專利名稱：制造oled裝置的原位真空方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及制造OLED裝置的方法。
背景技術(shù)：
在彩色或全色有機(jī)電致發(fā)光(EL)顯示器(也稱作有機(jī)發(fā)光二極管裝置，或者OLED裝置)中有一個(gè)彩色像素陣列，例如紅色、綠色和藍(lán)色像素(通常稱作RGB像素)，為了產(chǎn)生該RGB像素，生色的有機(jī)EL介質(zhì)的精密圖案結(jié)構(gòu)是必須的。通常，基本的OLED裝置具有一個(gè)陽(yáng)極、一個(gè)陰極和一個(gè)夾在陽(yáng)極與陰極之間的有機(jī)EL介質(zhì)。有機(jī)EL介質(zhì)可以包含一個(gè)或多個(gè)有機(jī)薄膜層，其中一層主要負(fù)責(zé)產(chǎn)生光或電致發(fā)光。這個(gè)特定的層一般指有機(jī)EL介質(zhì)的發(fā)光層。有機(jī)EL介質(zhì)中其他有機(jī)層主要提供電子運(yùn)輸功能，通常指空穴運(yùn)輸層(為了空穴運(yùn)輸)或者電子運(yùn)輸層(為了電子運(yùn)輸)。為了形成全色OLED顯示板中的RGB像素，設(shè)計(jì)一種使有機(jī)EL介質(zhì)的發(fā)光層或整個(gè)有機(jī)EL介質(zhì)精確地形成圖案的方法是必須的。
典型地，通過(guò)陰罩技術(shù)使電致發(fā)光像素形成在顯示器上，例如US-A-5,742,129中所示。盡管這種方法是有效的，但還是存在幾個(gè)缺點(diǎn)。使用陰罩技術(shù)在像素尺度方面很難得到高的圖形分辨率。另外，在基質(zhì)和陰罩之間的對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)方面也有問(wèn)題，要使像素形成在適當(dāng)?shù)奈恢镁捅仨毷中⌒摹．?dāng)基質(zhì)尺度增加時(shí)，很難通過(guò)操縱陰罩產(chǎn)生適當(dāng)定位的像素。陰罩技術(shù)的另外一個(gè)缺點(diǎn)是，隨著時(shí)間延長(zhǎng)屏蔽空穴會(huì)被堵塞。堵塞的空穴會(huì)導(dǎo)致EL顯示器上出現(xiàn)諸如無(wú)功能像素這樣不受歡迎的結(jié)果。
合適的高-圖形分辨率OLED顯示器形成圖案的方法已經(jīng)在Grande等人的US-A-5,851,709中公開(kāi)。該方法包含如下幾個(gè)步驟1)制備一個(gè)具有相對(duì)的第一和第二表面的基質(zhì)；2)在基質(zhì)的第一表面上形成一個(gè)透光性絕熱層；3)在該絕熱層上形成一個(gè)光-吸收層；4)在基質(zhì)上打一系列從第二表面伸到絕熱層的通道；5)在光-吸收層上制備一個(gè)可轉(zhuǎn)換的彩色形成有機(jī)供體層；6)精確地校準(zhǔn)供體基質(zhì)和顯示基質(zhì)，使基質(zhì)上的通道和裝置上相應(yīng)的彩色像素之間確立一種定向關(guān)系；和7)使用一個(gè)輻射源，以能夠使通道上面的光-吸收層產(chǎn)生足夠的熱量并引發(fā)供體基質(zhì)上的有機(jī)層向顯示基質(zhì)的傳遞。Grande等人的方法有一個(gè)問(wèn)題必須使供體基質(zhì)上的通道陣列形成圖案。這就會(huì)產(chǎn)生許多和陰罩技術(shù)相同的問(wèn)題，包括必須在供體基質(zhì)和顯示基質(zhì)之間進(jìn)行精確地機(jī)械校正。另一個(gè)問(wèn)題是供體的圖案是固定的，不能輕易地改變。
使用一個(gè)未被形成圖案的供體元件和一個(gè)精密的光源，例如激光，可以解決一些使用形成圖案的供體過(guò)程中所遇到的難題。Littman和Tang(US-A-5,688,551)提出了一種從未被形成圖案的供體層向EL基質(zhì)進(jìn)行有機(jī)EL材料的圖案方式傳遞方法。Wolk等人在一系列專利(US-A-6,114,088；US-A-6,140,009；US-A-6,214,520B1；和US-A-6,221,553B1)中提出了這樣一種方法，它可以通過(guò)用激光束加熱供體上選定的站而使EL裝置的發(fā)光層從供體元件向基質(zhì)傳遞。
在共同轉(zhuǎn)讓的US-A-5,937,272中，Tang提出了一種通過(guò)EL材料的氣相沉積作用在薄膜晶體管(TFT)陣列基質(zhì)上使多色像素(例如，紅色、綠色、藍(lán)色亞像素)形成圖案的方法。通過(guò)在載體上使用一種供體涂層和一種小孔屏蔽，這些EL材料以一種選定的模式沉積在基質(zhì)上。該小孔屏蔽可以是在供體層和基質(zhì)之間的一個(gè)獨(dú)立的實(shí)體(例如前述專利的

圖1所示)，或者包含在供體層中(例如前述專利的圖4，5和6所示)。
優(yōu)選地，EL材料的傳遞過(guò)程使用一個(gè)諸如Tang在前述專利中描述的空腔并且在減壓的情況下進(jìn)行。供體層(和小孔，如果分開(kāi))和基質(zhì)必須保持非常接近的距離。作為一個(gè)實(shí)例，Tang展示了一個(gè)接近或在一個(gè)鈍化層上的小孔或供體層，這樣在供體層和底部電極的特定供體靶之間才能保持一個(gè)優(yōu)選的距離。使用真空或減壓有利于EL材料從供體向基質(zhì)傳遞。在傳遞過(guò)程中使用這樣的條件對(duì)于那些對(duì)氧和/或濕氣敏感的EL材料也是非常有利的。例如，已知應(yīng)用在OLED裝置中的羥喹啉鋁(Alq)可以和水發(fā)生反應(yīng)。另外，小分子和聚合物EL裝置中的電極材料在空氣中極不穩(wěn)定。在傳遞步驟中使用真空有助于降低OLED裝置的失敗率。另外，在Littman，Tang和Wolk的方法中也可能發(fā)生由于供體材料在傳遞到基質(zhì)之前降解而導(dǎo)致的OLED裝置損失。供體材料通常從它的制備位置被運(yùn)輸?shù)剿粋鬟f到基質(zhì)的位置。在此過(guò)程中供體被氧、濕氣和/或其他大氣成分污染的可能性是存在的。這會(huì)導(dǎo)致用供體制備OLED顯示器的產(chǎn)率降低。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的一個(gè)目標(biāo)就是提供一種方法，其避免使用陰罩技術(shù)。
本發(fā)明的另一個(gè)目標(biāo)是提供一種方法，其使用一種供體元件但是可以避免由于它的使用地點(diǎn)遠(yuǎn)離它的供貨地點(diǎn)而帶來(lái)的問(wèn)題，并且這些供體元件在運(yùn)輸過(guò)程中不會(huì)被污染或損害。
提供一種改進(jìn)的避免陰罩技術(shù)的生產(chǎn)方法也是本發(fā)明的另一個(gè)目標(biāo)，利用它可以有效地生產(chǎn)全彩OLED顯示器。
該目標(biāo)是通過(guò)使用一種原位真空法制造，至少是部分地制造，對(duì)濕氣或氧敏感的OLED裝置達(dá)到的，該方法包括下列步驟a)在真空涂布機(jī)中設(shè)置一個(gè)接收元件，它將形成OLED裝置的一部分；b)在所述的真空涂布機(jī)中設(shè)置一個(gè)供體載體元件，并涂布該供體載體元件以制備一個(gè)供體元件，它具有一個(gè)或多個(gè)生產(chǎn)整個(gè)或部分OLED裝置所需的層；c)在所述的真空涂布機(jī)中，以物質(zhì)傳遞關(guān)系將供體元件的涂層面定位到將被涂布的接收元件；和d)通過(guò)向供體元件施加輻射，使一個(gè)或多個(gè)層在真空中選擇性地從供體元件向接收元件傳遞。
本發(fā)明所描述方法的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是，該方法在制造無(wú)濕氣、氧或其他大氣成分的OLED裝置時(shí)非常有用，并且不使用陰罩技術(shù)。
根據(jù)本發(fā)明，制造供體元件所用的真空涂布機(jī)和用于從供體元件向OLED接收元件傳遞物質(zhì)的相同。這具有許多優(yōu)點(diǎn)，包括減少對(duì)供體存儲(chǔ)和運(yùn)輸?shù)男枨蠛桶殡S的污染；減少或消除由于供體面和供體載體面的接觸而造成的污染；和減少供體的保管需求。
另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是本方法可以完全地實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，包括處理供體和基質(zhì)介質(zhì)在內(nèi)。本發(fā)明特別適用于在包含許多OLED顯示裝置的一大塊面積上形成有機(jī)層，因此可以提高產(chǎn)量。
