專利名稱：半導(dǎo)體設(shè)備的secs－ⅱ至xml資料轉(zhuǎn)換方法及資料轉(zhuǎn)換裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種資料的轉(zhuǎn)換方法及資料轉(zhuǎn)換裝置，特別是涉及一種配合在半導(dǎo)體高階過程控制過程中，將半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)生的SECS訊息轉(zhuǎn)換為XML資料的轉(zhuǎn)換方法及資料轉(zhuǎn)換裝置。
背景技術(shù)：
目前半導(dǎo)體制程的半導(dǎo)體高階過程控制(Advanced Process Control；APC)，大致可分為實(shí)時回饋調(diào)整及失誤偵測與分類等技術(shù)，實(shí)時回饋調(diào)整是整合許多制造設(shè)備，主要是將制程的品質(zhì)、狀態(tài)等各種變量，透過預(yù)先建立的制程模式加以估算，并進(jìn)行實(shí)時的線上回饋調(diào)整制程參數(shù)，來減少制程變異及提升半導(dǎo)體產(chǎn)品的良率。而失誤偵測與分類是透過失誤分類技術(shù)，來預(yù)測制造設(shè)備或組件的異常狀態(tài)并加以分析其原因，以掌握制造設(shè)備狀態(tài)，達(dá)成預(yù)測性維修的作用，因此，半導(dǎo)體高階過程控制牽涉到如何控制制程步驟，而每個步驟需要不同的半導(dǎo)體設(shè)備加以配合。
在進(jìn)行半導(dǎo)體高階過程控制時，是以一種符合半導(dǎo)體設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)(SEMIEquipment Communications Standard；SECS)的語法，來進(jìn)行相關(guān)訊息的交換，所謂的SECS語法，是由半導(dǎo)體設(shè)備及材料國際貿(mào)易協(xié)會(Semiconductor Equipment andMaterials International；SEMI)所制定的特定語言，SEMI將一般的SECS共分為三層GEM層、SECS-I層及SECS-II層，GEM(Generic Equipment Model)層負(fù)責(zé)半導(dǎo)體制造程序的管理，SECS-I層負(fù)責(zé)SECS訊息的傳送接收型式，至于SECS-II層則負(fù)責(zé)將每道程序的狀態(tài)和結(jié)果以SECS-II訊息的方式呈現(xiàn)。
SECS-II訊息又稱為訊息流(stream)，主要區(qū)分為初級(primary)訊息，及依附于初級訊息的次級(secondary)訊息，以圖1所示為范例來說明，在一自動化控制計算機(jī)101及半導(dǎo)體設(shè)備102之間傳遞有SECS-II訊息201、202，其中的訊息201是為初級訊息，也稱為自動化控制計算機(jī)101對半導(dǎo)體設(shè)備102的請求(request)，而訊息202是為次級訊息，也稱為半導(dǎo)體設(shè)備102對自動化控制計算機(jī)101的回復(fù)(reply)。初級訊息與次級訊息為具有相依性，在本范例中，訊息201中的S1，F(xiàn)3是請求半導(dǎo)體設(shè)備102提供具有SVID1-SVIDn等數(shù)值的狀態(tài)報告，訊息202中S1，F(xiàn)4是半導(dǎo)體設(shè)備102傳回的次級訊息，是以自動化控制計算機(jī)101所請求的順序回復(fù)每一SVID請求值，而自動化控制計算機(jī)101必須以各項(xiàng)請求值的要求作出對應(yīng)的響應(yīng)或控制動作。
目前，所謂的延伸標(biāo)記語言(Extensible Markup Language；XML)，主要為定義數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)及處理信息的語法，已被廣泛地應(yīng)用在各層面，而XML主要是使用卷標(biāo)(tag)、組件(element)、屬性(attribute)以增加結(jié)構(gòu)及定義至文件的文字基礎(chǔ)(text-based)標(biāo)定語言。以XML資料表示SECS訊息提供了許多相較于傳統(tǒng)SECS訊息的優(yōu)點(diǎn)，例如操作人員可以較易理解XML資料，其次，XML資料具有允許以非專用軟件來處理交換信息的能力，在使用上更具有方便性及較大的彈性。
