專利名稱：容器交換裝置和容器交換方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于交換容器(托板)的容器交換裝置和容器交換方法，所述容 器用于收納板狀體，特別是在液晶顯示器、等離子顯示器等平板顯示器(FPD)中使用的大 型玻璃板。
背景技術(shù)：
在玻璃板的制造工序中，將由玻璃板制造窯制造的帶狀板玻璃切割為預(yù)定尺寸的 玻璃板，然后將該切割的矩形玻璃板用傳送帶依次運(yùn)送。將這些玻璃板逐片地用機(jī)器人或 專用機(jī)械吸附保持并逐片地收納到容器中。當(dāng)容器中收納預(yù)定片數(shù)的玻璃板時(shí)，將容器交 換并重復(fù)收納。另外，將收納到容器中的玻璃板送入玻璃板加工工序時(shí)，用機(jī)器人或?qū)Ｓ脵C(jī) 械將玻璃板逐片吸附保持，并進(jìn)行供給到玻璃板加工工序。從容器中將收納的玻璃板送入 玻璃板加工工序的過(guò)程結(jié)束時(shí)，交換容器重復(fù)送入。容器的類型已知有將預(yù)定片數(shù)的玻璃板以豎立排列的狀態(tài)收納的立式容器和將 預(yù)定片數(shù)的玻璃板平置地層疊收納的臥式容器。臥式容器可以重疊，因此與難以重疊的立 式容器相比，具有收納片數(shù)相對(duì)于容器所具有的底板面積的比例高的優(yōu)點(diǎn)。因此，目前立式 容器受到關(guān)注。不過(guò)，在現(xiàn)有容器交換裝置中，通過(guò)將欲交換的兩個(gè)容器配置到圓形臺(tái)(轉(zhuǎn)臺(tái))上 相對(duì)的位置并使圓形臺(tái)旋轉(zhuǎn)180度來(lái)實(shí)施容器的交換。因此，需要圓形臺(tái)的旋轉(zhuǎn)半徑量的 空間，因此容器越大型化，為了交換容器所需的交換空間(容器交換裝置的占有面積)越 大。因此，大型玻璃板用的現(xiàn)有容器交換裝置存在占有面積大的問(wèn)題。在臥式容器中進(jìn)行玻璃板的收納和取出時(shí)，為了減小收納取出裝置的動(dòng)作范圍， 有時(shí)使臥式容器傾斜。使臥式容器傾斜而在臥式容器中進(jìn)行玻璃板的收納和取出時(shí)，在旋 轉(zhuǎn)臺(tái)方式下，為了收納或取出玻璃板而使容器立起放倒的機(jī)構(gòu)需要與交換的兩個(gè)容器對(duì)應(yīng) 地為兩個(gè)，裝置復(fù)雜，成本增加。另外，由于容器的大型化，圓形臺(tái)的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作時(shí)間延長(zhǎng)，實(shí) 質(zhì)上未使用設(shè)備的停機(jī)時(shí)間增加。在此，不存在與本發(fā)明直接相關(guān)的現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)，作為認(rèn)為與本發(fā)明有關(guān)聯(lián)的現(xiàn) 有技術(shù)文獻(xiàn)，例如有專利文獻(xiàn)1 3。專利文獻(xiàn)1涉及自動(dòng)地進(jìn)行托板的交換和收納的自動(dòng)托板交換收納取出裝置。該 文獻(xiàn)中公開(kāi)了 使支撐框架在收納平臺(tái)與部件出入平臺(tái)之間往返移動(dòng)，使升降體沿支撐框 架的支柱升降，從由升降體支撐的托板兩側(cè)將其夾緊，同步地在夾緊方向或松開(kāi)方向上移動(dòng)。專利文獻(xiàn)2涉及一種托板的供給排出裝置，由部件供給部將搭載有部件的托板供 給至作業(yè)部，并將在作業(yè)部騰空的托板返回部件供給部并排出。該文獻(xiàn)中公開(kāi)了 上下驅(qū)動(dòng) 將設(shè)置在部件供給部與作業(yè)部之間的托板從部件供給部移送到作業(yè)部并從作業(yè)部移送到 部件供給部的上下兩段配置的臺(tái)，以位于面對(duì)各個(gè)部件供給部、作業(yè)部的位置。專利文獻(xiàn)3涉及具備將液晶玻璃等板狀構(gòu)件的收納順序交換的交換裝置的運(yùn)送系統(tǒng)。該文獻(xiàn)中公開(kāi)了 將目標(biāo)收納容器從層疊的收納容器分離，使目標(biāo)收納容器暫時(shí)縮進(jìn) 到縮進(jìn)部位，形成用于送入目標(biāo)收納容器的空間使得目標(biāo)收納容器的層疊順序不同，并從 縮進(jìn)部位送入，由此將層疊的收納容器的層疊順序交換。專利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)平6-255792號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2 日本特開(kāi)2002-185185號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本特開(kāi)2006-347753號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，提供一種能夠減少容器交換所需的 空間的容器交換裝置和容器交換方法。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本明提供一種容器交換裝置，用于使收納各板狀體的第一容 器和第二容器移動(dòng)而互換，其特征在于，具備分別載置所述第一和第二容器的第一和第二行駛臺(tái)車；通過(guò)所述第一或第二行駛臺(tái)車進(jìn)行所述容器的交接的交接機(jī)構(gòu)；和移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述第一和第二行駛臺(tái)車在向所述容器交換裝置供給所 述容器或者從所述容器交換裝置移出所述容器的位置與配置有所述交接機(jī)構(gòu)的位置之間 在平面視圖中以同一路徑往復(fù)移動(dòng)，所述第一和第二行駛臺(tái)車中的至少一個(gè)行駛臺(tái)車具備使所述容器升降的升降機(jī) 構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)使具備該升降機(jī)構(gòu)的行駛臺(tái)車的載置容器的容器支撐部的下表面 位置上升到比在另一個(gè)行駛臺(tái)車的容器支撐部上所載置的容器的上表面位置高的位置，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述第一和第二行駛臺(tái)車沿相反方向且各個(gè)容器位置在不同的 高度下交叉地移動(dòng)，從而將所述第一容器與所述第二容器互換。