附圖簡(jiǎn)述圖1是本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施方案的剖視圖，其中供體載體元件被涂布，而且向基質(zhì)的傳遞過(guò)程在相同的真空涂布機(jī)中進(jìn)行；圖2是本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施方案的剖視圖，其中供體載體元件被涂布多于一個(gè)的涂層，而且向基質(zhì)的傳遞過(guò)程在相同的真空涂布機(jī)中進(jìn)行；圖3是本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施方案的剖視圖，其中供體載體元件被涂布，向基質(zhì)的傳遞過(guò)程被執(zhí)行，而且保留在供體元件上的涂層材料在相同的真空涂布機(jī)中被除去；圖4是本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施方案的剖視圖，其中供體載體元件被涂布，向基質(zhì)的傳遞過(guò)程在一個(gè)真空涂布機(jī)中執(zhí)行，其包含兩個(gè)被載荷鎖(load lock)連接在一起的腔；圖5是本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施方案的剖視圖，其中供體載體元件形成一個(gè)被涂布的連續(xù)薄層，向基質(zhì)的傳遞過(guò)程被執(zhí)行，而且保留在供體元件上的涂層材料在相同的真空涂布機(jī)中被除去；圖6是本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施方案的剖視圖，其中供體載體元件形成一個(gè)連續(xù)的被涂布多于一個(gè)涂層的薄層，向基質(zhì)的傳遞過(guò)程被執(zhí)行，而且保留在供體元件上的涂層材料在相同的真空涂布機(jī)中被除去；圖7A是一個(gè)未被涂布的供體元件結(jié)構(gòu)的剖視圖；圖7B是一個(gè)被涂布一個(gè)涂層材料層的供體元件的結(jié)構(gòu)剖視圖；圖7C是一個(gè)被涂布多于一個(gè)涂層材料層的供體元件的結(jié)構(gòu)剖視圖；和圖8是本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施方案的剖視圖，其中供體載體元件被涂布，向基質(zhì)的傳遞過(guò)程在兩個(gè)分開(kāi)的真空腔中進(jìn)行。
因?yàn)檠b置特征尺寸，例如涂層厚度，經(jīng)常是在亞微米范圍，為了便于觀察這些圖按比例作了放大，而不是實(shí)際尺寸。
術(shù)語(yǔ)“OLED裝置”指一種包含有機(jī)發(fā)光二極管的裝置，有時(shí)被稱作電致發(fā)光裝置，和EL裝置，如在Tang的US-A-5,937,272和Littman和Tang的US-A-5,688,551中所描述的。術(shù)語(yǔ)“顯示器”或“顯示面板”用于標(biāo)記一種可以電子顯示視頻影像或文本的屏幕。術(shù)語(yǔ)“像素”以在它的領(lǐng)域內(nèi)公認(rèn)的慣用法指明顯示面板的一個(gè)區(qū)域，其可以獨(dú)立于其他區(qū)域而受激發(fā)光。術(shù)語(yǔ)“多色的”用于描述一種顯示面板，其可以在不同的區(qū)域發(fā)出不同的色彩。特別的，它被用于描述一種顯示面板，其可以顯示具有不同色彩的圖像。這些區(qū)域不一定是鄰近的。術(shù)語(yǔ)“全彩色”用于描述多彩色顯示面板，其可以發(fā)出可見(jiàn)光譜的紅色、綠色和藍(lán)色并且以任何的色調(diào)組合方式顯示圖像。紅色、綠色和藍(lán)色組成了三種基本的顏色，通過(guò)適當(dāng)?shù)鼗旌线@三種原色可以產(chǎn)生其他所有的顏色。術(shù)語(yǔ)“色調(diào)”指在可見(jiàn)光譜中發(fā)射光的強(qiáng)度圖，不同的色調(diào)表示眼睛可辨別的顏色差異。像素和亞像素通常指在一個(gè)顯示面板中最小的可尋址的單元。對(duì)于單色顯示器，沒(méi)有像素和亞像素之分。術(shù)語(yǔ)“亞像素”用在多色的顯示面板中，并被用于指定像素的任何部分，其可以獨(dú)立地可尋址地發(fā)射一種特別的顏色。例如，藍(lán)色亞像素是像素中的可被尋址發(fā)射藍(lán)光的部分。在全彩色顯示器中，像素通常包含三種基本顏色亞像素，即藍(lán)色、綠色和紅色。術(shù)語(yǔ)“節(jié)距”指在顯示面板中兩個(gè)分開(kāi)的像素或亞像素之間的距離。因此，亞像素節(jié)距即是兩個(gè)亞像素之間的距離。
圖1是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方案的剖視圖，其中供體載體元件30被涂布，并且涂層材料向接收元件42的傳遞過(guò)程在相同的真空腔中進(jìn)行。在此描述的真空涂布機(jī)10是一種封閉的器械，其允許供體載體元件30用諸如氣相沉積的方法涂層，然后涂層的材料在真空狀態(tài)下通過(guò)諸如熱傳遞的方法被傳遞到接收元件42。真空涂布機(jī)10可以包括一個(gè)腔，或者任何數(shù)量的可被載荷鎖連接的腔，或者起相同作用的器械，例如管道或緩沖腔，在那里供體元件和接收元件可以被運(yùn)輸而不會(huì)曝露于非真空狀態(tài)。術(shù)語(yǔ)“真空”在此用于指1乇或更低的壓力。真空涂布機(jī)10通過(guò)真空泵12維持真空狀態(tài)。真空涂布機(jī)10包括載荷鎖14，其用于負(fù)載裝有供體載體元件30的腔。真空涂布機(jī)10也包括載荷鎖16，其用于卸載用過(guò)的供體元件31。載荷鎖14和16是從真空涂布機(jī)10中裝載和卸載材料而不會(huì)使外部環(huán)境污染內(nèi)部環(huán)境的工具。真空涂布機(jī)10的內(nèi)部包括涂布站20和傳遞站22。涂布站20是在真空涂布機(jī)內(nèi)部的一個(gè)站，其允許供體載體元件30通過(guò)諸如氣相沉積的方法涂層。傳遞站22是在真空涂布機(jī)內(nèi)部的一個(gè)站，其有利于涂層材料通過(guò)諸如熱傳遞的方法向接收元件42傳遞。
供體載體元件30通過(guò)載荷鎖14被裝載到真空涂布機(jī)10中。供體載體元件30是一個(gè)可以通過(guò)諸如氣相沉積或?yàn)R射的方法接受涂層的元件，而且隨后可以通過(guò)諸如熱傳遞的方法傳遞全部或部分涂層。可選地，供體載體元件30可以用供體支撐器32支撐。供體載體元件30使用機(jī)械方法傳遞到涂布站20。涂布站20包括涂布裝置34。涂布裝置34可以包含任何可以在真空條件下涂布材料的裝置，包括，但不限于蒸發(fā)和濺射。這可以是，例如，氣相沉積裝置，例如在US-A-6,237,529中所描述的或任何其它可以在真空條件下涂布材料的裝置。如果多種材料被涂布在一個(gè)涂層中，例如，一種主體和一種摻雜劑材料，這些材料可被混合在一起并從一個(gè)源頭沉積，或者供選擇地可用多個(gè)源頭，每個(gè)源頭裝載不同的材料。另外，在真空涂布機(jī)10中，在不同的時(shí)間里可用多個(gè)源頭將不同的層涂布到供體載體元件30或接收元件42上，或者用于涂布另外的供體載體元件30。涂布裝置34是被活化的(例如，理想的材料是被加熱到氣化的程度)并且供體載體元件30被整齊地涂層，使得它成為供體元件31。供體元件31是一個(gè)被涂布了一個(gè)或多個(gè)涂層的元件，隨后它可以通過(guò)諸如熱傳遞的方法全部或部分地被傳遞。
供體載體元件30可以由多種材料或任何材料組合構(gòu)成，只要它們滿足下列的要求供體載體元件30必須足夠柔軟并且具有足以承受涂層步驟和實(shí)施本發(fā)明時(shí)以軋輥到軋輥或堆疊-層的方式運(yùn)輸這些載體的拉伸強(qiáng)度。在下列步驟中供體載體元件30必須能夠維持結(jié)構(gòu)完整性，即當(dāng)在一面加有壓力時(shí)，由輻射-到-熱所引發(fā)的傳遞步驟，和設(shè)計(jì)用于除去揮發(fā)性成分例如水蒸氣的任何預(yù)熱步驟。另外，供體載體元件30在一個(gè)表面上必須能夠接受一個(gè)相對(duì)較薄的材料涂層，并且該涂層載體在預(yù)期的存儲(chǔ)時(shí)間內(nèi)能夠保持涂層不降解。符合這些要求的載體材料包括，例如，金屬箔、塑料箔和纖維增強(qiáng)的塑料箔。盡管選擇合適的載體材料可以依靠已知的方法，但是應(yīng)該認(rèn)識(shí)到在裝配用于本發(fā)明中的供體載體元件30時(shí)，選定的載體材料的某個(gè)方面值得進(jìn)一步的考慮。例如，供體載體元件30在涂布之前可能需要多個(gè)步驟的清洗和表面準(zhǔn)備程序。如果該載體材料是一種輻射-傳導(dǎo)性材料，那么在供體載體元件30中或者其表面上包含一種輻射-吸收性材料對(duì)于更加有效地加熱供體載體元件30來(lái)講將是非常有益的，并且當(dāng)使用從一個(gè)適合的輻射源發(fā)出的輻射閃爍時(shí)，可以相應(yīng)地提高從供體元件31向接收元件42的物質(zhì)傳遞，例如從一個(gè)適合的激光器發(fā)出的激光。
典型的OLED裝置可能含有下列的層，通常以這個(gè)順序陽(yáng)極、空穴-注入層、空穴-運(yùn)輸層、發(fā)光層、電子-運(yùn)輸層和陰極。涂布到供體載體元件30上的材料可以是空穴-注入性材料、空穴-運(yùn)輸性材料、電子傳遞材料、發(fā)光材料、主體材料、陽(yáng)極材料、陰極材料、輻射-吸收性材料或者這些材料的任何組合物。這些材料可以是對(duì)濕氣-和/或氧-敏感的，這意味著水、水蒸氣或者氧的存在會(huì)對(duì)材料的性能或質(zhì)量有負(fù)面的影響。
空穴-注入性(HI)材料盡管不是必需，在有機(jī)發(fā)光性顯示器中含有一個(gè)空穴-注入層經(jīng)常是有用的?？昭?注入性材料可以提高隨后的有機(jī)層薄膜形成特性，并有利于空穴向空穴-運(yùn)輸層的注入。適用于空穴-注入層的材料包括，但不限于，US-A-4,720,432中所描述的卟啉化合物和US-A-6,208,075 B1中所描述的等離子體-沉積性氟碳聚合物。已報(bào)道的、其他可選的適用于有機(jī)EL裝置的空穴-注入性材料是諸如在EP 0 891121 A1和EP1,029,909 A1中所描述的材料。
