專利名稱：透明導(dǎo)電性膜片和透明導(dǎo)電性板及觸屏的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在透明塑料膜片基材上按照硬化物層及透明導(dǎo)電性膜片的順序疊層的透明導(dǎo)電性膜片或透明導(dǎo)電性板及使用它們的觸屏、特別是涉及用于筆輸入用觸屏?xí)r，筆滑動耐久性優(yōu)良的透明導(dǎo)電性膜片或透明導(dǎo)電性板及使用它們的觸屏。
在透明塑料膜片基材上疊層透明且阻力小的透明導(dǎo)電性膜片，利用其導(dǎo)電性，例如可廣泛用于液晶顯示或電子發(fā)光(EL)顯示等類的平面顯示屏或觸屏的透明電極等電氣、電子領(lǐng)域的用途。
近年，由于攜帶信息終端或帶觸屏的筆記本電腦的普及，要求有比以往更具有耐滑動性優(yōu)良的觸屏。
在觸屏上筆輸入時，固定電極側(cè)的透明導(dǎo)電性膜片和可動電極(膜片電極)側(cè)的透明導(dǎo)電性膜片之間雖然接觸，但此時要求由于筆的負(fù)載不使透明導(dǎo)電性膜片產(chǎn)生裂紋、剝離等破壞、具有優(yōu)良的耐筆滑動性的透明導(dǎo)電性膜片。
可是，以往的透明導(dǎo)電性膜片有著如下的課題。
曾經(jīng)提出了在厚度120μm以下的透明塑料膜片基材上形成透明導(dǎo)電性膜片，用粘結(jié)劑與其它透明基體貼合的透明導(dǎo)電性膜片(日本專利公開66809/1990號公報)?？墒?，在使用下述的滑動耐久試驗(yàn)記載的聚縮醛制的筆，用5.0N的負(fù)荷進(jìn)行10萬次直線滑動試驗(yàn)后，在透明導(dǎo)電性膜片上發(fā)生剝離、對于筆的輸入的耐久性不充分。為此，由于其剝離部分白化，在使用帶觸屏顯示用時，存在著顯示品位降低的問題。
另外，在日本專利公開131711/1985號公報、日本專利公開79647/1986號公報、日本專利公開183809/1986號公報、日本專利公開194943/1990號公報開、日本專利公開276630/1990號公報、日本專利公開64034/1996號公報等中，提出了透明塑料膜片基材上設(shè)置由于有機(jī)硅化合物水解生成的層，進(jìn)而疊層了結(jié)晶質(zhì)的透明導(dǎo)電性膜片的透明導(dǎo)電性膜片。
可是，這些透明導(dǎo)電性膜片由于是結(jié)晶性的透明導(dǎo)電性膜片，所以非常脆，在使用下述的滑動耐久試驗(yàn)記載的聚縮醛制的筆，用5.0N的負(fù)荷進(jìn)行10萬次直線滑動試驗(yàn)后，在透明導(dǎo)電性膜片發(fā)生裂紋。另外，由于在濺射透明導(dǎo)電性膜片后必須進(jìn)行150℃左右的熱處理，所以有加工成本高的缺點(diǎn)。
另外，在日本專利公開5308/1990號公報、日本專利公開62074/2000號公報中，公開了在硬化被膜層上形成透明導(dǎo)電性膜片的導(dǎo)電性塑料疊層體?？墒牵睡B層體用于液晶顯示的透明電極上是充分的，但用于觸屏?xí)r的滑動耐久性是不充分的。這是由于透明導(dǎo)電性膜片在制膜中從硬化被膜層發(fā)生殘留揮發(fā)成份氣化，透明導(dǎo)電性膜片的膜質(zhì)降低的緣故。
本發(fā)明的目的在于提供一種用于觸屏?xí)r的筆輸入耐久性優(yōu)良、特別是使用下述的滑動耐久試驗(yàn)記載的聚縮醛制的筆，用5.0N的負(fù)荷進(jìn)行10萬次滑動試驗(yàn)后，透明導(dǎo)電性膜片也不破壞的透明導(dǎo)電性膜片或透明導(dǎo)電性板及使用它們的觸屏?？山鉀Q上述課題的本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜片或透明導(dǎo)電性板及觸屏如下。
即，本發(fā)明是在透明塑料膜片基材上依次疊層以硬化性樹脂為主要構(gòu)成成份的硬化物層及透明導(dǎo)電性膜片的透明導(dǎo)電性膜片，此透明導(dǎo)電性膜片，其特征是在形成上述透明導(dǎo)電性膜片的面上，每100μm2具有3～200個直徑0.05～3.0μm、高0.005～2.00μm的突起。
按照本發(fā)明其它方面，是透明導(dǎo)電性膜片，其特征是上述固化型樹脂是紫外線固化型樹脂，該紫外線固化型樹脂中非相溶的樹脂，其重均分子量為5,000～50,000的聚酯，進(jìn)而，上述聚酯樹脂含有量對于每100重量份的紫外線固化型樹脂是0.10～20。
按照本發(fā)明其它方面，是透明導(dǎo)電性膜片，其特征是上述透明導(dǎo)電性膜片是由銦-錫復(fù)合氧化物或錫-銻復(fù)合氧化物構(gòu)成的。
按照本發(fā)明其它方面，是透明導(dǎo)電性膜片，其特征是在與上述透明導(dǎo)電性膜片的透明導(dǎo)電性膜片面相反面上疊層硬涂層。
按照本發(fā)明其它方面，是透明導(dǎo)電性膜片，其特征是上述硬涂層具有防眩效果。
按照本發(fā)明其它方面，是透明導(dǎo)電性膜片，其特征是在上述硬涂層上施以低反射處理。
按照本發(fā)明其它方面，是透明導(dǎo)電性膜片，其特征是與上述透明導(dǎo)電性膜片的透明導(dǎo)電性膜片面相反面上，通過粘合劑貼合透明樹脂片。
按照本發(fā)明其它方面，是觸屏，在將具有上述透明導(dǎo)電性膜片的一對屏板，使透明導(dǎo)電性膜片相對地，中間夾有間隔物配置觸屏中，其特征是至少一方的屏板是由上述透明導(dǎo)電性膜片或上述透明導(dǎo)電性板構(gòu)成的。