在此，優(yōu)選所述交接機(jī)構(gòu)具備立起放倒裝置，使所述容器傾斜所述板狀體的收納 角度或取出角度，所述立起放倒裝置具備支撐所述容器的背面支撐構(gòu)件和傾斜時(shí)容器支撐構(gòu)件；及以沿與所述第一和第二行駛臺(tái)車的移動(dòng)方向大致正交且與所述第一和第二行駛 臺(tái)車的容器支撐部的上表面平行的方向延伸的軸為中心使所述背面支撐構(gòu)件和傾斜時(shí)容 器支撐構(gòu)件旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)。另外，優(yōu)選所述立起放倒裝置使所述背面支撐構(gòu)件和所述傾斜時(shí)容器支撐構(gòu)件旋 轉(zhuǎn)，由此通過(guò)所述第一行駛臺(tái)車與所述交接機(jī)構(gòu)或所述第二行駛臺(tái)車與所述交接機(jī)構(gòu)交接 所述容器?；蛘撸瑑?yōu)選所述第一和第二行駛臺(tái)車均具備使所述容器升降的升降機(jī)構(gòu)，所述第一和第二行駛臺(tái)車的升降機(jī)構(gòu)使所述容器升降，由此通過(guò)所述第一行駛臺(tái) 車與所述交接機(jī)構(gòu)或所述第二行駛臺(tái)車與所述交接機(jī)構(gòu)交接所述容器。另外，本發(fā)明提供一種容器交換方法，使收納有板狀體的第一容器和第二容器移 動(dòng)而互換，其特征在于，上述容器交換裝置具備
分別載置所述第一和第二容器的第一和第二行駛臺(tái)車；通過(guò)所述第一或第二行駛臺(tái)車進(jìn)行所述容器的交接的交接機(jī)構(gòu)；和移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述第一和第二行駛臺(tái)車在向所述容器交換裝置供給所 述容器或者從所述容器交換裝置移出所述容器的位置與配置有所述交接機(jī)構(gòu)的位置之間 在平面視圖中以同一路徑往復(fù)移動(dòng)，所述第一和第二行駛臺(tái)車中的至少一個(gè)行駛臺(tái)車具備使所述容器升降的升降機(jī) 構(gòu)，在容器交換裝置中，所述升降機(jī)構(gòu)使具備該升降機(jī)構(gòu)的行駛臺(tái)車的載置容器的容器支撐部的下表面 位置上升到比在另一個(gè)行駛臺(tái)車的容器支撐部上所載置的容器的上表面位置高的位置，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述第一和第二行駛臺(tái)車沿相反方向且各個(gè)容器位置在不同的 高度下 交叉地移動(dòng)，從而將所述第一容器和所述第二容器互換。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，使第一和第二行駛臺(tái)車中的一個(gè)容器支撐部上升，并且各個(gè)行駛臺(tái) 車沿相反方向在將容器供給到容器交換裝置或者將容器從所述容器交換裝置移出的位置 與配置有交接機(jī)構(gòu)的位置之間在俯視圖中以同一路徑、并且以不同的高度交叉的方式移 動(dòng)，從而將容器交換。因此，只要是兩個(gè)容器量的長(zhǎng)度和大概一個(gè)容器量的橫寬，就可以將 兩個(gè)容器交換，因此與現(xiàn)有的圓形臺(tái)方式相比，可以顯著減小容器交換所需的空間。例如，以第八代尺寸的玻璃板進(jìn)行比較，現(xiàn)有的圓形臺(tái)方式下，所需的空間為約 36m2。與此相對(duì)，本發(fā)明的容器交換方式的情況下為約21m2，兩者的不同、本發(fā)明的容器交 換方式的優(yōu)越性是明確的。對(duì)于本發(fā)明的容器交換方式的優(yōu)越性而言，容器的尺寸越大越 明顯。另外，根據(jù)本發(fā)明，在玻璃板的收納或取出位置設(shè)置一個(gè)使容器傾斜的機(jī)構(gòu)即可， 因此可以減少立起放倒容器的機(jī)構(gòu)而簡(jiǎn)化設(shè)備，可以實(shí)現(xiàn)成本下降。另外，根據(jù)本發(fā)明，在一個(gè)容器中收納板狀體、或者從容器取出板狀體的期間，可 以用叉車從容器交換裝置移出另一個(gè)容器，然后用叉車將收納或取出了板狀體的容器供給 到容器交換裝置。即，可以同時(shí)進(jìn)行兩項(xiàng)作業(yè)，因此可以提高作業(yè)效率。另外，根據(jù)本發(fā)明，將來(lái)即使容器更進(jìn)一步大型化的情況下，只是增加大型化的容 器的長(zhǎng)度和寬度量的空間，并且交換時(shí)間也只是延長(zhǎng)移動(dòng)該長(zhǎng)度量的距離所需的時(shí)間，因 此與現(xiàn)有的旋轉(zhuǎn)臺(tái)方式相比，可以抑制占有面積的增大，還可以提高容器交換效率。


圖1是臥式容器的側(cè)剖視圖。圖2是圖1所示臥式容器的基座的俯視圖。圖3是玻璃板用收納取出裝置的概略俯視圖。圖4(a)和(b)分別是立起放倒裝置的主視圖和側(cè)視圖。圖5是顯示本發(fā)明的容器交換裝置的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施方式的概略立體圖。圖6是表示容器交換裝置的動(dòng)作的概略圖。圖7是表示接著圖6的容器交換裝置的動(dòng)作的概略圖。