發(fā)明專利內(nèi)容因此，本發(fā)明的目的，是提供一種將半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)生的SECS-II訊息轉(zhuǎn)換為XML資料的半導(dǎo)體設(shè)備的SECS-II至XML資料轉(zhuǎn)換方法。
本發(fā)明的另一目的，是提供一種將半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)生的SECS-II訊息轉(zhuǎn)換為XML資料的資料轉(zhuǎn)換裝置。
本發(fā)明的再一目的，是提供一種包含有將半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)生的SECS-II訊息轉(zhuǎn)換為XML資料的轉(zhuǎn)換方法的紀(jì)錄媒體。
本發(fā)明的半導(dǎo)體設(shè)備的SECS-II至XML資料轉(zhuǎn)換方法，取得一SECS-II訊息并個別標(biāo)定該SECS-II訊息所具有的復(fù)數(shù)SECS項(xiàng)目，分析所標(biāo)定的各該SECS項(xiàng)目以抽取出感興趣的SECS項(xiàng)目，接著判斷所抽取的各該SECS項(xiàng)目之間的相依性，將具有相依性的該等SECS項(xiàng)目加以配對，結(jié)合所有配對后的該等SECS項(xiàng)目后，將其轉(zhuǎn)換為XML資料。
本發(fā)明的資料轉(zhuǎn)換裝置，是電性連接于一自動化控制計算機(jī)及至少一半導(dǎo)體設(shè)備，該資料轉(zhuǎn)換裝置包含一電性連接于該自動化控制計算機(jī)及該半導(dǎo)體設(shè)備的接口處理單元、一自該接口處理單元暫存所接收的該等SECS-II訊息的緩存器，及一電性接于該緩存器的分析單元。
該接口處理單元用以傳送該自動化控制計算機(jī)及該半導(dǎo)體設(shè)備所產(chǎn)生的復(fù)數(shù)SECS-II訊息，該分析單元自緩存器儲存的該等SECS-II訊息標(biāo)定該等SECS-II訊息所具有的復(fù)數(shù)SECS項(xiàng)目，且在其中將感興趣的該等SECS項(xiàng)目抽取出來，在配對被抽取的該等SECS項(xiàng)目后，將其結(jié)合轉(zhuǎn)換為XML資料。


下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明圖1是一示意圖，說明一目前的自動化計算機(jī)及一目前的半導(dǎo)體設(shè)備之間傳遞有SECS-II訊息。
圖2是一電路方塊圖，說明本發(fā)明的檔案轉(zhuǎn)接裝置的一較佳實(shí)施例電性連接于一監(jiān)視器、自動化控制計算機(jī)及半導(dǎo)體設(shè)備。
圖3是一電路方塊圖，說明該較佳實(shí)施例包含的內(nèi)部組件。
圖4是一流程圖，說明本發(fā)明的半導(dǎo)體設(shè)備的SECS-II至XML資料轉(zhuǎn)換方法。
圖5是一示意圖，說明SECS-II訊息中的SECS項(xiàng)目。
圖6是一示意圖，說明各將SECS項(xiàng)目標(biāo)記的代碼顯示在項(xiàng)次后的()之中。
圖7是一示意圖，說明SECS-II訊息中的SECS項(xiàng)目標(biāo)定其依附性的范例。
圖8是一示意圖，說明由SECS-II訊息所組成的原始資料經(jīng)轉(zhuǎn)換后輸出的XML數(shù)據(jù)的范例。
具體實(shí)施例方式
如圖2所示，為本發(fā)明的資料轉(zhuǎn)換裝置5的一較佳實(shí)施例，是電性連接于一監(jiān)視器50、一自動化控制計算機(jī)6及多組半導(dǎo)體設(shè)備7，其中的監(jiān)視器50可用以瀏覽資料轉(zhuǎn)換裝置5將SECS-II訊息轉(zhuǎn)換的XML資料。
如圖3所示，資料轉(zhuǎn)換裝置5包含一電性連接于自動化控制計算機(jī)6及半導(dǎo)體設(shè)備7的接口處理單元51、一自接口處理單元51暫存所接收的該等SECS-II訊息的緩存器52，及一電性接于緩存器52的分析單元53。資料轉(zhuǎn)換裝置5的接口處理單元51主要是配合自動化控制計算機(jī)6及該等半導(dǎo)體設(shè)備7原有的RS232或TCP/IP接口來作轉(zhuǎn)接，并用以作為SECS-II資料的傳送，由于此部份并非本發(fā)明的重點(diǎn)，且為所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者所能輕易完成，在此不再贅述，而必須說明的是，資料轉(zhuǎn)換裝置5也可借由接口處理單元51的擴(kuò)充，以配合更多組的自動化控制計算機(jī)6及半導(dǎo)體設(shè)備7來作進(jìn)一步的應(yīng)用。
