專(zhuān)利名稱(chēng)：測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及測(cè)試存儲(chǔ)器的測(cè)試裝置。本發(fā)明尤其涉及一種存儲(chǔ)作為測(cè) 試結(jié)果獲得的不良單元的信息的測(cè)試裝置。
背景技術(shù)：
在制造半導(dǎo)體器件時(shí)，為了提高成品率、減少費(fèi)用，可制造性設(shè)計(jì)(DFM: Design for Manufacturing)變得不可缺少。例如，在重新使半導(dǎo)體器件 的制造程序運(yùn)行的時(shí)候，有時(shí)在其初期階段得不到足夠的成品率。在這種 情況下為了查找其中的原因，需要改變曝光裝置的掩膜圖案的設(shè)計(jì)，或者更 改在晶片上的半導(dǎo)體器件的配置。也許這種改進(jìn)一次還不夠充分，有時(shí)需要 多次重復(fù)追查原因并進(jìn)行調(diào)整。
有關(guān)對(duì)半導(dǎo)體器件的閃存器進(jìn)行測(cè)試的技術(shù)，請(qǐng)參考下述專(zhuān)利參考文
獻(xiàn)l:
專(zhuān)利文獻(xiàn)l:特開(kāi)平10-125092號(hào)公報(bào)。
為了使該工藝效率化，而盡早開(kāi)始高效率的制造，應(yīng)實(shí)現(xiàn)故障原因的 査找效率化。以前，在半導(dǎo)體器件的測(cè)試裝置中，為了便于查找原因，在 每個(gè)存儲(chǔ)單元記錄半導(dǎo)體器件產(chǎn)生的故障，并提供給設(shè)計(jì)師。然而，在使 制造程序運(yùn)行的初期階段中，即使在同樣的半導(dǎo)體器件內(nèi)，有時(shí)也會(huì)將只
有一部分單元發(fā)生故障的塊和在很多單元發(fā)生故障的塊混在一起。對(duì)只有 一部分單元發(fā)生故障的塊，其發(fā)生故障的位置有助于查找原因。另一方面， 關(guān)于多個(gè)單元發(fā)生故障的塊，也有塊整體性的狀態(tài)構(gòu)成故障原因的情況， 即使掌握各不良單元的位置，也難以在查明原因上起作用。
同時(shí)，由于每個(gè)單元的故障信息構(gòu)成龐大的數(shù)據(jù)量，最好將該信息數(shù) 據(jù)壓縮后保存。然而，如果在按照地址順序記錄發(fā)生故障的單元時(shí)，故障 的發(fā)生部位多且分散的話(huà)，則容易降低數(shù)據(jù)壓縮的可壓縮性。也就是，故 障太多的塊不僅不利于查找原因，而且在記錄故障信息的時(shí)候，對(duì)存儲(chǔ)容 量可能存在不必要的壓力。這樣，對(duì)全部塊都記錄每個(gè)單元的故障，效率 性降低。
因此，本發(fā)明的目的在于提供能夠解決上述課題的測(cè)試裝置及測(cè)試方 法。該目的由權(quán)利要求書(shū)中的獨(dú)立權(quán)利要求記載的技術(shù)特征的組合實(shí)現(xiàn)。 而從屬權(quán)利要求規(guī)定了對(duì)本發(fā)明更有利的具體例子。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的第一形態(tài)，提供一種測(cè)試裝置，是測(cè)試被測(cè)試存儲(chǔ)器的 測(cè)試裝置，包括進(jìn)行上述被測(cè)試存儲(chǔ)器的各單元的測(cè)試的測(cè)試部；對(duì)應(yīng)
上述被測(cè)試存儲(chǔ)器的各單元，將表示該單元的好壞的失效信息保存在失效
存儲(chǔ)器內(nèi)的失效信息保存部；對(duì)每個(gè)具有被測(cè)試存儲(chǔ)器的塊，計(jì)數(shù)在該塊 內(nèi)被檢測(cè)出的不良單元的個(gè)數(shù)的計(jì)數(shù)部；接收讀取塊所包含的各單元的上 述失效信息要求的讀出要求接收部分；將讀出目標(biāo)塊內(nèi)的不良單元的數(shù)， 與預(yù)先所確定的基準(zhǔn)數(shù)加以比較的比較部；把上述讀出目標(biāo)塊內(nèi)的不良單
元的數(shù)超過(guò)上述基準(zhǔn)數(shù)作為條件，為了對(duì)上述讀出要求回信，將包含上述 讀出目標(biāo)塊內(nèi)的各單元的上述失效信息的回信數(shù)據(jù)列中的、連續(xù)的多個(gè)失 效信息變換成表示品質(zhì)不良的值的變換部；以及壓縮上述回信數(shù)據(jù)列后回 信的壓縮部。
同時(shí)，上述變換部以上述讀出目標(biāo)塊內(nèi)的品質(zhì)不良單元的數(shù)超過(guò)上述 基準(zhǔn)數(shù)作為條件，可輸出表示上述讀出目標(biāo)塊內(nèi)的全單元不良的上述回信 數(shù)據(jù)列。
