專利名稱：面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備中各個功能模塊的調(diào)度技術(shù)，具體的說是一種面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法。
背景技術(shù)：
國內(nèi)半導(dǎo)體廠商在晶圓加工方面大多采用集束半導(dǎo)體設(shè)備，集束半導(dǎo)體設(shè)備由多個功能模塊組成，反應(yīng)腔和傳片腔是晶圓加工設(shè)備中典型的功能模塊。目前對這種多功能集束設(shè)備的控制方法通常采用傳統(tǒng)的單一功能設(shè)備的控制方法，即將設(shè)備的多個功能簡單認(rèn)為是復(fù)雜的單一功能。這種方法并沒按照設(shè)備的實際情況進(jìn)行功能模塊的劃分，這就造成了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)過于龐大，控制算法復(fù)雜甚至無法實現(xiàn)，設(shè)備功能的可擴(kuò)展性不好，系統(tǒng)安全性穩(wěn)定性降低等缺點。要控制這種集束半導(dǎo)體設(shè)備，必須對設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔進(jìn)行管理和調(diào)度，讓使用者能高效安全的使用反應(yīng)腔和傳片腔提供的功能，并能是他們互相配合完成更復(fù)雜的功能。而目前，能夠?qū)崿F(xiàn)上述功能的調(diào)用方法尚未見報道。

發(fā)明內(nèi)容
針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)龐大、控制算法復(fù)雜等不足之處，本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠合理的管理設(shè)備中的各個功能模塊，控制算法簡單、增加設(shè)備功能的使用效率的面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是本發(fā)明一種面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法包括以下步驟對集束半導(dǎo)體設(shè)備中的各個功能進(jìn)行劃分，根據(jù)不同功能構(gòu)造出相應(yīng)的功能模塊，即負(fù)責(zé)傳片腔內(nèi)部所有部件操作的傳片腔模塊，負(fù)責(zé)反應(yīng)腔內(nèi)部所有部件操作的反應(yīng)腔模塊以及對上述傳片腔模塊和反應(yīng)腔模塊進(jìn)行管理的調(diào)度模塊；生成命令分派表和參數(shù)分派表；對集束半導(dǎo)體設(shè)備接收到的外部命令根據(jù)命令分派表和參數(shù)分派表進(jìn)行解析，確定應(yīng)由哪個功能模塊處理該命令；負(fù)責(zé)處理該命令的功能模塊根據(jù)當(dāng)前狀態(tài)，獨自執(zhí)行、在其他功能模塊的配合下執(zhí)行或不執(zhí)行該命令；將獨自執(zhí)行、在其他功能模塊的配合下執(zhí)行命令的結(jié)果統(tǒng)一返回給命令發(fā)出者， 完成本次反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用。處理該命令的功能模塊根據(jù)當(dāng)前狀態(tài)，獨自執(zhí)行命令時，則需判斷處理該命令的功能模塊是否為空閑狀態(tài)，如為空閑狀態(tài)，則判斷是否需要其他模塊配合執(zhí)行，如不需要其他模塊配合執(zhí)行，則由該功能模塊處理該命令。如果上述功能模塊不為空閑狀態(tài)，則命令執(zhí)行失敗。