圖8是表示接著圖7的容器交換裝置的動(dòng)作的概略圖。圖9是表示接著圖8的容器交換裝置的動(dòng)作的概略圖。圖10是表示接著圖9的容器交換裝置的動(dòng)作的概略圖。圖11是表示接著圖10的容器交換裝置的動(dòng)作的概略圖。圖12是表示接著圖11的容器交換裝置的動(dòng)作的概略圖。標(biāo)號(hào)說(shuō)明1 容器3 基座4 玻璃板5 頂材6 保護(hù)材料11 叉車用孔15 側(cè)板17 保護(hù)材料18 夾紙20 玻璃端面滑動(dòng)用構(gòu)件30 框體50 玻璃板用收納取出裝置52 傳送帶54運(yùn)送裝置56交接機(jī)構(gòu)58臂部60吸附墊62，116 軸90容器交換裝置92，94 容器96，97 臺(tái)架98立起放倒裝置100,102 行駛臺(tái)車104，105 導(dǎo)軌106,122容器支撐部110 背面板112 底面板114，115升降控制部126，128 主體127，129 滑動(dòng)機(jī)構(gòu)
具體實(shí)施例方式以下， 基于附圖對(duì)本發(fā)明的容器交換裝置和容器交換方法的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。本發(fā)明的容器交換裝置是對(duì)收納預(yù)定片數(shù)的板狀體的容器進(jìn)行交換的裝置，例如 將層疊收納預(yù)定片數(shù)的玻璃板的臥式(平放)的容器(以下稱為實(shí)容器)與未收納玻璃板 的空的容器(以下稱為空容器)交換的容器交換裝置。以下，在進(jìn)行本發(fā)明的容器交換裝 置的說(shuō)明之前，對(duì)容器、將玻璃板收納到該容器中或者從容器取出玻璃板的收納取出裝置 進(jìn)行說(shuō)明。首先，對(duì)容器進(jìn)行說(shuō)明。圖1是臥式容器1的側(cè)剖視圖。容器1中收納有預(yù)定尺寸例如所謂的第八代尺寸 (約2000mmX約2300mm以上)的玻璃板4。該容器1由基座3和設(shè)置在基座3上的頂材 5構(gòu)成，數(shù)十 數(shù)百片玻璃板4以水平層疊的狀態(tài)被收納。圖2是基座3的俯視圖。在該基座3中，如圖2所示，通過(guò)將型鋼以縱橫多根格子 狀組裝而形成框體30。另外，在框體30的上表面固定有層疊玻璃板4的頂材(層疊玻璃板 的底板)5，在頂材5的上表面固定有玻璃板4的保護(hù)材料6 (參考圖1)。該頂材5是為了 將玻璃板4穩(wěn)定地載置于基座3上、以及為了防止塵埃侵入收納玻璃板4的容器內(nèi)部空間 內(nèi)而設(shè)置。
另外，容器1與收納的玻璃板4的形狀一致，其俯視圖構(gòu)成稍大于玻璃板尺寸的矩 形。容器1在裝載預(yù)定片數(shù)的玻璃板4時(shí)，需要耐受玻璃板重量的結(jié)構(gòu)及剛性。另外，收納或取出玻璃板4時(shí)，在后述的實(shí)施方式中使容器1傾斜，因此使容器1 傾斜時(shí)用于固定玻璃板4的位置的部件即側(cè)板15平行于頂材5的一邊地設(shè)置、固定在該邊 的中央部。側(cè)板15的內(nèi)側(cè)固定有玻璃板4的保護(hù)材料17。為了提高玻璃板的滑動(dòng)性，在保護(hù) 材料17的表面上粘附有摩擦阻力小的玻璃端面滑動(dòng)用構(gòu)件20。玻璃板4與固定在側(cè)板15 上的上述保護(hù)材料17上所粘附的玻璃端面滑動(dòng)用構(gòu)件20抵接，在該狀態(tài)下進(jìn)行裝載。另外，如圖例所示，側(cè)板15也可以設(shè)置在頂材5的一邊的中央部的一個(gè)部位，例如 分成兩部分等分割為預(yù)定數(shù)量并距離預(yù)定間隔地進(jìn)行配置。即，側(cè)板15只要是在使容器1 傾斜時(shí)不使玻璃板4落下的構(gòu)成則任何構(gòu)成皆可。基座3上，在基座3的各側(cè)面上例如形成兩個(gè)用于接受叉車(未圖示)的叉的叉 車用孔11 (參考圖1)。由此，容器1可以從基座3的縱橫任一方向接受叉車的叉。另外，容 器1的材質(zhì)、尺寸和結(jié)構(gòu)等也沒(méi)有任何限制。即，容器1根據(jù)收納到容器1中的板狀體來(lái)確 定其特性即可。在容器1中收納玻璃板4時(shí)，為了避免玻璃板4相互之間直接接觸，在玻璃板4、4 之間夾有薄紙即夾紙18 (參考圖3)的狀態(tài)下層疊玻璃板4。另外，也可以使用樹(shù)脂片等代
替夾紙。以下，對(duì)玻璃板用收納取出裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖3是本例的玻璃板用收納取出裝置50的概略俯視圖。該圖所示的收納取出裝 置50，與在玻璃板制造生產(chǎn)線(未圖示)的下游側(cè)設(shè)置的傳送帶52鄰接設(shè)置，將運(yùn)送裝置 (運(yùn)送單元)54及后述的容器交換裝置90作為主體而構(gòu)成。收納取出裝置50投入到對(duì)玻 璃板4進(jìn)行再加工的加工工序時(shí)，作為在容器1中收納的玻璃板4的取出裝置起作用，在從 玻璃板制造工序取板時(shí)，作為將玻璃板4逐片收納到容器1中的收納裝置起作用。
運(yùn)送裝置54例如是通用的機(jī)器人，在其臂58的前端部連接有在同一平面上排列 多個(gè)吸附墊(未圖示)而成的吸附墊60。采取玻璃板4時(shí)，運(yùn)送裝置54中，當(dāng)載置有夾紙 18的玻璃板4被運(yùn)送到傳送帶52的下游側(cè)的取板位置時(shí)，使吸附墊60沿箭頭方向移動(dòng)到 取板位置，利用吸附墊60隔著夾紙18吸附住玻璃板4，之后，利用容器交換裝置90 (參照?qǐng)D 4、5)將玻璃板4和夾紙18 —起收納到以預(yù)定角度傾斜的容器1中。通過(guò)運(yùn)送裝置54重復(fù)該動(dòng)作，玻璃板4被逐片收納到容器1中。另外，投入玻璃板4時(shí)，運(yùn)送裝置54將吸附墊60移動(dòng)到容器1中裝載的玻璃板4 的位置，利用吸附墊60吸附預(yù)先用夾紙取出機(jī)構(gòu)(未圖示)除去夾紙18后的玻璃板4，之 后，投入到玻璃板加工工序的交接部。通過(guò)運(yùn)送裝置54重復(fù)該動(dòng)作，玻璃板4被逐片投入 到玻璃板加工工序中。圖4是說(shuō)明在玻璃板用收納取出裝置50中收納或取出玻璃板時(shí)的容器1的狀態(tài) 的圖。