同時(shí)，上述壓縮部可以在連續(xù)的多個(gè)上述失效信息是同一值的時(shí)候， 進(jìn)行將連續(xù)的多個(gè)上述失效信息轉(zhuǎn)換成表示與上述失效信息的值連續(xù)的個(gè) 數(shù)的信息的運(yùn)行長(zhǎng)度壓縮。
另外，還包括塊信息保存部，對(duì)應(yīng)被測(cè)試存儲(chǔ)器的各塊，把表示該塊 內(nèi)是否存在品質(zhì)不良單元的不良?jí)K信息、和表示該塊內(nèi)品質(zhì)不良單元數(shù)是 否超過(guò)上述基準(zhǔn)數(shù)的信息，存儲(chǔ)在不良?jí)K存儲(chǔ)器中；上述變換部，把表示 上述讀出目標(biāo)塊內(nèi)的不良單元數(shù)超過(guò)上述基準(zhǔn)數(shù)的所述不良超過(guò)信息存儲(chǔ) 在所述不良?jí)K存儲(chǔ)器中作為條件，為了對(duì)讀出要求回信，可將包含讀出目 標(biāo)塊內(nèi)的各單元的失效信息的回信數(shù)據(jù)列中的，連續(xù)的多個(gè)失效信息轉(zhuǎn)換 成表示品質(zhì)不良的值。
上述的發(fā)明的概要，并未列舉出本發(fā)明必要的技術(shù)特征的全部，這些 特征的次級(jí)組合，也能成為發(fā)明。


圖1表示本發(fā)明的實(shí)施例涉及的測(cè)試裝置10的整體構(gòu)造。 圖2表示本發(fā)明的實(shí)施例涉及的被觀!l試存儲(chǔ)器100內(nèi)部結(jié)構(gòu)的具體例。 圖3是本發(fā)明的實(shí)施例涉及的在失效存儲(chǔ)器40記錄的失效信息的一例，
給出失效集中發(fā)生的情況和分散發(fā)生的情況的對(duì)比。
圖4表示本發(fā)明的實(shí)施例涉及的不良記錄模塊180中存儲(chǔ)失效信息的功
能的構(gòu)造。
圖5表示本發(fā)明的實(shí)施例涉及的不良記錄模塊180中讀出失效信息的功 能構(gòu)造。
圖6表示通過(guò)本發(fā)明的實(shí)施例涉及的不良記錄模塊180，讀出失效信息 的處理流程。 附圖標(biāo)記 10測(cè)試裝置 40失效存儲(chǔ)器 50不良?jí)K存儲(chǔ)器 60計(jì)數(shù)存儲(chǔ)器 65界限寄存器 100被測(cè)試存儲(chǔ)器 110控制部 120時(shí)限控制發(fā)生器 130測(cè)試圖案信號(hào)產(chǎn)生器 140波形整形器 150驅(qū)動(dòng)器 160比測(cè)器170比較部
180不良記錄模塊
210數(shù)據(jù)
220錯(cuò)誤校驗(yàn)碼
230控制信息
240主要區(qū)域
250臨時(shí)區(qū)域
400地址選擇部
410地址選擇部
420計(jì)數(shù)部
500讀出要求接收部
510比較部
520變換部
530壓縮部
具體實(shí)施例方式
下面通過(guò)發(fā)明的最佳實(shí)施方式(以下稱(chēng)為實(shí)施方式)說(shuō)明本發(fā)明，不過(guò)， 以下的實(shí)施方式不是限定權(quán)利要求范圍所涉及的發(fā)明，實(shí)施方式中說(shuō)明的 特征組合的全部未必都是發(fā)明的解決手段所必須的。
圖1表示本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的測(cè)試裝置10的整體構(gòu)造。測(cè)試裝置
10，分別協(xié)動(dòng)并作為本發(fā)明的測(cè)試部工作。其具有控制部iio、時(shí)限控制發(fā)
生器12Q、測(cè)試圖案信號(hào)產(chǎn)生器130、波形整形器140、驅(qū)動(dòng)器150、比測(cè)器
160以及比較部170。同時(shí)，測(cè)試裝置10具有讀取測(cè)試結(jié)果，或輸出已讀取 的測(cè)試結(jié)果的不良記錄模塊180。時(shí)限控制發(fā)生器120，采用根據(jù)從測(cè)試圖 案信號(hào)產(chǎn)生器130輸出的時(shí)限控制組信號(hào)(TS信號(hào))指定的時(shí)限控制數(shù)據(jù)， 生成表示測(cè)試的1個(gè)循環(huán)的周期時(shí)鐘，和表示測(cè)試循環(huán)的開(kāi)始時(shí)限的RATE信 號(hào)。并且，時(shí)限控制發(fā)生器120，將周期時(shí)鐘供給測(cè)試圖案信號(hào)產(chǎn)生器130， 向波形整形器140供給RATE信號(hào)及時(shí)限控制時(shí)鐘。