空穴-運(yùn)輸性(HT)材料空穴-運(yùn)輸性材料是人們非常熟悉的有用的涂層材料，包括芳香族叔胺等化合物，其中芳香族叔胺應(yīng)該理解為至少包含一個(gè)三價(jià)氮原子，其只與碳原子共價(jià)連接，而且這些碳原子中至少有一個(gè)是芳族環(huán)中的一員。芳香族叔胺的一種形式可以是芳基胺，例如單芳基胺、二芳基胺、三芳基胺或者聚合芳基胺。三芳基胺單體的例證已經(jīng)在Klupfel等人的US-A-3,180,730中闡明。其他合適的被一個(gè)或多個(gè)乙烯基取代的和/或至少包含一個(gè)含活潑氫基團(tuán)的三芳基胺在Brantley等人的US-A-3,567,450和US-A-3,658,520中公開(kāi)。
更優(yōu)選的芳香族叔胺是在US-A-4,720,432和US-A-5,061,569中描述的那些至少包括兩個(gè)芳香族叔胺部分的化合物。這些化合物包括結(jié)構(gòu)式(A)所示的化合物 其中Q1和Q2是獨(dú)立選擇的芳香族叔胺部分；和G是一個(gè)連接基團(tuán)，例如亞芳基、環(huán)亞烷基或者碳-碳鍵合的亞烷基。
在一個(gè)實(shí)施方案中，Q1或Q2中至少有一個(gè)包含一種多環(huán)的稠環(huán)結(jié)構(gòu)，例如萘。如果G是一種芳基，通常它是亞苯基、亞聯(lián)苯基或萘部分。
一類有用的符合結(jié)構(gòu)式(A)并含有兩個(gè)三芳基胺部分的三芳基胺如結(jié)構(gòu)式(B)所示 其中R1和R2分別獨(dú)立地表示氫原子、芳基或烷基，或者R1和R2合在一起表示組成環(huán)烷基的原子；和R3和R4分別獨(dú)立地表示芳基，其依次被一種二芳基取代的氨基所取代，二芳基取代的氨基如結(jié)構(gòu)式(C)所示 其中R5和R6是獨(dú)立選擇的芳基。
在一個(gè)實(shí)施方案中，R5或R6中至少有一個(gè)包含一種多環(huán)的稠環(huán)結(jié)構(gòu)，例如，萘。
另一類芳香族叔胺是四芳基二胺。理想的四芳基二胺包括兩個(gè)二芳基氨基基團(tuán)，例如式(C)所示，并通過(guò)一個(gè)亞芳基連接在一起。有用的四芳基二胺包括式(D)所示的那些化合物。 其中每個(gè)Are是獨(dú)立選擇的亞芳基，例如亞苯基或者蒽部分；
n是1到4之間的一個(gè)整數(shù)，和Ar，R7，R8和R9是獨(dú)立選擇的芳基。在一個(gè)典型的實(shí)施方案中，Ar，R7，R8和R9中至少有一個(gè)是一種多環(huán)的稠環(huán)結(jié)構(gòu)，例如，萘。
前述結(jié)構(gòu)式(A)(B)(C)和(D)中不同的烷基、亞烷基、芳基和亞芳基部分均可以分別依次被取代。典型的取代基包括烷基、烷氧基、芳基、芳氧基和鹵素，例如氟、氯和溴。不同的烷基和亞烷基部分通常包含約1到6個(gè)碳原子。環(huán)烷基部分可以包含3到10個(gè)碳原子，但是通常包含五、六或七環(huán)碳原子一例如，環(huán)戊基、環(huán)己基和環(huán)庚基環(huán)結(jié)構(gòu)。芳基和亞芳基部分通常是苯基和亞苯基部分。
空穴-運(yùn)輸層可以由單一的芳香族叔胺化合物或者它們的混合物制成。特別地，可以聯(lián)合使用一種三芳基胺，例如符合式(B)的三芳基胺，和一種四芳基二胺，例如式(D)所示的。當(dāng)聯(lián)合使用一種三芳基胺和一種四芳基二胺時(shí)，后者將作為夾在三芳基胺和電子-注入和運(yùn)輸層之間的一層。有用的芳香族叔胺的例證如下1，1-二(4-二-對(duì)-甲苯基氨基苯)環(huán)己烷1，1-二(4-二-對(duì)-甲苯基氨基苯)-4-苯基環(huán)己烷4，4’-二(二苯基氨)四苯基雙(4-二甲基氨-2-甲基苯基)-苯基甲烷N，N，N-三(對(duì)-甲苯基)胺4-(二-對(duì)-甲苯基氨基)-4’-[4-(二-對(duì)-甲苯基氨基)-苯乙烯基]-均二苯代乙烯N，N，N’，N’-四-對(duì)-甲苯基-4-4’-二氨基聯(lián)苯N，N，N’，N’-四苯基-4-4’-二氨基聯(lián)苯N-苯基咔唑聚(N-乙烯基咔唑)，和N，N’-二-1-萘基-N，N’-二苯基-4，4’-二氨基聯(lián)苯4，4’-二[N-(1-萘基)-N-苯基氨]聯(lián)苯4，4”-二[N-(1-萘基)-N-苯基氨]對(duì)-三聯(lián)苯4，4’-二[N-(2-萘基)-N-苯基氨]聯(lián)苯4，4’-二[N-(3-苊基)-N-苯基氨]聯(lián)苯1，5-二[N-(1-萘基)-N-苯基氨]萘4，4’-二[N-(9-蒽基)-N-苯基氨]聯(lián)苯
4，4”-二[N-(1-蒽基)-N-苯基氨]對(duì)-三聯(lián)苯4，4’-二[N-(2-菲基)-N-苯基氨]聯(lián)苯4，4’-二[N-(8-氟蒽基)-N-苯基氨]聯(lián)苯4，4’-二[N-(2-芘基)-N-苯基氨]聯(lián)苯4，4’-二[N-(2-并四苯基)-N-苯基氨]聯(lián)苯4，4’-二[N-(2-苝)-N-苯基氨]聯(lián)苯4，4’-二[N-(1-蔻基)-N-苯基氨]聯(lián)苯2，6-二(二-對(duì)-甲苯基氨基)萘2，6-二[二-(1-萘基)氨基]萘2，6-二[N-(1-萘基)-N-(2-萘基)氨基]萘N，N，N’，N’-四(2-萘基)-4，4”-二氨基-對(duì)-三聯(lián)苯4，4’-二{N-苯基-N-[4-(1-萘基)-苯基]氨基}聯(lián)苯4，4’-二[N-苯基-N-(2-芘基)氨基]聯(lián)苯2，6-二[N，N-二(2-萘基)胺]氟1，5-二[N-(1-萘基)-N-苯基氨基]萘另一類有用的空穴-運(yùn)輸材料包括EP1 009 041中所描述的多環(huán)芳香族化合物。另外，聚合的空穴-運(yùn)輸材料也可以使用，例如聚(N-乙烯基咔唑)(PVK)，聚噻吩，聚吡咯，聚苯胺和共聚物，例如聚(3，4-亞乙基二氧噻吩)/聚(4-苯乙烯磺酸鹽)共聚物，也稱為PEDOT/PSS。
發(fā)光材料發(fā)光材料是人們熟悉的非常有用的涂層材料。如在US-A-4,769,292和US-A-5,935,721中更加詳細(xì)描述的，有機(jī)EL元件中的發(fā)光層(LEL)包含發(fā)光或熒光材料，其中電致發(fā)光是電子-空穴對(duì)在這個(gè)區(qū)域的重新結(jié)合的結(jié)果。發(fā)光層可以包含單一材料，但更經(jīng)常的是在一種主體材料摻雜一種客體材料或者化合物，其中發(fā)射光主要來(lái)自摻雜劑而且可以是任何顏色。發(fā)光層中的主體材料可以是一種電子-運(yùn)輸材料，如下面所定義的；或者一種空穴-運(yùn)輸材料，如上面描述的；或者其他可以支持空穴-電子重新結(jié)合的材料。摻雜劑通常從強(qiáng)熒光染料中選擇，但是磷光化合物，例如，在WO 98/55561，WO 00/18851，WO 00/57676和WO 00/70655中所描述的過(guò)渡金屬絡(luò)合物也是非常有用的。摻雜劑通常以0.01％到10％的重量比涂布到主體材料中。
在選擇一種染料作為摻雜劑時(shí)需要注意的是帶隙電勢(shì)的比較，它定義為該染料分子的最高填充分子軌道和最低非填充分子軌道的能量差。為了能夠有效地將能量從主體材料分子轉(zhuǎn)移到摻雜劑分子，一個(gè)必要的條件就是摻雜劑的帶隙要小于主體材料。
已知可用的主體和發(fā)光分子包括，但不限于，在下列專利中所公開(kāi)的化合物US-A-4,768,292；US-A-5,141,671；US-A-5,150,006；US-A-5,151,629；US-A-5,294,870；US-A-5,405,709；US-A-5,484,922；US-A-5,593,788；US-A-5,645,948；US-A-5,683,823；US-A-5,755,999；US-A-5,928,802；US-A-5,935,720；US-A-5,935,721；和US-A-6,020,078。
8-羥基喹啉的金屬絡(luò)合物和類似的衍生物(式E)組成了一類有用的可以支持電致發(fā)光的主體化合物，而且特別地適合于發(fā)射波長(zhǎng)大于500納米的光，例如，綠光、黃光、橙光和紅光。 其中M表示一個(gè)金屬原子；n是1到3之間的一個(gè)整數(shù)；和Z在每種情況下獨(dú)立地表示組成一個(gè)含有至少兩個(gè)芳香族稠環(huán)的核的原子。
從上可知，很明顯該金屬可以是一價(jià)的，二價(jià)的或三價(jià)金屬。例如，該金屬可以是堿金屬，例如，鋰、鈉或鉀；堿土金屬，例如，鎂或鈣；或者稀土金屬，例如硼或鋁。一般地，任何已知的一價(jià)、二價(jià)或三價(jià)螫合金屬都可以使用。
Z組成一個(gè)含有至少兩個(gè)芳香族稠環(huán)的雜環(huán)核，這兩個(gè)芳香環(huán)中至少有一個(gè)是吡咯或吖嗪環(huán)。如果有必要，其他的環(huán)，包括脂肪族和芳香族環(huán)，可以與這兩個(gè)必須的環(huán)稠合。為了避免對(duì)提高功能無(wú)益的分子體積增加，環(huán)原子的數(shù)量通常保持在18個(gè)或者更少一些。
有用的螫合oxinoid化合物的例證如下