容器交換裝置90的背面板110(背面支撐構(gòu)件)和底面板112 (傾斜時(shí)容器支撐構(gòu) 件)呈L型設(shè)置，容器1載置在由這些板劃分的空間(容器載置部)。本例的玻璃板用收 納取出裝置50中，收納或取出玻璃板4時(shí)，如圖4 (a)所示，使定位構(gòu)件15 (也參考圖2)位 于容器1的下方，如圖4(b)所示，使容器1以軸62(圖5的軸116)為中心傾斜，使得頂材 5與水平面H所成角度為預(yù)定角度。另外，容器1不是必須以上述方式傾斜。另外，收納取出裝置50的材質(zhì)、尺寸和結(jié) 構(gòu)等也沒(méi)有任何限制。即，收納取出裝置50根據(jù)使用的容器1來(lái)確定其特性即可。以下，對(duì)本發(fā)明的容器交換裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖5是表示本發(fā)明的容器交換裝置90的構(gòu)成的一實(shí)施方式的概略立體圖。另外， 圖6 圖12是容易判斷地說(shuō)明圖5所示裝置90的動(dòng)作的圖。以下，參考這些附圖進(jìn)行說(shuō)明。圖5所示的容器交換裝置90是對(duì)收納有預(yù)定片數(shù)的玻璃板的實(shí)容器92 (參考圖 6)與未收納玻璃板的空容器94 (參考圖6)進(jìn)行交換的容器交換裝置。容器交換裝置90基 本上由第一和第二臺(tái)架96、97、交接機(jī)構(gòu)56 (立起放倒裝置98)、第一和第二行駛臺(tái)車100、 102、及第一和第二移動(dòng)控制部(未圖示)構(gòu)成。第一臺(tái)架96是用于設(shè)置立起放倒裝置98、后述的第二行駛車100沿著進(jìn)行直線運(yùn) 動(dòng)的導(dǎo)軌104以及第二移動(dòng)控制部等的、長(zhǎng)方體形狀的框體。第一臺(tái)架96的長(zhǎng)度方向的一 側(cè)(圖6中，左右方向的左側(cè))是將容器供給到、移出第一和第二行駛臺(tái)車100、102的位置 (以下也稱為容器供給移出裝置)。第二臺(tái)架97是用于設(shè)置后述的第一行駛臺(tái)車100沿著進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的導(dǎo)軌105 以及第一移動(dòng)控制部等的、長(zhǎng)方體形狀的框體。第二臺(tái)架97如圖5所示大致平行于第一臺(tái) 架96地設(shè)置，其長(zhǎng)度方向(圖6中，左右方向)的兩側(cè)從第一臺(tái)架96的長(zhǎng)度方向兩端突出 預(yù)定的長(zhǎng)度。另外，第二臺(tái)架97的下表面高于后述的第二行駛臺(tái)車102用的導(dǎo)軌104和第 二行駛臺(tái)車的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)129。立起放倒裝置98兼具交接機(jī)構(gòu)56 (參考圖3)和容器傾斜機(jī)構(gòu)(參考圖4)的功 能，如圖6所示，設(shè)置在第一臺(tái)架96的長(zhǎng)度方向的供給、移出容器的位置的相反側(cè)(圖6中， 左右方向的右側(cè))。立起放倒裝置98的背面板110 (背面支撐構(gòu)件)和底面板112 (傾斜時(shí) 容器支撐構(gòu)件)(參考圖6)呈L型設(shè)置，在由這些板劃分的空間(容器載置部)中載置容器。在容器由第一和第二行駛臺(tái)車100、102運(yùn)送到立起放倒裝置98的上方預(yù)定位置時(shí)，立起放倒裝置98停止在背面板110的上表面相對(duì)于第一和第二行駛臺(tái)車100、102的容器支 撐部106、122的上表面的角度(以下，也稱為背面板110的角度)為0 -10度的位置并 待機(jī)。另外，立起放倒裝置98由升降機(jī)構(gòu)114以沿第一臺(tái)架96的寬度方向(S卩，與第一和 第二行駛臺(tái)車100、102的移動(dòng)方向大致正交并且與第一和第二行駛臺(tái)車100、102的容器支 撐部106、122的上表面平行的方向)延伸的軸116為中心使背面板110在背面板110的傾 斜角度為-10 85度的范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)，由此使容器傾斜(參考圖4)，在所述立起放倒裝置與 第一行駛臺(tái)車100或者所述立起放倒裝置與第二行駛臺(tái)車102之間進(jìn)行容器的交接，并且 將容器設(shè)置于玻璃板的收納位置或取出位置。另外，作為交接機(jī)構(gòu)56的一例例示了立起放倒裝置98，但是交接機(jī)構(gòu)56不限于具 有容器傾斜機(jī)構(gòu)功能的立起放倒裝置98。即，如果無(wú)需使容器傾斜，則沒(méi)有必要設(shè)置立起放 倒裝置98 (容器傾斜機(jī)構(gòu))，可以是設(shè)置基座作為交接機(jī)構(gòu)56，在該基座上在將容器平放的 狀態(tài)下進(jìn)行玻璃板4的收納和取出的構(gòu)成。即，交接機(jī)構(gòu)56只要能夠在與第一或第二行駛 臺(tái)車100、102之間進(jìn)行容器的交接，則其具體構(gòu)成沒(méi)有任何限制。另外，傾斜時(shí)容器支撐構(gòu)件也可以是如上述底面板112的板狀構(gòu)件，但是如果是 在使容器傾斜時(shí)能夠以使容器不下落或偏離的方式與容器扣合而進(jìn)行支撐的機(jī)構(gòu)，則其具 體構(gòu)成沒(méi)有任何限制。升降機(jī)構(gòu)114的具體手段，只要能夠?qū)崿F(xiàn)升降功能則沒(méi)有任何限制，可以列舉例 如動(dòng)力缸、油壓缸、氣缸、螺旋千斤頂?shù)?。下同。第一行駛臺(tái)車100在其主體126的下部設(shè)置有滑動(dòng)機(jī)構(gòu)127，在第二臺(tái)架97的框 體上通過(guò)第一移動(dòng)控制部的控制而沿與第二臺(tái)架97的長(zhǎng)度方向平行地形成的導(dǎo)軌105在 第二臺(tái)架97的長(zhǎng)度方向上直線運(yùn)動(dòng)。