609具有糾偏壓輪608的一端設(shè)有由緊固螺釘613固定的糾偏彈簧座板606，該座板上設(shè)有與糾偏彈簧擺臂609具有糾偏壓輪608的一端相抵的糾偏彈簧607，這樣，當糾偏壓輪608受到橫向力的作用時就會帶動糾偏彈簧擺臂609擺動，且在橫向力失去后在糾偏彈簧607的作用下使彈簧擺臂復位，從而調(diào)整前、后導軌間的橫向?qū)挾?。為了便于安裝該橫向調(diào)整結(jié)構(gòu)，可上下活動導軌602上設(shè)置由蓋板緊固螺釘612 固定的糾偏組件蓋板611。料條壓平柵格614通過壓平柵格緊固螺釘615固定于主動壓板604上，并在氣缸的作用下與主動壓板604 —起運動，柵格的設(shè)置旨在為激光頭就出打標空間，柵格的大小可根據(jù)料條更改。打標機的料條針式定位裝置2是指當料條輸送到料條打標位置時，料條高精度定位系統(tǒng)的針式定位裝置上定位針會自上而下穿過料條側(cè)邊上定位孔，再繼續(xù)向下插入前導軌支承料條臺階上的定位缺口，而將料條進行縱向精確定位的一種裝置。如圖如所示，針式定位裝置主要由針式定位裝置支承座組件、針式定位裝置扣板組件、針式定位裝置定位針組件等三大組件組成。如圖4b所示，針式定位裝置支承座組件在該裝置的下方，其支承座211與工作臺相固連，安裝板208固裝在與支承座211之間有上下高度調(diào)整的調(diào)整軸212上，定位針升降氣缸210固裝在安裝板208的下平面上，該氣缸210的活塞桿穿過安裝板208的中部圓孔，推頂定位針組件上升，使定位針上升到脫離定位的位置。當需要定位時，氣缸換向后，定位針組件靠自重下降，使定位針將料條定位在支承料條的導軌臺階上的定位缺口(即半圓孔，圖中未畫)上。如圖如所示，扣板組件在支承座組件的上方，其上的導向軸205精密插入支承座組件的導向軸套209內(nèi)，定位針升降氣缸210的活塞桿上升時，扣板組件整體上升，定位針升降氣缸210的活塞桿下降時，扣板組件整體靠自重下降；安裝在扣板組件安裝板上的定位銷206是用來定位和安裝定位針組件的；安裝在扣板組件安裝板204上的扣板207也是用來定位和安裝定位針組件的；為保證定位和安裝精度，扣板組件安裝板204是由一塊整料精密加工出來的。如圖4d所示，定位針組件定位安裝在扣板組件的內(nèi)側(cè)面和支承座組件的上方，兩根定位針安裝在定位針安裝板201上，安裝板201側(cè)面上的兩個孔與扣板組件上的定位銷 206精密配合，固裝在定位針安裝板上的扣槽203與扣板組件的扣板207扣合。為保證定位和安裝精度，定位針安裝板201是由一塊整料精密加工出來的。三部分安裝完成后，定位針組件和扣板組件連接為一個整體，非定位狀態(tài)時，定位針升降氣缸210的活塞桿通過扣板組件安裝板204使定位針組件和扣板組件整體上升，需要定位時，定位針升降氣缸210的活塞桿下降，定位針組件和扣板組件整體自重下降，使兩定位針對料條上下高精度縱向定位。如圖1所示，在一打標機的中央控制系統(tǒng)的控制下，待打標的料條由前級輸送導軌(前導軌3和后導軌4)上的輸送滾輪，從左向右輸送料條，當料條的前端進入料條高精度定位系統(tǒng)的打標區(qū)域時，由料條輸送電機5通過兩級同步帶帶動的主動輸送滾輪8滾動， 再借助由氣缸驅(qū)動的從動輸送壓輪7，由主動輸送滾輪8和氣缸驅(qū)動的壓輪7使料條繼續(xù)向前輸送。在料條向前輸送過程中，設(shè)置在后導軌4內(nèi)側(cè)的糾偏裝置的糾偏壓輪8 (見圖3-8) 壓住料條側(cè)邊使料條向前導軌3內(nèi)側(cè)靠齊，實現(xiàn)料條的橫向定位；當料條的前端到達料條擋塊9時，被其擋住，實現(xiàn)料條的縱向粗定位；與此同時，料條輸送電機5和主動輸送滾輪8 停止轉(zhuǎn)動，壓輪7在氣缸驅(qū)動下抬起并與料條脫離接觸；之后，料條托平裝置的托平板1 (圖 2-1)適當上升，托平料條而實現(xiàn)垂直方向的單向定位；設(shè)置在料條前進方向右側(cè)的針式定位裝置的兩根插針插入料條一側(cè)面的定位孔，實現(xiàn)料條的縱向精定位；糾偏壓平裝置的料條壓平組件從上向下將料條適當壓平(即活動導軌將料條前進方向左側(cè)的孔邊壓住，料條壓平柵格將料條上面的非打標部分壓住)，實現(xiàn)料條的垂直定位。上述定位完成之后，安裝在料條上方的激光打標頭立即啟動對料條上的各芯片逐一打標。打標完成后，針式定位裝置、料條托平裝置，糾偏壓平裝置的壓平組件等定位部分立即恢復到原位；料條擋塊9在氣缸帶動下立即上升，解除對該料條的阻擋；料條輸送電機5啟動，通過兩級同步帶帶動的主動輸送滾輪8滾動，再借助由氣缸驅(qū)動的從動輸送壓輪7，由主動輸送滾輪8和氣缸驅(qū)動的壓輪7使料條送出高精度定位系統(tǒng)打標區(qū)，再由后續(xù)的料條輸送裝置將該料條送往下面的加工工序。與此同時，第二塊待打標的料條如第一塊料條的輸送步驟一樣，進入高精度定位系統(tǒng)，接受定位和打標。如此反復進行，就能將一塊塊料條實現(xiàn)高精度定位和打標。
權(quán)利要求
