專利名稱：用于絲焊及相關(guān)半導(dǎo)體處理操作的眼點(diǎn)訓(xùn)練方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及絲焊系統(tǒng)，更具體地說，涉及用于絲焊系統(tǒng)中的改進(jìn)的 眼點(diǎn)(eyepoint)訓(xùn)練方法。
背景技術(shù)：
美國專利No.5，119,436和No.6，869，869涉及絲焊系統(tǒng)和相關(guān)視覺系 統(tǒng)，這里通過參考并入其全部內(nèi)容。在半導(dǎo)體器件的處理和封裝過程中，常常使用利用視覺系統(tǒng)的訓(xùn)練 操作。例如，在一批半導(dǎo)體器件(例如，象安裝在焊接框架上的半導(dǎo)體芯 片這種器件)上進(jìn)行絲焊操作之前，通常需要"訓(xùn)練"樣本器件的眼點(diǎn)(或 多個眼點(diǎn))。通過"訓(xùn)練"所述樣本器件，將與該樣本器件相關(guān)的某些物理 數(shù)據(jù)儲存起來(例如，在絲焊機(jī)的存儲器中)。在處理成批器件的過程中將 這些物理數(shù)據(jù)作為基準(zhǔn)，例如，以確保被處理(例如，被絲焊)的成批半 導(dǎo)體器件中每一個器件正確定位或?qū)?zhǔn)。因此，在絲焊操作環(huán)境中，絲焊機(jī)使用視覺系統(tǒng)(例如，模式識別 系統(tǒng)或PRS)來尋找先前訓(xùn)練的圖案(例如，眼點(diǎn)、參考點(diǎn)等)，以便在將 半導(dǎo)體器件放置在焊接位置處之后并且焊接線絲之前(例如，在半導(dǎo)體器 件和支撐該半導(dǎo)體器件的焊接框架之間焊接線絲之前)對準(zhǔn)半導(dǎo)體器件。 傳統(tǒng)方式是在絲焊機(jī)上基于樣本器件來訓(xùn)練眼點(diǎn)，其中操作人員利用訓(xùn)練
5窗瞄準(zhǔn)樣本器件上的目標(biāo)區(qū)域。使用某些常規(guī)技術(shù)(例如算法)結(jié)合視覺 系統(tǒng)來掃描目標(biāo)眼點(diǎn)。 —種常規(guī)訓(xùn)練技術(shù)利用標(biāo)準(zhǔn)化灰度級相關(guān)系統(tǒng)(NGCS)來掃描樣 本器件(例如，樣本器件的選定部分)。通過這種技術(shù)，在每個位置處，基 于視覺系統(tǒng)檢測出的內(nèi)容來分配灰度值。例如，掃描半導(dǎo)體器件的焊接盤 時，將灰度值分配給被掃描位置。在所期望的區(qū)域掃描完成之后，存儲灰 度值庫(與相應(yīng)的掃描位置相關(guān)聯(lián))。當(dāng)對這種類型的實(shí)際半導(dǎo)體器件進(jìn)行 絲焊時，視覺系統(tǒng)檢測每個被掃描位置的灰度值，并將這些灰度值與那些 在訓(xùn)練過程中存儲在庫中的灰度值進(jìn)行比較。另一種常規(guī)訓(xùn)練技術(shù)涉及掃描樣本器件(例如，樣本器件的選定部 分)，并檢測在被掃描區(qū)域內(nèi)定義的各個邊緣(即，基于邊緣的圖案匹配)。 通過這種技術(shù)，基于每個位置處視覺系統(tǒng)所檢測出的內(nèi)容，對數(shù)值進(jìn)行定 義。例如，當(dāng)掃描半導(dǎo)體器件的焊接盤時，將邊緣值分配給被掃描位置。 在所期望的區(qū)域掃描完成之后，存儲邊緣值庫(與相應(yīng)的掃描位置相關(guān)聯(lián))。 對這種類型的實(shí)際半導(dǎo)體器件進(jìn)行絲焊時，視覺系統(tǒng)檢測每個被掃描位置 的邊緣值，并將這些數(shù)值與訓(xùn)練過程中存儲在庫中的那些值進(jìn)行比較。使用這些常規(guī)方法中的任意一種，為要絲焊的每個器件給出加權(quán) 分，其中的分?jǐn)?shù)是被訓(xùn)練樣本器件與要絲焊的實(shí)際器件相比較的函數(shù)。如 果這個分?jǐn)?shù)超過某個門限值，那么這個器件是可以接受的，并將被處理(例 如絲焊)；但是如果這個分?jǐn)?shù)低于所述門限值，通常就不繼續(xù)進(jìn)行自動操作。 例如，可以將這個較低分?jǐn)?shù)告訴操作人員。此外，可以嘗試后續(xù)位置或眼 點(diǎn)來獲得可以接受的分?jǐn)?shù)。更進(jìn)一步，還可以嘗試替代算法或恢復(fù)序列?？上В@些常規(guī)技術(shù)中的每一項(xiàng)技術(shù)都存在很多問題。半導(dǎo)體器件 的實(shí)際情況是來自同一批次(或不同批次)的不同器件會具有不同的視覺 屬性，即使它們是相同的器件并具有相同的電氣功能特性。例如，器件與 器件的表面顏色或紋理可能不同。這種變化可能源自同一器件不同供應(yīng)商 所用制造工藝的細(xì)微變化。這些變化常常導(dǎo)致器件在對比度和反射率方面 表現(xiàn)迥異(例如反射率的非線性變化)。因此，由于這些變化(例如，由于 要絲焊機(jī)件的反射率與訓(xùn)練樣本器件之間的差別)，利用傳統(tǒng)模式匹配技術(shù)得到的加權(quán)分會較低。因此，盡管通常利用分?jǐn)?shù)來忽略錯誤的尋找結(jié)果，
但是常規(guī)模式匹配技術(shù)(例如NGCS系統(tǒng)、基于邊緣的模式匹配系統(tǒng)等) 都會導(dǎo)致分?jǐn)?shù)低于門限值，即使對于進(jìn)一步處理，這一器件是可以接受的。 由半導(dǎo)體器件之間的這種變化(例如，器件之間的表面不同)帶來的另一 個問題是，人工介入之間的平均時間(即MTBA)很短，導(dǎo)致自動絲焊設(shè) 備的生產(chǎn)率較低。因此，需要改進(jìn)用于半導(dǎo)體器件處理的眼點(diǎn)訓(xùn)練方法，以及使用這 種眼點(diǎn)處理半導(dǎo)體器件的方法。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，提供用于絲焊操作的一種訓(xùn)練眼點(diǎn)的 方法。這一方法包括(1)從半導(dǎo)體器件的一個區(qū)域中選擇一組形狀，用 作眼點(diǎn)，和(2)使用(a)樣本半導(dǎo)體器件或(b)與這一半導(dǎo)體器件有關(guān) 的預(yù)定數(shù)據(jù)中的至少一個，為絲焊機(jī)訓(xùn)練這一眼點(diǎn)。例如，這些預(yù)定數(shù)據(jù) 可以是現(xiàn)有數(shù)據(jù)(例如CAD數(shù)據(jù)、歷史數(shù)據(jù)等)，也可以是這一訓(xùn)練步驟 之前確定的預(yù)定數(shù)據(jù)。這一訓(xùn)練步驟包括定義每個形狀相對于另一個的位 置。根據(jù)本發(fā)明的另一個示例性實(shí)施例，提供一種操作絲焊機(jī)的方法。 這一方法包括(1)從半導(dǎo)體器件的一個區(qū)域中選擇一組形狀，用作眼點(diǎn)， 和(2)使用(a)樣本半導(dǎo)體器件或(b)與這一半導(dǎo)體器件有關(guān)的預(yù)定數(shù) 據(jù)中的至少一個，為絲焊機(jī)訓(xùn)練這一眼點(diǎn)。這一訓(xùn)練步驟包括定義每個形 狀相對于另一個的位置。這一方法還包括(3)將要被絲焊的第一半導(dǎo)體 器件引導(dǎo)到所述絲焊機(jī)的預(yù)定位置，和(4)使用這一絲焊機(jī)的視覺系統(tǒng)掃 描這一第一半導(dǎo)體器件的所選部分，所選部分對應(yīng)于被訓(xùn)練眼點(diǎn)。


通過結(jié)合附圖閱讀下面的具體描述，能夠最好的理解本發(fā)明。應(yīng)當(dāng) 強(qiáng)調(diào)，根據(jù)慣例，圖中不同的部分是不成比例的。相反，為清楚起見，不同部分的尺寸被任意放大或縮小。這些附圖包括
圖1是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中半導(dǎo)體器件一部分的頂視圖； 圖2是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中另一半導(dǎo)體器件一部分的頂視圖； 圖3是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中包括眼點(diǎn)的另一半導(dǎo)體器件一部分的 頂視圖4是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中特定區(qū)域被遮蓋的圖3所示半導(dǎo)體器 件那一部分的頂視圖5是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中包括眼點(diǎn)的另一半導(dǎo)體器件一部分的 頂視圖6是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中被選作眼點(diǎn)的圖5所示半導(dǎo)體器件一 部分的頂視圖7是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中圖5所示半導(dǎo)體器件的眼點(diǎn)的修正版
