一種晶圓測試過程中的拾片文件的自動生成方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種晶圓測試過程中的拾片文件的自動生成方法，屬于集成電路測試技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在集成電路測試公司經(jīng)過測試的晶圓傳遞到下一道工序-封裝，有兩種方式標(biāo)識其測試結(jié)果:打墨點和給拾片機(jī)提供拾片文件，兩者各有利弊。
[0003]打墨點是在晶圓表面用墨水圓點標(biāo)記壞管芯，以便封裝廠在進(jìn)行芯片貼裝時，自動拾片機(jī)根據(jù)其明暗度可以自動分辨出合格的芯片和不合格的芯片，并將壞品剔除掉，其缺點是打點需要占用一臺或多臺探針臺設(shè)備，打點時間根據(jù)失效管芯數(shù)呈幾何倍數(shù)增長。在現(xiàn)在芯片制作工藝越來越精細(xì)的前提下，管芯越小，晶圓上的總管芯數(shù)越來越多。舉例說，若一枚8寸晶圓內(nèi)包含10000個有效管芯，其良率為90%，則失效管芯數(shù)為1000個，按打一個墨點需要花費0.5秒計，總共需要8.5分鐘花費在打墨點上，加上探針臺上下片時間(2分鐘/每枚晶圓)，則需要10.5分鐘，ILot (25枚晶圓)打點時間共計4.5小時。
[0004]拾片文件是將晶圓測試結(jié)果以電子文檔形式提供給封裝廠。這種方法的優(yōu)點是不占用額外的設(shè)備時間，通過測試結(jié)果自動生成拾片文件，節(jié)約測試成本。
[0005]現(xiàn)有的拾片文件生成方法是通過提取海量測試數(shù)據(jù)中的坐標(biāo)以及測試結(jié)果等信息，再經(jīng)過數(shù)據(jù)處理組合生成拾片文件，如圖1上方所指流程(細(xì)線所指流程)。
[0006]現(xiàn)有方法缺點如下:
1)通過軟件從海量測試數(shù)據(jù)中提取生成拾片文件所需的坐標(biāo)信息以及測試結(jié)果，并將測試結(jié)果按照XY坐標(biāo)對應(yīng)的點寫入到拾片文件中，面對每一枚晶圓的龐大測試數(shù)據(jù)，操作繁瑣；
2)在測試過程中由于設(shè)備及硬件故障會出現(xiàn)停機(jī)現(xiàn)象，此時半個晶圓的測試數(shù)據(jù)要保存；故障處理完之后再繼續(xù)測試余下的部分，這時，測試數(shù)據(jù)分成兩個文件，并且在繼續(xù)的過程中必然會出現(xiàn)部分坐標(biāo)的多個測試結(jié)果，這時軟件需要判斷同一坐標(biāo)重復(fù)測試數(shù)據(jù)中的有效信息，去除無效信息，為了使每一坐標(biāo)的管芯測試結(jié)果保證唯一，需要靠人工進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，易出錯、結(jié)果不可靠。
[0007]3)由于探針或其他原因?qū)е聜€別管芯失效也需要在測試生產(chǎn)過程中進(jìn)行補(bǔ)測，對于補(bǔ)測數(shù)據(jù)文件也需要用人工進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，對某一個坐標(biāo)的管芯測試多次后，錯誤比率增加，測試結(jié)果可信度降低，拾片文件的可靠性也降低。