圖1是表示實(shí)施例1的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖2是表示實(shí)施例2的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖3是表示實(shí)施例3的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖4是表示實(shí)施例4的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖5是表示實(shí)施例5的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖6是表示實(shí)施例6的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖7是表示實(shí)施例7的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖8是表示實(shí)施例8的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖9是表示比較例1的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖10是表示比較例2的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖11是表示比較例3的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖12是表示比較例4的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖13是表示使用本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜片得到的觸屏的斷面圖。
圖14是表示使用本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜片及透明導(dǎo)電性板得到的、不使用玻璃基板的塑料制的觸屏的斷面圖。
圖15是表示實(shí)施例4的透明導(dǎo)電性膜片上的透明導(dǎo)電性膜片面的掃描型電子顯微鏡照片。
圖16是表示實(shí)施例9的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖17是表示實(shí)施例10的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖18是表示實(shí)施例11的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖19是表示實(shí)施例12的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖20是表示實(shí)施例13的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖21是表示實(shí)施例14的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖22是表示實(shí)施例15的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖23是表示實(shí)施例16的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖24是表示實(shí)施例17的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖25是表示實(shí)施例18的觸屏的輸出形狀的說明圖。
圖26是表示實(shí)施例14的透明導(dǎo)電性膜片的硬度測定所用的、硬度和壓子壓入深度的關(guān)系圖。
所說的本發(fā)明使用的透明塑料膜片基材是指將有機(jī)高分子進(jìn)行熔融擠出或溶液擠出，根據(jù)需要，在縱向和/或?qū)挿较蜻M(jìn)行拉伸、冷卻、熱固定的膜片，作為有機(jī)高分子，可舉出聚乙烯、聚丙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚乙烯-2,6-萘酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丙二醇酯、耐龍6、耐龍4、耐龍66、耐龍12、聚亞酰胺、聚酰亞胺、聚醚砜、聚醚醚酮、聚碳酸酯、聚芳酯、丙酸纖維素酯、聚氯乙烯、聚偏氯乙烯、聚乙烯醇、聚醚亞酰胺、聚苯硫醚、聚苯氧醚、聚苯乙烯、間規(guī)聚丙烯、降冰片烯系聚合物等。
在這些有機(jī)高分子中，最常用的是聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丙二醇酯、聚乙烯-2,6-萘酸乙二醇酯、間規(guī)聚丙烯、降冰片烯系聚合物、聚碳酸酯、聚芳酯。另外，這些有機(jī)高分子可與其它有機(jī)聚合物的單體少量共聚或混合其它有機(jī)高分子。
本發(fā)明使用的透明塑料膜片基材的厚度，最好是大于10μm、小于300μm的范圍，優(yōu)選的是70～260μm的范圍。在塑料膜片的厚度是10μm以下時，機(jī)械強(qiáng)度不足，特別是對于用于觸屏?xí)r的筆輸入的變形過大，耐久性差。另一方面，若厚度大于300μm，在用于觸屏?xí)r，由于膜片變形，使筆的負(fù)荷變大，也是不理想的。
本發(fā)明使用的透明塑料膜片基材，在不損害本發(fā)明目的的范圍內(nèi)，也可將上述膜片進(jìn)行電暈放電處理、輝光放電處理、火焰處理、紫外線照射處理、電子線照射處理、臭氧處理等表面活化處理。
另外，本發(fā)明使用的固化型樹脂，只要是通過加熱、紫外線照射、電子線照射等能量施加，就可硬化的樹脂，就沒有特別限制，但從生產(chǎn)性的觀點(diǎn)看，優(yōu)選的是紫外線固化型樹脂。作為這樣的紫外線固化型樹脂，例如可舉出多元醇的丙烯酸或甲基丙烯酸酯類的多官能性的丙烯酸酯、二異氰酸酯、多元醇及丙烯酸或甲基丙烯酸的羥基烷基酯等合成的多官能性的聚氨酯丙烯酸樹脂。根據(jù)需要，可在這些多官能性的樹脂中，加入單官能性的單體，例如乙烯基吡咯烷酮、甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯等進(jìn)行共聚。