測(cè)試圖案信號(hào)產(chǎn)生器130，生成按照周期時(shí)鐘供給被測(cè)試存儲(chǔ)器100的 測(cè)試圖案信號(hào)的數(shù)據(jù)，并提供給波形整形器140。該測(cè)試圖案信號(hào)的數(shù)據(jù)， 包含為了將數(shù)據(jù)列寫(xiě)入被測(cè)試存儲(chǔ)器IOO，由應(yīng)該供給被測(cè)試存儲(chǔ)器100的 信號(hào)構(gòu)成的測(cè)試圖案信號(hào)，以及為了從被測(cè)試存儲(chǔ)器100讀出存入的數(shù)據(jù) 列，由應(yīng)該供給被測(cè)試存儲(chǔ)器100的信號(hào)組成的測(cè)試圖案信號(hào)。波形整形器 140，向被測(cè)試存儲(chǔ)器100的測(cè)試目標(biāo)頁(yè)存入測(cè)試用的數(shù)據(jù)列。這時(shí)，波形 整形器140按照時(shí)限控制時(shí)鐘及RATE信號(hào)，將該數(shù)據(jù)列整形為應(yīng)該供給被測(cè) 試存儲(chǔ)器100的時(shí)限控制的波形。
驅(qū)動(dòng)器150，作為測(cè)試圖案信號(hào)向被測(cè)試存儲(chǔ)器100提供被波形整形器 140整形后的測(cè)試圖案數(shù)據(jù)。比測(cè)器160，用于讀出被測(cè)試目標(biāo)頁(yè)所存入的 測(cè)試用的數(shù)據(jù)列。具體地說(shuō)，比測(cè)器160，按照測(cè)試圖案，將被測(cè)試存儲(chǔ)器 IOO輸出的輸出信號(hào)和預(yù)先確定的基準(zhǔn)電壓進(jìn)行比較，取得輸出信號(hào)的邏輯 值，將順序取得的邏輯值作為數(shù)據(jù)列。比較部170，根據(jù)測(cè)試圖案信號(hào)，將 從被測(cè)試存儲(chǔ)器100讀出的數(shù)據(jù)列中包含的數(shù)據(jù)分別與測(cè)試圖案產(chǎn)生器130 預(yù)先生成的期待值進(jìn)行比較。這個(gè)期望值，即通過(guò)波形整形器140對(duì)被測(cè)試 存儲(chǔ)器100寫(xiě)入的數(shù)據(jù)列
品質(zhì)不良記錄模塊180從測(cè)試圖案信號(hào)產(chǎn)生器130接收地址。同時(shí)，品 質(zhì)不良記錄模塊180從比較部170接收對(duì)應(yīng)被測(cè)試存儲(chǔ)器100各單元的表示 該單元好壞的失效信息。并且，品質(zhì)不良記錄模塊180具有失效存儲(chǔ)器40， 其將從比較部170接收的失效信息存儲(chǔ)到與從失效存儲(chǔ)器40中的測(cè)試圖案 信號(hào)產(chǎn)生器130接收到的地址對(duì)應(yīng)的地址中。gp，測(cè)試圖案信號(hào)產(chǎn)生器130 具有本發(fā)明涉及的失效信息保存部的功能，通過(guò)對(duì)品質(zhì)不良記錄模塊180順 序供給測(cè)試目標(biāo)的地址，將失效信息依次存儲(chǔ)到失效存儲(chǔ)器40中。同時(shí)， 品質(zhì)不良記錄模塊180，具有存儲(chǔ)不良?jí)K信息的不良?jí)K存儲(chǔ)器50。不良?jí)K信 息表示每個(gè)塊是否在該塊里(上)存在品質(zhì)不良單元。同時(shí)，品質(zhì)不良記 錄模塊180具有存儲(chǔ)計(jì)數(shù)信息的計(jì)數(shù)存儲(chǔ)器60。計(jì)數(shù)信息表示包含在每個(gè)塊
上的品質(zhì)不良單元的數(shù)目。
控制部IIO，指示上述各部件開(kāi)始以上例示的測(cè)試處理。例如，控制部 110指示時(shí)限控制發(fā)生器120依次執(zhí)行幾個(gè)測(cè)試處理，在其執(zhí)行完成后，指 示不良記錄模塊180讀出測(cè)試結(jié)果，輸出給外部設(shè)備。
本實(shí)施方式涉及的測(cè)試裝置IO，在如上構(gòu)成的測(cè)試處理中，在不阻礙 掩模圖案和制造過(guò)程產(chǎn)生的故障的原因分析的范圍內(nèi)，忽略部分測(cè)試結(jié)果 的輸出。這樣，使之減少表示測(cè)試結(jié)果的數(shù)據(jù)的大小，降低存儲(chǔ)器的必要 容量和通信網(wǎng)絡(luò)的載荷，進(jìn)而達(dá)到提高故障原因分析效率的目的。
圖2表示本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的被測(cè)試存儲(chǔ)器100內(nèi)部構(gòu)成的具體 例。有關(guān)本實(shí)施方式的被測(cè)試存儲(chǔ)器IOO，可以是非易失性存儲(chǔ)器設(shè)備的閃 存器，被測(cè)試存儲(chǔ)器100的存儲(chǔ)區(qū)劃分成多個(gè)塊。各塊，比如有64KB的數(shù)據(jù) 存儲(chǔ)容量，例如由32個(gè)等的復(fù)數(shù)的頁(yè)組成。所謂塊，表示在發(fā)生不良時(shí)， 被備用的儲(chǔ)存區(qū)代替的單位。也就是，如果可能按頁(yè)置換的話(huà)，塊的構(gòu)成 可以只包含l個(gè)頁(yè)。