滑動(dòng)機(jī)構(gòu)127可以列舉例如L軌、直線導(dǎo)軌或者車 輪，也可以將不同的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)組合。第一行駛臺(tái)車100如圖5所示具有以口字形形成的容 器支撐部106以將立起放倒裝置98的背面110的周圍包圍。容器支撐部106的上表面載 置有實(shí)容器92或空容器94。如后所述，行駛臺(tái)車100中，為了防止容器交接時(shí)和容器運(yùn)送 時(shí)容易產(chǎn)生的立起放倒裝置98的背面板110的上表面與容器的底面的磨擦，可以在容器支 撐部106的第二臺(tái)架97的長(zhǎng)度方向的兩端部設(shè)置升降機(jī)構(gòu)，利用該升降機(jī)構(gòu)使容器支撐部 106升降而將容器94載置于容器支撐部上。另外，升降機(jī)構(gòu)也可以設(shè)置在主體126的中央 部，在兩端部設(shè)置直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。另外，作為防磨擦對(duì)策，也可以在立起放倒裝置上設(shè)置升 降機(jī)構(gòu)。另外，第一行駛臺(tái)車100的容器支撐部106的形狀不限于二字形，只要能夠支撐 容器可以是任意形狀，但是通過(guò)形成為二字形而具有能夠增大與容器底面的接觸面積的優(yōu) 點(diǎn)。另外，通過(guò)形成為二字形，可以將兩側(cè)的容器支撐部連接，可以通過(guò)第一移動(dòng)控制部使 兩側(cè)的容器支撐部同步移動(dòng)。第一移動(dòng)控制部使第一行駛臺(tái)車100移動(dòng)。第一移動(dòng)控制部雖未圖示，但例如具 有設(shè)置在第一臺(tái)架96上的第一伺服電動(dòng)機(jī)、控制第一伺服電動(dòng)機(jī)的第一控制部和由第一 伺服電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的第一同步帶。另外，第一行駛臺(tái)車100被連接到第一同步帶上。通過(guò)第一移動(dòng)控制部的控制，第一伺服電動(dòng)機(jī)進(jìn)行正反旋轉(zhuǎn)，第一同步帶在圖6 中被左右驅(qū)動(dòng)，第一行駛臺(tái)車100對(duì)應(yīng)于第一同步帶的移動(dòng)在同一圖中左右移動(dòng)。
第二行駛臺(tái)車102與第一行駛臺(tái)車100同樣在其主體128的下部設(shè)置有滑動(dòng)機(jī)構(gòu) 129 (參考圖5)，沿著在第一臺(tái)架96的長(zhǎng)度方向上并且在第一行駛臺(tái)車100用導(dǎo)軌105的 外側(cè)與導(dǎo)軌105大致平行地分別形成的導(dǎo)軌104，通過(guò)第二移動(dòng)控制部的控制，在第一臺(tái)架 96的長(zhǎng)度方向上移動(dòng)。第一行駛臺(tái)車100用的導(dǎo)軌105與第二行駛臺(tái)車102用的導(dǎo)軌104 的長(zhǎng)度大致相同。第二行駛臺(tái)車102如圖5所示在第一行駛臺(tái)車100的容器支撐部106的 寬度方向外側(cè)分別具有矩形的容器支撐部122。在容器支撐部122的上表面載置有實(shí)容器 92或者空容器94。容器支撐部122如圖5所示分別向第一臺(tái)架96的寬度方向的外側(cè)比容 器的寬度延長(zhǎng)預(yù)定長(zhǎng)度。另外，容器支撐部122中，所述主體128相互在第二臺(tái)架97之下 連接，因此通過(guò)第二移動(dòng)控制部的控制，能夠使兩側(cè)的容器支撐部122同步移動(dòng)。另外，通 過(guò)各個(gè)容器支撐部122的、第一臺(tái)架96的長(zhǎng)度方向的兩端部上設(shè)置的升降控制部(升降機(jī) 構(gòu))115，可以同步升降。另外，升降機(jī)構(gòu)也可以設(shè)置在主體128的中央部，并在兩端部設(shè)置 直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。在此，兩側(cè)的容器支撐部122的形狀和尺寸只要能夠支撐容器則沒(méi)有任何限制。第二移動(dòng)控制部使第二行駛臺(tái)車102移動(dòng)。第二移動(dòng)控制部雖未圖示，但具有設(shè) 置在第一臺(tái)架96上的第二伺服電動(dòng)機(jī)、控制第二伺服電動(dòng)機(jī)的第二控制部和由第二伺服 電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的第二同步帶。另外，第二行駛臺(tái)車102被連接在第二同步帶上。通過(guò)第二移動(dòng)控制部的控制，第二伺服電動(dòng)機(jī)進(jìn)行正反旋轉(zhuǎn)，第二同步帶在同一 圖中被左右驅(qū)動(dòng)，第二行駛臺(tái)車102對(duì)應(yīng)第二同步帶的移動(dòng)在圖6中左右移動(dòng)。本實(shí)施方式中，進(jìn)行容器交換時(shí)，第一和第二移動(dòng)控制部使第一和第二伺服電動(dòng) 機(jī)反向旋轉(zhuǎn)。即，第一伺服電動(dòng)機(jī)正旋轉(zhuǎn)時(shí)第二伺服電動(dòng)機(jī)反旋轉(zhuǎn)，例如，第一行駛臺(tái)車100 從右側(cè)向左側(cè)、第二行駛臺(tái)車102從左側(cè)向右側(cè)這樣，兩者反方向移動(dòng)。反之亦然。為了簡(jiǎn) 化和小型化裝置，優(yōu)選第一行駛臺(tái)車100和第二行駛臺(tái)車102同步移動(dòng)。第一和第二移動(dòng)控制部構(gòu)成本發(fā)明的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，只要能夠使第一行駛臺(tái)車100和 第二行駛臺(tái)車102反方向移動(dòng)，則其具體構(gòu)成沒(méi)有任何限制。