接口處理單元51擷取SECS-II訊息后儲存于緩存器52中，而分析單元53的功能為由緩存器52儲存的該等SECS-II訊息標(biāo)定該等SECS-II訊息所具有的復(fù)數(shù)SECS項(xiàng)目，且在其中將感興趣的該等SECS項(xiàng)目抽取出來，在配對被抽取的該等SECS項(xiàng)目后，將其結(jié)合轉(zhuǎn)換為XML資料輸出至監(jiān)視器50來監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備7的各種狀態(tài)。
至于本發(fā)明的半導(dǎo)體設(shè)備的SECS-II至XML資料轉(zhuǎn)換方法的較佳實(shí)施例，可為一執(zhí)行程序，儲存在例如光盤或其它內(nèi)存的紀(jì)錄媒體中。
如圖4所示，說明本發(fā)明的半導(dǎo)體設(shè)備的SECS-II至XML資料轉(zhuǎn)換方法的轉(zhuǎn)程過程，首先，在步驟501中，先擷取SECS-II訊息，接著在步驟502-503中，將SECS-II訊息解析出SECS項(xiàng)目，并將各SECS項(xiàng)目標(biāo)定對應(yīng)的代碼，其方法是當(dāng)SECS-II訊息具有n個SECS根項(xiàng)目時，則其中的該等SECS根項(xiàng)目的代碼標(biāo)記為A0-An-1，當(dāng)?shù)趎個SECS根項(xiàng)目具有i個SECS子項(xiàng)目時，則其中的各該SECS子項(xiàng)目的代碼標(biāo)記為An-1.0-An-1.i-1。
如圖5所示，為一SECS-II訊息范例，訊息301、302的結(jié)構(gòu)為一具有SECS項(xiàng)目(Items)及項(xiàng)目列表(Lists of items)的實(shí)體，以本范例而言，訊息301中的S1，F(xiàn)3及訊息302中的S1，F(xiàn)4便是一種SECS項(xiàng)目，而跟隨S1，F(xiàn)3及S1，F(xiàn)4<>之中的內(nèi)容即為項(xiàng)目列表。以訊息301為例，使用上述的標(biāo)定法時，是在S1，F(xiàn)3的SECS根項(xiàng)目401為＜L項(xiàng)，將其標(biāo)記為代碼A0，而以SECS項(xiàng)目403的<U4 VID>*Variable ID_n為例，當(dāng)n＝4時，也就是<U4 VID>*Variable ID_4的部分，是依上述的規(guī)則將其標(biāo)定為A0.3，其余的標(biāo)定方式可以依序類推，如圖6所示，為一具有更多層的SECS項(xiàng)目的SECS-II訊息，其中的各SECS項(xiàng)目標(biāo)記的代碼顯示在項(xiàng)次后的()之中。
在將各標(biāo)定對應(yīng)的代碼之后，接著如步驟504，分析是否感興趣的SECS項(xiàng)目，若為感興趣的SECS項(xiàng)目，則將感興趣的SECS項(xiàng)目標(biāo)定為項(xiàng)目名稱An-1.*。如圖5所示，假設(shè)訊息301、訊息302中的項(xiàng)目皆為感興趣，則將其標(biāo)定為S1F3A0.*及S1F3A0.*，至于不感興趣的SECS項(xiàng)目則維持原標(biāo)定方式及在步驟505將其移除。
在步驟506中，為比對各SECS項(xiàng)目之間是否具有相依性，并將具有依附性的被依附的該SECS項(xiàng)目標(biāo)定為項(xiàng)目名稱An-1.@。如圖5所示，SECS項(xiàng)目403的<V>*StatusVariable Value_n，是依附于SECS項(xiàng)目402的<U4 VID>*Variable ID_n，因此標(biāo)定其依附性的方式為S1F4A0.n依附于S1F3A0.@，@即表示SECS項(xiàng)目S1F4A0.n依附于SECS項(xiàng)目S1F3A0.n。至于無相依性的SECS項(xiàng)目則在步驟507將其移除。
如圖7所示，為標(biāo)定其依附性的另一范例，訊息305的SECS項(xiàng)目<V>*VariableValue-xm，是依附于訊息303中的SECS項(xiàng)目<U4 VID>*Variable ID_ym，是假設(shè)訊息305的SECS項(xiàng)目<U4 DATAID>*Report ID_x相等于訊息303中的SECS項(xiàng)目<U4 RPTID>*Report ID_y，也就是兩者有相同的Report ID。其標(biāo)定其依附性的方式為假設(shè)S6F11A0.2.*.0相等于S2F33A0.1.*.0時，S6F11A0.2.*.0依附于S2F33A0.1.*.1.@。必須說明的是，上述的各種標(biāo)定法主要是將SECS項(xiàng)目區(qū)別區(qū)辨出來，因此其標(biāo)定的代碼不限于上述的方式，也可以是其它數(shù)字、字母或符號等。