CO-1三8-羥基喹啉鋁[別名，三(8-羥基喹啉)鋁(III)]CO-2二8-羥基喹啉鎂[別名，二(8-羥基喹啉)鎂(II)]CO-3二[苯并{f}-8-羥基喹啉]鋅(II)CO-4二(2-甲基-8-羥基喹啉)鋁(III)-N-氧雜-二(2-甲基-8-羥基喹啉)鋁(III)CO-5三8-羥基喹啉銦[別名，三(8-羥基喹啉)銦]CO-6三(5-甲基-8-羥基喹啉)鋁[別名，三(5-甲基-8-羥基喹啉)鋁(III)]CO-78-羥基喹啉鋰[別名，(8-羥基喹啉)鋰(I)]9，10-二-(2-萘基)蒽(式F)的衍生物組成一類有用的可以支持電致發(fā)光的主體材料，而且特別地適合于發(fā)射波長(zhǎng)大于400納米的光，例如，藍(lán)光、綠光、黃光、橙光或紅光。 其中R1、R2、R3和R4表示每個(gè)環(huán)上的一個(gè)或多個(gè)取代基，其中每個(gè)取代基單獨(dú)地選自下列各組化合物組1氫或者含有1到24個(gè)碳原子的烷基；組2含有5到20個(gè)碳原子的芳香基或取代的芳香基；組3使蒽基、芘基或苝基的稠合芳香環(huán)完整所必需的4到24個(gè)碳原子；組4使呋喃基、噻吩基、吡啶基、喹啉基或其他雜環(huán)系統(tǒng)的稠合雜芳族環(huán)完整所必需的含有5到24個(gè)碳原子的雜芳基或取代的雜芳基；組5含有1到24個(gè)碳原子的烷氧基氨基、烷基氨基或者芳基胺基；和組6氟、氯、溴或氰苯并吡咯的衍生物(式G)組成另一類有用的可以支持電致發(fā)光的主體材料，而且特別地適合于發(fā)射波長(zhǎng)大于400納米的光，例如，藍(lán)光、綠光、黃光、橙光或紅光。 其中n是3到8之間的一個(gè)整數(shù)；Z是O，NR或者S；R’是氫；含有1到24個(gè)碳原子的烷基，例如，丙基、叔-丁基、庚基等等；含有5到20個(gè)碳原子的芳香基或者雜原子取代的芳香基，例如，苯基和萘基、呋喃基、噻吩基、吡啶基、喹啉基和其他雜環(huán)系統(tǒng)；或者鹵素，例如氯、氟；或者使稠合芳香環(huán)完整所必需的原子；和L是一個(gè)連接單元，包括烷基、芳香基、取代的烷基或取代的芳香基，其共軛地或不共軛地將多個(gè)苯并吡咯連接在一起。
有用的苯并吡咯的一個(gè)例子是2，2’，2”-(1，3，5-亞苯基)三[1-苯基-1H-苯并咪唑]。
理想的熒光摻雜劑包括下列化合物的衍生物，即蒽、并四苯、呫噸、苝、紅熒烯、香豆素、鹼性蕊香紅、喹吖啶酮、雙氰亞甲基吡喃化合物、硫代吡喃化合物、聚甲炔化合物、呋喃鎓和噻喃鎓化合物、和喹喏酮化合物。有用的摻雜劑的例證包括，但不限于，下列化合物 其他有機(jī)發(fā)光材料可以是聚合物，例如，Wolk等人在US-A-6,194,119B1中公開(kāi)的聚亞苯基1，2-亞乙烯基衍生物，二烷氧基-聚亞苯基1，2-亞乙烯基，聚-對(duì)-亞苯基衍生物，和聚芴衍生物，在此作為參考。
電子-運(yùn)輸(ET)材料用在本發(fā)明有機(jī)EL裝置中優(yōu)選的電子-運(yùn)輸材料是金屬螯合的oxinoid化合物，包括8-羥基喹啉螯合物本身。這些化合物有助于注入和運(yùn)輸電子而且具有很好的性能，很容易以薄膜形式制造。設(shè)計(jì)的oxinoid化合物的例子是那些符合前述結(jié)構(gòu)式(E)的化合物。
其他的電子-運(yùn)輸材料包括在US-A-4,356,429中描述的各種丁二烯衍生物和在US-A-4,539,507中描述的各種雜環(huán)熒光增白劑。符合結(jié)構(gòu)式(I)的苯并吡咯也是有用的電子-運(yùn)輸材料。
其他的電子-運(yùn)輸材料可以是聚合物，例如，聚亞苯基1，2-亞乙烯基衍生物，聚-對(duì)-亞苯基衍生物，聚芴衍生物，聚噻吩，聚乙炔和其他傳導(dǎo)性的聚合有機(jī)材料，例如在“傳導(dǎo)性分子和聚合物手冊(cè)”第1-4卷，H.S.Nalwa，ed.，John Wiley和Sons，Chichester(1997)中所列的材料。
在某些情況下，單獨(dú)一層就可以既具備發(fā)光層又具備電子-運(yùn)輸層的功能，因此將會(huì)既包括發(fā)光材料又包括電子-運(yùn)輸材料。
陽(yáng)極材料傳導(dǎo)性陽(yáng)極層在基質(zhì)上形成而且，當(dāng)EL發(fā)射通過(guò)陽(yáng)極時(shí)，對(duì)于相關(guān)發(fā)射應(yīng)該是透明的或者基本透明的。一般用在本發(fā)明中的透明陽(yáng)極材料是銦-錫氧化物和氧化錫，但是其他的金屬氧化物也可以使用，包括但不限于，鋁-或銦摻雜的氧化鋅，鎂-銦氧化物，和鎳-鎢氧化物。除這些氧化物之外，金屬氮化物，例如氮化鎵，和金屬硒化物，例如，硒化鋅，和金屬硫化物，例如，硫化鋅，都可以用作陽(yáng)極材料。當(dāng)應(yīng)用在EL發(fā)射從電極頂端通過(guò)的情況時(shí)，陽(yáng)極材料的透明特征是無(wú)關(guān)緊要的，而且任何傳導(dǎo)性材料都可以使用——透明的，不透明的或者反射的。能夠用在這種情況的導(dǎo)體實(shí)例包括，但不限于，金、銥、鉬、鈀和鉑。典型的陽(yáng)極材料，透明的或不透明的，具有4.1電子伏或更大的亥姆霍茲自由能。理想的陽(yáng)極材料可以通過(guò)合適的方法沉積，例如蒸發(fā)、濺射、化學(xué)氣相淀積或電化學(xué)方法。陽(yáng)極材料可以使用已知的光刻法工藝形成圖案。
陰極材料如果光發(fā)射通過(guò)陽(yáng)極，陰極材料可以包括幾乎任何的傳導(dǎo)性材料。理想的材料具有良好的成膜特性以保證和底下的有機(jī)層接觸良好，在低電壓下促使電子注入，而且具有良好的穩(wěn)定性。有用的陰極材料經(jīng)常包含一種低自由能金屬(＜4.0電子伏)或金屬合金。一種優(yōu)選的陰極材料包含一種鎂銀合金，其中銀的百分比在1％到20％之間，如在US-A-4,885,221中所描述的。另一類合適的陰極材料包括兩層，其包括一個(gè)由低自由能金屬或金屬鹽組成的薄層和一個(gè)覆蓋在薄層之上的由傳導(dǎo)性金屬組成的厚層。這樣的陰極包含一個(gè)氟化鋰薄層緊跟著一個(gè)在US-A-5,677,572中描述的A1厚層。其他有用的陰極材料包括，但不限于，在US-A-5,059,861；5,059,862；和US-A-6,140,763中描述的材料。
如果光發(fā)射是從陰極通過(guò)的，那么陰極材料必須是透明的或接近透明的。對(duì)于這種應(yīng)用，金屬必須是薄的或者必需使用透明的傳導(dǎo)性氧化物，或者這些材料的組合物。透光性陰極在US-A-5,776,623中有更詳細(xì)的描述。陰極材料可以通過(guò)蒸發(fā)、濺射、化學(xué)氣相淀積等方法沉積。如果需要，可以通過(guò)許多熟知的方法形成圖案，這些方法包括，但不限于，透過(guò)掩模沉積，在US-A-5,276,380和EP 0 732 868中描述的整體陰罩方法，激光燒蝕和選擇性化學(xué)氣相沉積。
輻射-吸收性材料輻射-吸收性材料可以是一種染料，例如在US-A-5,578,416中描述的染料；或者一種顏料，例如碳黑；或者一種金屬例如鎳、鉻、鈦等等。
接收元件42通過(guò)載荷鎖16引入到真空涂布機(jī)10中并通過(guò)機(jī)械方法傳遞到傳遞裝置36。這步操作可以發(fā)生在引入供體載體元件30之前、之后或過(guò)程中。傳遞裝置36可以包含任何有助于在真空中將涂層物質(zhì)傳遞到供體元件31的裝置，其利用熱或輻射轉(zhuǎn)化為熱。為了方便起見(jiàn)，傳遞裝置36被顯示為封閉的結(jié)構(gòu)圖，但是它也有一個(gè)打開(kāi)的結(jié)構(gòu)圖，其中供體元件31和接收元件42的裝載和卸載過(guò)程正在發(fā)生。供體元件31通過(guò)機(jī)械的方法從涂布站20傳遞到傳遞站22。供體元件31和接收元件42以物質(zhì)傳遞的關(guān)系放置，即供體元件31的涂層面被放置在與接收元件42的接受面緊密接觸的位置并通過(guò)一些方法例如，壓力腔44中的液壓，固定在該位置，如Phillips等人描述的。然后供體元件31可以通過(guò)透明部分46被施加的輻射照射，例如從激光器38發(fā)出的激光束40。以某種模式照射供體元件31會(huì)引起涂層材料從供體元件31向接收元件42的傳遞，如Phillips等人描述的。
接收元件42可以是一種有機(jī)固體，一種無(wú)機(jī)固體或者一種有機(jī)和無(wú)機(jī)固體的組合物，其具有一個(gè)用于接受來(lái)自供體的發(fā)射材料的表面。接收元件42可以是剛性的或者柔順的而且可以象分開(kāi)的單獨(dú)的片一樣處理，例如薄片或圓片，或者象一個(gè)連續(xù)的卷。典型的接收元件材料包括玻璃、塑料、金屬、陶瓷、半導(dǎo)體、金屬氧化物、半導(dǎo)體氧化物、半導(dǎo)體氮化物或它們的組合物。接收元件42可以是一種由各種材料組成的均勻混合物，一種由各種材料組成的復(fù)合材料，或者多層材料。接收元件42可以是透光的或者不透光的，取決于所希望的光發(fā)射的方向。通過(guò)接收元件42觀察EL發(fā)射，光發(fā)射特征是比較理想的。在這些情況下，透明的玻璃或塑料通常被采用，對(duì)于從電極頂端觀察EL發(fā)射的應(yīng)用，接收元件42的透光特性是無(wú)關(guān)緊要的，因此可以是透光的，吸光的或反射光的。用在這種情況中的接收元件包括，但不限于，玻璃、塑料、半導(dǎo)體材料、陶瓷和電路板材料。在經(jīng)歷本文所述方法之前，接收元件42可以用上述材料的一層或多層處理(例如，陽(yáng)極材料，陰極材料，空穴-運(yùn)輸材料等等)或者在經(jīng)歷這些方法之后具有一個(gè)保護(hù)層。這些處理可以在真空涂布機(jī)10外邊或真空涂布機(jī)10內(nèi)部的涂布站20進(jìn)行。
完成輻射之后，傳遞裝置36被打開(kāi)，供體元件31和接收元件42可以通過(guò)載荷鎖16取出。
圖2是本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施方案的剖視圖，其中供體載體元件被涂布多于一個(gè)的涂層并且向基質(zhì)的傳遞在相同的真空腔中進(jìn)行。真空涂布機(jī)10通過(guò)真空泵12維持真空狀態(tài)。真空涂布機(jī)10包括載荷鎖14，它被用于將新的供體載體元件裝載入腔內(nèi)。真空涂布機(jī)10也包括載荷鎖16，它被用于卸載用過(guò)的供體元件。真空涂布機(jī)10的內(nèi)部包括涂布站20，涂布站24和傳遞站22。