以下，參考圖6 圖12以實(shí)容器92移出時(shí)為例對(duì)容器交換裝置90的動(dòng)作以及本 發(fā)明的容器交換方法進(jìn)行說(shuō)明。另外，圖6 圖12中，為了容易判斷地說(shuō)明裝置90的動(dòng)作， 省略顯示裝置構(gòu)成。另外，收納玻璃板4時(shí)和取出玻璃板4時(shí)，盡管供給或移出的容器有實(shí) 容器、空容器的不同，但是動(dòng)作是同樣的，因此本實(shí)施方式中，對(duì)將空托板供給容器交換裝 置90并從容器交換裝置90移出裝載有玻璃板的實(shí)容器92時(shí)即采取玻璃板而收納到容器 中的情況進(jìn)行說(shuō)明。(步驟1)以下說(shuō)明中，初始狀態(tài)是在立起放倒裝置98的容器載置部已經(jīng)載置有容器92的 狀態(tài)。如圖6所示，立起放倒裝置98通過(guò)升降控制部114以所述軸116為中心在圖中順時(shí) 針轉(zhuǎn)動(dòng)而向上方推壓，成為背面板110的角度在0 85度的范圍內(nèi)傾斜由機(jī)械手所能達(dá)到 的距離確定的預(yù)定角度(以下稱為本實(shí)施例的傾斜角度)的狀態(tài)。如本實(shí)施方式所示，在將玻璃板4收納到空容器94中時(shí)，通過(guò)上述的玻璃板用收 納取出裝置50將玻璃板4逐片收納到立起放倒裝置98上所載置的容器94內(nèi)。另外，從實(shí) 容器92供給玻璃板4時(shí)，通過(guò)收納取出裝置50將收納于容器92內(nèi)的玻璃板4逐片取出。關(guān)于第一行駛臺(tái)車100，容器支撐部106的構(gòu)成為當(dāng)立起放倒裝置98的背面板110被向下拉、該背面板110的角度達(dá)到大約0度時(shí)，第一行駛臺(tái)車100的容器支撐部106上表面的高度與背面板110的上表面的高度大致相同，在與圖6中右側(cè)的立起放倒裝置98 進(jìn)行容器交接的位置(以下也稱為容器交接位置)待機(jī)。另一方面，關(guān)于第二行駛臺(tái)車102，在容器支撐部122的上表面載置有空容器94， 在容器供給移出位置待機(jī)。如圖5所示，供給到該容器交換裝置90的容器或者從容器交換裝置90移出的容 器如前所述通過(guò)叉車被運(yùn)送。本實(shí)施方式的情況下，容器的供給時(shí)，空容器94載置于第二 行駛臺(tái)車102的容器支撐部122的預(yù)定位置。另一方面，容器的移出時(shí)，載置于第一行駛臺(tái) 車100上并移動(dòng)到容器供給移出位置的實(shí)容器92被運(yùn)出。(步驟2)如圖7中箭頭所示，第二行駛臺(tái)車102的兩側(cè)的容器支撐部122通過(guò)升降控制部 115上升預(yù)定高度。具體而言，第二行駛臺(tái)車102的兩側(cè)的容器支撐部122的下表面位置上 升到高于后述的第一行駛臺(tái)車100上所載置的實(shí)容器92的上表面位置的位置。(步驟3)如圖8右側(cè)箭頭所示，載置有實(shí)容器92的立起放倒裝置98以所述軸116為中心 在圖中逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)而被向下拉，移動(dòng)到背面板110的角度為大約0度的位置(水平位置)。 由此，實(shí)容器92由立起放倒裝置98的背面板110和第一行駛臺(tái)車100支撐。另外，立起放 倒裝置98以背面板110的角度為負(fù)的方式轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，背面板110上表面比第一行駛臺(tái)車100 的容器支撐部106的上表面位置下降，實(shí)容器92由第一行駛臺(tái)車100支撐，從而交接實(shí)容 ^^ 92ο另外，在第一行駛臺(tái)車100上設(shè)置有升降機(jī)構(gòu)時(shí)，第一行駛臺(tái)車100中，立起放倒 裝置98的背面板110在容器交接位置被向下拉，當(dāng)該背面板110的角度為約0度時(shí)，第一 行駛臺(tái)車100的容器支撐部106上表面的高度與背面板110的上表面的高度大致相同，或 者在其下方的高度待機(jī)。然后，立起放倒裝置98下降移動(dòng)而停止在背面板110的角度達(dá)到 約0度的位置后，使容器支撐部106上升使得第一行駛臺(tái)車100的容器支撐部106的上表 面高于立起放倒裝置98的背面板110的上表面，從而進(jìn)行容器交接。由此，能夠可靠地防 止容器交接時(shí)和第一行駛臺(tái)車100的移動(dòng)時(shí)實(shí)容器92的下表面與立起放倒裝置98的背面 板110的上表面磨擦。另外，也可以將立起放倒裝置98與第一行駛臺(tái)車100的升降機(jī)構(gòu)組 合而進(jìn)行容器的交接。(步驟4)如圖9所示，第一和第二伺服電動(dòng)機(jī)分別反向旋轉(zhuǎn)，與此相對(duì)應(yīng)，與第一和第二伺 服電動(dòng)機(jī)相對(duì)應(yīng)的各個(gè)同步帶分別被反向驅(qū)動(dòng)。其結(jié)果，如同一圖中左右的箭頭所示，第一 行駛臺(tái)車100從右側(cè)移動(dòng)到左側(cè)的第二行駛臺(tái)車102待機(jī)的位置(容器供給移出裝置)，第 二行駛臺(tái)車102向第一行駛臺(tái)車100的反方向、從左側(cè)移動(dòng)到右側(cè)的第一行駛臺(tái)車100待 機(jī)的位置(容器交接位置)。(步驟5)如圖10的右側(cè)的箭頭所示，第二行駛臺(tái)車102的兩側(cè)的容器支撐部110利用升降 控制部115下降到第二行駛臺(tái)車102的容器支撐部110的上表面與立起放倒裝置98的背 面板110的上表面大致相同高度或者下方的位置。如果下降到大致相同的高度，則空容器94由立起放倒裝置98的背面板110和第二行駛臺(tái)車100支撐。