本；
圖8是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中特定區(qū)域被遮蓋的圖7所示半導(dǎo)體器 件那一部分的頂視圖9是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中包括眼點(diǎn)的另一半導(dǎo)體器件一部分的 頂視圖IO是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中被選作眼點(diǎn)的圖9所示半導(dǎo)體器件一 部分的頂視圖11是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中圖9所示半導(dǎo)體器件眼點(diǎn)的修正版
本；
圖12是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中特定區(qū)域被遮蓋的圖11所示半導(dǎo)體 器件那一部分的頂視圖13是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中包括眼點(diǎn)的另一半導(dǎo)體器件一部分的 頂視圖14是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中被選作眼點(diǎn)的圖13所示半導(dǎo)體器件 一部分的頂視圖15是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中圖13所示半導(dǎo)體器件的眼點(diǎn)的修正 版本；
圖16是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中特定區(qū)域被遮蓋的圖15所示半導(dǎo)體
8器件那一部分的頂視圖17是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中包括眼點(diǎn)的另一半導(dǎo)體器件一部分的 頂視圖18是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中特定區(qū)域被遮蓋的圖17所示半導(dǎo)體 器件眼點(diǎn)部分的頂視圖19是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中包括兩個眼點(diǎn)的半導(dǎo)體器件的頂視
圖20是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中焊接到焊接框架的半導(dǎo)體器件一部分 的頂視圖21是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中為絲焊操作訓(xùn)練眼點(diǎn)的方法的流程 圖；以及
圖22是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中絲焊機(jī)工作方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，提供一種方法，用于生成基于幾何特 征的圖案，這種圖案用于在絲焊設(shè)備中定位和/或?qū)?zhǔn)半導(dǎo)體器件。該方法 定義一種技術(shù)，用于利用半導(dǎo)體芯片表面上圖案的不變特征生成眼點(diǎn)。這 種方法能夠提高在具有某種變化(例如表面反射率的變化)的半導(dǎo)體器件 上尋找所述圖案的魯棒性。此外，可以用合成圖案(例如使用如CAD數(shù)據(jù) 這種現(xiàn)有數(shù)據(jù))來構(gòu)建所生成的眼點(diǎn)，也可以從實(shí)際的部分圖像中提取所 生成的眼點(diǎn)。不同于傳統(tǒng)的PRS系統(tǒng)(例如灰度級圖案匹配、幾何圖案匹 配)，本發(fā)明所提出的方法能夠有效地捕獲圖像內(nèi)的不變特征。與常規(guī)技術(shù) 相比，用于對付自動絲焊生產(chǎn)環(huán)境中器件的變化，使用這種不變特征(以 及這些不變特征之間的相互關(guān)系)建立的模型(例如存儲在絲焊機(jī)的存儲 器中)更加魯棒。使用本文所公開的不同示例性方法生成的眼點(diǎn)，可以用作PRS中的 主眼點(diǎn)或備用眼點(diǎn)，例如，使用在眼點(diǎn)訓(xùn)練過程中獲得的焊盤信息(或者 其它幾何信息或形狀信息)。可以按照下列方式選擇所生成的眼點(diǎn)(以及半 導(dǎo)體芯片的區(qū)域)(1)通過在具有良好焊盤幾何信息的半導(dǎo)體器件上選擇一個區(qū)域(例如包括焊盤垂直行和焊盤水平行的區(qū)域)，由PRS自動選擇；
和/或(2)在選擇具有所期望的焊盤信息的這個區(qū)域時至少部分地通過操作
人員的干預(yù)來選擇。在PRS自動生成眼點(diǎn)的實(shí)例中，可以通過離線編程工具等從所述器 件數(shù)據(jù)(例如CAD數(shù)據(jù))得到形狀(例如，任意類型的焊盤形狀，如矩形、 八邊形、圓形等)和形狀的相對位置。也可以在觀察樣本器件之后，使用 視覺系統(tǒng)，自動地提取這些形狀(以及這些形狀的相對位置)。如果能夠獲 得所述器件芯片足夠完整的數(shù)字描述(即預(yù)定器件數(shù)據(jù))，就可以使用一種 算法來選擇用于包含到所述眼點(diǎn)中的適當(dāng)形狀/特征，然后用所述算法將選 擇的形狀/特征綁定在一起(例如，使用所述形狀/特征的相對位置)。使用 該方法，能夠提供"無視覺訓(xùn)練"處理(即離線編程方法)，這種處理較少 需要或者不需要絲焊機(jī)自學(xué)習(xí)。當(dāng)然，可能需要使用這種離線程序和絲焊 機(jī)上的樣本器件來確認(rèn)訓(xùn)練出來的眼點(diǎn)。在這種無視覺訓(xùn)練系統(tǒng)中，能夠 減少對絲焊機(jī)光學(xué)系統(tǒng)的需求。這是因?yàn)榻z焊機(jī)常常采用復(fù)雜的視覺系統(tǒng)， 有時放大倍數(shù)會發(fā)生變化，來進(jìn)行訓(xùn)練；然而，如果使用預(yù)先存在的數(shù)據(jù)， 以無視覺方式來進(jìn)行訓(xùn)練，就能夠降低這種視覺系統(tǒng)的復(fù)雜程度(和成本)。 例如，在使用兩個放大倍數(shù)(兩個光學(xué)系統(tǒng)，如"高倍放大系統(tǒng)"和"低 倍放大系統(tǒng)")的常規(guī)絲焊機(jī)中，能夠從絲焊機(jī)中省去高倍放大系統(tǒng)。這是 因?yàn)楦弑斗糯笙到y(tǒng)通常用于獲得被訓(xùn)練區(qū)域的圖像細(xì)節(jié)，例如相鄰焊盤之 間較小的(例如，尺寸相當(dāng)于子像素的)間隙。根據(jù)本發(fā)明的某些示例性 實(shí)施例，使用"無視覺"訓(xùn)練方法可以不需要這些細(xì)節(jié)(例如由于高倍放 大系統(tǒng)的成本原因)。在利用操作人員干預(yù)生成眼點(diǎn)的實(shí)例中，可以通過準(zhǔn)確的運(yùn)動系統(tǒng) 和已校準(zhǔn)PRS來協(xié)助操作人員。例如，運(yùn)動系統(tǒng)和PRS系統(tǒng)可以基于由操 作人員提供的參數(shù)，執(zhí)行訓(xùn)練處理(例如焊盤訓(xùn)練處理)。例如，O)無法 獲得半導(dǎo)體器件的合適描述時，和/或(2)當(dāng)眼點(diǎn)中包括沒有較好定義的幾 何特征吋，可以采用這種方法。這種訓(xùn)練處理可能需要，例如，依次移動 到每個需要的形狀/特征，并從需要的形狀/特征的圖像中獲得需要的數(shù)據(jù)。 一旦完成對全部形狀/特征的訓(xùn)練，就可以利用所訓(xùn)練的形狀/特征的組合， 以及它們分別在已建立的基準(zhǔn)框架內(nèi)的區(qū)域/位置，來建立眼點(diǎn)。〖00018]不論眼點(diǎn)是如何生成的，在訓(xùn)練處理之后，在PRS系統(tǒng)內(nèi)部可以獲 得形狀信息，例如焊盤尺寸、焊盤位置、形狀、極性以及其它屬性。