供體載體元件30通過(guò)載荷鎖14引入到真空涂布機(jī)10中?？蛇x地，供體載體元件30用供體支撐器32支撐。供體載體元件30通過(guò)機(jī)械的方法傳遞到涂布站20，其包括涂布裝置34。涂布裝置34是活化的(例如，理想的涂層材料是被加熱到氣化狀態(tài)的)并且供體載體元件30用涂層材料均勻地涂布，使它變成供體元件31。
供體元件31通過(guò)機(jī)械方法從涂布站20傳遞到涂布站24，其包括涂布裝置34a。涂布裝置34a是活化的(例如，理想的涂層材料是被加熱到氣化狀態(tài)的)并且供體元件31用另外一種涂層材料均勻地涂布。
接收元件42通過(guò)載荷鎖16引入到真空涂布機(jī)10中并通過(guò)機(jī)械方法傳遞到傳遞裝置36。這步操作可以發(fā)生在引入供體載體元件30之前、之后或過(guò)程中。為了方便起見(jiàn)，傳遞裝置36被顯示為封閉的結(jié)構(gòu)圖，但是它也有一個(gè)打開(kāi)的結(jié)構(gòu)圖，其中供體元件和基質(zhì)的裝載和卸載過(guò)程正在發(fā)生。供體元件31通過(guò)機(jī)械的方法從涂布站24傳遞到傳遞站22。供體元件31和接收元件42以物質(zhì)傳遞的關(guān)系放置，即供體元件31的涂層面被放置在與接收元件42的接受面緊密接觸的位置并通過(guò)壓力腔44中的液壓固定在該位置，如Phillips等人描述的。然后供體元件31可以通過(guò)透明部分46被施加的輻射照射，例如從激光器38發(fā)出的激光束40。以某種模式照射供體元件31會(huì)引起涂層材料從供體元件31向接收元件42的傳遞，如Phillips等人描述的。
完成輻射之后，傳遞裝置36被打開(kāi)，供體元件31和接收元件42可以通過(guò)載荷鎖16取出。
盡管這個(gè)實(shí)施方案闡述了兩個(gè)涂層的涂布和傳遞，很明顯對(duì)于本領(lǐng)域的那些熟練人員，以這種方式可以進(jìn)行三層或更多層涂布和傳遞。
可替換地，圖2中的實(shí)施方案可用于以不同的圖案方式向接收元件傳遞多于一個(gè)的涂層。在這種方法中，多個(gè)供體載體元件30被引入到真空涂布機(jī)10中，所以每個(gè)涂布站20和24中的供體載體元件30不同。每個(gè)供體載體元件30通過(guò)分別的涂布裝置用途層材料均勻地涂布，因此使得每個(gè)供體載體元件30變成供體元件31。
在這個(gè)實(shí)施方案中，每個(gè)供體元件31通過(guò)機(jī)械方法從各自的涂布站(20或24)依次傳遞到傳遞站22。接收元件42通過(guò)載荷鎖16引入到真空涂布機(jī)10中并通過(guò)機(jī)械方法傳遞到傳遞裝置36。這步操作可以發(fā)生在引入供體載體元件30之前、之后或過(guò)程中。為了方便起見(jiàn)，傳遞裝置36封閉的結(jié)構(gòu)圖被顯示，但是它也有一個(gè)打開(kāi)的結(jié)構(gòu)圖，其中供體元件和基質(zhì)裝載和卸載過(guò)程正在發(fā)生。供體元件31和接收元件42以物質(zhì)傳遞的關(guān)系放置，即供體元件31的涂層面被放置在與接收元件42的接受面緊密接觸的位置并通過(guò)壓力腔44中的液壓固定在該位置，如Phillips等人描述的。然后供體元件31可以通過(guò)透明部分46被施加的輻射照射，例如從激光器38發(fā)出的激光束40。以某種模式照射供體元件31會(huì)引起涂層材料從供體元件31向接收元件42的傳遞，如Phillips等人描述的。
完成輻射之后，傳遞裝置36被打開(kāi)，供體元件31可以通過(guò)載荷鎖16取出。第二個(gè)供體元件31通過(guò)機(jī)械方法被傳遞到傳遞站22并重復(fù)傳遞過(guò)程。在幾個(gè)傳遞操作中的傳遞過(guò)程之后可以采用相同的激光照射模式，或者每個(gè)傳遞可以用不同的激光照射模式進(jìn)行。
對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)那些熟練的人員來(lái)講這點(diǎn)是很明顯的，即該處理方法可被用于制造全色顯示裝置，例如一種全色OLED裝置。一般這些裝置包含紅色、綠色和藍(lán)色亞像素。一種具有三個(gè)涂布站的真空涂布機(jī)10可被用于制備所需的供體元件31。每個(gè)供體元件31用一個(gè)具有不同有機(jī)發(fā)光層的涂層制備，以反射想要的輸出色彩或色調(diào)，即紅色、藍(lán)色或綠色發(fā)光層。每個(gè)供體元件31依次通過(guò)機(jī)械方法從各自的涂布站傳遞到傳遞站22，依次以物質(zhì)傳遞關(guān)系定位到接收元件42，并依次用諸如來(lái)自激光器38的激光束40通過(guò)透明的部分46照射。以某種模式照射供體元件31會(huì)引起涂層材料從供體元件31向接收元件42的圖案方式傳遞，如Phillips等人描述的。例如，紅色發(fā)光材料以圖案方式傳遞到紅色亞像素，藍(lán)色發(fā)光材料以圖案方式傳遞到藍(lán)色亞像素，而綠色發(fā)光材料以圖案方式傳遞到綠色亞像素。在經(jīng)歷此方法之前，接收元件42可以用上述材料的一層或多層處理(例如，陽(yáng)極材料，陰極材料，電子-運(yùn)輸材料等等)。在經(jīng)歷此方法之后，接收元件42可以另外用上述材料的一層或多層處理(例如，陽(yáng)極材料，陰極材料，電子-運(yùn)輸材料等等)并具有一個(gè)保護(hù)層。這些處理可以在真空涂布機(jī)10外邊或真空涂布機(jī)10內(nèi)部的涂布站20進(jìn)行。
圖3是本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施方案的剖視圖，其中涂布供體載體元件，向基質(zhì)的傳遞，以及除去保留在供體元件上的涂層材料均在相同的真空腔中進(jìn)行。真空涂布機(jī)10通過(guò)真空泵12維持真空狀態(tài)。真空涂布機(jī)10包括載荷鎖14，它被用于將新的供體載體元件裝載到腔內(nèi)。真空涂布機(jī)10也包括載荷鎖16，它被用于卸載用過(guò)的供體元件。真空涂布機(jī)10的內(nèi)部包括涂布站20，傳遞站22，和清洗站26。
供體載體元件30通過(guò)載荷鎖14引入到真空涂布機(jī)10中?？蛇x地，供體載體元件30用供體支撐器32支撐。供體載體元件30通過(guò)機(jī)械的方法傳遞到涂布站20，其包括涂布裝置34。涂布裝置34是活化的(例如，理想的涂層材料是被加熱到氣化狀態(tài)的)并且供體載體元件30用途層材料均勻地涂布，使它變成供體元件31。
接收元件42通過(guò)載荷鎖14或載荷鎖16引入到真空涂布機(jī)10中并通過(guò)機(jī)械方法傳遞到傳遞裝置36。這步操作可以發(fā)生在引入供體載體元件30之前、之后或過(guò)程中。為了方便起見(jiàn)，傳遞裝置36封閉的結(jié)構(gòu)圖被顯示，但是它也有一個(gè)打開(kāi)的結(jié)構(gòu)圖，其中供體元件和基質(zhì)的裝載和卸載過(guò)程正在發(fā)生。供體元件31通過(guò)機(jī)械的方法從涂布站20傳遞到傳遞站22。供體元件31和接收元件42以物質(zhì)傳遞的關(guān)系放置，即供體元件31的涂層面被放置在與接收元件42的接受面緊密接觸的位置并通過(guò)壓力腔44中的液壓固定在該位置，如Phillips等人描述的。然后供體元件31可以通過(guò)透明部分46被施加的輻射照射，例如從激光器38發(fā)出的激光束40。以某種模式照射供體元件31會(huì)引起涂層材料從供體元件31向接收元件42的傳遞，如Phillips等人描述的。
完成輻射之后，傳遞裝置36被打開(kāi)，接收元件42可以通過(guò)載荷鎖16或載荷鎖14取出。供體元件31通過(guò)機(jī)械方法傳遞到清洗站26。清洗站26定位在真空涂布機(jī)10內(nèi)部，這樣可以從供體元件31除去涂層材料并且供體載體元件30因此可以重復(fù)使用。清洗站26包括加熱器50或一個(gè)輻射源，例如閃光燈51，和蒸汽去除裝置52在清洗供體元件31的過(guò)程中，供體元件31被加熱器50或輻射源例如閃光燈51加熱，即加熱或輻射引起供體元件31的涂層材料氣化或升華并通過(guò)蒸汽去除裝置52除去。例如蒸汽去除裝置52可以是一個(gè)真空入口，一個(gè)冷阱，一個(gè)可去除的防護(hù)屏等等。現(xiàn)在供體元件31是供體載體元件30并可以通過(guò)機(jī)械裝置載荷鎖16取出?？商鎿Q地，供體載體元件30可以通過(guò)機(jī)械方法傳遞到涂布站20以被重新涂布和重新使用。
這些操作可以在各個(gè)工作站同時(shí)進(jìn)行。例如，一個(gè)供體元件31可以在傳遞站22以輻射引發(fā)的傳遞作用使用，同時(shí)一個(gè)以前被傳遞的供體元件31正被加熱或在清洗站26被輻射，而且一個(gè)未涂布的供體載體元件30在涂布站20正被涂布。
圖4是本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施方案的剖視圖，其中涂布供體載體元件以及向基質(zhì)的傳遞在不同的相互連接起來(lái)的真空腔中進(jìn)行。在這個(gè)實(shí)施方案中的真空涂布機(jī)10包括涂布腔10a和傳遞腔10b。兩者都通過(guò)真空泵12維持真空狀態(tài)并通過(guò)載荷鎖18連接在一起。真空涂布機(jī)10包括載荷鎖14，它被用于將新的未涂布供體載體元件裝載入腔內(nèi)。真空涂布機(jī)10也包括載荷鎖16，它被用于卸載用過(guò)的供體元件。真空涂布機(jī)10的內(nèi)部包括在涂布腔10a中的涂布站20，和在傳遞腔10b中的傳遞站22。