紫外線固化型樹脂，通常可添加光聚合引發(fā)劑使用。作為光聚合引發(fā)劑，沒有特別限制，可使用吸收紫外線發(fā)生自由基的公知的化合物，作為這樣的光引發(fā)劑，例如可使用各種苯偶因類、苯基酮、二苯甲酮類等。光聚合引發(fā)劑的添加量，每紫外線固化型樹脂100重量份，通常是1.0～5.0重量份。
另外，本發(fā)明使用的硬化物層，除了作為主要構(gòu)成成份的固化型樹脂之外，優(yōu)選的是在固化型樹脂中并用非相溶的樹脂。在基質(zhì)的固化型樹脂中，并用少量非相溶的樹脂，可在固化型樹脂中引起相分離，使非相溶樹脂分散成粒子狀。通過此非相溶樹脂的分散粒子可在硬化物表面上形成凹凸。
固化型樹脂是上述紫外線固化型樹脂時，作為非相溶樹脂，可舉出聚酯樹脂、聚烯烴樹脂、聚苯乙烯樹脂、聚酰胺樹脂等。
上述聚酯樹脂，優(yōu)選的是以重均分子量是5,000～50,000的高分子量，特別優(yōu)選的是8,000～30,000。若聚酯樹脂的重均分子量小于5,000時，聚酯樹脂在硬化物層中成為適宜大的粒子進(jìn)行分散是困難的，是不理想的。另一方面，若聚酯樹脂的重均分子量大于50,000時，在調(diào)整涂敷液時，由于對于溶劑的溶解性降低，所以是不好的。
上述高分子量的聚酯樹脂，是通過將二元醇和二元羧酸聚合得到的非結(jié)晶性的飽和聚酯樹脂，是可溶解在能溶解上述紫外線固化型樹脂的共同溶劑中。
作為上述二元醇，例如可舉出乙二醇、丙二醇、1,3-丁二醇、1,4-丁二醇、1,6-己二醇、二甘醇、新戊二醇、1,4-環(huán)己二甲醇、氫化雙酚A等。
另外，作為上述二元羧酸，例如可舉出間苯二甲酸、對苯二甲酸、己二酸、鄰苯二甲酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐、六氫鄰苯二甲酸酐等。
在對于溶劑的溶解性不充分的范圍內(nèi)，可使三羥甲基丙烷或季戊四醇類的三元以上的醇及偏苯三酸酐或均苯四酸酐類的三元以上的羧酸進(jìn)行共聚。
在本發(fā)明中，作為硬化物層的主要構(gòu)成成份的紫外線固化型樹脂和高分子量的聚酯樹脂的配合比例，優(yōu)選的是每紫外線固化型樹脂100重量份，聚酯樹脂是0.10～20重量份、更優(yōu)選的是0.20～10重量份、最優(yōu)選的是0.50～5.0重量份。若上述聚酯樹脂的配合量，每紫外線固化型樹脂100重量份小于0.10重量份時，在硬化物層表面形成的突起變少是不理想的。若上述聚酯樹脂的配合量，每紫外線固化型樹脂100重量份大于20重量份時，硬化物層的霧值升高，透明性變差，所以是不理想的。相反，積極地利用由于高分子量的聚酯樹脂的分散粒子引起透明性的變差，可使用霧值高的薄膜作為防眩薄膜。
上述紫外線固化型樹脂、光聚合引發(fā)劑及高分子量的聚酯，可分別溶解在共同的溶劑中配制成涂敷液。所使用的溶劑沒有特殊的限制，例如可單獨(dú)或混合使用乙醇、異丙醇等類的醇系溶劑、醋酸乙酯、醋酸丁酯等類的酯系溶劑、二丁醚、乙二醇單乙醚等類的醚系溶劑、甲基異丁基酮、環(huán)己烷酮等類的酮系溶劑、甲苯、二甲苯、溶劑石腦油等類的芳香族烴系溶劑等。可考慮適應(yīng)涂層法的粘度等適宜選擇涂敷液中的樹脂成份的濃度。例如在涂敷液中紫外線固化型樹脂、光聚合引發(fā)劑及高分子量占聚酯樹脂的總量的比例是20～80重量％。另外，在此涂敷液中根據(jù)需要可添加其它公知的添加劑，例如硅油系均化劑等。
在本發(fā)明中，在透明塑料薄膜基材上涂敷調(diào)制了的涂敷液。對于涂層法沒有特別的限制，可使用刷涂法、凹版涂敷法、反轉(zhuǎn)涂敷法等以往公知的方法。涂層法的涂敷液可在下面的干燥工序中蒸發(fā)除去。在此工序中，在涂敷液中均勻溶解的高分子量的聚酯樹脂成為微粒子析出在紫外線固化型樹脂中。涂膜干燥后，在塑料薄膜中進(jìn)而照射紫外線，紫外線固化型樹脂交聯(lián)、硬化形成硬化物質(zhì)。在此硬化工序中，高分子量的聚酯樹脂的微粒子固定在硬涂層中，進(jìn)而在硬化物質(zhì)的表面形成突起。
另外，硬化物層的厚度，優(yōu)選的是0.10～15μm的范圍、更優(yōu)選的是0.50～10μm的范圍、最優(yōu)選的是1.0～8.0μm的范圍。在硬化物層的厚度比0.10μm薄時，后述突起難以充分形成。另一方面，大于15μm時，從生產(chǎn)性的觀點(diǎn)看是不理想的。
作為本發(fā)明所用的透明導(dǎo)電性膜片，只要是具有透明性及導(dǎo)電性的材料就沒有特別的限制，可舉出氧化銦、氧化錫、氧化鋅、銦-錫復(fù)合氧化物、錫-銻復(fù)合氧化物、鋅-鋁復(fù)合氧化物、銦-鋅復(fù)合氧化物、銀及銀合金、銅及銅合金、金等單層或2層以上的疊層結(jié)構(gòu)的。在這些中，從環(huán)境穩(wěn)定性和電路加工性的觀點(diǎn)看，優(yōu)選的是銦-錫復(fù)合氧化物、錫-銻復(fù)合氧化物。
透明導(dǎo)電性膜片的膜厚，優(yōu)選的是4～800nm的范圍、特別優(yōu)選的是5～500nm的范圍。在透明導(dǎo)電性膜片的膜厚比4nm薄時，難以成為連續(xù)的薄膜，難以顯示良好的導(dǎo)電性。另外，比800nm厚時，透明性容易降低。
作為本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜片的成膜方法，已知有真空蒸鍍法、濺射法、CVD法、離子涂層法、噴涂法等，根據(jù)所需的膜厚，可適宜選擇上述方法。