另外，同時(shí)地，第一行駛臺(tái)車100具備升降機(jī)構(gòu)，在容器的交接時(shí)進(jìn)行上升動(dòng)作 時(shí)，容器支撐部106通過(guò)升降機(jī)構(gòu)使上升量下降(未圖示)。此時(shí)，第一行駛臺(tái)車100的位置和第二行駛臺(tái)車102的位置被交換。即，第一和第 二行駛臺(tái)車上所載置的容器92、94的位置被交換。(步驟6)如圖11右側(cè)的箭頭所示，立起放倒裝置98通過(guò)升降控制部114以所述軸116為 中心在圖中順時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)而被向上推壓，以本實(shí)施例的傾斜角度傾斜。立起放倒裝置98 的背面板110上升而高于第二行駛臺(tái)車102的容器支撐部122的上表面時(shí)，空容器94由立 起放倒裝置98的背面板110支撐，空容器94從行駛臺(tái)車102載置于立起放倒裝置98的L 型容器保持部。在該狀態(tài)下，采取的玻璃板4被逐片依次層疊到空容器94內(nèi)，收納預(yù)定片 數(shù)的玻璃板4。另外，上述立起放倒裝置98的動(dòng)作前，將第二行駛臺(tái)車102的容器支撐部 122的上表面移動(dòng)到立起放倒裝置98的背面板110的上表面的下方時(shí)，第二行駛臺(tái)車102 的容器支撐部110的上表面低于立起放倒裝置98的背面板110的上表面時(shí)，空容器94由 立起放倒裝置98的背面板110支撐，載置于L型容器保持部。另一方面，將玻璃板逐片收納到空容器94中期間，第一行駛臺(tái)車100的容器支撐 部106上所載置的實(shí)容器92如前所述由叉車被移出。第一行駛臺(tái)車100上設(shè)有升降功能時(shí)，可以在第一臺(tái)架96的容器供給移出位置， 例如，與在其上載置的容器的底面內(nèi)的四角對(duì)應(yīng)的位置各設(shè)置一個(gè)共計(jì)4個(gè)暫時(shí)放置容器 1的基座，將實(shí)容器92從第一行駛臺(tái)車100暫時(shí)放置(交接)到基座上，然后利用叉車從基 座上移出實(shí)容器92，另外利用叉車將空容器94暫時(shí)放置到基座上，然后第二行駛臺(tái)車102 使行駛臺(tái)車102的容器支撐部122上升而將空容器94載置于容器支撐部122上。(步驟7)如圖12中左右的箭頭所示，第一和第二伺服電動(dòng)機(jī)分別反向地、向與步驟4時(shí)的 方向相反的方向旋轉(zhuǎn)，同樣地各個(gè)同步帶被反向驅(qū)動(dòng)。其結(jié)果，第一行駛臺(tái)車100如該圖左 右的箭頭所示從左側(cè)移動(dòng)到右側(cè)的第二行駛臺(tái)車102待機(jī)的位置(容器交接位置)，第二行 駛臺(tái)車102向其反方向、從右側(cè)移動(dòng)到左側(cè)的第一行駛臺(tái)車100待機(jī)的位置(容器供給移 出位置)(返回)。即，第一和第二行駛臺(tái)車100、102在俯視圖中以同一路徑在容器供給移 出位置和容器交接位置之間往復(fù)。由此，變?yōu)椴襟E1的狀態(tài)，此后，重復(fù)上述步驟1 7的動(dòng)作。本發(fā)明的容器交換裝置90中，使第二行駛臺(tái)車102的兩側(cè)的容器支撐部122上 升，使第一和第二行駛臺(tái)車100、102沿相反方向在容器供給移出位置和容器交接裝置之間 在俯視圖中以同一路徑并且以不同的高度交叉地移動(dòng)，從而進(jìn)行容器交換。根據(jù)該交換方 式，只要有兩個(gè)容器量的長(zhǎng)度和大概一個(gè)容器量的橫寬，就可以進(jìn)行兩個(gè)容器的交換。因 此，與現(xiàn)有圓形臺(tái)方式相比，可以顯著減小交換容器所需的空間。另外，本發(fā)明的容器交換裝置90的交換方式中，不象現(xiàn)有旋轉(zhuǎn)臺(tái)方式一樣，不需 要在各個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)置立起放倒裝置，而是可以在采取或取出玻璃板位置的一個(gè)部位設(shè)置 一個(gè)，因此可以減少立起放倒裝置，簡(jiǎn)化設(shè)備，可以實(shí)現(xiàn)成本下降。上述實(shí)施方式的情況下，通過(guò)升降機(jī)構(gòu)從容器的下方升降時(shí)，在將第一和第二行駛臺(tái)車100、102的位置交換時(shí)，為了使升降機(jī)構(gòu)與載置于第二行駛臺(tái)車102上的容器不撞 上，有必要在外側(cè)具有容器支撐部122的第二行駛臺(tái)車102上設(shè)置升降機(jī)構(gòu)，使容器支撐部 122的位置高于第一行駛臺(tái)車110的容器支撐部106上所載置的容器1的位置。與此相對(duì)，例如從容器的上方側(cè)支撐第一行駛臺(tái)車100時(shí)，也可以使第一行駛臺(tái) 車100升降。
因此，第一和第二行駛臺(tái)車100、102中任何一個(gè)都可以使一個(gè)行駛臺(tái)車的容器支 撐部的底面上升到高于在另一個(gè)行駛臺(tái)車上所載置的容器的上表面。即，用于使一個(gè)行駛 臺(tái)車的容器支撐部的底面上升到高于另一個(gè)行駛臺(tái)車上所載置的容器的上表面的升降機(jī) 構(gòu)，可以設(shè)置在第一和第二行駛臺(tái)車100、102中的任何一個(gè)上。另外，從設(shè)置的觀點(diǎn)考慮， 升降機(jī)構(gòu)優(yōu)選為從下方升降的構(gòu)成。另外，本發(fā)明不限于將實(shí)容器與空容器交換，也可以用于將實(shí)容器與實(shí)容器、或者 空容器與空容器交換。如實(shí)施方式一樣，將實(shí)容器與空容器交換時(shí)，優(yōu)選使輕的空容器上 升，但是這是升降機(jī)構(gòu)的動(dòng)力和各構(gòu)件的剛性的問(wèn)題，因此只要滿足這些條件，也可以是使 重容器上升的構(gòu)成。即，為了從容器中取出玻璃板而交換容器時(shí)，也可以使實(shí)容器在空容器 的上方交叉移動(dòng)。