供體載體元件30通過(guò)載荷鎖14引入到真空涂布機(jī)10的涂布腔10a中?？蛇x地，供體載體元件30用供體支撐器32支撐。供體載體元件30通過(guò)機(jī)械的方法傳遞到涂布站20，其包括涂布裝置34。涂布裝置34是活化的(例如，理想的涂層材料是被加熱到氣化狀態(tài)的)并且供體載體元件30用途層材料均勻地涂布，使它變成供體元件31。
接收元件42通過(guò)載荷鎖16引入到真空涂布機(jī)10的傳遞腔10b中并通過(guò)機(jī)械方法傳遞到傳遞裝置36。這步操作可以發(fā)生在引入供體載體元件30之前、之后或過(guò)程中。為了方便起見(jiàn)，傳遞裝置36封閉的結(jié)構(gòu)圖被顯示，但是它也有一個(gè)打開(kāi)的結(jié)構(gòu)圖，其中供體元件31和基質(zhì)的裝載和卸載過(guò)程正在發(fā)生。供體元件31通過(guò)機(jī)械的方法用載荷鎖18從涂布站20傳遞到傳遞站22。供體元件31和接收元件42以物質(zhì)傳遞的關(guān)系放置，即供體元件31的涂層面被放置在與接收元件42的接受面緊密接觸的位置并通過(guò)一些方法例如，在壓力腔44中的液壓，固定在該位置，如Phillips等人描述的。然后供體元件31可以通過(guò)透明部分46被施加的輻射照射，例如從激光器38發(fā)出的激光束40。以某種模式照射供體元件31會(huì)引起涂層材料從供體元件31向接收元件42的傳遞，如Phillips等人描述的。
完成輻射之后，傳遞裝置36被打開(kāi)，供體元件31和接收元件42用載荷鎖16取出。可替換地，供體元件31可用載荷鎖16取出而接收元件42仍留在原位。然后可以使用接收元件42和一個(gè)新的供體元件31重復(fù)傳遞過(guò)程。
很明顯本程序可以做多處改變。接收元件42可以在涂布站20涂布有其他的在制造OLED裝置中非常有用的材料。該涂布過(guò)程可以發(fā)生在輻射-引發(fā)的傳遞過(guò)程之前、之后或既在之前又在之后。例如，接收元件42可以連續(xù)地被涂布一些材料，如在涂布站20涂布一種空穴-運(yùn)輸材料，在傳遞站22涂布一種發(fā)光材料，在涂布站20涂布一種電子-運(yùn)輸材料。
圖5是本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施方案的剖視圖，其中供體元件是一個(gè)連續(xù)網(wǎng)狀物的一部分，即它形成一個(gè)連續(xù)涂層的薄片，向基質(zhì)的傳遞和保留在供體元件上的涂層材料的去除均在相同的真空腔中進(jìn)行。真空涂布機(jī)10通過(guò)真空泵12維持真空狀態(tài)。真空涂布機(jī)10包括載荷鎖16，它被用于裝載和卸載基質(zhì)。真空涂布機(jī)10的內(nèi)部包括可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60，它是供體載體元件30的一個(gè)連續(xù)的薄片?？梢苿?dòng)的網(wǎng)狀物60被固定在輥軸62上，它與移動(dòng)器64的旋轉(zhuǎn)方向一致。真空涂布機(jī)10的內(nèi)部也包括涂布站20，傳遞站22和清洗站26，它們沿著可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60的路線排列。
當(dāng)傳遞裝置36打開(kāi)的時(shí)候，可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60通過(guò)輥軸62纏繞。可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60未涂布的部分被送到涂布站20中，其包括涂布裝置34。涂布裝置34是活化的(例如，理想的涂層材料是被加熱到氣化狀態(tài)的)并且可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60的一部分用涂層材料均勻地涂布。因此，可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60的一部分變成供體元件31。
接收元件42通過(guò)載荷鎖16引入到真空涂布機(jī)10中并通過(guò)機(jī)械方法傳遞到傳遞裝置36。為了方便起見(jiàn)，傳遞裝置36封閉的結(jié)構(gòu)圖被顯示，但是它也有一個(gè)打開(kāi)的結(jié)構(gòu)圖，其中供體元件和基質(zhì)的裝載和卸載過(guò)程正在發(fā)生。當(dāng)傳遞裝置36打開(kāi)的時(shí)候，可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60通過(guò)輥軸62纏繞，它將可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60的涂層部分從涂布站20傳遞到傳遞站22。這步操作可以發(fā)生在引入接收元件42之前、之后或過(guò)程中。可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60的涂層面被放置在與接收元件42的接受面緊密接觸的位置并通過(guò)壓力腔44中的液壓固定在該位置，如Phillips等人描述的。然后可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60通過(guò)透明部分46被施加的輻射照射，例如從激光器38發(fā)出的激光束40。用激光束40以某種模式照射可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60的涂層部分會(huì)引起涂層材料從可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60向接收元件42的傳遞，如Phillips等人描述的。
完成輻射之后，傳遞裝置36被打開(kāi)，接收元件42通過(guò)載荷鎖16取出。當(dāng)傳遞裝置36打開(kāi)的時(shí)候，可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60通過(guò)輥軸62纏繞，它將可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60用過(guò)的涂層部分從傳遞站22傳遞到清洗站26。清洗站包括加熱器50或一個(gè)輻射源，例如閃光燈51，和蒸汽去除裝置52?？梢苿?dòng)的網(wǎng)狀物60的一部分被加熱器50或輻射源例如閃光燈51加熱，這將清洗它，即加熱或輻射引起可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60的涂層材料氣化或升華并通過(guò)蒸汽去除裝置52除去。當(dāng)傳遞裝置36打開(kāi)的時(shí)候，可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60通過(guò)輥軸62纏繞，它將可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60現(xiàn)在-未涂布的部分從清洗站26傳遞到涂布站20，以重新涂層和重新使用。
在一個(gè)可供選擇的實(shí)施方案中，可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60可以是一個(gè)長(zhǎng)的，但不一定連續(xù)的薄片。這可以通過(guò)在不同的工作站之前和之后使用去纏繞的卷取輥完成。
圖6是本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施方案的剖視圖，其中供體元件形成一個(gè)連續(xù)的被涂布了多于一個(gè)涂層的薄片，向基質(zhì)的傳遞和保留在供體元件上的涂層材料的去除均在相同的真空腔中進(jìn)行。真空涂布機(jī)10通過(guò)真空泵12維持真空狀態(tài)。真空涂布機(jī)10包括載荷鎖16，它被用于裝載和卸載基質(zhì)。真空涂布機(jī)10的內(nèi)部包括可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60，它是供體載體元件30的一個(gè)連續(xù)的薄片?？梢苿?dòng)的網(wǎng)狀物60被固定在輥軸62上，它與移動(dòng)器64的旋轉(zhuǎn)方向一致。真空涂布機(jī)10的內(nèi)部也包括涂布站20，傳遞站22和清洗站26，它們沿著可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60的路線排列。
當(dāng)傳遞裝置36打開(kāi)的時(shí)候，可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60通過(guò)輥軸62纏繞?？梢苿?dòng)的網(wǎng)狀物60未涂布的部分被送到涂布站20中，其包括涂布裝置34。涂布裝置34是活化的(例如，理想的涂層材料是被加熱到氣化狀態(tài)的)并且可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60的一部分用涂層材料均勻地涂布。因此，可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60的一部分變成供體元件31。
當(dāng)傳遞裝置36打開(kāi)的時(shí)候，可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60通過(guò)輥軸62纏繞。可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60曾被涂層的部分從涂布站20被送到涂布站24中。涂布裝置34是活化的(例如，理想的涂層材料是被加熱到氣化狀態(tài)的)并且可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60用第二種涂層材料均勻地涂布。