例如濺射法時，可使用氧化物靶的通常的濺射法或使用金屬靶的反應(yīng)性濺射法。此時，作為反應(yīng)性氣體，也可并用導(dǎo)入氧、氮、水蒸氣等、添加臭氧、等離子照射、離子加速等手段。另外，在不損害本發(fā)明目的的范圍內(nèi)，也可在基板上施加直流、交流、高頻率等。
另外，在透明塑料膜片上通過硬化物層成膜成透明導(dǎo)電性膜片時的溫度，優(yōu)選的是150℃以下。為了使成膜時的溫度做成超過150℃的溫度，必須使塑料薄膜的傳送速度極慢，這在工業(yè)上是不適宜的。
另外，進(jìn)行濺射時的真空度，優(yōu)選的是在0.01～13.0Pa的范圍內(nèi)進(jìn)行。在真空度比0.01Pa高的真空中，由于不能穩(wěn)定地放電，所以濺射不穩(wěn)定。另外，即使比13.0Pa低的真空度，由于仍然不能穩(wěn)定地放電，所以濺射也不穩(wěn)定。在蒸鍍法、CVD法等其它方法中也是同樣。
為了提高透明導(dǎo)電性膜片與硬化層的附著力，將硬化物層進(jìn)行表面處理是有效的。作為具體的方法，可舉出為了增加羰基、羧基、羥基，照射輝光或電暈放電的放電處理法、為了增加氨基、羥基、羰基等極性基，用酸或堿處理的化學(xué)藥品處理方法等。
本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜片，為了在利用上述相分離形成的具有表面凹凸的硬化物層上疊層透明導(dǎo)電層，也可在透明導(dǎo)電層上附與硬化物層的表面凹凸。具體地，在透明導(dǎo)電性膜片的表面上以3～200個/100μm2的頻度形成直徑0.05～3.0μm、高0.01～2.0μm的突起。
上述突起的直徑，必須是0.05～3.0μm、優(yōu)選的是0.06～2.0μm、特別優(yōu)選的是0.10～1.0μm。另外，突起的高度，必須是0.005～2.00μm、優(yōu)選的是0.050～1.00μm、特別優(yōu)選的是0.100～0.800μm。進(jìn)而，透明導(dǎo)電性膜片形成面的每100μm2的突起數(shù)必須是3～200個、優(yōu)選的是10～100個、特別優(yōu)選的是20～80個。
若將具有上述突起形狀的本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜片用于觸屏，由于固定電極與透明導(dǎo)電性膜片的滑動性優(yōu)良，所以即使使用聚縮醛制的筆(頂端形狀0.8mmR)，以5.0N的負(fù)荷進(jìn)行10萬次的直線滑動試驗(yàn)后也未發(fā)現(xiàn)透明導(dǎo)電性膜片劣化。
在突起的直徑不足0.05μm、突起的高度不足0.005μm、突起的個數(shù)不足3個/100μm2時，得不到優(yōu)良的滑動性，使用聚縮醛制的筆(頂端形狀0.8mmR)，以5.0N的負(fù)荷進(jìn)行10萬次的直線滑動試驗(yàn)后發(fā)現(xiàn)透明導(dǎo)電性膜片劣化，所以是不理想的。另一方面，在突起的直徑超過3μm、突起的高度超過2μm、突起的個數(shù)超過200個/100μm2時，滑動性的提高效果飽和，霧值增加，所以是不理想的。
通過濺射等真空工藝將透明導(dǎo)電性膜片成膜在如上述形成的硬化物層上，但若在硬化物層中和/或塑料薄膜中含有揮發(fā)成份，則對于真空工藝產(chǎn)生壞影響。
例如，在用濺射法形成銦-錫復(fù)合氧化物薄膜時，被濺射的銦原子和從硬化物層揮發(fā)的氣體在氣相中碰撞，銦原子的能量降低，其結(jié)果，形成在硬化物層上的透明導(dǎo)電性膜片的硬度降低的同時，膜質(zhì)變差。
另外，從硬化物層揮發(fā)的氣體成份以雜質(zhì)進(jìn)入薄膜中，仍然會形成膜質(zhì)差的硬度低的透明導(dǎo)電性膜片。若將疊層了的這樣膜質(zhì)差的透明導(dǎo)電性膜片的透明導(dǎo)電性膜片用于觸屏，以5.0N的負(fù)荷進(jìn)行10萬次的直線滑動試驗(yàn)后，透明導(dǎo)電性膜片磨耗劣化，是不好的。
例如，作為存在于硬化物層的揮發(fā)成份，可舉出用于上述硬化物層涂敷的液體溶劑或不能用于紫外線固化反應(yīng)的殘留的光聚合引發(fā)劑及其付產(chǎn)物等。
為了減少這些揮發(fā)成份，優(yōu)選的是在紫外線照射引起交聯(lián)反應(yīng)后進(jìn)行熱處理。此時的溫度，優(yōu)選的是100～200℃的范圍。在不足100℃時，減少揮發(fā)成份的效果不充分，在超過200℃時，難以保持薄膜的平面性，是不理想的。
另外，在進(jìn)行濺射等真空室中，真空暴露膜片，減少揮發(fā)成份也是有效的方法。在此時，提高接觸的輥溫度，用紅外線加熱器加熱膜片，可更減少揮發(fā)成份。
在這些成膜工藝中，在成膜之前，優(yōu)選的是將疊層了硬化物層的塑料薄膜保持在真空中。通過此真空暴露，可更減少揮發(fā)成份量。
經(jīng)過以上揮發(fā)成份除去工藝，揮發(fā)成份量在30ppm以下的透明導(dǎo)電性膜片，由于透明導(dǎo)電性膜片的膜質(zhì)優(yōu)良，所以若用于觸屏，即使使用聚縮醛制的筆(頂端形狀0.8mmR)，以5.0N的負(fù)荷進(jìn)行10萬次的直線滑動試驗(yàn)后也未發(fā)現(xiàn)透明導(dǎo)電性膜片劣化。
進(jìn)而在本發(fā)明中，通過提高透明導(dǎo)電性膜片的硬度，在用于觸屏?xí)r的筆滑動耐久性試驗(yàn)中，通過與玻璃基板的磨擦，可防止透明導(dǎo)電性膜片磨耗劣化。
構(gòu)成透明導(dǎo)電性膜片的金屬氧化物，從電子線衍射像可分類成非晶性和結(jié)晶性。通過熱處理非晶性金屬氧化物，可得到結(jié)晶性金屬氧化物。作為硬度，結(jié)晶性金屬氧化物，一般比非晶性金屬氧化物高，但若將構(gòu)成導(dǎo)電性膜片的金屬氧化物進(jìn)行結(jié)晶化，發(fā)現(xiàn)導(dǎo)電性膜片容易變脆，在通過聚縮醛制的筆的直線滑動試驗(yàn)后，發(fā)生裂紋。