在本實(shí)施方式中舉例說(shuō)明的被測(cè)試存儲(chǔ)器100，例如以具有2KB等的數(shù) 據(jù)存儲(chǔ)容量的頁(yè)為單位進(jìn)行數(shù)據(jù)列的讀寫(xiě)。更具體地說(shuō)，被測(cè)試存儲(chǔ)器ioo， 例如有8比特等的復(fù)數(shù)的數(shù)據(jù)I0端子，通過(guò)這些復(fù)數(shù)的數(shù)據(jù)IO端子，每一輸 入輸出循環(huán)傳送l個(gè)字的(比如8比特)數(shù)據(jù)。并且在l次的讀出或?qū)懭胩幚?中，通過(guò)沿著列方向按順序轉(zhuǎn)送頁(yè)內(nèi)的各字，來(lái)進(jìn)行以頁(yè)為單位的讀寫(xiě)。
被測(cè)試存儲(chǔ)器100里面的存儲(chǔ)區(qū)，包括主要區(qū)域240及臨時(shí)區(qū)域250。主 要區(qū)域240，是存儲(chǔ)被測(cè)試存儲(chǔ)器100應(yīng)該存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)210的區(qū)域。臨時(shí)區(qū)域 250，是存儲(chǔ)表示用于修正數(shù)據(jù)210產(chǎn)生的比特錯(cuò)誤的錯(cuò)誤校驗(yàn)碼220，以及 存儲(chǔ)表示禁止利用該頁(yè)等的控制信息230的區(qū)域。在這個(gè)臨時(shí)區(qū)域250中， 如果作為控制信息230存儲(chǔ)特定的數(shù)值的話(huà)，則包含該控制信息230的塊整 體性被設(shè)定成不能使用，或者包含其控制信息230的頁(yè)整體被設(shè)定成不能使 用。寫(xiě)入什么樣的數(shù)值、成為什么樣的設(shè)定、以及能夠進(jìn)行什么樣設(shè)定， 不同規(guī)格的測(cè)試存儲(chǔ)器100的定義也不同。
圖3是發(fā)明的實(shí)施方式涉及的由失效存儲(chǔ)器40存儲(chǔ)的失效信息的一個(gè) 例子，其給出了失效集中發(fā)生的情況和分散發(fā)生的情況的對(duì)比。橫坐標(biāo)軸 表示列方向，縱坐標(biāo)軸表示頁(yè)方向，品質(zhì)不良單元加斜線(xiàn)表示。同時(shí)，在 沿列方向接續(xù)的復(fù)數(shù)的存儲(chǔ)單元中，分配了連續(xù)的多個(gè)地址值。如圖3 ( a) 所示，如果品質(zhì)不良單元沿列方向連續(xù)的話(huà)，則品質(zhì)不良單元的地址連續(xù)。 這樣，如果通過(guò)運(yùn)行長(zhǎng)度(run length)方式的數(shù)據(jù)壓縮等進(jìn)行數(shù)據(jù)壓縮
的話(huà)，將由于表示連續(xù)的多個(gè)單元的位數(shù)據(jù)被壓縮成表示其個(gè)數(shù)的微小的 數(shù)據(jù)，則失效信息的數(shù)據(jù)大小被大幅度壓縮。
另一方面，如圖(b)所示，品質(zhì)不良單元在列方向上不連續(xù)，且品質(zhì) 不良單元本身的數(shù)目較多；品質(zhì)不良單元的地址不連續(xù)，且作為品質(zhì)不良 單元應(yīng)該管理地址的件數(shù)變多。因?yàn)檫@個(gè)緣故，比如，當(dāng)由于用運(yùn)行長(zhǎng)度 (run length)進(jìn)行數(shù)據(jù)壓縮等時(shí)，連續(xù)單元的數(shù)目少，較難壓縮失效信 息數(shù)據(jù)。這樣，如果在多數(shù)的品質(zhì)不良單元分散存在時(shí)，盡管其品質(zhì)不良 單元的位置不重要，但是失效信息的數(shù)據(jù)也變得很大。與此相對(duì)，根據(jù)本 實(shí)施方式涉及的品質(zhì)不良記錄模塊180，可以通過(guò)以與失效信息的內(nèi)容對(duì)應(yīng) 的不同方式壓縮失效信息， 一邊保留對(duì)故障分析至關(guān)重要的信息，還可以 壓縮作為整體應(yīng)該管理的數(shù)據(jù)大小。
圖4表示本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的不良記錄模塊180中存儲(chǔ)失效信息的 功能的構(gòu)成。不良記錄模塊180具有失效存儲(chǔ)器40、不良?jí)K存儲(chǔ)器50、計(jì) 數(shù)存儲(chǔ)器60、地址選擇部400、地址選擇部410以及計(jì)數(shù)部420。失效存儲(chǔ)器 40，對(duì)應(yīng)被測(cè)試存儲(chǔ)器100各存儲(chǔ)單元，存儲(chǔ)表現(xiàn)該存儲(chǔ)單元的好壞的失效 信息。具體地說(shuō)，失效存儲(chǔ)器40，從測(cè)試圖案信號(hào)產(chǎn)生器130輸入測(cè)試目標(biāo) 的存儲(chǔ)單元的地址，從比較部170輸入表示該存儲(chǔ)單元的好壞的失效信息。 然后，失效存儲(chǔ)器40將該失效信息存儲(chǔ)到與該地址對(duì)應(yīng)的地址上。