如步驟508-509，將處理后具有相依性的SECS項(xiàng)目加以配對結(jié)合，最后產(chǎn)生XML資料。
如圖8所示，是一由SECS-II訊息所組成的原始資料經(jīng)轉(zhuǎn)換后輸出的XML數(shù)據(jù)的范例，主要是一搜集所有資料變量(data variable)的處理過程狀態(tài)，并且已取得lot-id、recipe-id等生產(chǎn)資料，而訊息S1，F(xiàn)3為搜集設(shè)備狀態(tài)的請求(selectedequipment status request；SSR)，訊息S1，F(xiàn)4為搜集設(shè)備狀態(tài)的資料(selectedequipment status data；SSD)。
歸納上述，由于本發(fā)明的半導(dǎo)體設(shè)備的SECS-II至XML資料轉(zhuǎn)換方法，利用有次序的代碼標(biāo)定SECS-II訊息中的各SECS項(xiàng)目，接著分析所標(biāo)定的各SECS項(xiàng)目以抽取出感興趣的SECS項(xiàng)目，然后判斷所抽取的各SECS項(xiàng)目之間的相依性，將具有相依性的該等SECS項(xiàng)目加以配對，最后結(jié)合所有配對后的該等SECS項(xiàng)目后，將其轉(zhuǎn)換為XML資料，因此可以使用非限定的軟件來處理交換信息的能力，而具有方便性及較大的彈性的優(yōu)點(diǎn)。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體設(shè)備的SECS-II至XML資料轉(zhuǎn)換方法，其特征在于包含下述步驟a)取得一SECS-II訊息并個別標(biāo)定該SECS-II訊息所具有的復(fù)數(shù)SECS項(xiàng)目；b)分析所標(biāo)定的各該SECS項(xiàng)目以抽取出感興趣的SECS項(xiàng)目；c)判斷所抽取的各該SECS項(xiàng)目之間的相依性，將具有相依性的該等SECS項(xiàng)目加以配對；及d)結(jié)合所有配對后的該等SECS項(xiàng)目后，將其轉(zhuǎn)換為XML資料。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備的SECS-II至XML資料轉(zhuǎn)換方法，其特征在于步驟a)的標(biāo)定方式是依據(jù)各該SECS項(xiàng)目所屬層級而標(biāo)記相對應(yīng)的一代碼。
3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體設(shè)備的SECS-II至XML資料轉(zhuǎn)換方法，其特征在于標(biāo)記各該SECS項(xiàng)目的代碼的方式，是當(dāng)該SECS-II訊息具有n個SECS根項(xiàng)目時，則該等SECS根項(xiàng)目的代碼標(biāo)記為A0-An-1。
4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體設(shè)備的SECS-II至XML資料轉(zhuǎn)換方法，其特征在于當(dāng)?shù)趎個SECS根項(xiàng)目具有i個SECS子項(xiàng)目時，則各該SECS子項(xiàng)目的代碼標(biāo)記為An-1.0-An-1.i-1。
5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備的SECS-II至XML資料轉(zhuǎn)換方法，其特征在于該半導(dǎo)體設(shè)備的SECS-II至XML資料轉(zhuǎn)換方法更包含步驟b-1)，將感興趣的SECS項(xiàng)目標(biāo)定為項(xiàng)目名稱An-1.*。
6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備的SECS-II至XML資料轉(zhuǎn)換方法，其特征在于該半導(dǎo)體設(shè)備的SECS-II至XML資料轉(zhuǎn)換方法更包含步驟c-1)，將具有依附性的被依附的該SECS項(xiàng)目標(biāo)定為項(xiàng)目名稱An-1.@。