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處理該命令的功能模塊根據(jù)當(dāng)前狀態(tài)，需要在其他功能模塊的配合下執(zhí)行時，則需判斷其他功能模塊的狀態(tài)是否為空閑，如果為空閑狀態(tài)，則兩個功能模塊配合執(zhí)行命令， 將命令執(zhí)行結(jié)果統(tǒng)一返回給命令發(fā)出者，完成本次反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用步驟。如果其他功能模塊不為空閑狀態(tài)，則此次命令執(zhí)行失敗，結(jié)束此次命令處理。所述對集束半導(dǎo)體設(shè)備接收到的外部命令進(jìn)行解析包括以下步驟在各功能模塊中預(yù)先定義控制命令的格式，格式包括命令名稱和參數(shù)表兩部分；將集束半導(dǎo)體設(shè)備接收到的外部命令按預(yù)先定義的控制命令格式分為命令名稱和參數(shù)表兩部分，分別生成命令名稱分派表和關(guān)鍵參數(shù)分派表；調(diào)度模塊接收到控制命令后對命令進(jìn)行解析，分解出命令名稱和參數(shù)表中的參數(shù)。所述確定應(yīng)由哪個功能模塊處理該命令為調(diào)度模塊接收到來自用戶的命令后， 根據(jù)命令名稱分派表，判斷能否確定命令的目標(biāo)模塊；如果能確定命令的目標(biāo)模塊，則將命令傳遞給目標(biāo)模塊；如果根據(jù)命令名稱分派表不能確定目標(biāo)模塊，則根據(jù)查找命令分派表，判斷能否確定命令的目標(biāo)模塊；如果能確定命令的目標(biāo)模塊，則將命令傳遞給目標(biāo)模塊；如果根據(jù)參數(shù)分派表不能確定目標(biāo)模塊，則此命令為非法命令，命令執(zhí)行失敗。本發(fā)明具有以下有益效果及優(yōu)點1.本發(fā)明針對集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔的功能調(diào)用提出一種新的方法， 使用此方法能夠有效的管理集束設(shè)備中多個功能模塊的調(diào)度問題，不但提高了設(shè)備的穩(wěn)定性，而且使設(shè)備的各個功能模塊能夠相互配合，完成更加復(fù)雜的功能，增加設(shè)備功能的使用效率。


圖1為集束半導(dǎo)體設(shè)備中反應(yīng)腔和傳片腔的結(jié)構(gòu)圖；圖2為集束半導(dǎo)體設(shè)備中反應(yīng)腔和傳片腔功能模塊框圖；圖3為設(shè)備內(nèi)部預(yù)定義的命令格式、命令分派表和參數(shù)分派表；圖4為本發(fā)明方法總流程圖；圖5為本發(fā)明方法中調(diào)度模塊在收到用戶命令后，分析命令目的地流程圖；圖6為本發(fā)明方法中調(diào)度模塊將命令傳遞給傳片腔模塊的流程；圖7為本發(fā)明方法中調(diào)度模塊將命令傳遞給反應(yīng)腔模塊的流程。其中1為反應(yīng)腔，2為傳片腔，11為反應(yīng)腔門，12為升降裝置，13為加熱盤，21為傳片腔門，22為機(jī)械手。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。本發(fā)明面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法應(yīng)用于集束半導(dǎo)體設(shè)備中，該集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔的物理結(jié)構(gòu)分布如圖1所示，其中反應(yīng)腔1與傳片腔2之間設(shè)有反應(yīng)腔門11，反應(yīng)腔1內(nèi)部具有用于加熱晶圓的加熱盤13和升降晶圓的升降裝置12 ；傳片腔2在傳片腔2的側(cè)面設(shè)有傳片腔門21，傳片腔2內(nèi)包括中包括用于向反應(yīng)腔1傳送晶圓的機(jī)械手22。反應(yīng)腔、傳片腔分別負(fù)責(zé)其內(nèi)部各個部件的控制。