1.一種打標機的料條高精度定位系統(tǒng)，其特征在于包括設(shè)置于打標機的一條輸送軌道之一上的用于當料條進入料條打標區(qū)域過程中，通過至少一個糾偏壓輪將料條的側(cè)邊向另一側(cè)的輸送軌道橫向推壓，之后又能將到位的料條自上而下壓平的糾偏壓平裝置；設(shè)置在打標機其中一條輸送軌道上的當料條輸送到料條打標位置時，料條高精度定位系統(tǒng)的料條托平裝置上的托板能從料條下方將其托平的托平裝置；以及設(shè)置在一條輸送軌道上的當料條輸送到料條打標位置時，料條高精度定位系統(tǒng)的針式定位裝置上定位針會自上而下穿過料條側(cè)邊上定位孔，再繼續(xù)向下插入前導軌支承料條臺階上的料條定位缺口，而將料條進行縱向精確定位的針式定位裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的打標機的料條高精度定位系統(tǒng)，其特征在于糾偏壓平裝置包括設(shè)置為中間有可調(diào)間隙的上、下導軌，以及設(shè)置在兩導軌之間的施加橫向彈性壓力的結(jié)構(gòu)；在上導軌上還設(shè)有通過一驅(qū)動件驅(qū)動上導軌相對下導軌作上、下運動的主動壓板，該主動壓板上還設(shè)有伸至打標機的輸送軌道軌間的柵格狀壓板，該柵格狀壓板設(shè)置為允許料條的待打標區(qū)域從柵格露出。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的打標機的料條高精度定位系統(tǒng)，其特征在于托平裝置包括料條托板，托平板連接板，導向軸，導向套，滾珠絲杠螺母，滾珠絲杠，電機，控制板8以及安裝板；其中，料條托板用于與料條底部相接觸托起料條，托平板連接板連接于料條托板下方，托平板連接板的底部中間位置連接一滾珠絲杠副的滾珠絲杠螺母，與該滾珠絲杠螺母配合的滾珠絲杠與電機的電機軸相耦合，電機固連在安裝板上，驅(qū)動電機即可實現(xiàn)料條托板的上升和下降運動。安裝板上還設(shè)有導向套，導向套內(nèi)延伸有導向軸，導向軸的一端與托平板連接板固連，導向軸和導向套的配合可實現(xiàn)料條托板的平穩(wěn)升降。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的打標機的料條高精度定位系統(tǒng)，其特征在于針式定位裝置包括相互配合的針式定位裝置支承座組件、針式定位裝置扣板組件、針式定位裝置定位針組件等三大組件；針式定位裝置支承座組件在該裝置的下方，其支承座與工作臺相固連，安裝板固裝在與支承座之間有上下高度調(diào)整的調(diào)整軸上，定位針升降氣缸固裝在安裝板的下平面上，該氣缸的活塞桿穿過安裝板的中部圓孔，推頂定位針組件上升，使定位針上升到脫離定位的位置。當需要定位時，氣缸換向后，定位針組件靠自重下降，使定位針將料條定位在支承料條的導軌臺階上的定位缺口上；扣板組件在支承座組件的上方，其上的導向軸精密插入支承座組件的導向軸套內(nèi)，定位針升降氣缸的活塞桿上升時，扣板組件整體上升，定位針升降氣缸的活塞桿下降時，扣板組件整體靠自重下降；安裝在扣板組件安裝板上的定位銷是用來定位和安裝定位針組件的；安裝在扣板組件安裝板上的扣板也是用來定位和安裝定位針組件的；為保證定位和安裝精度，扣板組件安裝板是由一塊整料精密加工出來的；定位針組件定位安裝在扣板組件的內(nèi)側(cè)面和支承座組件的上方，兩根定位針安裝在定位針安裝板上，安裝板側(cè)面上的兩個孔與扣板組件上的定位銷精密配合，固裝在定位針安裝板上的扣槽與扣板組件的扣板207扣合。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的打標機的料條高精度定位系統(tǒng)，其特征在于為保證定位和安裝精度，定位針安裝板是由一塊整料精密加工出來的。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種打標機的料條高精度定位系統(tǒng)，其特征在于包括設(shè)置于打標機的一條輸送軌道之一上的用于當料條進入料條打標區(qū)域過程中，通過至少一個糾偏壓輪將料條的側(cè)邊向另一側(cè)的輸送軌道橫向推壓，之后又能將到位的料條自上而下壓平的糾偏壓平裝置；設(shè)置在打標機其中一條輸送軌道上的當料條輸送到料條打標位置時，料條高精度定位系統(tǒng)的料條托平裝置上的托板能從料條下方將其托平的托平裝置；以及設(shè)置在一條輸送軌道上的當料條輸送到料條打標位置時，料條高精度定位系統(tǒng)的針式定位裝置上定位針會自上而下穿過料條側(cè)邊上定位孔，再繼續(xù)向下插入前導軌支承料條臺階上的料條定位缺口，而將料條進行縱向精確定位的針式定位裝置。
文檔編號H01L21/00GK102456536SQ201010511440
公開日2012年5月16日 申請日期2010年10月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月19日
發(fā)明者劉國才, 周冠彬, 唐召來, 張松嶺, 戚長政, 林健昌, 林宜龍, 田亮 申請人:格蘭達技術(shù)(深圳)有限公司