[0008]因此，急需用更安全有效的方法生成拾片文件，減少人工干預(yù)，保證管芯測試結(jié)果唯一性，為集成電路封裝工序提供高質(zhì)量的拾片文件。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種更安全、有效的拾片文件的生成方法。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的解決方案如下: 與海量測試數(shù)據(jù)相比，探針臺生成的Map圖文件具有唯一性，即使在測試過程中出現(xiàn)半片接圖或者補(bǔ)測的情況，也是在之前Map圖的基礎(chǔ)上進(jìn)行信息增加和信息修改，因此可以保證探針臺Map圖為最終結(jié)果。不同探針臺對一枚晶圓測試過程中產(chǎn)生的多張Map圖處理方式不一樣，例如，EG公司的EG4000系列探針臺能夠保存多張過程圖；而TSK公司的UF200系列探針臺僅保存最后一張Map圖，但能夠保證其最后生成的Map圖為該枚晶圓最終結(jié)果Map圖。加上Map圖為探針臺自動生成文件，無法進(jìn)行人工干預(yù)，十六進(jìn)制碼內(nèi)容無法進(jìn)行誤編輯，可以杜絕人為因素導(dǎo)致的Map圖文件修改。因此，本發(fā)明選取探針臺生成的Map圖作為唯一依據(jù)，自動生成拾片文件，如圖1下方所指流程(粗線所指流程)。
[0010]首先對不同探針臺的Map圖的格式信息進(jìn)行研究，發(fā)現(xiàn)不同探針臺的Map圖文件在頭文件和管芯信息表示上有很大差別，例如=TSK公司的探針臺Map圖頭文件信息(236字節(jié))比EG公司的探針臺Map頭文件信息(I 12字節(jié))更詳細(xì)；TSK Map圖中管芯信息以獨立個體記錄，而EG Map圖中則以行為單位進(jìn)行存儲。但是無論何種探針臺生成的Map圖，一定包含以下基本信息:LotID、WaferlD、行數(shù)、列數(shù)、翻轉(zhuǎn)角度、XY軸坐標(biāo)，以及Bin值等等，如圖3所示。
[0011]所述晶圓測試過程中的拾片文件的自動生成方法是從自動探針臺的最終Map圖提取信息；
自動生成拾片文件的方法依次執(zhí)行以下步驟:
1)選擇要輸入的有效的Map圖文件,格式如*.txt或者*.map ；
2)選擇用戶要求的拾片文件輸出格式；
3)選擇拾片文件輸出路徑
4)自動生成拾片文件
本發(fā)明的有益效果在于拾片文件將LotID和WaferID合并，能夠保證晶圓管芯測試結(jié)果的唯一性，使用該信息作為拾片文件的文件名，文件名后綴根據(jù)客戶不同要求設(shè)定；
所述Map圖文件中的Flat Direct1n為晶圓缺口方向，在測試時用于指定晶圓在探針臺放置的方向，該信息一般在拾片文件起始位置標(biāo)明，在主體部分之上。
[0012]所述拾片文件中的主體部分由Map圖文件中的RowCount、ColumnCount、坐標(biāo)、Bin值等信息組成，RowCount和ColumnCount用于在拾片文件中生成基于晶圓的最小外接矩形，該矩形中有非測試區(qū)域(晶圓外區(qū)域)和測試區(qū)域(晶圓內(nèi)測試部分)；
所述拾片文件中的XY坐標(biāo)用于定位Bin值信息的具體填寫位置；
所述拾片文件規(guī)定每個坐標(biāo)均用同樣長度的字節(jié)顯示相應(yīng)Bin值或者非測試區(qū)域。
[0013]所述拾片文件根據(jù)封裝廠要求定義符號，好管芯、壞管芯、以及非測試區(qū)域等不同符號。
【附圖說明】
[0014]下面結(jié)合附圖和具體實施方案對本發(fā)明做進(jìn)一步說明:
圖1為晶圓測試與拾片文件的關(guān)系圖2拾片文件自動生成流程圖圖3 Map文件與拾片文件的信息對比圖4實際Map圖與拾片文件的對比。
【具體實施方式】
[0015]下面就本發(fā)明將結(jié)合附圖作進(jìn)一步詳述:在此，本發(fā)明的示意性實施例及其說明用于解釋，但并不作為對本發(fā)明的限定。
[0016]以下為由TSK公司探針臺產(chǎn)生的Map圖(016.H3074B-16)為例自動生成拾片文件，如圖1下方黑粗線指示的方向:
該枚晶圓的LotID為H3074B，WaferID為16#，封裝廠要求的拾片文件后綴名稱為*.map,因此拾片文件名稱為H3074B16.map。
[0017]下面解釋拾片文件內(nèi)容的組成。圖4所示是Map文件與拾片文件的信息對比，左圖為晶圓自動測試生成的Map圖,其中P為好管芯，F(xiàn)為壞管芯，M為晶圓邊緣的不完整管芯，其余四角部分為非測試區(qū)域；圖4右圖的拾片文件中“=r O”即為晶圓旋轉(zhuǎn)角度，該枚晶圓的旋轉(zhuǎn)角度為O度。主體部分中好管芯用A表示、壞管芯及邊緣管芯均用z表示、非測試區(qū)域則用”表示。
[0018]文件生成步驟:
1)選擇要輸入的有效的Map文件，016.H3074B-16 ；
2)選擇拾片文件輸出格式，用戶要求的格式是*.map ；
3)選擇拾片文件輸出路徑:E:\HED123\0506\MAP\
4)點擊程序名稱PickupFile，執(zhí)行，即可自動生成拾片文件，名稱為H3074B16.map。
[0019]圖4顯示了原始Map圖與自動生成拾片文件的Map的對比，拾片文件顯示的晶圓管芯的信息更加清晰、準(zhǔn)確，簡便、并具有晶圓管芯的唯一性。
[0020]本發(fā)明達(dá)到的技術(shù)效果是:從探針臺最終Map圖文件中提取有效信息，自動生成拾片機(jī)能夠識別的拾片文件，該方法在封裝過程中拾片更安全、更有效、操作簡便、保證了晶圓管芯測試結(jié)果的唯一性，同時節(jié)省了人工成本。
【主權(quán)項】
1.晶圓測試過程中的拾片文件的自動生成方法其特征在于， 從自動探針臺的最終Map圖提取信息。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾片文件的自動生成方法其特征在于， 依次執(zhí)行以下步驟: 選擇要輸入的有效的Map圖文件,格式如*.txt或者*.map, 選擇客戶要求的拾片文件輸出格式， 選擇拾片文件輸出路徑， 自動生成拾片文件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拾片文件的自動生成方法其特征在于， 拾片文件中的主體部分由Map圖文件中的RowCount、CoIumnCount> XY軸坐標(biāo)、Bin值等信息組成，RowCount和ColumnCount用于在拾片文件中生成基于晶圓的最小外接矩形，該矩形中有非測試區(qū)域和測試區(qū)域。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拾片文件的自動生成方法其特征在于， 根據(jù)封裝廠要求定義好管芯、壞管芯、以及非測試區(qū)域等不同符號。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾片文件的自動生成方法其特征在于， 探針臺生成的Map圖，必須包含以下基本信息:LotID、WaferlD、行數(shù)、列數(shù)、翻轉(zhuǎn)角度、XY軸坐標(biāo)，以及Bin值等。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種晶圓測試過程中的拾片文件的自動生成方法，通過探針臺最終Map圖信息自動生成拾片文件的方法；操作步驟是：選擇要輸入的有效的Map圖文件，選擇用戶要求的拾片文件輸出文件格式，選擇拾片文件輸出路徑，自動生成拾片文件；該發(fā)明方法消除了現(xiàn)有的拾片文件的不安全因素，操作簡便、快速、結(jié)果安全，節(jié)約了測試成本，保證了被測晶圓管芯測試結(jié)果的唯一性。
【IPC分類】G06F17-50
【公開號】CN104715101
【申請?zhí)枴緾N201410143264
【發(fā)明人】金蘭, 石志剛, 楊振宇
【申請人】北京確安科技股份有限公司
【公開日】2015年6月17日
【申請日】2014年4月11日