此外， 除所述單個形狀信息(例如單個焊盤形狀信息)外，從所述運(yùn)動系統(tǒng)和/或 使用所述PRS系統(tǒng)所進(jìn)行的計(jì)算中，還可以獲得這些形狀之間(例如這些 焊盤之間)的幾何關(guān)系。如上文所述，在訓(xùn)練區(qū)域中(例如眼點(diǎn))，合成創(chuàng)建的形狀/盤可以 取代有關(guān)真實(shí)形狀/盤的信息(也就是基于盤模型的圖像)。更具體地說，通 過使用能夠獲得的涉及半導(dǎo)體器件的數(shù)據(jù)(例如現(xiàn)有數(shù)據(jù)，如CAD數(shù)據(jù))， 提供這種合成創(chuàng)建的形狀/盤。這種合成創(chuàng)建的形狀/盤可以給出平均形狀/ 盤的更好的表示，因?yàn)樗ǘ鄠€形狀/盤的全部共有特征(并且可能沒有 樣本器件的某些缺陷，否則就可以利用這些缺陷來訓(xùn)練眼點(diǎn))。此外，可以 使用適當(dāng)?shù)恼谏w技術(shù)，以去除半導(dǎo)體器件所選范圍的某些區(qū)域，對于不同 的器件，這些區(qū)域不同。此外，還可以使用一種技術(shù)，相對于器件的其它 區(qū)域，這種技術(shù)給予半導(dǎo)體器件的特定區(qū)域(例如芯片的周邊焊盤區(qū)域) 以更多的權(quán)，以使眼點(diǎn)更加魯棒。包括在根據(jù)本發(fā)明生成的眼點(diǎn)中的形狀包括，例如，焊盤形狀、構(gòu) 成圖案的焊盤組、傳統(tǒng)眼點(diǎn)形狀(例如十字、圓形、方形等)、具有定義形 狀的電路和/或不同芯片上的任意表面特征等。此外，還可以將兩個或更多 這些(或其它)示例性形狀進(jìn)行組合，以包括在所生成的眼點(diǎn)中。用于建立眼點(diǎn)的算法可以包括很多不同的方案，例如(1)可以預(yù) 先確定算法中最少數(shù)量的形狀/特征，并且對該預(yù)定數(shù)量的形狀/特征完成訓(xùn) 練時，算法可以轉(zhuǎn)移到過程的另一部分，例如計(jì)算被訓(xùn)練的形狀/特征相對 于基準(zhǔn)框架和/或相互的位置；(2)定義在訓(xùn)練過程中需要的特定形狀/特征， 從而如果這一特征定位失敗，會導(dǎo)致定義眼點(diǎn)失??；(3)采用加權(quán)系統(tǒng)， 這樣基于其各自的重要性或可預(yù)測性，為特定形狀/特征給出權(quán)，這種加權(quán) 系統(tǒng)用于定義將被處理半導(dǎo)體器件的分值；(4)如果選擇的要包括在眼點(diǎn) 中的需要的全部形狀/特征，能夠在視覺系統(tǒng)(例如圖像攝像機(jī))的單個視 場內(nèi)，則可以使用單個尋找操作來定位眼點(diǎn)；(5)如果需要的特征不能全 部在視場內(nèi)，可以定位各個特征(例如眼點(diǎn)的各個焊盤)，之后，通過組合
ii各個已定位特征的數(shù)據(jù)，能夠得到整個訓(xùn)練圖案(例如包括各個特征的相 對位置)；和域(6)在訓(xùn)練階段，應(yīng)用多種(可能是冗余的)訓(xùn)練算法， 以提高可靠性。在本發(fā)明的范圍內(nèi)，可以采用這些方案(等等)的任意組 合。圖1是半導(dǎo)體器件100—部分的頂視圖(圖示部分是從上往下看，
半導(dǎo)體芯片的左下方)。半導(dǎo)體器件ioo包括排列在器件周圍的多個焊盤。
例如這些悍盤包括焊盤100a、 100b、 100c、 100d、 100e、 100f、 100g、 100h、 100i、 100j、 100k、 1001和100m。半導(dǎo)體器件100還包括電路區(qū)域102和 電路區(qū)域104。如本領(lǐng)域技術(shù)人員所知，半導(dǎo)體器件上的電路區(qū)域(例如半 導(dǎo)體芯片)可以包括布線圖、導(dǎo)線等。為在絲焊機(jī)上處理半導(dǎo)體器件100 (例如為焊接器件100的焊盤和 第二焯接位置之間的線環(huán)，其中第二焊接位置可以是安裝器件100的焊接 框架上的引線)，需要使用之前為絲焊機(jī)訓(xùn)練的眼點(diǎn)，在絲焊機(jī)上對準(zhǔn)半導(dǎo) 體器件IOO。當(dāng)然，這種對準(zhǔn)需要應(yīng)用各種其它半導(dǎo)體處理技術(shù)，包括例如 短柱凸點(diǎn)、片到片絲焊、線頭/線環(huán)檢查等。如上所述，實(shí)際半導(dǎo)體器件中不同器件會呈現(xiàn)出不同特性，即使它 們是相同的器件。例如圖2是另一個半導(dǎo)體器件200 —部分的頂視圖。盡 管是由與圖1所示器件100不同的制造商提供的，但是從絲焊機(jī)的角度， 半導(dǎo)體器件200仍然是與圖1所示半導(dǎo)體器件100相同的器件。與半導(dǎo)體 器件100的焊盤相似，半導(dǎo)體器件200包括多個焊盤，例如焊盤200a、200b、 200c、 200d、 200e、 200f、 200g、 200h、 200i、 200j、 200k、 2001和200m。 此外，與半導(dǎo)體器件ioo的電路區(qū)域102和104相似，半導(dǎo)體器件200包 括電路區(qū)域202和204。從視覺系統(tǒng)的角度看，半導(dǎo)體器件100的電路區(qū)域 102和104看起來是具有共有物理表象的單個組件或區(qū)域；然而，由于兩個 器件(也就是器件100和器件200)的表面不同，同一視覺系統(tǒng)會將半導(dǎo)體 器件200的電路區(qū)域202和204看作為包括許多獨(dú)立部分。例如如圖2所 示，將電路區(qū)域202看成包括部分202a、 202b和202c等等。同樣，電路區(qū) 域204包括部分204a、 204b和204c等等。因此，當(dāng)對半導(dǎo)體器件100和半導(dǎo)體器件200進(jìn)行同樣的操作時，由于多個潛在的原因之一 (例如表面顏色、表面紋理等)，視覺系統(tǒng)會將它
們看作是完全不同的。現(xiàn)在，假設(shè)使用包括電路區(qū)域102或104的部分半 導(dǎo)體器件100，對絲焊操作的眼點(diǎn)進(jìn)行訓(xùn)練。使用由半導(dǎo)體器件100訓(xùn)練的 眼點(diǎn)處理(例如絲焊)半導(dǎo)體器件200時，會導(dǎo)致很多問題(例如半導(dǎo)體 器件200的分?jǐn)?shù)低于門限值，即使能夠接受這個器件進(jìn)行進(jìn)一步處理；半 導(dǎo)體器件200這種器件的MTBA不希望地低等等)。根據(jù)本發(fā)明的某些示例性實(shí)施例，以眼點(diǎn)在器件之間不會發(fā)生變化 為目的選擇眼點(diǎn)，而不考慮表面顏色/紋理等差別。例如可以從半導(dǎo)體器件 的一個區(qū)域選擇一組形狀用作眼點(diǎn)。當(dāng)使用樣本半導(dǎo)體器件為絲焊機(jī)訓(xùn)練 眼點(diǎn)時，定義每個形狀相對于另一個的位置。例如圖3示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的眼點(diǎn)選擇。圖3說明半 導(dǎo)體器件30，包括多個焊盤，例如焊盤300a、 300b、 300c、 300d、 300e、 300f、 300g、 300h、 300i、 300j、 300k、 3001禾B 300m。此外，分別與半導(dǎo) 體器件100/200的電路區(qū)域102/104和202/204類似，半導(dǎo)體器件300包括 電路區(qū)域302和304。由于不同器件的電路區(qū)域302和304可能發(fā)生變化(如 通過比較器件100和200所證實(shí)的)，因此，在所選擇的眼點(diǎn)310中忽略這 些區(qū)域。眼點(diǎn)310包括焊盤組306 (—列焊盤，包括焊盤300h、 300i、 300j、 300k、 3001和300m)和焊盤組308 (—行焊盤，包括焊盤300a、 300b、 300c、 300d、 300e、 300f、 300g)。眼點(diǎn)310的某些特征(例如每個焊盤的輪廓形 狀，焊盤與另一個之間的間隔等)不會在器件之間變化，因此，能夠提供 更加魯棒的訓(xùn)練處理(和對要絲焊的實(shí)際器件更加魯棒的后續(xù)掃描)。值得注意的是，盡管上文以眼點(diǎn)310 (圖3中虛線內(nèi)的區(qū)域)為例 描述眼點(diǎn)，但是應(yīng)當(dāng)理解，眼點(diǎn)310可以僅包括區(qū)域內(nèi)的某些形狀/特征， 例如焯盤形狀和某些焊盤在區(qū)域310內(nèi)的相應(yīng)位置。