地址選擇部400是有關(guān)本發(fā)明的塊信息保存部的一個(gè)例子。從測(cè)試圖案 信號(hào)產(chǎn)生器130輸入地址，通過(guò)屏蔽輸入的那個(gè)地址的例如下位數(shù)位等，生 成其地址所表示的存儲(chǔ)單元所屬的塊的識(shí)別信息，提供給不良?jí)K存儲(chǔ)器50。 不良?jí)K存儲(chǔ)器50，在與接收供給的其識(shí)別信息對(duì)應(yīng)的地址上，存儲(chǔ)從比較
部170接收的失效信息。不良?jí)K存儲(chǔ)器50，如果存儲(chǔ)關(guān)于某塊表示品質(zhì)不良 的失效信息時(shí)，此后，即使輸入關(guān)于那個(gè)塊表示正常的失效信息，也維持 已經(jīng)存儲(chǔ)的失效信息。以此，地址選擇部400，能夠在不良?jí)K存儲(chǔ)器50中存 儲(chǔ)對(duì)應(yīng)各塊，表示在該塊內(nèi)是否存在品質(zhì)不良單元的不良?jí)K信息。
地址選擇部410從測(cè)試圖案信號(hào)產(chǎn)生器130輸入地址，通過(guò)屏蔽輸入的 那個(gè)地址的例如下位數(shù)位等，生成其地址所表示的存儲(chǔ)單元所屬的塊的識(shí) 別信息，提供給計(jì)數(shù)存儲(chǔ)器60。計(jì)數(shù)部420，每次從比較部170輸入表示存 儲(chǔ)單元是不良的失效信息，計(jì)數(shù)值便遞增一次。并且，計(jì)數(shù)存儲(chǔ)器60，每 次各塊的測(cè)試終止時(shí)，從測(cè)試圖案信號(hào)產(chǎn)生器130接收指示保存計(jì)數(shù)值的信 號(hào)。接收到這個(gè)信號(hào)，計(jì)數(shù)存儲(chǔ)器60，將計(jì)數(shù)部420的計(jì)數(shù)值存儲(chǔ)到與地址 選擇部410接收的識(shí)別信息對(duì)應(yīng)的地址。這樣，計(jì)數(shù)部420通過(guò)與地址選擇 部410及測(cè)試圖案信號(hào)產(chǎn)生器130協(xié)動(dòng)，可以對(duì)被測(cè)試存儲(chǔ)器100具有的每
塊，計(jì)算出該塊內(nèi)中被檢測(cè)出的品質(zhì)不良單元的數(shù)目。
圖5表示本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的品質(zhì)不良記錄模塊180中讀取失效信 息的功能的構(gòu)造。品質(zhì)不良記錄模塊180，在圖4所表示的構(gòu)造之外又增加 了讀出要求接收部500、比較部510、變換部520和壓縮部530。在第一階段 的處理中，讀出要求接收部500從控制部110接收應(yīng)該儲(chǔ)存在不良?jí)K存儲(chǔ)器 50中儲(chǔ)存的各塊的品質(zhì)不良單元數(shù)的要求。接收其要求，讀出要求接收部 500，對(duì)地址選擇部400及地址選擇部410分別依次輸出各塊內(nèi)的各存儲(chǔ)單元 的地址。同時(shí)，讀出要求接收部500，對(duì)應(yīng)各地址，對(duì)計(jì)數(shù)存儲(chǔ)器60輸出經(jīng) 由地址選擇部410的讀出指令；對(duì)不良?jí)K存儲(chǔ)器50輸出經(jīng)由地址選擇部400 的寫(xiě)入指令。
于是，首先地址選擇部410通過(guò)屏蔽所輸入的其地址的例如下位數(shù)位 等，生成其地址表示的存儲(chǔ)單元所屬的塊的識(shí)別信息，提供給計(jì)數(shù)存儲(chǔ)器 60。計(jì)數(shù)存儲(chǔ)器60，向比較部510輸出與接收到的與其識(shí)別信息對(duì)應(yīng)的地址 上存儲(chǔ)的不良單元的計(jì)數(shù)值。比較部510，比較讀出目標(biāo)塊內(nèi)的品質(zhì)不良單 元的數(shù)和預(yù)先確定的基準(zhǔn)數(shù)。界限寄存器65存儲(chǔ)該預(yù)先被確定的基準(zhǔn)數(shù)。 該基準(zhǔn)數(shù)，是使用者從故障分析法的觀點(diǎn)，按經(jīng)不起實(shí)際使用的數(shù)預(yù)先設(shè) 定的。該基準(zhǔn)數(shù)，可以是根據(jù)作為測(cè)試目標(biāo)的被測(cè)試存儲(chǔ)器100的種類(lèi)、測(cè) 試的種類(lèi)等進(jìn)行修改的數(shù)值。