為了提高非晶性的透明導(dǎo)電性膜片的硬度，在成膜透明導(dǎo)電性膜片時，使用以下的兩種方法是有效的。
(1)提高薄膜基板的溫度。
(2)去除成膜氛圍中的水等雜質(zhì)。
為了提高透明導(dǎo)電性膜片的硬度，提高構(gòu)成基板的薄膜的溫度，是重要點(diǎn)之一。這是由于在透明導(dǎo)電性膜片成膜時，蒸鍍粒子堆積時，在基板(膜片)表面形成遷移，通過能量作用在穩(wěn)定狀態(tài)，得到填充密度非常高的透明導(dǎo)電性膜片的緣故。由于以高密度充填將金屬氧化物的蒸鍍粒子成膜在膜片基材上，所以硬度非常高。
例如，在使用濺射法的卷繞式裝置，將透明導(dǎo)電性膜片成膜在膜片上時，在膜片背面(與透明導(dǎo)電性膜片形成面相反面)上提高接觸輥溫度，可提高構(gòu)成基板的膜片的溫度。
在構(gòu)成基板的透明塑料薄膜上成膜透明導(dǎo)電性膜片時的溫度，優(yōu)選的是做成40～150℃。若成膜時的溫度超過150℃時，塑料薄膜表面變軟，在真空室運(yùn)行時薄膜表面容易損傷。另外，在不足40℃的溫度時，難以得到硬度高的導(dǎo)電性膜片。
對于控制輥的溫度，在輥內(nèi)設(shè)置水路，在此水路中，只要使調(diào)節(jié)溫度的熱介質(zhì)流動就可以。作為此熱介質(zhì)，沒有特別限制，但優(yōu)選的是可舉出水或油、乙二醇、丙二醇等單體及其混合物。
另外，為了得到硬度高的透明導(dǎo)電性膜片，盡可能地除去成膜氛圍中的水等雜質(zhì)，也是重要的一點(diǎn)。
例如，在用濺射法成膜時，優(yōu)選的是在進(jìn)行濺射前，將真空室內(nèi)的壓力排氣到0.001Pa以下后，將Ar等惰性氣體和氧等反應(yīng)性氣體導(dǎo)入到真空室中，在0.01～10Pa的壓力氛圍中發(fā)生放電，進(jìn)行濺射。另外，即使使用蒸鍍法、CVD法等其它方法也是同樣的。
如上所述，盡可能地除去成膜氛圍中的水份等雜質(zhì)，可得到具有膜質(zhì)優(yōu)良且高硬度的透明導(dǎo)電性膜片。為此，若將此透明導(dǎo)電性膜片用于觸屏，即使使用聚縮醛制的筆(頂端形狀0.8mmR)，以5.0N的負(fù)荷進(jìn)行10萬次的直線滑動試驗(yàn)后也未發(fā)現(xiàn)透明導(dǎo)電性膜片劣化。
另外，為了得到硬度更高的透明導(dǎo)電性膜片，在成膜后，也可以用加熱、紫外線照射等方法付與能量。在付與這些能量的方法中，優(yōu)選的是在氧氛圍下的加熱處理。
加熱處理溫度，優(yōu)選的是150～200℃的范圍。在不足150℃溫度時，膜質(zhì)改善的效果充分。另一方面，在超過200℃的溫度時，難以保持薄膜的平面性，進(jìn)而透明導(dǎo)電性膜片的結(jié)晶化度變得非常高，成為脆的透明導(dǎo)電性膜片。
另外，作為加熱處理時間，優(yōu)選的是0.2～60分鐘。不足0.2分鐘時，即使在220℃左右的高溫下進(jìn)行熱處理，膜質(zhì)改善的效果也不充分，是不理想的。另一方面，在超過60分鐘的加熱處理時間時，在工業(yè)上是不適宜的。
另外，進(jìn)行加熱處理的氛圍，優(yōu)選的是預(yù)先排氣到0.2Pa以下的壓力后在用氧充滿了的空間下進(jìn)行。此時的壓力，優(yōu)選的是大氣壓以下。
另外，為了進(jìn)一步提高作為觸屏?xí)r的最外層(筆輸入面)的耐擦傷性，優(yōu)選的是在與形成透明塑料膜片的透明導(dǎo)電性膜片的表面的相反面(作為觸屏?xí)r的最外層的筆輸入面)上設(shè)置硬涂層。上述硬涂層的硬度，優(yōu)選的是以鉛筆硬度2H以上。在低于2H的硬度時，作為透明導(dǎo)電性膜片的硬涂層在耐擦傷性上是不充分的。
上述硬涂層的厚度，優(yōu)選的是0.5～10μm。在不足0.5μm時，耐擦傷性不充分，在比10μm厚時，從生產(chǎn)性的觀點(diǎn)看，是不好的。
用于上述硬涂層的固化型樹脂組合物，優(yōu)選的是可舉出具有丙烯酸酯系的官能基的，例如聚酯樹脂、聚醚樹脂、環(huán)氧樹脂、聚氨酯樹脂、醇酸樹脂、螺環(huán)縮醛樹脂、聚丁二烯樹脂、聚硫醇聚烯樹脂、多元醇等多官能化合物的(甲基)丙烯酸酯等低聚物或預(yù)聚物等。另外，作為反應(yīng)性稀釋劑可以使用乙基(甲基)丙烯酸酯、乙基己基(甲基)丙烯酸酯、苯乙烯、甲基苯乙烯、N-乙烯吡咯烷酮等單官能單體及多官能單體，例如使用較大量含有三羥甲基丙烷(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸己二醇酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二甘醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊基乙二醇二(甲基)丙烯酸酯等。
在本發(fā)明中，優(yōu)選的是將作為低聚物的尿烷丙烯酸酯和作為單體的二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等混合。
特別優(yōu)選的是聚酯丙烯酸酯和聚氨酯丙烯酸酯的混合物。聚酯丙烯酸酯涂膜非常硬適宜作為硬涂層?？墒牵瑢τ趩为?dú)聚酯丙烯酸酯的涂膜，耐沖擊性低容易變脆。在此，為了對于涂膜給予耐沖擊性及柔軟性，優(yōu)選的是并用聚氨酯丙烯酸酯。
即在聚酯丙烯酸酯中并用聚氨酯丙烯酸酯，可保持涂膜作為硬涂層的硬度，且具有耐沖擊性及柔軟性的功能。
聚氨酯丙烯酸酯對于100重量份的聚酯丙烯酸酯的配合比例，優(yōu)選的是30重量份以下。若此配合比例超過30重量份時，涂膜過于柔軟，耐沖擊性不充分。