本文所示出和描述的 本發(fā)明的多個示例性實(shí)施例就是這樣的。此外，盡管示例性眼點(diǎn)310包括組306和308中的焊盤的焊盤形狀 (而不包括電路區(qū)域302和304的形狀)，但是在眼點(diǎn)中可以包括電路區(qū)域 302和304之一或兩者的輪廓形狀。在這種眼點(diǎn)中，器件與器件之間可能存 在的電路區(qū)域之間的潛在的內(nèi)部差別(例如圖1中電路區(qū)域102相比圖2影響訓(xùn)練處理(以及后續(xù)尋找處理)， 因?yàn)樵谠撗埸c(diǎn)中僅包括所述電路區(qū)域的輪廓形狀。在一些應(yīng)用中，半導(dǎo)體器件焊盤可以包括"探針標(biāo)記"，它們對于 絲焊機(jī)的視覺系統(tǒng)是可見的。這種探針標(biāo)記不是統(tǒng)一的。例如由于典型的 半導(dǎo)體晶片測試方式，部分探針標(biāo)記可能沿一個方向(例如水平方向)延 伸，而其它探針標(biāo)記可能沿另一方向(例如垂直方向)延伸。焊盤上探針 標(biāo)記的這些變化，也會導(dǎo)致常規(guī)眼點(diǎn)訓(xùn)練系統(tǒng)出現(xiàn)問題(例如尋找分?jǐn)?shù)較 低的問題、MBTA問題等)。根據(jù)本發(fā)明的某些示例性實(shí)施例，從眼點(diǎn)中忽略/排除焊盤的內(nèi)部區(qū) 域，這樣能夠充分消除與某些變化(例如探針標(biāo)記)相關(guān)的問題。例如這 些區(qū)域可以(1)掃描，但是在記分處理過程中不予考慮，(2)掃描，但是 在記分處理過程中給予較低的權(quán)，和域(3)根本不掃描。因此，很清楚， 當(dāng)提及器件的某些區(qū)域(例如陰影區(qū)域，如焊盤內(nèi)部或其它陰影區(qū)域)時， "不包括"、"忽略"、"排除"和域"遮蓋"的說法(或類似說法)，不必意 味著從掃描處理中(例如訓(xùn)練過程中的掃描處理，處理將被絲焊的實(shí)際器 件過程中的掃描處理)排除所述區(qū)域。因此，圖4示出了將某些被選(例如預(yù)定的、實(shí)時動態(tài)確定的等) 區(qū)域從眼點(diǎn)310a (相比眼點(diǎn)310，與眼點(diǎn)310a相比，眼點(diǎn)310具有某些區(qū) 別，例如眼點(diǎn)310沒有從眼點(diǎn)中忽略焊盤的內(nèi)部部分)中忽略掉的半導(dǎo)體 器件300。這些被選區(qū)域在圖4中為陰影/斜線(也就是從眼點(diǎn)訓(xùn)練處理中 將陰影區(qū)域"遮蓋"，例如其中(1)將算法配置為不掃描這些區(qū)域，和/或 (2)對算法進(jìn)行配置，以至"遮蓋"區(qū)域內(nèi)部存在的邊緣/特征不影響總分 數(shù)計(jì)算)。如圖4所示，每個焊盤的內(nèi)部被標(biāo)記為陰影，以至所述內(nèi)部不包 括在訓(xùn)練眼點(diǎn)中。更具體地說，從眼點(diǎn)310a中忽略焊盤300a的內(nèi)部300al。 對于焊盤300b的內(nèi)部300bl，焊盤300c的內(nèi)部300cl，焊盤300d的內(nèi)部 300dl，焊盤300e的內(nèi)部300el，焊盤300f的內(nèi)部300fl ，焊盤300g的內(nèi) 部300gl，焊盤300h的內(nèi)部300hl，焊盤300i的內(nèi)部300il，焊盤300j的 內(nèi)部300jl，焊盤300k的內(nèi)部300kl，焊盤3001的內(nèi)部30011和焊盤300m 的內(nèi)部300ml，也是這樣。
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在眼點(diǎn)310a中還包括實(shí)際焊盤之外的區(qū)域，以便為(1)訓(xùn)練眼點(diǎn) 310a的焊盤(例如眼點(diǎn)310a中焊盤的形狀和各自的位置)，和(2)后續(xù)掃 描眼點(diǎn)310a，減小誤差，并提供定位這些形狀的區(qū)域。更具體地說，在焊 盤列306周圍提供非陰影區(qū)域306a，在焊盤行308周圍提供非陰影區(qū)域 308a。通過提供這些周圍的區(qū)域，能夠增加訓(xùn)練眼點(diǎn)中每個焊盤的準(zhǔn)確輪 廓位置(和它們相互間的輪廓位置)的可能性。圖5是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中半導(dǎo)體器件500 —部分的頂視圖， 半導(dǎo)體器件500包括所選擇的要包括眼點(diǎn)的區(qū)域510。半導(dǎo)體器件500包括 多個焊盤。如圖5所示，在半導(dǎo)體器件500的周圍，提供第一組焊盤(包 括焊盤500a、 500b、 500c、 500d、 500e、 500f、 500g、 500h、 500i、 500j、 500k、 5001、 500m、 500n、 500o、 500p、 500q、 500r、 500s、 500t、 500u 和500v)，同時在第一組內(nèi)部提供第二組焊盤(包括焊盤502a、 502b、 502c、 502d、 502e、 502f、 502g、 502h、 502i、 502j、 502k、 5021、 502m、 502n、 502o、 502p、 502q、 502r、 502s、 502t、 502u、 502v、 502w、 502x、 502y、 502z和502aa)。半導(dǎo)體器件500還包括參考點(diǎn)504。圖6是所選擇的要包括半導(dǎo)體器件500的眼點(diǎn)的，半導(dǎo)體器件500 的區(qū)域510的詳細(xì)視圖。區(qū)域510包括焊盤500a、 500b、 500c、 500d、 500e、 500f、 500k、 5001、 500m、 500o、 502g、 502h、 502i、 502j、 502k、 5021、 502m、 502n、 502o、 502p、 502q和參考點(diǎn)504。應(yīng)當(dāng)注意，焊盤502n和 502o包括對于進(jìn)行焊盤掃描的視覺系統(tǒng)可見的某種失常(例如污點(diǎn)、不同 的反射率、可見的瑕疵等)。如果半導(dǎo)體器件500 (包括焊盤502n和502o 的失常)被用作樣本器件，以訓(xùn)練絲焊機(jī)的眼點(diǎn)，那么使用由半導(dǎo)體器件 500訓(xùn)練的眼點(diǎn)處理(例如絲焊)實(shí)際半導(dǎo)體器件時，會導(dǎo)致很多問題(例 如將被處理的半導(dǎo)體器件的分?jǐn)?shù)低于門限值，即使可以接受這一器件進(jìn)行 進(jìn)一步處理；器件例如半導(dǎo)體器件500的MTBA不希望地低等)。根據(jù)本發(fā)明的某些示例性實(shí)施例，可以將關(guān)于半導(dǎo)體器件的已知數(shù) 據(jù)(例如CAD數(shù)據(jù)、繪圖、繪圖的計(jì)算機(jī)掃描、現(xiàn)有數(shù)據(jù)等)用于輔助定 義眼點(diǎn)。例如可以用這些數(shù)據(jù)來定義眼點(diǎn)，否則，如果使用樣本器件來訓(xùn) 練該眼點(diǎn)，則該眼點(diǎn)可能包括樣本半導(dǎo)體器件的某些缺陷。更具體地說，已知數(shù)據(jù)(例如CAD數(shù)據(jù)、繪圖、繪圖的計(jì)算機(jī)掃描、現(xiàn)有數(shù)據(jù)等)可以 用于定義如圖7所示的眼點(diǎn)。應(yīng)當(dāng)注意，如圖7所示的半導(dǎo)體器件500的 區(qū)域510不包括悍盤502n和502o的失常。通過以包括圖7所示的區(qū)域510 的形狀的眼點(diǎn)開始(所述眼點(diǎn)使用已知數(shù)據(jù)進(jìn)行定義，并且在絲焊機(jī)上實(shí) 際訓(xùn)練樣本器件500之前)，眼點(diǎn)510被初始定義為沒有某些缺陷。此后， 當(dāng)在絲焊機(jī)上對所定義的眼點(diǎn)510進(jìn)行實(shí)際訓(xùn)練時(例如使用如圖6所示 的在焊盤502n和502o中具有失常的樣本器件500)，在訓(xùn)練處理中可以忽 略某些缺陷，因?yàn)樵诮z焊機(jī)上的訓(xùn)練過程中，僅確認(rèn)樣本器件的共有信息 (例如眼點(diǎn)510中包括的焊盤和參考點(diǎn)的形狀和相對位置)。