如圖4所示本發(fā)明方法包括以下步驟對集束半導(dǎo)體設(shè)備中的各個功能進(jìn)行劃分，根據(jù)不同功能構(gòu)造出相應(yīng)的功能模塊，即負(fù)責(zé)傳片腔內(nèi)部所有部件操作的傳片腔模塊，負(fù)責(zé)反應(yīng)腔內(nèi)部所有部件操作的反應(yīng)腔模塊以及對上述傳片腔模塊和反應(yīng)腔模塊進(jìn)行管理的調(diào)度模塊；生成命令分派表和參數(shù)分派表；對集束半導(dǎo)體設(shè)備接收到的外部命令根據(jù)命令分派表和參數(shù)分派表進(jìn)行解析，確定應(yīng)由哪個功能模塊處理該命令；處理該命令的功能模塊根據(jù)當(dāng)前狀態(tài)，獨自執(zhí)行、在其他功能模塊的配合下執(zhí)行或不執(zhí)行該命令；將獨自執(zhí)行、在其他功能模塊的配合下執(zhí)行命令的結(jié)果統(tǒng)一返回給命令發(fā)出者， 完成本次反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用。如圖2所示，本發(fā)明首先將設(shè)備按照其具體完成的功能、物理結(jié)構(gòu)分布進(jìn)行功能模塊的抽象將集束半導(dǎo)體設(shè)備劃分成傳片腔模塊，負(fù)責(zé)與傳片腔相關(guān)的所有操作；反應(yīng)腔模塊，負(fù)責(zé)與反應(yīng)腔相關(guān)的所有操作；以及對這兩個功能模塊進(jìn)行管理的調(diào)度模塊。本發(fā)明方法中對集束半導(dǎo)體設(shè)備接收到的外部命令進(jìn)行解析包括以下步驟在各功能模塊中預(yù)先定義控制命令的格式，格式包括命令名稱和參數(shù)表兩部分；將集束半導(dǎo)體設(shè)備接收到的外部命令按預(yù)先定義的控制命令分為命令名稱和參數(shù)表兩部分，分別生成命令名稱分派表和參數(shù)分派表；調(diào)度模塊接收到控制命令后對命令進(jìn)行解析，分解出命令名稱和參數(shù)表中的參數(shù) (本實施例取描述目標(biāo)模塊的參數(shù))。如圖3所示，為集束半導(dǎo)體設(shè)備的控制命令的格式定義，命令分派表和參數(shù)分派表的內(nèi)容。用戶使用設(shè)備時要按照此格式發(fā)送控制命令，設(shè)備接收到命令后也要按此格式對命令進(jìn)行解析；對命令解析后，根據(jù)命令分派表和參數(shù)分派表判斷此命令應(yīng)有哪個功能模塊來處理。如圖5所示，所述確定應(yīng)由哪個功能模塊處理該命令為調(diào)度模塊接收到來自用戶的命令后，根據(jù)命令名稱分派表，判斷能否確定命令的目標(biāo)模塊；如果能確定命令的目標(biāo)模塊，則將命令傳遞給目標(biāo)模塊。如果根據(jù)命令名稱分派表不能確定目標(biāo)模塊，則根據(jù)查找命令分派表(本實施例采用第一參數(shù)查找)，判斷能否確定命令的目標(biāo)模塊；如果能確定命令的目標(biāo)模塊，則將命令傳遞給目標(biāo)模塊。如果根據(jù)參數(shù)分派表不能確定目標(biāo)模塊，則此命令為非法命令，命令執(zhí)行失敗，將結(jié)果添加到調(diào)度模塊的結(jié)果隊列中。在確定了處理命令的模塊后，判斷此模塊是否處于空閑狀態(tài)。每個模塊都通過一個狀態(tài)標(biāo)志表示當(dāng)前狀態(tài)，狀態(tài)包括空閑和繁忙。當(dāng)模塊處于空閑狀態(tài)時，可以處理命令， 調(diào)度模塊將命令傳遞給該模塊后，將其狀態(tài)標(biāo)志設(shè)置為繁忙；當(dāng)模塊處于繁忙狀態(tài)時，表示模塊當(dāng)前正在處理其他命令，無法處理新命令，調(diào)度模塊認(rèn)為新命令失敗，并將結(jié)果和失敗原因返回給命令的發(fā)送者。如圖6、7所示，確定目標(biāo)模塊空閑后，再判斷完成此命令是否需要其他模塊的配合。由于設(shè)備功能模塊經(jīng)常按照設(shè)備物理結(jié)構(gòu)分布劃分，所以有些命令需要多個模塊配合完成。對于加載晶圓和卸載晶圓命令，需要傳片腔模塊和反應(yīng)腔模塊配合完成。