接收元件42通過(guò)載荷鎖16引入到真空涂布機(jī)10中并通過(guò)機(jī)械方法傳遞到傳遞裝置36。為了方便起見(jiàn)，傳遞裝置36封閉的結(jié)構(gòu)圖被顯示，但是它也有一個(gè)打開(kāi)的結(jié)構(gòu)圖，其中供體元件和基質(zhì)的裝載和卸載過(guò)程正在發(fā)生。當(dāng)傳遞裝置36打開(kāi)的時(shí)候，可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60通過(guò)輥軸62纏繞，它將可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60的涂層部分從涂布站20傳遞到傳遞站22。這步操作可以發(fā)生在引入接收元件42之前、之后或過(guò)程中?？梢苿?dòng)的網(wǎng)狀物60的涂層面被放置在與接收元件42的接受面緊密接觸的位置并通過(guò)壓力腔44中的液壓固定在該位置，如Phillips等人描述的。然后可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60可以通過(guò)透明部分46被施加的輻射照射，例如從激光器38發(fā)出的激光束40。用激光束40以某種模式照射可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60的涂層部分會(huì)引起涂層材料從可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60向接收元件42的傳遞，如Phillips等人描述的。
完成輻射之后，傳遞裝置36被打開(kāi)，接收元件42通過(guò)載荷鎖16取出。當(dāng)傳遞裝置36打開(kāi)的時(shí)候，可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60通過(guò)輥軸62纏繞，它將可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60用過(guò)的涂層部分從傳遞站22傳遞到清洗站26。清洗站26包括加熱器50或一個(gè)輻射源，例如閃光燈51，和蒸汽去除裝置52?？梢苿?dòng)的網(wǎng)狀物60的一部分被加熱器50或輻射源例如閃光燈51加熱，這將引起可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60的涂層材料氣化或升華并通過(guò)蒸汽去除裝置52除去。當(dāng)傳遞裝置36打開(kāi)的時(shí)候，可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60通過(guò)輥軸62纏繞，它將可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60現(xiàn)在-未涂布的部分從清洗站26傳遞到涂布站20，以重新涂層和重新使用。
盡管這個(gè)實(shí)施方案闡述了兩個(gè)涂層的涂布和傳遞，很明顯對(duì)于本領(lǐng)域的那些熟練人員，以這種方式可以涂布和傳遞三個(gè)涂層或更多的涂層。
可替換地，圖6中的實(shí)施方案可用于以不同的圖案方式向接收元件傳遞多于一個(gè)的涂層。在這種方法中，每個(gè)涂布站20和24涂布可移動(dòng)網(wǎng)狀物60的一個(gè)不同部分。因此使得網(wǎng)狀物的不同部分分別變成一個(gè)獨(dú)立的供體元件31。
在這個(gè)實(shí)施方案中，可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60每個(gè)涂層的部分從各自的涂布站(20或24)依次傳遞到傳遞站22。接收元件42通過(guò)載荷鎖16引入到真空涂布機(jī)10中并通過(guò)機(jī)械方法傳遞到傳遞裝置36?？梢苿?dòng)的網(wǎng)狀物60的涂層部分和接收元件42以物質(zhì)傳遞的關(guān)系放置，即可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60的涂層面被放置在與接收元件42的接受面緊密接觸的位置并通過(guò)壓力腔44中的液壓固定在該位置，如Phillips等人描述的。然后可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60可以通過(guò)透明部分46被施加的輻射照射，例如從激光器38發(fā)出的激光束40。以某種模式照射可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60的涂層部分會(huì)引起涂層材料從可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60向接收元件42的傳遞，如Phillips等人描述的。
完成輻射之后，傳遞裝置36被打開(kāi)，可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60另一個(gè)涂層部分被傳遞到傳遞站22并且傳遞過(guò)程被重復(fù)。在幾個(gè)傳遞操作中的傳遞過(guò)程可以采用相同的激光照射模式，或者每個(gè)傳遞過(guò)程使用不同的激光照射模式，例如在制造全色OLED裝置所用的。在制備可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60的三個(gè)涂層部分的每一個(gè)時(shí)使用一種具有不同有機(jī)發(fā)光層的涂層以反射想要的輸出色彩或色調(diào)，即紅色、藍(lán)色或綠色發(fā)光層。每個(gè)可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60的涂層部分依次從各自的涂布站傳遞到傳遞站22，依次以物質(zhì)傳遞關(guān)系定位到接收元件42，并依次用諸如來(lái)自激光器38的激光束40通過(guò)透明的部分46照射。以某種模式照射可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60的涂層部分引起涂層材料從可移動(dòng)的網(wǎng)狀物60向接收元件42的傳遞，如Phillips等人描述的。例如，紅色發(fā)光材料以圖案方式被傳遞到紅色亞像素，藍(lán)色發(fā)光材料以圖案方式被傳遞到藍(lán)色亞像素，而綠色發(fā)光材料以圖案方式被傳遞到綠色亞像素。
圖7A是一個(gè)未涂布的供體元件結(jié)構(gòu)剖視圖。供體載體元件30包括下部的彈性支撐體70，其包含非-傳遞性表面78。彈性支撐體70已經(jīng)被均勻地涂布了一層輻射-到-熱的轉(zhuǎn)化層72。輻射-到-熱的轉(zhuǎn)化層72包括可以吸收相關(guān)波長(zhǎng)的輻射和熱量的材料。
圖7B是一個(gè)具有一個(gè)涂層的供體元件結(jié)構(gòu)剖視圖。供體元件31包括彈性支撐體70，其包含非-傳遞性表面78。彈性支撐體70已經(jīng)被均勻地涂布了一層輻射-到-熱的轉(zhuǎn)化層72。輻射-到-熱的轉(zhuǎn)化層72包括可以吸收相關(guān)波長(zhǎng)的輻射和熱量的材料。彈性支撐體70已經(jīng)被均勻地涂布了另一層涂層材料74。涂層材料74組成供體元件31的涂層面80。
圖7C是一個(gè)具有多個(gè)涂層的供體元件結(jié)構(gòu)剖視圖。供體元件31包括彈性支撐體70，其包含非-傳遞性表面78。彈性支撐體70已經(jīng)被均勻地涂布了一層輻射-到-熱的轉(zhuǎn)化層72。輻射-到-熱的轉(zhuǎn)化層72包括可以吸收相關(guān)波長(zhǎng)的輻射和熱量的材料。彈性支撐體70另外已經(jīng)被均勻地涂布了涂層材料74和涂層材料76。涂層材料76組成供體元件31的涂層面80。
圖8是本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施方案的剖視圖，其中涂布供體載體元件以及向基質(zhì)的傳遞在不同的相互分離的真空腔中進(jìn)行。在這個(gè)實(shí)施方案中的真空涂布機(jī)10包括涂布腔10a和傳遞腔10b和運(yùn)輸腔90，它們都維持在真空狀態(tài)。涂布腔10a包括載荷鎖14，它被用于裝載和卸載該腔。傳遞腔10b同樣也包括載荷鎖16，它被用于卸載和裝載該腔。涂布腔10a包括涂布站20，傳遞腔10b包括傳遞站22。運(yùn)輸腔90是可移動(dòng)的并且包括載荷鎖92，其被設(shè)計(jì)成與載荷鎖14和16一起形成氣體密封。運(yùn)輸腔90也可以包括一個(gè)在運(yùn)輸過(guò)程中維持真空的裝置(未示出)。
供體載體元件30通過(guò)載荷鎖14引入到涂布腔10a中?？蛇x地，供體載體元件30用供體支撐體32支撐。供體載體元件30通過(guò)機(jī)械的方法傳遞到涂布站20，其包括涂布裝置34。涂布裝置34是活化的(例如，理想的涂層材料是被加熱到氣化狀態(tài)的)并且供體載體元件30用涂層材料均勻地涂布，使它變成供體元件31。
運(yùn)輸腔90被送到這樣一個(gè)位置，在那里載荷鎖92可以與載荷鎖14形成密封連接。供體元件31通過(guò)機(jī)械方法從涂布站20傳遞到運(yùn)輸腔90。然后運(yùn)輸腔90與涂布腔10a分離，而內(nèi)部仍保持真空狀態(tài)。