因此，通過利 用(1)關(guān)于半導(dǎo)體器件的已知數(shù)據(jù)，結(jié)合(2)在絲焊機(jī)上訓(xùn)練的樣本器 件，可以提供改進(jìn)的眼點(diǎn)。圖8說明半導(dǎo)體器件500的進(jìn)一步改進(jìn)的眼點(diǎn)510a。更具體地說， 從眼點(diǎn)510a中忽略半導(dǎo)體器件500的該部分的被選區(qū)域。這些被選區(qū)域在 圖8中被標(biāo)記為陰影(也就是可以從眼點(diǎn)訓(xùn)練處理中"遮蓋"所述陰影區(qū) 域)。如圖8所示，每個焊盤的內(nèi)部被標(biāo)記為陰影，以至所述內(nèi)部不包括在 被訓(xùn)練的眼點(diǎn)中。更具體地說，從眼點(diǎn)510a中忽略焊盤500a的內(nèi)部500al。 對于焊盤500b的內(nèi)部500bl、焊盤500c的內(nèi)部500cl，以及每個焊盤500d、 500e、 500f、 500k、 5001、 500m、 500n、 500o、 502g、 502h、 502i、 502j、 502k、 5021、 502m、 502n、 502o、 502p和502q的內(nèi)部，也同樣。同樣，參 考點(diǎn)504的內(nèi)部504al也被從眼點(diǎn)510a中忽略掉。其它陰影區(qū)域表示，例 如器件與器件間具有不一致紋理/反射率的區(qū)域。因此，所述陰影區(qū)域不會 影響將被絲焊的器件的分?jǐn)?shù)。此外，在眼點(diǎn)510a中還包括實(shí)際焊盤(和參考點(diǎn)形狀)之外的區(qū)域， 以便為(1)訓(xùn)練眼點(diǎn)510a的特征的形狀/相應(yīng)位置(例如眼點(diǎn)510a的焊盤 和參考點(diǎn)的形狀和各自的位置)，和(2)后續(xù)掃描眼點(diǎn)510a，減小誤差， 并提供定位所述形狀的區(qū)域。更具體地說，在焊盤500a周圍提供非陰影區(qū) 域500a2，在焊盤500b周圍提供非陰影區(qū)域500b2。為每個悍盤500c、500d、 500e、 500f、 500k、 5001、 500m、 500n、 500o、 502h、 502i、 502j、 502k、 5021、 502m、 502n、 502o、 502p和502q提供(在圖8中所示)這種非陰影 區(qū)域。同樣，在參考點(diǎn)504周圍提供非陰影區(qū)域504a2。通過提供這些周圍的區(qū)域，能夠增加訓(xùn)練眼點(diǎn)中每個焊盤和參考點(diǎn)的準(zhǔn)確輪廓(和它們相互 間的輪廓位置)的可能性。圖9是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中半導(dǎo)體器件600 —部分的頂視圖， 半導(dǎo)體器件600包括所選擇的包括眼點(diǎn)的區(qū)域610。半導(dǎo)體器件600包括多 個焊盤。如圖9所示，在半導(dǎo)體器件600上的第一行中，提供第一組焊盤 (包括焊盤600a、 600b、 600c、 600d、 600e、 600f、 600g、 600h、 600i、 600j、 600k、 6001和600m)，同時在第二行中提供第二組焊盤(包括焊盤602a、 602b、 602c、 602d、 602e、 602f、 602g、 602h、 602i、 602j、 602k、 6021、 602m、 602n、 602o和602p)。圖10是所選擇的包括半導(dǎo)體器件600的眼點(diǎn)的，半導(dǎo)體器件600 的區(qū)域610的詳細(xì)視圖。區(qū)域610包括焊盤600a、 600b、 600c、 600d、 600e、 602a、 602b、 602c、 602d和602e。應(yīng)當(dāng)注意，焊盤602c和602d包括某種 失常(例如污點(diǎn)、不同的反射率、可見的瑕疵等)，該失常對執(zhí)行該焊盤掃 描的視覺系統(tǒng)是可見的。如果半導(dǎo)體器件600 (包括焊盤602c和602d的失 常)被用作樣本器件以訓(xùn)練絲焊機(jī)的眼點(diǎn)，當(dāng)使用由半導(dǎo)體器件600訓(xùn)練 的眼點(diǎn)處理(例如絲焊)實(shí)際半導(dǎo)體器件時，會導(dǎo)致很多問題(例如將被 處理的半導(dǎo)體器件的分?jǐn)?shù)低于門限值，即使能夠接受這一器件進(jìn)行進(jìn)一步 處理；例如半導(dǎo)體器件600這種器件的MTBA不希望地低等)。根據(jù)本發(fā)明的某些示例性實(shí)施例，關(guān)于半導(dǎo)體器件的已知數(shù)據(jù)(例 如CAD數(shù)據(jù)、繪圖、繪圖的計(jì)算機(jī)掃描、現(xiàn)有數(shù)據(jù)等)可以用于輔助定義 眼點(diǎn)。例如這些數(shù)據(jù)可以用于校正包括用于訓(xùn)練眼點(diǎn)的樣本半導(dǎo)體器件的 某些缺陷的眼點(diǎn)。更具體地說，所述已知數(shù)據(jù)(例如CAD數(shù)據(jù)、繪圖、繪 圖的計(jì)算機(jī)掃描、現(xiàn)有數(shù)據(jù)等)可以用于定義如圖ll所示的眼點(diǎn)。應(yīng)當(dāng)注 意，如圖11所示的半導(dǎo)體器件600的區(qū)域610不包括所述焊盤602c和602d 的失常。通過以圖11所示眼點(diǎn)610開始(所述眼點(diǎn)使用已知數(shù)據(jù)進(jìn)行定義， 并且在絲焊機(jī)上實(shí)際訓(xùn)練樣本器件600之前)，眼點(diǎn)610被初始定義為沒有 某些缺陷。此后，當(dāng)在絲焊機(jī)上對所定義的眼點(diǎn)610進(jìn)行實(shí)際訓(xùn)練時(例 如使用如圖10所示的在焊盤602c和602d處具有失常的樣本器件600)，在 訓(xùn)練處理中可以忽略某些缺陷，因?yàn)樵诮z焊機(jī)上訓(xùn)練的過程中，僅確認(rèn)樣
17本器件的共有信息(例如眼點(diǎn)610中包括的焊盤的形狀和相對位置)。因此， 通過利用(1)關(guān)于半導(dǎo)體器件的已知數(shù)據(jù)，結(jié)合(2)在絲焊機(jī)上訓(xùn)練的 樣本器件，可以提供改進(jìn)的眼點(diǎn)。圖12是半導(dǎo)體器件600的進(jìn)一步改進(jìn)的眼點(diǎn)610a的示意圖。更具 體地說，從眼點(diǎn)610a中忽略半導(dǎo)體器件600的該部分的被選區(qū)域。這些被 選區(qū)域在圖12中被標(biāo)記為陰影(也就是可以從眼點(diǎn)訓(xùn)練處理中"遮蓋"所 述陰影區(qū)域)。如圖12所示，每個焊盤的內(nèi)部被標(biāo)記為陰影，以至所述內(nèi) 部不包括在被訓(xùn)練的眼點(diǎn)中。更具體地說，從眼點(diǎn)610a中忽略焊盤600a 的內(nèi)部600al。對于焊盤600b的內(nèi)部600bl，焊盤600c的內(nèi)部600cl，以 及每個焊盤600d、 600e、 602a、 602b、 602c、 602d和602e的內(nèi)部，也是 這樣。此外，在眼點(diǎn)610a中還包括實(shí)際焊盤之外的區(qū)域，以便為(1)訓(xùn) 練眼點(diǎn)610a的特征的形狀/相應(yīng)位置(例如眼點(diǎn)610a的焊盤的形狀和各自 的位置)，和(2)后續(xù)掃描眼點(diǎn)610a，減小誤差，并提供用于定位所述形 狀的區(qū)域。更具體地說，在焊盤600a周圍提供非陰影區(qū)域600a2，以及在 焊盤600b周圍提供非陰影區(qū)域600b2。為每個焊盤600c、 600d、 600e、 602a、 602b、 602c、 602d和602e提供(在圖12中所示)非陰影區(qū)域。通過提供 這些周圍的區(qū)域，能夠增加訓(xùn)練眼點(diǎn)中每個焊盤的準(zhǔn)確輪廓(和它們相互 間的輪廓位置)的可能性。圖13是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中半導(dǎo)體器件700 —部分的頂視圖， 該半導(dǎo)體器件700包括所選擇的包括眼點(diǎn)的區(qū)域710。半導(dǎo)體器件700包括 多個焊盤。