上述固化型樹脂組合物的硬化方法，可使用通常的硬化方法，即通過加熱、電子線或紫外線的照射固化的方法。例如，在電子線固化時，使用具有從克庫勒瓦爾登型、范德格拉夫型、共振變壓型、絕緣鐵芯變壓器型、直線型、代米特隆型、高頻率型等的各種電子線加速器放出的50～1000keV，優(yōu)選的是100～300keV的能的電子線等，另外，在紫外線固化時，可利用從超高壓水銀燈、高壓水銀燈、低壓水銀燈、碳弧、疝弧、金屬鹵等光線發(fā)生的紫外線等。
進(jìn)而，在電離放射線固化時，在上述固化型樹脂組合物中，優(yōu)選的是混合作為光聚合引發(fā)劑的苯乙酮類、二苯乙酮類、米期勒-苯甲酰苯甲酸酯、硫黃原酮、α-異戊克什姆酯、四甲基秋姆蘭單亞硫酸酯、硫雜萘酮和作為光增敏劑的正丁胺、三乙胺、三正丁基膦等。在本發(fā)明中，特別優(yōu)選的是混合作為低聚物的尿烷丙烯酸酯、作為單體的二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。
為了對于硬涂層上付與防眩性，在固化型樹脂中分散CaCO3或SiO2等無機(jī)粒子，在硬涂層的表面上形成凹凸形狀，是有效的。例如，為了形成凹凸，可通過涂敷含有固化型樹脂組合物的涂液后，疊層在表面具有凸形狀的賦形膜片，從此賦形膜片照射紫外線固化固化型樹脂后，只剝離賦形膜片而得到。
對于上述賦形膜片，可使用在具有脫模性的聚對苯二甲酸乙二醇酯(以后簡稱PET)等基材薄膜上設(shè)置所希望的凸形狀的或在PET等基材薄膜上形成纖細(xì)的凸層的等。其凸層的形成，例如可通過使用無機(jī)粒子和粘合樹脂組成的組合物，在基材薄膜上涂敷而得到的。上述粘合樹脂，例如可使用以聚異氰酸酯交聯(lián)的丙烯酸聚醇，作為無機(jī)粒子可使用CaCO3或SiO2等。此外，在制造PET時，也可使用混練SiO2等無機(jī)粒子的PET。
在將此賦形膜片疊層在紫外線固化型樹脂的涂膜上后，照射紫外線固化涂膜時，賦形膜片將PET作為基材的膜片時，在該膜片上吸收紫外線的短波長側(cè)，有紫外線固化型樹脂的固化差的缺點(diǎn)。因此，必須使用疊層在紫外線固化型樹脂的涂膜的賦形膜片的透過率在20％以上的。
另外，在用于觸屏?xí)r，為了進(jìn)一步提高可視光的透過率，在硬涂層上也可進(jìn)行低反射處理。此低反射處理，優(yōu)選的是將具有與硬涂層的折射率不同的折射率的材料單層或2層以上地疊層。在單層結(jié)構(gòu)時，優(yōu)選的是使用比硬涂層小的折射率的材料。另外，在2層以上的多層結(jié)構(gòu)時，與硬涂層鄰接的層，使用具有比硬涂層大的折射率的材料，在此上層可選擇具有比其小的折射率的材料。作為構(gòu)成這樣的低反射處理的材料，無論有機(jī)材料或無機(jī)材料，只要滿足上述折射率的關(guān)系，就沒有特別限制。例如，優(yōu)選的是使用CaF2、MgF2、NaAlF4、SiO2、ThF4、ZrO2、Nd2O3、SnO2、TiO2、ZrO2、CeO2、ZnS、In2O3等介電質(zhì)。
此低反射處理也可以是真空蒸鍍法、濺射法、CVD法、離子噴射法等熔融涂層工藝，也可以是凹版方式、反轉(zhuǎn)方式、模方式等濕式涂層工藝。
進(jìn)而，在疊層此低反射處理層之前，作為預(yù)處理，也可將電暈放電處理等離子處理、濺射處理、電子線照射處理、紫外線照射處理、底層處理、易粘結(jié)處理等公知的表面處理施以硬涂層上。
使用本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜片，通過粘結(jié)劑將未形成透明導(dǎo)電性膜片的面與透明樹脂板疊層，可得到觸屏的固定電極所用的透明導(dǎo)電性疊層板。即，將固定電極做成從玻璃到樹脂制，可制作輕量且難以裂開的觸屏。
上述粘結(jié)劑只要是具有透明性的，就沒有特別限制，例如優(yōu)選的是丙烯酸系粘結(jié)劑、硅酮系粘結(jié)劑、橡膠系粘結(jié)劑等。此粘結(jié)劑的厚度，沒有特別限制，但優(yōu)選的是通常設(shè)定在1～100μm的范圍。粘結(jié)劑的厚度不足1μm時，難以得到實(shí)用上沒有問題的粘結(jié)性，在超過100μm的厚度時，從生產(chǎn)性的觀點(diǎn)看是不理想的。
通過此粘結(jié)劑貼合的透明樹脂板，是為了付與與玻璃相同的機(jī)械強(qiáng)度而使用的，優(yōu)選厚度為0.05～5.0mm的范圍。在上述透明樹脂板的厚度不足0.05mm時，機(jī)械強(qiáng)度比玻璃差。另一方面，在厚度超過5.0mm時，過于厚，對用于觸屏是不適當(dāng)?shù)摹Ａ硗?，此透明樹脂板的材質(zhì)，可使用與上述透明塑料薄膜相同的。
在圖13中，表示使用本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜片10的觸屏的例子。它是使一對屏板的透明導(dǎo)電性膜片相對地，中間夾有有孔玻璃珠等隔離物20配置的觸屏，上述屏板具有在透明塑料膜片11上疊層硬化物層12和透明導(dǎo)電性膜片13的透明導(dǎo)電性膜片10。其一方的屏板上使用本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜片10。另外，在與上述透明塑料膜片11的硬化物層12相反側(cè)的面上疊層硬涂層14。此觸屏，在用筆輸入文字時，通過筆的擠壓，與對向的透明導(dǎo)電性膜片之間接觸，電氣地處于ON狀態(tài)，可檢測出觸屏上筆的位置。通過連續(xù)地且正確地檢測此筆的位置，可從筆的軌跡認(rèn)識文字。此時，若筆接觸側(cè)的可動電極使用本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜片，由于筆輸入耐久性優(yōu)良，所以可做成長期穩(wěn)定的觸屏。
