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旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的止擋結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:6746284閱讀:558來源:國知局
專利名稱:旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的止擋結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型是關(guān)于一種旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的止擋結(jié)構(gòu),尤指一種利用上蓋的內(nèi)傾角邊緣設(shè)計,而使碟片被限制于旋轉(zhuǎn)碟盤裝置中的止擋結(jié)構(gòu)。


圖1所示,為已有技術(shù)的旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的一側(cè)的示意圖,碟片機讀取機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)碟盤裝置系包括一托盤底座10、一上蓋11、一旋轉(zhuǎn)盤12及一夾持機構(gòu)13;碟片14系于托盤底座10與上蓋11所形成的限制空間中操作,上蓋11乃作為此限制空間的保護(hù)罩蓋,上蓋11又具有一外傾角形狀的側(cè)邊15,碟片14在操作時則承載于托盤底座10的旋轉(zhuǎn)盤12上,并以一設(shè)于旋轉(zhuǎn)盤12下方的驅(qū)動馬達(dá)35帶動旋轉(zhuǎn),而夾持機構(gòu)13則是用以將碟片14固定于旋轉(zhuǎn)盤12上。
在前述旋轉(zhuǎn)碟盤裝置中,當(dāng)?shù)?4在旋轉(zhuǎn)時,若遇不可預(yù)測外力碰撞或是當(dāng)夾持機構(gòu)13失效時,便可能因挾持不良或者轉(zhuǎn)動慣性導(dǎo)致側(cè)向飛離旋轉(zhuǎn)盤12、向旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的側(cè)邊沖擊。
如圖2所示便是一旋轉(zhuǎn)中的碟片脫離旋轉(zhuǎn)盤12后、猛力沖擊至旋轉(zhuǎn)碟盤裝置側(cè)邊的示意圖,須知,旋轉(zhuǎn)碟盤裝置雖為一立體碟狀物,但就結(jié)構(gòu)而言,上蓋11與托盤底座10于側(cè)邊上仍形成為具彈性的類似懸臂狀結(jié)構(gòu),所以,當(dāng)具外傾角度的上蓋側(cè)邊15遭受到飛脫碟片14的撞擊時,碟片14將會因上蓋側(cè)邊15(外傾角而導(dǎo)滑至外蓋11與托盤底座10之間的間隙口36上,此時,若飛脫碟片14的沖擊力或慣性仍未被抵銷,則如圖2所示、向外飛脫的碟片14將會抵頂于托盤底座及上蓋,并使之產(chǎn)生向外翻折的彎曲變形,輕者,碟片14將導(dǎo)致碟片表面的刮損或折斷;而重者,則會導(dǎo)致碟片14飛離旋轉(zhuǎn)碟盤裝置,除碟片14本身造成毀損外,更極可能導(dǎo)致外界環(huán)境的損害。
本實用新型的目的是采用以下技術(shù)手段實現(xiàn)的一種旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的止擋結(jié)構(gòu),包括一托盤底座及一上蓋,托托盤底座與上蓋間又形成有一用以碟片進(jìn)出旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的間隙口,止擋結(jié)構(gòu)設(shè)置于間隙口處的上蓋一邊緣上,其特征在于邊緣內(nèi)傾。所述的旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的止擋結(jié)構(gòu)的內(nèi)傾角度介于5至30度之間。所述的旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的止擋結(jié)構(gòu)的邊緣的一末端還包括一內(nèi)向凸緣,內(nèi)向凸緣為以遠(yuǎn)離托盤底座的方式向旋轉(zhuǎn)碟盤裝置中延伸構(gòu)成。
圖2是旋轉(zhuǎn)中碟片脫離旋轉(zhuǎn)盤的示意圖。
圖3為本實用新型止擋結(jié)構(gòu)一實施例的示意圖。
圖4為圖3實施例種碟片側(cè)向沖擊止檔結(jié)構(gòu)的部分示意圖。
圖5為本實用新型的另一實施例的示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型的結(jié)構(gòu)作進(jìn)一步的說明。
本實用新型與圖1、圖2所示的已有技術(shù)一樣亦包括一承載與驅(qū)動用的托盤底座10、及一保護(hù)涵蓋托盤底座10的上蓋11,托盤底座10與上蓋11形成為一容納碟片14的空間,此一空間中又設(shè)置有一承載碟片14的旋轉(zhuǎn)盤12、以及一將碟片14固定于旋轉(zhuǎn)盤12上的夾持機構(gòu)13,而托盤底座10下則設(shè)置有一驅(qū)動旋轉(zhuǎn)盤12與置于其上碟片14的驅(qū)動馬達(dá)35,在旋轉(zhuǎn)碟盤裝置中,托盤底座10與上蓋11間又可形成有一供碟片14進(jìn)出旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的間隙口36。