如圖13所示，在半導(dǎo)體器件700的周圍，提供第一組焊盤(包 括焊盤700a、 700b、 700c、 700d、 700e、 700f、 700g、 700h、 700i、 700j、 700k、 7001、 700m、 700n、 700o、 700p、 700q、 700r、 700s、 700t、 700u 和700v)，同時在第一組內(nèi)部提供第二組焊盤(包括焊盤702a、 702b、 702c、 702d、 702e、 702f、 702g、 702h、 702i、 702j、 702k、 7021、 702m、 702n、 702o、 702p、 702q、 702r、 702s、 702t、 702u、 702v、 702w、 702x、 702y、 702z和702aa)。圖14是所選擇的包括半導(dǎo)體器件700的眼點(diǎn)的，半導(dǎo)體器件700域710包括焊盤700a、 700b、 700c、 700d、 7001、 700m、 700o、 702a、 702b、 702c、 702m、 702n和702o。應(yīng)當(dāng)注意，焊盤 702n和702o包括某種失常(例如污點(diǎn)、不同的反射率、可見的瑕疵等)， 該失常對執(zhí)行該焊盤掃描的視覺系統(tǒng)是可見的。如果半導(dǎo)體器件700 (包括 焊盤702n和702o的失常)被用于訓(xùn)練絲焊機(jī)的眼點(diǎn)，當(dāng)使用由半導(dǎo)體器 件700訓(xùn)練的眼點(diǎn)處理(例如絲焊)實(shí)際半導(dǎo)體器件時，會導(dǎo)致很多問題 (例如將被處理的半導(dǎo)體器件的分?jǐn)?shù)低于門限值，即使能夠接受這一器件 進(jìn)行進(jìn)一步處理；半導(dǎo)體器件700這種器件的MTBA不希望地低等)。根據(jù)本發(fā)明的某些示例性實(shí)施例，關(guān)于半導(dǎo)體器件的己知數(shù)據(jù)(例 如CAD數(shù)據(jù)、繪圖、繪圖的計(jì)算機(jī)掃描、現(xiàn)有數(shù)據(jù)等)可以用于輔助定義 眼點(diǎn)。例如這些數(shù)據(jù)可以用于修正眼點(diǎn)，所述眼點(diǎn)包括用于訓(xùn)練該眼點(diǎn)的 樣本半導(dǎo)體器件的某些缺陷。更具體地說，所述已知數(shù)據(jù)(例如CAD數(shù)據(jù)、
繪圖、繪圖的計(jì)算機(jī)掃描、現(xiàn)有數(shù)據(jù)等)可以用于定義如圖15所示的眼點(diǎn)。 應(yīng)當(dāng)注意，如圖15所示的半導(dǎo)體器件700的區(qū)域710不包括所述焊盤702n 和702o的失常。通過以包括圖15所示的眼點(diǎn)710開始(所述眼點(diǎn)使用已 知數(shù)據(jù)進(jìn)行定義，并且在絲焊機(jī)上實(shí)際訓(xùn)練樣本器件700之前)，眼點(diǎn)710 被初始定義為沒有某些缺陷。此后，當(dāng)在絲焊機(jī)上對所定義的眼點(diǎn)710進(jìn) 行實(shí)際訓(xùn)練時(例如使用如圖13所示的在焊盤702n和702o處具有失常的 樣本器件700)，在訓(xùn)練處理中可以忽略某些缺陷，因?yàn)樵诮z焊機(jī)上訓(xùn)練的 過程中，僅確認(rèn)所述樣本器件的共有信息(例如眼點(diǎn)710中包括的焊盤的 形狀和相對位置)。因此，通過利用(1)關(guān)于半導(dǎo)體器件的己知數(shù)據(jù)，結(jié) 合(2)在絲焊機(jī)上訓(xùn)練的樣本器件，可以提供改進(jìn)的眼點(diǎn)。圖16是半導(dǎo)體器件700的進(jìn)一步改進(jìn)的眼點(diǎn)710a的示意圖。更具 體地說，從眼點(diǎn)710a中忽略半導(dǎo)體器件700的該部分的被選區(qū)域。這些被 選區(qū)域在圖16中被標(biāo)記為陰影(也就是可以從眼點(diǎn)訓(xùn)練處理中"遮蓋"所 述陰影區(qū)域)。如圖16所示，每個焊盤的內(nèi)部被標(biāo)記為陰影，以至所述內(nèi) 部不包括在被訓(xùn)練的眼點(diǎn)中。更具體地說，從眼點(diǎn)710a中忽略焊盤700a 的內(nèi)部700al。對于焊盤700b的內(nèi)部700bl，焊盤700c的內(nèi)部700cl，以 及每個焊盤700d、 7001、 700m、 700n、 700o、 702a、 702b、 702c、 702m、 702n和702o的內(nèi)部，也是這樣。
此外，在眼點(diǎn)710a中還包括實(shí)際焊盤之外的區(qū)域，以便為(1)訓(xùn) 練眼點(diǎn)710a的特征的形狀/相應(yīng)位置(例如眼點(diǎn)710a的焊盤的形狀和各自 的位置)，和(2)后續(xù)掃描眼點(diǎn)710a，減小誤差，并提供定位所述形狀的 區(qū)域。更具體地說，在焊盤700a周圍提供非陰影區(qū)域700a2，以及在焊盤 700b周圍提供非陰影區(qū)域700b2。為每個焊盤700c、 700d、 7001、 700m、 700n、 700o、 702a、 702b、 702c、 702m、 702n和702o提供(在圖16中所 示)所述非陰影區(qū)域。通過提供這些周圍的區(qū)域，能夠增加訓(xùn)練眼點(diǎn)中每 個焊盤的準(zhǔn)確輪廓(和它們相互間的輪廓位置)的可能性。圖17是本發(fā)明的示例性實(shí)施例中半導(dǎo)體器件800 —部分的頂視圖， 半導(dǎo)體器件800包括所選擇的包括眼點(diǎn)的區(qū)域810。半導(dǎo)體器件800包括多 個焊盤。如圖17所示，半導(dǎo)體器件包括焊盤800a、 800b、 800c、 800d、 800e、 800f、 800g、 800h、 800i、 800j和800k。半導(dǎo)體器件800還包括電路元件 804。如圖17中的虛框線所示，半導(dǎo)體器件800的區(qū)域810包括焊盤800a、 800b、 800c、 800d、 800h、 800i和800j，以及電路元件804。因此，應(yīng)當(dāng)清 楚，除焊盤和參考點(diǎn)(如電路元件804，它可以是布線圖、導(dǎo)線圖等)夕卜， 可以考慮將半導(dǎo)體器件的部分的形狀(和各自的位置)用作眼點(diǎn)的一部分。圖18是半導(dǎo)體器件800的進(jìn)一步改進(jìn)的眼點(diǎn)810a的示意圖。更具 體地說，從眼點(diǎn)810a中忽略半導(dǎo)體器件800的該部分的被選區(qū)域。這些被 選區(qū)域在圖18中被標(biāo)記為陰影(也就是可以從眼點(diǎn)訓(xùn)練處理中"遮蓋"所 述陰影區(qū)域)。如圖18所示，每個焊盤的內(nèi)部被標(biāo)記為陰影，以至所述內(nèi) 部不包括在被訓(xùn)練的眼點(diǎn)中。更具體地說，從眼點(diǎn)810a中忽略焊盤800a 的內(nèi)部800al。對于焊盤800b的內(nèi)部800bl，焊盤800c的內(nèi)部800cl，以 及每個焊盤800d、 800h、 800i和800j的內(nèi)部，以及電路元件804a的內(nèi)部 804al，也是這樣。此外，在眼點(diǎn)810a中還包括實(shí)際焊盤之外和電路元件804之外的區(qū) 域，以便為(1)訓(xùn)練眼點(diǎn)810a的特征的形狀/相應(yīng)位置(例如眼點(diǎn)810a的 焊盤和電路元件804的形狀和各自的位置)，和(2)后續(xù)掃描眼點(diǎn)810a， 減小誤差，并提供定位所述形狀的區(qū)域。更具體地說，在焊盤800a周圍提供非陰影區(qū)域800a2，以及在焊盤800b周圍提供非陰影區(qū)域800b2。為每 個焊盤800c、 800d、 800h、 800i和800j，以及為電路元件804提供(在圖 18中所示)這種非陰影區(qū)域。通過提供這些周圍的區(qū)域，能夠增加訓(xùn)練眼 點(diǎn)中每個焊盤(和電路元件804的輪廓)的準(zhǔn)確輪廓(和它們相互間的輪 廓位置)的可能性。圖19是半導(dǎo)體器件900的頂視圖。如圖19所示，定義了兩個不同 的眼點(diǎn)(也就是眼點(diǎn)910a和眼點(diǎn)910b)。因此，應(yīng)當(dāng)清楚，本文所公開的 本發(fā)明的所述訓(xùn)練，通過其多個示例性實(shí)施例，是能夠以使用多個眼點(diǎn)的 方式，應(yīng)用到絲悍操作中的。盡管本文所提供的多個附圖只是單獨(dú)示出了半導(dǎo)體芯片，但是應(yīng)當(dāng) 明白，在絲焊這種處理過程中，半導(dǎo)體芯片通常已經(jīng)焊接到支撐結(jié)構(gòu)，如 焊接(例如利用粘合劑之類的芯片焊接)框架或襯底。圖20是焊接到焊接 框架1050的半導(dǎo)體器件1000 (例如半導(dǎo)體芯片1000) —部分的頂視圖。半導(dǎo)體器件1000包括焊盤1000a、 1000b、 1000c、 1000d、 1000e、 1000f、 1000g、 1000h、 1000i、 1000j和1000k。將眼點(diǎn)1010選擇為包括焊 盤1000a、 1000b、 1000c、 1000d、 1000h、 1000i和1000j。焊接框架1050 包括多個"引線"，所述"引線"包括引線1050a、 1050b、 1050c、 1050d 和1050e。在處理半導(dǎo)體器件(例如絲焊)的過程中，有時會發(fā)生將已經(jīng)完 成絲焊的器件放置在絲焊機(jī)上的情況。例如這可能是一種失誤。也有可能