接收元件42通過(guò)載荷鎖16引入到傳遞腔10b中并通過(guò)機(jī)械方法傳遞到傳遞裝置36。為了方便起見(jiàn)，傳遞裝置36封閉的結(jié)構(gòu)圖被顯示，但是它也有一個(gè)打開(kāi)的結(jié)構(gòu)圖，其中供體元件和基質(zhì)的裝載和卸載過(guò)程正在發(fā)生。運(yùn)輸腔90被送到這樣一個(gè)位置，在那里載荷鎖92可以與載荷鎖16進(jìn)行密封連接。供體元件31通過(guò)機(jī)械的方法從運(yùn)輸腔90傳遞到傳遞站22。供體元件31和接收元件42以物質(zhì)傳遞的關(guān)系放置，即供體元件31的涂層面被放置在與接收元件42的接受面緊密接觸的位置并通過(guò)壓力腔44中的液壓固定在該位置，如Phillips等人描述的。然后供體元件31可以通過(guò)透明部分46被施加的輻射照射，例如從激光器38發(fā)出的激光束40。以某種模式照射供體元件31會(huì)引起涂層材料從供體元件31向接收元件42的傳遞，如Phillips等人描述的。
完成輻射之后，傳遞裝置36被打開(kāi)，供體元件31和接收元件42用載荷鎖16取出?？商鎿Q地，供體元件31可用載荷鎖16取出而接收元件42仍留在原位。然后可以使用接收元件42和一個(gè)新的供體元件31重復(fù)傳遞過(guò)程。
本發(fā)明和它的優(yōu)點(diǎn)可以通過(guò)下面實(shí)施例的比較得到更好的理解。
實(shí)施例1一種符合本發(fā)明要求的OLED裝置以下面的方式制造1.一個(gè)寬8英寸厚0.001英寸的不銹鋼供體載體元件在真空狀態(tài)下被放置到在此所描述的真空涂布機(jī)中。
2.在一個(gè)涂布站，一個(gè)厚度為375埃的三(8-羥基喹啉)鋁(III)(Alq3)涂層被沉積到供體載體元件上，該涂布站包括一個(gè)加熱的鉭舟皿源。沉積速率為4埃/秒。
3.一個(gè)涂布了銦-錫-氧化物陽(yáng)極層并被清洗的玻璃接收元件，為了不破壞供體元件的真空環(huán)境，通過(guò)載荷鎖被放置到真空涂布機(jī)中。
4.在真空涂布機(jī)內(nèi)的第二個(gè)涂布站上，一個(gè)厚度為1500埃的4，4’-二-[N-(1-萘基)-N-苯基氨]聯(lián)苯(NPB)空穴傳輸層通過(guò)來(lái)自鉭舟皿源的蒸發(fā)作用被沉積在接收元件上。
5.在真空涂布機(jī)中的傳遞站上，供體元件被定位在低于NPB-涂層的玻璃接收元件1厘米的位置。用石英燈的光輻射加熱供體元件的非傳遞表面到足夠高的溫度，以徹底地在大約2秒鐘之內(nèi)將涂層從供體元件傳遞到接收元件。
6.在一個(gè)涂布站，一個(gè)厚度為375埃的Alq3電子傳輸層被沉積在接收元件上，該涂布站包括一個(gè)加熱的鉭舟皿源。
7.在一個(gè)具有分開(kāi)的鉭舟皿的涂布站上，一個(gè)厚度為2200埃的陰極涂層被沉積到接收元件上，該鉭舟皿其中一個(gè)包含銀，另一個(gè)包含鎂。陰極層的鎂原子和銀原子數(shù)量比為10∶1。
實(shí)施例2一個(gè)對(duì)照OLED裝置用實(shí)施例1所描述的方法制造，除了以下幾點(diǎn)不同之外第一和第二個(gè)步驟制備的供體元件暴露在空氣中5分鐘之后將供體元件從真空涂布機(jī)傳遞到分開(kāi)的真空傳遞腔中。經(jīng)過(guò)這個(gè)暴露過(guò)程之后，供體元件重新放回到真空中并接著用實(shí)施例1中后面的步驟處理。
實(shí)施例3一個(gè)對(duì)照OLED裝置用實(shí)施例1所描述的方法制造，除了以下幾點(diǎn)不同之外第一和第二個(gè)步驟制備的供體元件暴露在空氣中20分鐘之后將供體元件從真空涂布機(jī)傳遞到分開(kāi)的真空傳遞腔中。經(jīng)過(guò)這個(gè)暴露過(guò)程之后，供體元件重新放回到真空中并接著用實(shí)施例1中后面的步驟處理。
結(jié)果以上實(shí)施例制造的裝置在20mA/m2的電流密度條件下工作。在不同的使用期之前和之后測(cè)量發(fā)光量，以坎德拉/平方米計(jì)算。下表顯示測(cè)量結(jié)果。

實(shí)施例1——在其制造過(guò)程中沒(méi)有暴露于空氣——的最初發(fā)光量是620cd/m2。實(shí)施例2和3——其供體元件在空氣中分別暴露5和20分鐘之后被傳遞——的最初發(fā)光量分別是360cd/m2和275cd/m2，或者實(shí)施例1的58％和44％。因此，將供體元件暴露在空氣中較短的時(shí)間對(duì)OLED裝置的最初發(fā)光量有負(fù)面影響。另外，實(shí)施例2和3的發(fā)光量隨時(shí)間衰退的更快。例如，工作250個(gè)小時(shí)之后，實(shí)施例1的發(fā)光量是它最初發(fā)光量(620cd/m2)的67％，或者415cd/m2。相同的工作時(shí)間之后，實(shí)施例2的發(fā)光量是它最初發(fā)光量(360cd/m2)的37％，或者135cd/m2。
本發(fā)明其他的特征包括以下內(nèi)容。
本方法另外包括用所需數(shù)目的涂層涂布所述接收元件。
本方法另外包括這樣一個(gè)步驟將每個(gè)供體元件作為可移動(dòng)網(wǎng)狀物的一部分，其根據(jù)與接收元件的物質(zhì)傳遞關(guān)系移動(dòng)。
本方法另外包括清洗供體元件的步驟以允許它們可以重復(fù)涂布。
權(quán)利要求
1.一種制造，至少是部分地制造，對(duì)濕氣或氧敏感的OLED裝置的原位真空方法，該方法包括以下步驟a)在真空涂布機(jī)中設(shè)置一個(gè)接收元件，它將形成OLED裝置的一部分；b)在所述的真空涂布機(jī)中設(shè)置一個(gè)供體載體元件，并涂布該供體載體元件以制備一個(gè)供體元件，它具有一個(gè)或多個(gè)生產(chǎn)整個(gè)或部分OLED裝置所需的層；c)在所述的真空涂布機(jī)中，以物質(zhì)傳遞關(guān)系將供體元件的涂層面定位到將被涂布的接收元件；和d)通過(guò)向供體元件施加輻射，使一個(gè)或多個(gè)層在真空中選擇性地從供體元件向接收元件傳遞。
2.權(quán)利要求1的方法，另外包括以下步驟e)使用真空涂布機(jī)在接收元件上涂布一個(gè)或多個(gè)涂層，該接收元件將形成OLED裝置的一部分。
3.權(quán)利要求1的方法，另外包括以下步驟e)重復(fù)步驟b)到d)，以生產(chǎn)對(duì)濕氣或氧敏感裝置的全部或一部分。
4.權(quán)利要求3的方法，另外包括在所述接收元件上涂布所需數(shù)目的涂層。
5.權(quán)利要求1的方法，另外包括以下步驟e)清洗該供體元件，以允許它被重新涂布。
6.權(quán)利要求1的方法，另外包括這樣一個(gè)步驟將供體元件作為一個(gè)可移動(dòng)的網(wǎng)狀物的一部分，該網(wǎng)狀物以與接收元件的物質(zhì)傳遞關(guān)系移動(dòng)。
7.權(quán)利要求6的方法，另外包括清洗該供體元件的步驟，以允許它被重新涂布。
8.一種用于制造形成許多OLED裝置所需的全色顯示器的原位真空方法，這些顯示器是對(duì)濕氣或氧敏感的，該方法包括下列步驟a)在真空涂布機(jī)中設(shè)置一個(gè)接收元件，它將形成顯示器的一部分；b)在所述的真空涂布機(jī)中設(shè)置多個(gè)供體載體元件，并使用材料涂布這些供體載體元件，其中每個(gè)供體載體元件具有至少一種不同的材料，以能夠從相應(yīng)的OLED裝置輸出不同的顏色；c)依次將每個(gè)供體元件的涂層面以物質(zhì)傳遞關(guān)系定位到將要被涂布的接收元件；和d)在真空條件下，依次向定位的供體元件施加輻射，以選擇性地將一個(gè)或多個(gè)涂層從每個(gè)供體元件向形成相應(yīng)OLED裝置的接收元件傳遞。
9.權(quán)利要求8的方法，另外包括以下步驟e)使用真空涂布機(jī)在接收元件上涂布一個(gè)或多個(gè)涂層，該接收元件將形成OLED裝置的一部分。
10.權(quán)利要求8的方法，另外包括以下步驟e)在所述的真空涂布機(jī)中設(shè)置一個(gè)或多個(gè)供體載體元件并涂布這些供體載體元件，以制備一個(gè)或多個(gè)供體元件，它具有一個(gè)或多個(gè)生產(chǎn)整個(gè)或部分OLED裝置所需的層；f)將供體元件的涂層面以物質(zhì)傳遞關(guān)系定位到接收元件，該接收元件將在所述的真空涂布機(jī)中被涂布；g)在真空條件下向供體元件施加輻射，以選擇性地將一個(gè)或多個(gè)涂層從供體元件向接收元件傳遞；和h)重復(fù)步驟f)和g)，以生產(chǎn)全部或部分對(duì)濕氣或氧敏感的該裝置。
全文摘要
一種制造，至少是部分地制造，對(duì)濕氣或氧敏感的OLED裝置的原位真空方法，該方法包括將一個(gè)接收元件放到一個(gè)真空涂布機(jī)中，該接收元件將形成OLBD裝置的一部分；將一個(gè)供體載體元件放到所述真空涂布機(jī)內(nèi)并涂布該供體載體元件，以生產(chǎn)一個(gè)具有一個(gè)或多個(gè)涂層的供體元件，該涂層是生產(chǎn)OLED裝置的全部或者一部分所必需的；將該供體元件的涂層面以物質(zhì)傳遞關(guān)系定位到接收元件，其將在所述的真空涂布機(jī)中被涂布；和在真空條件下向供體元件施加輻射，以選擇性地將一個(gè)或多個(gè)涂層從供體元件向接收元件傳遞。
文檔編號(hào)H01L51/00GK1428874SQ02159400
公開(kāi)日2003年7月9日 申請(qǐng)日期2002年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2001年12月27日
發(fā)明者M·L·波羅森, S·A·范斯利克, A·G·皮納塔 申請(qǐng)人:伊斯曼柯達(dá)公司