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一種晶圓測試過程中的拾片文件的自動生成方法技術資料下載

技術編號:8396021

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目前,在集成電路測試公司經(jīng)過測試的晶圓傳遞到下一道工序-封裝,有兩種方式標識其測試結果打墨點和給拾片機提供拾片文件,兩者各有利弊。打墨點是在晶圓表面用墨水圓點標記壞管芯,以便封裝廠在進行芯片貼裝時,自動拾片機根據(jù)其明暗度可以自動分辨出合格的芯片和不合格的芯片,并將壞品剔除掉,其缺點是打點需要占用一臺或多臺探針臺設備,打點時間根據(jù)失效管芯數(shù)呈幾何倍數(shù)增長。在現(xiàn)在芯片制作工藝越來越精細的前提下,管芯越小,晶圓上的總管芯數(shù)越來越多。舉例說,若一枚8寸晶圓內(nèi)包含1...
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