順序輸出的比較結(jié)果，以表示該塊的品質(zhì)不良單元的數(shù)目是否超過(guò)基 準(zhǔn)數(shù)的不良超過(guò)信息，被存儲(chǔ)在不良?jí)K存儲(chǔ)器50內(nèi)。地址選擇部400，通過(guò) 屏蔽從讀出要求接收部500輸入的其地址的例如下位數(shù)位等，生成其地址表 示的存儲(chǔ)單元所屬的塊的識(shí)別信息，提供給不良?jí)K存儲(chǔ)器50。這樣，地址 選擇部400能夠在不良?jí)K存儲(chǔ)器50中，在與其識(shí)別信息對(duì)應(yīng)的地址上保存該 品質(zhì)不良超過(guò)信息。
接下來(lái)，作為第二階段的處理，讀出要求接收部500，從控制部110接 收包含在塊中的各單元的失效信息的讀出要求。接收其要求，讀出要求接 收部500，對(duì)失效存儲(chǔ)器40及地址選擇部400分別順序輸出各塊內(nèi)的各存儲(chǔ) 單元的地址。同時(shí)，讀出要求接收部500，對(duì)應(yīng)各地址，對(duì)失效存儲(chǔ)器40輸 出讀出指令；對(duì)不良?jí)K存儲(chǔ)器50輸出經(jīng)由地址選擇部400的讀出指令。另外， 關(guān)于被測(cè)試存儲(chǔ)器100全塊，如果品質(zhì)不良單元的數(shù)超過(guò)基準(zhǔn)數(shù)時(shí)，不需要 讀出失效存儲(chǔ)器40。在這種情況下，讀出要求接收部500可以不向失效存儲(chǔ) 器40輸出讀出指令。
變換部520，以讀出目標(biāo)塊內(nèi)的品質(zhì)不良單元的數(shù)超過(guò)上述基準(zhǔn)數(shù)為條 件，對(duì)壓縮部530輸出表示該讀出目標(biāo)塊內(nèi)的全單元都是不良的數(shù)據(jù)列。變 換部520，例如通過(guò)"或"門(mén)等實(shí)現(xiàn)。該"或"門(mén)，圍繞各塊，向壓縮部530 輸出從不良?jí)K存儲(chǔ)器50讀出的品質(zhì)不良超過(guò)信息，以及從失效存儲(chǔ)器40讀 出的失效信息的邏輯和。這樣，如果在從不良?jí)K存儲(chǔ)器50讀出了關(guān)于某塊 品質(zhì)不良單元的數(shù)超過(guò)基準(zhǔn)數(shù)的品質(zhì)不良超過(guò)信息(邏輯值l)時(shí)，不管從 失效存儲(chǔ)器40供給的失效信息的內(nèi)容是什么，向壓縮部530供給關(guān)于全部的 存儲(chǔ)單元是不良的信號(hào)。
壓縮部530，將如上所述輸出的數(shù)據(jù)列數(shù)據(jù)進(jìn)行壓縮后對(duì)控制部110輸 出。例如，壓縮部530,將數(shù)據(jù)列運(yùn)行長(zhǎng)度(run length)壓縮后輸出。所 謂運(yùn)行長(zhǎng)度壓縮，是在連續(xù)的多個(gè)失效信息是同一值的情況下，將連續(xù)的 多個(gè)失效信息轉(zhuǎn)換成表示失效信息的值和連續(xù)的個(gè)數(shù)信息的壓縮。因此， 如果某塊的全部的存儲(chǔ)單元都是不良的話(huà)，壓縮效率變得非常高，壓縮后 的數(shù)據(jù)列的大小非常小。這樣，能夠通過(guò)將變換部520的變換處理與壓縮部 530的運(yùn)行長(zhǎng)度壓縮組合，壓縮后的數(shù)據(jù)可以非常小。
同時(shí)，對(duì)以上所示的處理，在第一階段中，不良?jí)K存儲(chǔ)器50存儲(chǔ)品質(zhì) 不良超過(guò)信息，在第二階段中基于其品質(zhì)不良超過(guò)信息壓縮數(shù)據(jù)列，不過(guò)， 這兩個(gè)階段也可以合并執(zhí)行。即例如，讀出要求接收部500分別對(duì)失效存儲(chǔ) 器40及計(jì)數(shù)存儲(chǔ)器60的每一個(gè)，與讀出指令一起順序供給各塊的各地址。 并且，變換部520不是從不良?jí)K存儲(chǔ)器50讀出品質(zhì)不良超過(guò)信息，而是將從 比較部510順序輸出的信號(hào)作為品質(zhì)不良超過(guò)信息輸入。根據(jù)這樣的構(gòu)造，
因?yàn)槠焚|(zhì)不良超過(guò)信息從比較部510對(duì)變換部520直接輸出，所以可以在不 良?jí)K存儲(chǔ)器50中不設(shè)置存儲(chǔ)品質(zhì)不良超過(guò)信息的區(qū)域。