加載晶圓過程包括下降反應(yīng)腔1的升降裝置12和加熱盤13、打開反應(yīng)腔門11、傳片腔2中的機(jī)械手22伸入反應(yīng)腔1送片、反應(yīng)腔1中的升降裝置12升起，托起晶圓、傳片腔2中的機(jī)械手 22退出反應(yīng)腔1、下降反應(yīng)腔1的升降裝置12使晶圓落在加熱盤13上、關(guān)閉反應(yīng)腔門11 ； 卸載晶圓過程包括升起反應(yīng)腔1的升降裝置12托起晶圓、下降加熱盤13、打開反應(yīng)腔門 11、傳片腔2中的機(jī)械手22伸入反應(yīng)腔1中取片、反應(yīng)腔1的升降裝置12下降使晶圓落在機(jī)械手22上、機(jī)械手22托著晶圓退出反應(yīng)腔1、關(guān)閉反應(yīng)腔門11。在執(zhí)行加載晶圓和卸載晶圓命令時，本發(fā)明采用操作委托的方式當(dāng)調(diào)度模塊收到加載晶圓或卸載晶圓命令后，將命令傳遞給傳片腔模塊；當(dāng)傳片腔模塊接收到加載晶圓或卸載晶圓命令時，知道這些命令需要反應(yīng)腔模塊的配合，于是由傳片腔模塊向反應(yīng)腔模塊發(fā)出功能申請，要占用反映腔模塊的操作功能；若反應(yīng)腔模塊狀態(tài)為繁忙，會拒絕傳片腔模塊的申請，則傳片腔模塊會通知調(diào)度模塊此命令失?。蝗舴磻?yīng)腔模塊狀態(tài)為空閑，會接受傳片腔模塊的申請，將自己置于繁忙狀態(tài)并讓出反應(yīng)腔控制權(quán)給傳片腔模塊，傳片腔模塊在完成命令后會通知反應(yīng)腔模塊， 并將執(zhí)行結(jié)果返回給調(diào)度模塊。采用這種方式減少了模塊間的同步，簡化了控制算法，提高了系統(tǒng)穩(wěn)定性。
權(quán)利要求
1.一種面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法，其特征在于包括以下步驟對集束半導(dǎo)體設(shè)備中的各個功能進(jìn)行劃分，根據(jù)不同功能構(gòu)造出相應(yīng)的功能模塊，即負(fù)責(zé)傳片腔內(nèi)部所有部件操作的傳片腔模塊，負(fù)責(zé)反應(yīng)腔內(nèi)部所有部件操作的反應(yīng)腔模塊以及對上述傳片腔模塊和反應(yīng)腔模塊進(jìn)行管理的調(diào)度模塊；生成命令分派表和參數(shù)分派表；對集束半導(dǎo)體設(shè)備接收到的外部命令根據(jù)命令分派表和參數(shù)分派表進(jìn)行解析，確定應(yīng)由哪個功能模塊處理該命令；負(fù)責(zé)處理該命令的功能模塊根據(jù)當(dāng)前狀態(tài)，獨自執(zhí)行、在其他功能模塊的配合下執(zhí)行或不執(zhí)行該命令；將獨自執(zhí)行、在其他功能模塊的配合下執(zhí)行命令的結(jié)果統(tǒng)一返回給命令發(fā)出者，完成本次反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用。
2.按權(quán)利要求1所述的面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法，其特征在于處理該命令的功能模塊根據(jù)當(dāng)前狀態(tài)，獨自執(zhí)行命令時，則需判斷處理該命令的功能模塊是否為空閑狀態(tài)，如為空閑狀態(tài)，則判斷是否需要其他模塊配合執(zhí)行，如不需要其他模塊配合執(zhí)行，則由該功能模塊處理該命令。
3.按權(quán)利要求2所述的面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法，其特征在于如果上述功能模塊不為空閑狀態(tài)，則命令執(zhí)行失敗。
4.按權(quán)利要求1或2所述的面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法，其特征在于處理該命令的功能模塊根據(jù)當(dāng)前狀態(tài)，需要在其他功能模塊的配合下執(zhí)行時，則需判斷其他功能模塊的狀態(tài)是否為空閑，如果為空閑狀態(tài)，則兩個功能模塊配合執(zhí)行命令， 將命令執(zhí)行結(jié)果統(tǒng)一返回給命令發(fā)出者，完成本次反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用步驟。