另外，圖14表示使用本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜片10及透明導(dǎo)電性板40而得到的不使用玻璃板的塑料制的觸屏的斷面圖。此塑料制的觸屏，由于不使用圖13的玻璃板30，所以非常輕且碰撞后不破裂。在此，用粘結(jié)劑粘結(jié)透明導(dǎo)電性板40的透明樹脂板42和透明塑料膜片11。
以下，用實(shí)施例進(jìn)一步詳細(xì)說明本發(fā)明，但本發(fā)明不受這些實(shí)施例的任何限制。另外，透明導(dǎo)電性膜片的性能及觸屏的筆輸入耐久性試驗(yàn)，用如下方法進(jìn)行測定。
光線透過率及霧值根據(jù)JIS-K7105，使用日本電色工業(yè)(株)制NDH-1001DP，測定光線透過率及霧值。
表面電阻率根據(jù)JIS-K7194，使用4端子法測定。測定機(jī)使用三菱油化(株)制LotestAMCP-T400。
表面的突起數(shù)使用掃描型電子顯微鏡(日立制作所制、S-800)，進(jìn)行薄膜的透明導(dǎo)電性膜片形成面的表面觀察，將每膜片表面100μm2的突起數(shù)，對于膜片表面10處進(jìn)行照相攝影，將其平均數(shù)作為突起數(shù)。
突起的直徑及高度膜片的透明導(dǎo)電性膜片形成面的突起的直徑及高度測定，是使用掃描探頭顯微鏡(Seiko Instruments社制、SPA300)進(jìn)行的。對于50個突起進(jìn)行測定，取這些的平均值。掃描器使用100微米掃描器，通過以下條件進(jìn)行原子間力顯微鏡觀察。
懸臂SI-DF3(硅制彈簧常數(shù)2N/m左右的)掃描方式DFM方式掃描速度0.5～2.0Hz像素數(shù)512 pick cell×256 pick cell測定環(huán)境大氣中(溫度20℃×濕度65％RH)動摩擦系數(shù)根據(jù)JIS-P8147，以拉伸速度200m/分鐘、負(fù)荷43.1N(4.4kgf)，測定疊層了銦-錫復(fù)合氧化物(ITO)薄膜的玻璃(日本曹達(dá)(株)制450Ω/方品)的ITO面和本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜片的透明導(dǎo)電性膜片的動磨擦系數(shù)。
揮發(fā)成份量將透明導(dǎo)電性膜片3g切成3cm×0.5cm短柵狀，通過固體清洗和收集裝置(日本分析工業(yè)制、JHS-100)，在He中100℃下加熱脫離15分鐘。脫離成份被冷捕集到吸收劑中，該吸收劑是裝在用液氮冷卻了的吸收材料中(石英棉)，通過急速的加熱導(dǎo)入到GC-MS裝置(赫萊特帕卡社制，HP6890及HP5973)，定量透明導(dǎo)電性膜片中的揮發(fā)成份。
粘著力的測定使用聚酯系粘結(jié)劑將40μm厚的離子鍵聚合物膜片疊層在75μm厚的聚對苯二甲酸乙二醇酯膜片上制作測定粘著力的疊層體。此粘著力測定用疊層體的離子鍵聚合物聚合物面和透明導(dǎo)電性膜片的透明導(dǎo)電性面是向?qū)Φ呐渲茫?30℃下熱封。用180度剝離法剝離粘著力測定用疊層體和透明導(dǎo)電性膜片，將此剝離力作為粘著力。此時的剝離速度是1000mm/分鐘。
筆輸入的耐久性試驗(yàn)對聚縮醛制的筆(頂端的形狀0.8mmR)加上5.0N的負(fù)載，在觸屏上進(jìn)行10萬次(往返5萬次)的滑動試驗(yàn)。此時的滑動距離是30mm，滑動速度是60mm/秒。在滑動試驗(yàn)后，首先用眼睛觀察滑動部是否有白化現(xiàn)象。進(jìn)而，在筆負(fù)載0.5N下，在上述滑動部上筆記20mmφ的O印記號，在觸屏是是否可以正確地讀出進(jìn)行評價。進(jìn)而，測定用筆負(fù)載0.5N時的ON電阻(可動電極(膜片電極)和固定電極接觸時的電阻值)。
重均分子量聚酯樹脂0.03g溶解在四氫呋喃10ml中，用GPC-LALLS裝置低角度光散射光度計LS-8000(東曹株式會社制，四氫呋喃溶劑，參照物聚苯乙烯進(jìn)行測定)。
透明導(dǎo)電性膜片的透明導(dǎo)電性膜片面的硬度將透明導(dǎo)電性膜片樣品切成7mm×7mm的小片，用2液混合環(huán)氧系粘結(jié)劑將與透明導(dǎo)電性膜面相反的面固定在鋁制的樣品支架上。使用Nano Indenter XP(東陽技術(shù)社制)，用下述負(fù)載加振的連續(xù)剛性測定法測定透明導(dǎo)電性膜片的透明導(dǎo)電性膜片面的硬度。
壓子是使用曲率半徑40nm的AccuTip型巴克匹其金剛石塊。
(1)表面檢測將壓子以20nm/秒的速度對著透明導(dǎo)電性膜片的透明導(dǎo)電性膜面下落，其剛性是以自由振動(大氣中)時的1.5倍時作為表面。
(2)加上負(fù)載的過程將負(fù)載比例做成(dF/dt)/F=0.05(F負(fù)載)，用45Hz加振調(diào)制此負(fù)載。另外將壓子壓入200nm。
(3)去負(fù)載過程在一定負(fù)載下保持15秒后，以加入負(fù)載過程的最終到達(dá)速度的70％的速度下，除去最大負(fù)載的80％部分。
(4)偏移的檢測以最大負(fù)載的20％，每2秒測定50點(diǎn)的變位，計算出偏移速度。使用此值修正負(fù)載-變位曲線。
上述測定結(jié)束后，從加負(fù)載過程中的測定值，用Oliver&Pharr的方法計算壓子的實(shí)際接觸深度，使用預(yù)先壓子形狀校正式算出實(shí)際接觸投影斷面積。用面積除各測定點(diǎn)的負(fù)載后作為硬度(GPa)。
在樣品的中央部每隔40μm測定10個點(diǎn)，得到該測定值，取這些的平均值，從硬度和壓入深度的圖求出最大深度四舍五入到小數(shù)點(diǎn)的第3位，將其作為透明導(dǎo)電性膜片的透明導(dǎo)電性膜片面的硬度(GPa)。
圖26是實(shí)施例14的透明導(dǎo)電性膜片面的硬度和壓子壓入深度的關(guān)系的圖。此時的薄膜硬度是0.51GPa。