7.一種紀(jì)錄媒體，其特征在于該紀(jì)錄媒體包含有如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備的SECS-II至XML資料轉(zhuǎn)換方法。
8.一種資料轉(zhuǎn)換裝置，電性連接于一自動化控制計算機(jī)及至少一半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于該資料轉(zhuǎn)換裝置包含一接口處理單元，電性連接于該自動化控制計算機(jī)及該半導(dǎo)體設(shè)備，用以傳送該自動化控制計算機(jī)及該半導(dǎo)體設(shè)備所產(chǎn)生的復(fù)數(shù)SECS-II訊息；一緩存器，自該接口處理單元暫存所接收的該等SECS-II訊息；及一分析單元，電性接于該緩存器，該分析單元自緩存器儲存的該等SECS-II訊息標(biāo)定該等SECS-II訊息所具有的復(fù)數(shù)SECS項(xiàng)目，且將感興趣的該等SECS項(xiàng)目抽取出來，在配對被抽取的該等SECS項(xiàng)目后，將其結(jié)合轉(zhuǎn)換為XML資料。
9.如權(quán)利要求8所述的資料轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于該分析單元自緩存器儲存的該等SECS-II訊息標(biāo)定該等SECS項(xiàng)目的方式，是依據(jù)各該SECS項(xiàng)目所屬層級而標(biāo)記相對應(yīng)的一代碼。
10.如權(quán)利要求9所述的資料轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于該分析單元標(biāo)記各該SECS項(xiàng)目的代碼的方式，是當(dāng)該SECS-II訊息具有n個SECS根項(xiàng)目時，則該等SECS根項(xiàng)目的代碼標(biāo)記為A0-An-1。
11.如權(quán)利要求10所述的資料轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于當(dāng)?shù)趎個SECS根項(xiàng)目具有i個SECS子項(xiàng)目時，則該分析單元將各該SECS子項(xiàng)目的代碼標(biāo)記為An-1.0-An-1.i-1。
12.如權(quán)利要求8所述的資料轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于該分析單元將感興趣的SECS項(xiàng)目標(biāo)定為項(xiàng)目名稱An-1.*。
13.如權(quán)利要求8所述的資料轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于該分析單元將具有依附性的被依附的該SECS項(xiàng)目標(biāo)定為項(xiàng)目名稱An-1.@。
14.如權(quán)利要求8所述的資料轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于該接口處理單元是配合該自動化控制計算機(jī)及該半導(dǎo)體設(shè)備所具有的RS232或TCP/IP接口作資料的轉(zhuǎn)換。
全文摘要
一種半導(dǎo)體設(shè)備的SECS－II至XML資料轉(zhuǎn)換方法，主要是在一自動化控制計算機(jī)及至少一半導(dǎo)體設(shè)備之間，以一資料轉(zhuǎn)換裝置取得符合半導(dǎo)體設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)的SECS－II訊息，并個別標(biāo)定該SECS－II訊息所具有的復(fù)數(shù)SECS項(xiàng)目，接著分析所標(biāo)定的各該SECS項(xiàng)目以抽取出感興趣的SECS項(xiàng)目，然后判斷所抽取的各該SECS項(xiàng)目之間的相依性，將具有相依性的該等SECS項(xiàng)目加以配對，最后結(jié)合所有配對后的該等SECS項(xiàng)目，將其轉(zhuǎn)換輸出XML資料，用以監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備的各種狀態(tài)。
文檔編號G06F17/00GK1641627SQ20041000090
公開日2005年7月20日 申請日期2004年1月13日 優(yōu)先權(quán)日2004年1月13日
發(fā)明者于文貞, 江國平, 謝政宏, 王俊義 申請人:巨路國際股份有限公司