是該器件的一部分已經(jīng)完成絲焊，但是該器件的另一部分仍需要進(jìn)行絲焊。 非常需要知道絲焊機(jī)上的器件是否已經(jīng)完成絲焊。例如如果不知道，則可 能使已經(jīng)完成絲焊的器件再次遭受不期望的絲焊，在這種情況下，可能會 損壞該器件，或者造成無用處理。根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，提供一種確定器件是否已經(jīng)完成絲焊 的方法。如圖20所示，示出了多個線環(huán)1002a、 1002b、 1002c、 1002h和 1002i。更具體地說，線環(huán)1002a (包括被焊接到焊盤1000a上的球形焊鍵 1002al)在焊盤1000a和引線1050a之間提供電氣連接；線環(huán)1002b (包括 被焊接到悍盤1000b上的球形焊鍵1002M)在焊盤1000b和引線1050b之 間提供電氣連接；線環(huán)1002c (包括被焊接到焊盤1000c上的球形焊鍵1002cl)在悍盤1000c和引線1050c之間提供電氣連接;線環(huán)1002h (包括 被焊接到焊盤1000h上的球形焊鍵1002hl)在焊盤1000h和引線1050d之 間提供電氣連接；以及線環(huán)1002i (包括被焊接到焊盤1000i上的球形焊鍵 1002il)在焊盤1000i和引線1050e之間提供電氣連接。使用模式識別方法 和域系統(tǒng)，例如上文關(guān)于訓(xùn)練形狀和訓(xùn)練形狀的相對位置(例如焊盤形狀 和焊盤形狀的相對位置)時描述的，可以識別出線環(huán)的一部分的形狀。更 具體地說，可以將算法配置為搜尋半導(dǎo)體芯片的焊盤，以確定是否已經(jīng)將 線絲焊接到所述焊盤上。在圖20示出的實(shí)例中，可以將算法配置為在焊盤 上搜尋球形焊鍵的形狀(例如圓形、橢圓形等)，以便獲知線絲是否己經(jīng)被 焊接到所述焊盤上。此外，還提供本發(fā)明該方面的其它特征。例如可以選擇眼點(diǎn)(例如 圖20所示的眼點(diǎn)1010)，以包括在絲焊處理過程中，將被第一次絲焊的焊 盤。參照圖20，悍盤1000a可以是將被絲焊的第一個焊盤。因此，將眼點(diǎn) 1010選擇為包括該焊盤。同樣，在使用模式識別，以獲知線絲是否已經(jīng)被 焊接到焊盤(例如通過在焊盤上尋找球形焊鍵的形狀)的處理過程中，因 為所選擇的眼點(diǎn)包括可能己經(jīng)完成絲焊的第一焊盤，所以發(fā)現(xiàn)已焊接的線 絲(例如線環(huán)1002a)的可能性很大。此外，可以將確定線絲是否己經(jīng)被焊接到半導(dǎo)體器件的焊盤上的方 法，集成到訓(xùn)練眼點(diǎn)的處理中。例如在第一步驟中可以實(shí)現(xiàn)用于訓(xùn)練根據(jù) 本發(fā)明的眼點(diǎn)的訓(xùn)練處理。在第二步驟中，可以訓(xùn)練用于訓(xùn)練第二眼點(diǎn)(用 于檢査已焊線絲的眼點(diǎn))的不同訓(xùn)練處理。接下來，當(dāng)將被絲焊的器件在 所述機(jī)器上時，使用第一訓(xùn)練眼點(diǎn)可以完成位置確認(rèn)和/或器件對準(zhǔn)。然后， 一旦完成確認(rèn)器件的位置和/或?qū)?zhǔn)，則可以完成第二掃描，以查看是否存 在已焊線絲。在該實(shí)施例中，所述第一眼點(diǎn)可以將所述焊盤內(nèi)部遮蓋(如 圖4、 8、 12、 16和18所示)，同時，所述第二眼點(diǎn)不將所述焊盤內(nèi)部遮蓋 (以至可以掃描所述焊盤的內(nèi)部，以得到球形焊鍵形狀)。在另一可選實(shí)施例中，可以訓(xùn)練單個眼點(diǎn)，以及完成對將被絲焊的 實(shí)際器件的單次掃描。在該實(shí)施例中，眼點(diǎn)中所述焊盤內(nèi)部至少一部分可 以不被遮蓋，以至可以掃描所述焊盤的內(nèi)部，以得到球形焊鍵形狀。
盡管結(jié)合線環(huán)，對確定焊盤是否已經(jīng)完成絲焊的方法進(jìn)行了描述， 但是應(yīng)當(dāng)理解，被檢查的絲焯可以具有不同的形式，例如導(dǎo)電凸點(diǎn)(例如 短柱凸點(diǎn)等)。圖21 22是根據(jù)本發(fā)明某些示例性實(shí)施例的流程圖。正如本領(lǐng)域技 術(shù)人員所理解的，可以忽略在所述流程圖中包括的某些步驟；可以增加某 些附加步驟；以及可以根據(jù)所示順序，改變所述步驟的順序。更具體地說，圖21的流程圖示出了本發(fā)明的示例性實(shí)施例中，訓(xùn) 練用于絲焊操作的眼點(diǎn)的方法。在步驟2100處，從半導(dǎo)體器件的一個區(qū)域 中選擇用作眼點(diǎn)的一組形狀。例如所述形狀組可以包括焊盤形狀、參考點(diǎn) 形狀、電路形狀等。在步驟2102處，使用(A)樣本半導(dǎo)體器件、或者(B)
與該半導(dǎo)體器件有關(guān)的預(yù)定數(shù)據(jù)中的至少一個，來為絲焊機(jī)訓(xùn)練所述眼點(diǎn)。 該訓(xùn)練步驟包括定義每個所述形狀相對于另一個形狀的位置?？梢詫⑺?位置定義為包括該組形狀中每一個的周圍的區(qū)域。可以將所述眼點(diǎn)定義為 包括所述形狀組，同時遮蓋所述區(qū)域的預(yù)定范圍(也就是步驟2104)，以至 從所述眼點(diǎn)中去除所述預(yù)定范圍。例如所述遮蓋步驟可以包括使用一種算 法，以從所述眼點(diǎn)中去除所述區(qū)域的預(yù)定范圍的位置。所述遮蓋步驟可以 包括遮蓋(1)所選擇焊盤的內(nèi)部部分，和(2)焊盤之間的區(qū)域的部分中 的至少一個。在可選步驟2106處，為絲焊機(jī)訓(xùn)練第二眼點(diǎn)。該第二眼點(diǎn)對 應(yīng)所述半導(dǎo)體器件的焊盤上的線環(huán)的一部分的形狀。例如所述線環(huán)的一部 分的形狀可以對應(yīng)所述線環(huán)的球形焊鍵的形狀。圖22的流程圖示出了一種操作絲焊機(jī)的方法。所示方法的步驟 2200、 2202、 2204和2206對應(yīng)圖21中所示的流程圖的步驟2100、 2102、 2104和2106。在步驟2208處，被配置為將被絲焊的第一半導(dǎo)體器件，被 引導(dǎo)到絲焊機(jī)的預(yù)定位置(例如焊點(diǎn))。在步驟2210處，使用絲焊機(jī)的視 覺系統(tǒng)掃描所述第一半導(dǎo)體器件的所選部分，其中所選部分對應(yīng)所述已被 訓(xùn)練的眼點(diǎn)(例如在步驟2202處訓(xùn)練的眼點(diǎn))。在步驟2212處，通過將所 述已訓(xùn)練眼點(diǎn)與所述第一半導(dǎo)體器件的所選擇部分相比較，為所述第一半 導(dǎo)體器件指定一個百分?jǐn)?shù)。在步驟2212之后，在絲焊操作之前，可以確定 應(yīng)當(dāng)調(diào)整所述第一半導(dǎo)體器件的位置。在步驟2214處，至少部分地基于將
23所述已訓(xùn)練眼點(diǎn)與所述第一半導(dǎo)體器件的所選擇部分相比較的結(jié)果，調(diào)整