圖6表示通過(guò)本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的不良記錄模塊180讀出失效信息 的處理流程圖。首先，時(shí)限控制發(fā)生器120、測(cè)試圖案信號(hào)產(chǎn)生器130、波 形整形器140、驅(qū)動(dòng)器150、比測(cè)器160及比較部170協(xié)動(dòng)，進(jìn)行被測(cè)試存儲(chǔ) 器100讀出測(cè)試(S600)。 g卩，測(cè)試關(guān)于被測(cè)試存儲(chǔ)器100各存儲(chǔ)單元已經(jīng)保 存的邏輯值是不是正確地被讀出，其結(jié)果作為失效信息存儲(chǔ)在失效存儲(chǔ)器 40中。其次，測(cè)試裝置10對(duì)各自的塊重復(fù)以下的處理(S610)。以下，將處 理目標(biāo)的塊叫做該塊。
首先，讀出要求接收部500對(duì)地址選擇部410工作，從計(jì)數(shù)存儲(chǔ)器60讀 出表示該塊包含的品質(zhì)不良單元的數(shù)的計(jì)數(shù)值(S620)。比較部510，在該 塊的品質(zhì)不良單元的數(shù)超過(guò)預(yù)先被決定的基準(zhǔn)數(shù)時(shí)(S630:YES)，將表現(xiàn)其 指標(biāo)的品質(zhì)不良超過(guò)信息與該塊的不良?jí)K信息對(duì)應(yīng)存儲(chǔ)到不良?jí)K存儲(chǔ)器50
(S640)中。其品質(zhì)不良超過(guò)信息例如是邏輯值l。在各塊重復(fù)以上的處理
(S650)。
其次，測(cè)試裝置10圍繞各個(gè)塊重復(fù)以下的處理(S660)。首先，讀出要 求接收部500對(duì)地址選擇部400工作，從不良?jí)K存儲(chǔ)器50讀出與該塊的不良 塊信息對(duì)應(yīng)存儲(chǔ)的不良超過(guò)信息(S670)。把品質(zhì)不良超過(guò)信息是表示品質(zhì) 不良單元的數(shù)比基準(zhǔn)數(shù)多的邏輯值l做為條件(S675:YES)，變換部520輸出 表示該塊內(nèi)的全單元不良的數(shù)據(jù)列(S680)。接收該數(shù)據(jù)列，壓縮部530壓 縮這個(gè)數(shù)據(jù)列后返回信息。另外，上述說(shuō)明將全部的單元作為品質(zhì)不良變換的單位是塊，不過(guò)，其
單位也可以是塊的一部分。即，變換部520，以該塊內(nèi)的品質(zhì)不良單元的數(shù) 超過(guò)基準(zhǔn)數(shù)為條件，也可以針對(duì)讀出要求，對(duì)控制部IIO，將應(yīng)該回信的回 信數(shù)據(jù)列中連續(xù)的復(fù)數(shù)的失效信息變換成表示品質(zhì)不良的值?？傊c回 信數(shù)據(jù)列是該塊內(nèi)的各存儲(chǔ)單元的失效信息相對(duì)，作為變換目標(biāo)的失效信 息也可以是其中一部分。
另一方面，把品質(zhì)不良超過(guò)信息是表示品質(zhì)不良單元的數(shù)比基準(zhǔn)數(shù)少 的邏輯值0為條件(S675: N0)，變換部520不變換失效信息而對(duì)壓縮部530 輸出，壓縮部530壓縮其失效信息后回信(S685)。測(cè)試裝置IO，圍繞各塊 重復(fù)以上的處理(S690)。
上述根據(jù)本實(shí)施方式涉及的測(cè)試裝置IO,關(guān)于被測(cè)試存儲(chǔ)器100里面的 全塊，不是一律進(jìn)行同樣的數(shù)據(jù)壓縮，而是只將難以在品質(zhì)不良分析中起 作用，且不能期待充分的壓縮效率的塊，作為全部是品質(zhì)不良單元的數(shù)據(jù) 來(lái)壓縮。以此，即使在緊接制造過(guò)程的運(yùn)行開(kāi)始之后的容易發(fā)生故障的情 況中，也能高效率地分析其故障，同時(shí)還能夠進(jìn)一步節(jié)省在存儲(chǔ)故障信息、 或用于轉(zhuǎn)送所需的計(jì)算機(jī)資源。
以上用實(shí)施方式說(shuō)明了本發(fā)明。不過(guò)，本發(fā)明權(quán)利范圍并不限定于上 述實(shí)施方式所記載的內(nèi)容。本行業(yè)的技術(shù)人員明白，對(duì)于上述實(shí)施方式可 以進(jìn)行多種多樣的變形或改良。例如品質(zhì)不良超過(guò)信息可以用于修復(fù) (r印air)處理。具體地說(shuō)，測(cè)試裝置10對(duì)品質(zhì)不良單元超過(guò)基準(zhǔn)數(shù)的數(shù)
據(jù)塊，可以進(jìn)行將該塊替換成在同樣的被測(cè)試存儲(chǔ)器ioo里面設(shè)置的備用的