5.按權(quán)利要求4所述的面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法，其特征在于如果其他功能模塊不為空閑狀態(tài)，則此次命令執(zhí)行失敗，結(jié)束此次命令處理。
6.按權(quán)利要求1所述的面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法，其特征在于所述對集束半導(dǎo)體設(shè)備接收到的外部命令進(jìn)行解析包括以下步驟在各功能模塊中預(yù)先定義控制命令的格式，格式包括命令名稱和參數(shù)表兩部分；將集束半導(dǎo)體設(shè)備接收到的外部命令按預(yù)先定義的控制命令格式分為命令名稱和參數(shù)表兩部分，分別生成命令名稱分派表和關(guān)鍵參數(shù)分派表；調(diào)度模塊接收到控制命令后對命令進(jìn)行解析，分解出命令名稱和參數(shù)表中的參數(shù)。
7.按權(quán)利要求1所述的面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法，其特征在于所述確定應(yīng)由哪個功能模塊處理該命令為調(diào)度模塊接收到來自用戶的命令后，根據(jù)命令名稱分派表，判斷能否確定命令的目標(biāo)模塊；如果能確定命令的目標(biāo)模塊，則將命令傳遞給目標(biāo)模塊。
8.按權(quán)利要求7所述的面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法，其特征在于如果根據(jù)命令名稱分派表不能確定目標(biāo)模塊，則根據(jù)查找命令分派表，判斷能否確定命令的目標(biāo)模塊；如果能確定命令的目標(biāo)模塊，則將命令傳遞給目標(biāo)模塊。
9.按權(quán)利要求8所述的面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法，其特征在于如果根據(jù)參數(shù)分派表不能確定目標(biāo)模塊，則此命令為非法命令，命令執(zhí)行失敗。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種面向集束半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用方法，包括以下步驟對集束半導(dǎo)體設(shè)備中的各個功能進(jìn)行劃分，根據(jù)不同功能構(gòu)造出相應(yīng)的功能模塊；生成命令分派表和參數(shù)分派表；對集束半導(dǎo)體設(shè)備接收到的外部命令根據(jù)命令分派表和參數(shù)分派表進(jìn)行解析，確定應(yīng)由哪個功能模塊處理該命令；負(fù)責(zé)處理該命令的功能模塊根據(jù)當(dāng)前狀態(tài)，獨自執(zhí)行、在其他功能模塊的配合下執(zhí)行或不執(zhí)行該命令；將獨自執(zhí)行、在其他功能模塊的配合下執(zhí)行命令的結(jié)果統(tǒng)一返回給命令發(fā)出者，完成本次反應(yīng)腔和傳片腔功能調(diào)用。本發(fā)明能夠有效的管理集束設(shè)備中多個功能模塊的調(diào)度問題，使設(shè)備的各個功能模塊能夠相互配合，完成更加復(fù)雜的功能，增加設(shè)備功能的使用效率。
文檔編號H01L21/00GK102456537SQ20101052122
公開日2012年5月16日 申請日期2010年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月27日
發(fā)明者周建輝, 唐達(dá)鼎, 姜軍, 康凱, 張彥武, 張萌, 張銳, 林躍, 王宏 申請人:沈陽中科博微自動化技術(shù)有限公司