所述第一半導(dǎo)體器件的位置。在步驟2216處，在所述第一半導(dǎo)體焊盤和另 一焊接位置之間，創(chuàng)建(例如絲焊)線環(huán)。從而，提供一種絲焊機(jī)的改進(jìn) 的操作。正如本領(lǐng)域技術(shù)人員所理解的，上文所描述的第一半導(dǎo)體器件不一 定是在訓(xùn)練處理之后標(biāo)記的第一個器件。使用術(shù)語"第一"，僅是為將該器 件與所述樣本器件相區(qū)分，例如在步驟2102處。應(yīng)當(dāng)理解，多個器件可以 被標(biāo)記、掃描等，以便確定可以接受的分?jǐn)?shù)，以及不可以接受的分?jǐn)?shù)。盡管主要關(guān)于(1)定義/訓(xùn)練樣本器件的一個位置中的眼點(diǎn)，并且 然后(2)掃描將被絲焊的器件相應(yīng)的位置，以確認(rèn)該將被絲焊的器件是可 以被接受的，對本發(fā)明進(jìn)行了描述，但并不局限于此。在某些應(yīng)用中，可 以出現(xiàn)，器件(例如在焊點(diǎn)處)發(fā)生移動，或者在焊點(diǎn)處器件的方向是未 知的。在這種情況中，通過掃描將被絲焊的器件，可以發(fā)現(xiàn)眼點(diǎn)(也就是 根據(jù)本發(fā)明的任一示例性實(shí)施例所定義/訓(xùn)練的眼點(diǎn))。例如如果眼點(diǎn)包括五 個(5個)焊盤，所述焊盤具有預(yù)定形狀/尺寸以及預(yù)定的相對于另一個的 位置(例如通過訓(xùn)練處理所預(yù)定的)，則通過掃描該器件并定位對應(yīng)所訓(xùn)練 眼點(diǎn)的特征，可以確定將被絲焊的半導(dǎo)體器件的位置。當(dāng)然，訓(xùn)練該眼點(diǎn) 可以通過本文所描述的任一示例性方法來完成，例如(1)自動生成該眼 點(diǎn)(例如使用現(xiàn)有數(shù)據(jù)生成的)，(2)利用操作人員干預(yù)來生成該眼點(diǎn)，和 /或(3)掃描器件包括該眼點(diǎn)的區(qū)域(例如使用單一的査看范圍，使用多個 査看范圍的集合等)。盡管主要關(guān)于眼點(diǎn)能夠用來在器件絲焊(或其它處理，如短柱凸頭、 器件檢査等)之前，適當(dāng)?shù)囟ㄎ缓?或?qū)?zhǔn)半導(dǎo)體器件，對本發(fā)明進(jìn)行描述， 但并不局限于此。本文所提供的訓(xùn)練也可以應(yīng)用到訓(xùn)練用于多種其它應(yīng)用 的眼點(diǎn)。例如典型地，在將半導(dǎo)體芯片絲焊到焊接框架或其它襯底之前， 訓(xùn)練該焊接框架或襯底。此外，在一些應(yīng)用中，可以在將半導(dǎo)體芯片片接 到焊接框架之間，訓(xùn)練該半導(dǎo)體芯片或焊接框架。因此，本文所描述的方 法(例如圖21 22所示出的部分方法)，也可以應(yīng)用到在芯片接著操作中所 做的對準(zhǔn)。同樣，本發(fā)明的多個示例性實(shí)施例也可以應(yīng)用到關(guān)于所述和其它應(yīng)用的眼點(diǎn)。盡管在本文中針對具體實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行示例和描述，但是本發(fā) 明并不旨在局限于所示出的細(xì)節(jié)。而且，在不偏離本發(fā)明的情況下，在所 述權(quán)利要求和等效的范圍內(nèi)，可以在細(xì)節(jié)上進(jìn)行多種修改。
權(quán)利要求
1. 一種為絲焊操作訓(xùn)練眼點(diǎn)的方法，所述方法包括以下步驟(1)從半導(dǎo)體器件的一個區(qū)域中選擇一組形狀用作眼點(diǎn)；以及(2)使用至少如下之一為絲焊機(jī)訓(xùn)練所述眼點(diǎn)(a)樣本半導(dǎo)體器件，或(b)與所述半導(dǎo)體器件有關(guān)的預(yù)定數(shù)據(jù)；該訓(xùn)練步驟包括定義所述形狀中每一個相對于另一個的位置。
2. 如權(quán)利要求1所述的方法，其中步驟(1)包括選擇所述組形狀， 以使其包括多個焊盤形狀。
3. 如權(quán)利要求1所述的方法，其中步驟(1)包括選擇所述組形狀， 以使其包括多個焊盤形狀和至少一個參考點(diǎn)形狀。
4. 如權(quán)利要求l所述的方法，還包括如下步驟(3) 將所述眼點(diǎn)定義為包括所述組形狀，同時遮蓋所述區(qū)域的預(yù)定范 圍，以至將所述預(yù)定范圍從所述眼點(diǎn)中去除。
5. 如權(quán)利要求4所述的方法，其中所述遮蓋步驟包括遮蓋至少下列之一(1)所選焊盤的內(nèi)部部分，和(2)焊盤之間的區(qū)域的一些部分。
6. 如權(quán)利要求1所述的方法，其中步驟(2)包括將所述位置定義為 包括所述組形狀中每一個的周圍的范圍。
7. 如權(quán)利要求l所述的方法，還包括步驟(3)為所述絲焊機(jī)訓(xùn)練第二眼點(diǎn)，所述第二眼點(diǎn)對應(yīng)于所述半導(dǎo)體器 件的焊盤上的線環(huán)的一部分的形狀。
8. 如權(quán)利要求7所述的方法，其中所述形狀對應(yīng)于所述線環(huán)的球形焊 鍵的形狀。
9. 如權(quán)利要求l所述的方法，其中通過所述方法所訓(xùn)練的眼點(diǎn)被配置 為絲焊操作的備用眼點(diǎn)。
10. —種操作絲焊機(jī)的方法，所述方法包括步驟(1) 從半導(dǎo)體器件的一個區(qū)域中選擇一組形狀用作眼點(diǎn)；(2) 使用至少如下之一為所述絲焊機(jī)訓(xùn)練所述眼點(diǎn)(a)樣本半導(dǎo)體 器件，或(b)與所述半導(dǎo)體器件有關(guān)的預(yù)定數(shù)據(jù)；該訓(xùn)練步驟包括定義所 述形狀中每一個相對于另一個的位置；(3) 將要被絲焊的第一半導(dǎo)體器件引導(dǎo)到所述絲焊機(jī)的預(yù)定位置；以及(4) 使用所述絲焊機(jī)的視覺系統(tǒng)掃描所述第一半導(dǎo)體器件的所選部 分，所選部分對應(yīng)于被訓(xùn)練的所述眼點(diǎn)。
11. 如權(quán)利要求10所述的方法，其中步驟(1)包括選擇所述組形狀， 以使其包括多個焊盤形狀。
12. 如權(quán)利要求10所述的方法，其中步驟(1)包括選擇所述組形狀， 以使其包括多個焊盤形狀和至少一個參考點(diǎn)形狀。
13. 如權(quán)利要求10所述的方法，還包括如下步驟(3)將所述眼點(diǎn)定義為包括所述組形狀，同時遮蓋所述區(qū)域的預(yù)定范 圍，以至將所述預(yù)定范圍從所述眼點(diǎn)中去除。
14. 如權(quán)利要求13所述的方法，其中所述遮蓋步驟包括，遮蓋至少下 列之一(1)所選焊盤的內(nèi)部部分，和(2)焊盤之間的所述區(qū)域的一些部 分。
15. 如權(quán)利要求10所述的方法，其中步驟(2)包括將所述位置定義 為包括所述組形狀中每一個周圍的區(qū)域。
16. 如權(quán)利要求10所述的方法，還包括如下步驟(5)為所述絲焊機(jī)訓(xùn)練第二眼點(diǎn)，所述第二眼點(diǎn)對應(yīng)于所述半導(dǎo)體器件的焊盤上的線環(huán)的一部分的形狀。
17. 如權(quán)利要求16所述的方法，其中所述形狀對應(yīng)于所述線環(huán)的球形 焊鍵的形狀。
18. 如權(quán)利要求10所述的方法，其中在步驟(2)中訓(xùn)練的所述眼點(diǎn) 被配置為絲焊操作的備用眼點(diǎn)。
19. 如權(quán)利要求10所述的方法，還包括如下步驟(5)通過將所述被訓(xùn)練眼點(diǎn)與所述第一半導(dǎo)體器件的所選擇部分相比 較，為所述第一半導(dǎo)體器件分配一個百分?jǐn)?shù)。
20. 如權(quán)利要求10所述的方法，還包括如下步驟(5)至少部分地基于將所述被訓(xùn)練眼點(diǎn)與所述第一半導(dǎo)體器件的所選 部分相比較的結(jié)果，調(diào)整所述第一半導(dǎo)體器件的位置。
21. 如權(quán)利要求10所述的方法，還包括如下步驟(5)在所述第一半導(dǎo)體的焊盤和另一焊接位置之間創(chuàng)建線環(huán)。
全文摘要
提供一種為線焊操作訓(xùn)練眼點(diǎn)的方法。該方法包括(1)從半導(dǎo)體器件的一個區(qū)域中選擇一組形狀用作眼點(diǎn)，和(2)使用以下至少之一為線焊機(jī)訓(xùn)練該眼點(diǎn)(a)樣本半導(dǎo)體器件，或(b)與該半導(dǎo)體器件有關(guān)的預(yù)定數(shù)據(jù)。該訓(xùn)練步驟包括定義每個形狀相對于另一個的位置。
文檔編號H01L23/544GK101443151SQ200780001638
公開日2009年5月27日 申請日期2007年3月13日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月13日
發(fā)明者D·索德, M·T·迪萊, P·M·利斯特, 王志杰 申請人:庫利克和索夫工業(yè)公司