塊的處理。根據(jù)權(quán)利要求范圍的記載可以明確，如此加以變形及改良的方 式也包含在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種測(cè)試裝置，用于測(cè)試被測(cè)試存儲(chǔ)器，其特征在于具有測(cè)試所述被測(cè)試存儲(chǔ)器的各單元的測(cè)試部；對(duì)應(yīng)所述被測(cè)試存儲(chǔ)器的各單元，在失效存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)表示該單元的好壞的失效信息的失效信息存儲(chǔ)部；在被測(cè)試存儲(chǔ)器具有的每個(gè)塊中，計(jì)數(shù)該塊內(nèi)中被檢測(cè)出的不良單元的個(gè)數(shù)的計(jì)數(shù)部；接收塊包含的各單元的所述失效信息的讀出要求的讀出要求接收部；對(duì)讀出目標(biāo)塊內(nèi)的不良單元的個(gè)數(shù)和預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)數(shù)進(jìn)行比較的比較部；以所述讀出目標(biāo)塊內(nèi)的不良單元的數(shù)目超過(guò)所述基準(zhǔn)數(shù)為條件，為了對(duì)上述讀出要求回信將包含所述讀出目標(biāo)塊內(nèi)的各單元的所述失效信息的回信數(shù)據(jù)列中的、連續(xù)的多個(gè)失效信息變換成表示品質(zhì)不良的值的變換部；以及壓縮所述回信數(shù)據(jù)列后回信的壓縮部。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的測(cè)試裝置，其特征在于所述變換部是以所述 讀出目標(biāo)塊內(nèi)的品質(zhì)不良單元的數(shù)超過(guò)所述基準(zhǔn)數(shù)為條件，輸出表示所述 讀出目標(biāo)塊內(nèi)的全單元不良的所述回信數(shù)據(jù)列。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試裝置，其特征在于所述壓縮部在連續(xù)的 多個(gè)所述失效信息是同一值的時(shí)候，將連續(xù)的多個(gè)所述失效信息轉(zhuǎn)換成表 示所述失效信息的值和連續(xù)的個(gè)數(shù)的信息的運(yùn)行長(zhǎng)度進(jìn)行壓縮。
4.根據(jù)權(quán)利要求l所述的測(cè)試裝置，其特征在于還包括-塊信息保存部，對(duì)應(yīng)所述被測(cè)試存儲(chǔ)器的各塊，將表示在該塊內(nèi)是否 存在品質(zhì)不良單元的不良?jí)K信息和表示該塊內(nèi)的品質(zhì)不良單元的數(shù)是否超 過(guò)所述基準(zhǔn)數(shù)的品質(zhì)不良超過(guò)信息存儲(chǔ)在不良?jí)K存儲(chǔ)器中；所述變換部，把表示所述讀出目標(biāo)塊內(nèi)的不良單元的數(shù)超過(guò)基準(zhǔn)數(shù)的 所述不良超過(guò)信息存儲(chǔ)在所述不良?jí)K存儲(chǔ)器中作為條件，為了對(duì)讀出要求 回信，將包括讀出目標(biāo)塊內(nèi)的各單元的失效信息的回信數(shù)據(jù)列中的、連續(xù) 的多個(gè)失效信息轉(zhuǎn)換成表示品質(zhì)不良的值。
全文摘要
本發(fā)明提供一種以高效率管理測(cè)試結(jié)果為目的的測(cè)試裝置，該測(cè)試裝置包括測(cè)試被測(cè)試存儲(chǔ)器的各單元的測(cè)試部；對(duì)應(yīng)被測(cè)試存儲(chǔ)器的各單元，在失效存儲(chǔ)器中保存表示該單元好壞的失效信息的失效信息保存部；對(duì)被測(cè)試存儲(chǔ)器具有的每個(gè)塊，計(jì)數(shù)在該塊內(nèi)中被檢測(cè)出的不良單元的數(shù)目的計(jì)數(shù)部；塊接收要求讀出塊所包含的各單元的失效信息的讀出要求接收部；將讀出目標(biāo)塊內(nèi)的不良單元的數(shù)和預(yù)先被確定的基準(zhǔn)數(shù)進(jìn)行比較的比較部；把讀出目標(biāo)塊內(nèi)的不良單元的數(shù)超過(guò)基準(zhǔn)數(shù)作為條件，為了對(duì)讀出要求回信，將包含讀出目標(biāo)塊內(nèi)的各單元的失效信息的回信數(shù)據(jù)列中，連續(xù)的復(fù)數(shù)的失效信息轉(zhuǎn)換成表示品質(zhì)不良的值的變換部；以及回信數(shù)據(jù)列壓縮后回信的壓縮部。
文檔編號(hào)G11C29/40GK101361140SQ200780001599
公開(kāi)日2009年2月4日 申請(qǐng)日期2007年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2007年2月16日
發(fā)明者佐藤新哉 申請(qǐng)人:愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試株式會(huì)社