如圖3所示,為本實用新型止擋結(jié)構(gòu)37一實施例的示意圖,此止擋結(jié)構(gòu)37系直接設(shè)置于鄰近間隙口36處的上蓋11的一邊緣15上,此邊緣15向下形成具有一預(yù)定向傾角度的側(cè)邊(向旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的中心部份傾斜)在本實用新型中,止擋結(jié)構(gòu)37(預(yù)定內(nèi)傾角度系可為任意的銳角,其較佳為介于5至30度之間。
如圖4所示,為圖3實施例遭遇一碟片14沖擊的示意圖,當(dāng)一碟片14因任意或不可預(yù)測原因,而由旋轉(zhuǎn)盤內(nèi)向外側(cè)向沖擊此邊緣15(亦即止擋結(jié)構(gòu)37)時,因預(yù)定內(nèi)傾角度于邊緣15上所形成的分力作用,乃得將碟片14導(dǎo)引向上,使碟片14的運動方向上傾遠(yuǎn)離可脫離旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的間隙口36,同時,此邊緣15因受到碟片14的沖擊而變形,而此一變形乃用以縮小間隙口36的大小,即可將碟片14留置于旋轉(zhuǎn)碟盤裝置中。
如圖五所示,系為本實用新型止檔結(jié)構(gòu)37的另一實施例的示意圖,在具有預(yù)定內(nèi)傾角度構(gòu)形的止擋結(jié)構(gòu)37的末端上包括有一具預(yù)定長度的內(nèi)向凸緣371,此一內(nèi)向凸緣371系以遠(yuǎn)離托盤底座10的方式向旋轉(zhuǎn)碟盤裝置中延伸所構(gòu)成,其功能乃用以于碟片14沖擊止擋結(jié)構(gòu)37時,籍止擋結(jié)構(gòu)37的變形而將間隙36縮小。
比較圖3與圖5的兩實施例,可發(fā)現(xiàn)在圖5的實施例中,因內(nèi)向凸緣371的結(jié)構(gòu),乃得以使其預(yù)定內(nèi)傾角度θ縮小,甚至可為一鈍角(只要內(nèi)向凸緣371的末端與上蓋11邊緣形成的虛擬連線為一銳角關(guān)系即可),為考慮于碟片14沖擊時可將其上舉的導(dǎo)引作用,故本實用新型種的預(yù)定內(nèi)傾角度較佳亦應(yīng)介于5至30度之間。
由以上說明可知,本實用新型所提供的旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的止擋結(jié)構(gòu),可利用具預(yù)定內(nèi)傾角度的上蓋邊緣、或是上蓋邊緣末端的內(nèi)向凸緣,有效防止旋轉(zhuǎn)中的碟片在旋轉(zhuǎn)時,因意外原因自旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的間隙口脫離旋轉(zhuǎn)碟盤裝置。
本實用新型中,以碟片機作為旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的實施例中的旋轉(zhuǎn)碟盤裝置亦可為一晶圓承載器(晶圓則類比為前述的碟片)或為其他類似的盤體(類比為前述的碟片)處理用的覆蓋式旋轉(zhuǎn)載臺,諸如此類的運用,乃為熟習(xí)此類技藝者得能根據(jù)本實用新型的技術(shù)揭露而能據(jù)以實施者,故亦應(yīng)包括在本實用新型的申請專利范疇內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的止擋結(jié)構(gòu),包括一托盤底座及一上蓋,托托盤底座與上蓋間又形成有一用以碟片進(jìn)出旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的間隙口,止擋結(jié)構(gòu)設(shè)置于間隙口處的上蓋一邊緣上,其特征在于邊緣內(nèi)傾。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的止擋結(jié)構(gòu),其特征在于內(nèi)傾角度介于5至30度之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的止擋結(jié)構(gòu),其特征在于邊緣的一末端還包括一內(nèi)向凸緣,內(nèi)向凸緣為以遠(yuǎn)離托盤底座的方式向旋轉(zhuǎn)碟盤裝置中延伸構(gòu)成。
專利摘要一種旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的止擋結(jié)構(gòu),設(shè)置在旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的上蓋一邊緣上,此邊緣位于旋轉(zhuǎn)碟盤裝置的托盤底座與上蓋間的間隙口處,而止擋結(jié)構(gòu)乃用以防止于旋轉(zhuǎn)碟盤裝置中旋轉(zhuǎn)的碟片因任何不可預(yù)測的原因而自間隙口脫離旋轉(zhuǎn)碟盤裝置,其特征在于,此邊緣系具一預(yù)定內(nèi)傾角度,可于碟片側(cè)向沖擊此邊緣時,藉由此預(yù)定內(nèi)傾角度的分力作用,使碟片自鎖于旋轉(zhuǎn)碟盤裝置中。
文檔編號G11B17/03GK2521700SQ02204759
公開日2002年11月20日 申請日期2002年1月24日 優(yōu)先權(quán)日2002年1月24日
發(fā)明者王國仁 申請人:明碁電通股份有限公司
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