另外，容器為矩形的情況下，容器的載置方向可以是使其長(zhǎng)邊朝向容器支撐部的 寬度方向，也可以是使短邊朝向容器支撐部的寬度方向。但是，從第一和第二行駛臺(tái)車的移 動(dòng)距離的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選使容器的長(zhǎng)邊朝向容器支撐部的寬度方向，將容器載置于行駛臺(tái) 車上。由此，第一和第二行駛臺(tái)車的移動(dòng)距離縮短，可以提高容器交換的作業(yè)效率。另外，在實(shí)施方式中，例示了玻璃板作為板狀體，但是本發(fā)明中作為對(duì)象的板狀體 的材質(zhì)、尺寸和重量等沒(méi)有任何限制，也可以應(yīng)用樹(shù)脂板、金屬板等各種板狀體。試舉一例 本發(fā)明特別適合運(yùn)輸液晶顯示器或等離子顯示器等大型FPD中使用的大型玻璃板的容器 的交換。本發(fā)明基本上如上所述。以上，對(duì)于本發(fā)明的容器交換裝置和容器交換方法進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，但是本發(fā)明 不限于上述實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)，可以進(jìn)行各種改良或變更。
權(quán)利要求
一種容器交換裝置，用于使收納板狀體的第一容器和第二容器移動(dòng)而互換，其特征在于，具備分別載置所述第一和第二容器的第一和第二行駛臺(tái)車；通過(guò)所述第一或第二行駛臺(tái)車進(jìn)行所述容器的交接的交接機(jī)構(gòu)；和移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述第一和第二行駛臺(tái)車在向所述容器交換裝置供給所述容器或者從所述容器交換裝置移出所述容器的位置與配置有所述交接機(jī)構(gòu)的位置之間在平面視圖中以同一路徑往復(fù)移動(dòng)，所述第一和第二行駛臺(tái)車中的至少一個(gè)行駛臺(tái)車具備使所述容器升降的升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)使具備該升降機(jī)構(gòu)的行駛臺(tái)車的載置容器的容器支撐部的下表面位置上升到比在另一個(gè)行駛臺(tái)車的容器支撐部上所載置的容器的上表面位置高的位置，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述第一和第二行駛臺(tái)車沿相反方向且各個(gè)容器位置在不同的高度下交叉地移動(dòng)，從而將所述第一容器與所述第二容器互換。
2.如權(quán)利要求1所述的容器交換裝置，其特征在于，所述交接機(jī)構(gòu)具備立起放倒裝置，使所述容器傾斜所述板狀體的收納角度或取出角 度，所述立起放倒裝置具備支撐所述容器的背面支撐構(gòu)件和傾斜時(shí)容器支撐構(gòu)件；及以沿與所述第一和第二行駛臺(tái)車的移動(dòng)方向大致正交且與所述第一和第二行駛臺(tái)車 的容器支撐部的上表面平行的方向延伸的軸為中心使所述背面支撐構(gòu)件和傾斜時(shí)容器支 撐構(gòu)件旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)。
3.如權(quán)利要求2所述的容器交換裝置，其特征在于，所述立起放倒裝置使所述背面支撐構(gòu)件和所述傾斜時(shí)容器支撐構(gòu)件旋轉(zhuǎn)，由此通過(guò)所 述第一行駛臺(tái)車與所述交接機(jī)構(gòu)或所述第二行駛臺(tái)車與所述交接機(jī)構(gòu)交接所述容器。
4.如權(quán)利要求1所述的容器交換裝置，其特征在于， 所述第一和第二行駛臺(tái)車均具備使所述容器升降的升降機(jī)構(gòu)，所述第一和第二行駛臺(tái)車的升降機(jī)構(gòu)使所述容器升降，由此通過(guò)所述第一行駛臺(tái)車與 所述交接機(jī)構(gòu)或所述第二行駛臺(tái)車與所述交接機(jī)構(gòu)交接所述容器。
5.一種容器交換方法，使用權(quán)利要求1所述的容器交換裝置進(jìn)行容器交換，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)使具備該升降機(jī)構(gòu)的行駛臺(tái)車的載置容器的容器支撐部的下表面位置 上升到比在另一個(gè)行駛臺(tái)車的容器支撐部上所載置的容器的上表面位置高的位置，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述第一和第二行駛臺(tái)車沿相反方向且各個(gè)容器位置在不同的高度 下交叉地移動(dòng)，從而將所述第一容器和所述第二容器互換。
全文摘要
在容器交換裝置(90)中，升降機(jī)構(gòu)(115)使具備升降機(jī)構(gòu)(115)的第二行駛臺(tái)車(102)的載置有容器(94)的容器支撐部(122)的下表面位置上升到高于第一行駛臺(tái)車(100)的容器支撐部(106)上載置的容器(92)的上表面位置，移動(dòng)機(jī)構(gòu)使第一和第二行駛臺(tái)車(100，102)沿相反方向并且在第一位置與第二位置之間在俯視圖中以同一路徑且各容器(92，94)在不同的高度下交叉地移動(dòng)，由此將位于第一位置的容器與位于第二位置的容器交換，所述第一位置是將容器(92，94)供給到容器交換裝置(90)或移出容器交換裝置(90)的位置，所述第二位置是配置有在與第一或第二行駛臺(tái)車(100，102)之間進(jìn)行容器的交接的交接機(jī)構(gòu)(56)的位置。
文檔編號(hào)H01L21/677GK101842303SQ200880114228
公開(kāi)日2010年9月22日 申請(qǐng)日期2008年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月31日
發(fā)明者杉田正人, 渡邊和也 申請(qǐng)人:旭硝子株式會(huì)社