透明導(dǎo)電性膜片的結(jié)晶或非結(jié)晶的判定將透明導(dǎo)電性膜片浸泡在1,1,1,3,3,3-六氟異丁醇中二天，溶解塑料膜及硬化性高分子硬化層，得到透明導(dǎo)電性膜片的單獨(dú)膜。接著，將溶液中的透明導(dǎo)電性膜片放在微細(xì)網(wǎng)上，進(jìn)行1日的風(fēng)干，干燥溶液。用穿透性電子顯微鏡(日本電子社制，JEM-2010)測定干燥后的樣品的電子線衍射像。電子線的條件是，加速電壓為200kV、波長為0.0025nm。從電子線衍射像判定透明導(dǎo)電性膜片是結(jié)晶的，還是非結(jié)晶的。
透明導(dǎo)電性膜片形態(tài)的影響(實(shí)施例1～8，比較例1～4)實(shí)施例1～3及比較例1、2在含有光聚合引發(fā)劑的丙烯酸樹脂(大日精化工業(yè)(株)，塞卡比姆EXF-01J)100重量份中，添加按照表1所示量的共聚合聚酯樹脂(東洋紡績(株)制，百龍200，重均分子量18,000)，作為溶劑，加入甲苯/MEK(8/2；重量比)的混合溶劑，使其固形成份濃度達(dá)到50重量％，攪拌，使其均勻溶解，配制成涂敷液。用麥耶刷將配制好的涂敷液涂在一側(cè)面上具有易粘結(jié)層的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(東洋紡績(株)制、A4140、厚度188μm)的粘結(jié)易處理面上，涂膜的厚度是5μm，在80℃下，干燥1分鐘后，使用紫外線照射裝置(埃估拉菲克斯(株)制，UB042-5AM-W型)進(jìn)行紫外線照射(光量300mJ/cm2)，使涂膜硬化。
接著，在此硬化物層上做成銦-錫復(fù)合氧化物構(gòu)成的透明導(dǎo)電性膜片。此時，對于靶是使用含有10重量％氧化錫的氧化銦作為靶(三井金屬礦業(yè)(株)制，密度7.1g/cm3)，其上加有2.0W/cm2的DC電力。另外，以130sccm的流量通入Ar氣體，以10sccm的流量通入O2氣體，在0.4Pa的氣氛下，用磁控管濺射法成膜。但不是通常的DC，為了防止電弧放電，以50kHz周期加入+20V的5μs寬的脈沖。另外，用-10℃的冷卻輥一邊冷卻薄膜，一邊進(jìn)行濺射。用濺射工藝監(jiān)測器(伯東(株)制，SPM200)經(jīng)常監(jiān)測，同時為了使銦-錫復(fù)合氧化物薄膜中的氧化度保持一定，向氧氣的流量計及DC電源中進(jìn)行反饋。通過以上的操作，堆積厚度27nm的由銦-錫復(fù)合氧化物構(gòu)成的透明導(dǎo)電性膜片。
另外，使用此透明導(dǎo)電性膜片作為一面的屏板，作為另一個面的屏板使用在玻璃基板上用等離子CVD法得到的厚度20nm的由銦-錫復(fù)合氧化物薄膜(氧化物含量10重量％)構(gòu)成的透明導(dǎo)電性膜片。將此2枚的屏板，使透明導(dǎo)電性膜片相互對置地，中間加入直徑30μm的環(huán)氧樹脂珠，做成觸屏。
實(shí)施例4在實(shí)施例2的透明塑料薄膜基材/硬化物層上成膜由錫-銻復(fù)合氧化物組成的透明導(dǎo)電性膜片。此時，對于靶使用含有氧化銻5重量％的氧化銦用于靶(三井金屬礦業(yè)(株)制、密度5.7g/cm3)，施加1.5W/m2的DC電力。另外，以130sccm的流量流動Ar氣體、以20sccm的流量流動O2氣體，在0.40Pa的氛圍下用DC磁控管濺射法成膜。但不是通常的DC，為了防止放電，以100kHz周期施加+20V的5μs寬的脈沖。另外，用-10℃的冷卻邊冷卻薄膜；邊進(jìn)行濺射。用濺射工藝監(jiān)視器(伯東(株)制、SPM200)觀察氛圍氣的氧分壓，反饋在氧氣體的流量計及DC電源上使銦-錫復(fù)合氧化物薄膜中的氧化度保持一定。如上所述，堆積由厚度30nm的錫-銻復(fù)合氧化物構(gòu)成的透明導(dǎo)電性膜片。
表1表示得到的透明導(dǎo)電性膜片的性能試驗(yàn)結(jié)果。另外，與實(shí)施例2相同地制作觸屏。
實(shí)施例5在由實(shí)施例2的透明塑料薄膜基材/硬化物層構(gòu)成的疊層體的、與硬化物層面相反面上用凹版反轉(zhuǎn)法涂敷由聚酯丙烯酸酯和聚氨酯丙烯酸酯的混合物構(gòu)成的紫外線固化型樹脂(大日精化工業(yè)(株)制、EXG)，以做成膜厚5μm(干燥時)，作為硬涂層樹脂將溶劑干燥。然后，以10m/分鐘的速度通過160W的紫外線照射裝置的下部，使紫外線固化型樹脂固化，形成硬涂層。
在由此硬涂層/透明塑料薄膜基材/硬化物層構(gòu)成的疊層體的硬化物層上，與實(shí)施例4相同地成膜錫-銻復(fù)合氧化物。另外，使用此透明導(dǎo)電性膜片，與實(shí)施例2相同地制作觸屏。
實(shí)施例6與實(shí)施例2相同地制作由透明塑料薄膜基材/硬化物層構(gòu)成的疊層體。在與此疊層體的硬化物層面相反面上用凹版反轉(zhuǎn)法作為硬涂層，涂敷由聚酯丙烯酸酯和聚氨酯丙烯酸酯的混合物構(gòu)成的紫外線固化型樹脂(大日精化工業(yè)(株)制、EXG)，以做成膜厚5μm(干燥時)，將溶劑干燥。然后，在表面上疊層形成微細(xì)的凸形狀的薄膜的賦形薄膜(東麗(株)制、X)，以使面與紫外線固化型樹脂鄰接。此賦形薄膜的表面形狀，平均表面粗度是0.40μm、突起的平均間隔是160μm、最大表面粗度是25μm。將這樣疊層的薄膜以10m/分鐘的速度通過160W的紫外線照射裝置的下部，使紫外線固化型樹脂固化。接著，剝離賦形薄膜，在表面形成具有施以凹形狀加工的防眩效果的硬疊層。
在由此防眩型硬涂層/透明塑料薄膜基材/硬化物層構(gòu)成的疊層體的硬化物層上，與實(shí)施例4相同地作為透明導(dǎo)電性膜片成膜錫-銻復(fù)合氧化物薄膜。另外，使用此透明導(dǎo)電性膜片，作為板，與實(shí)施例2相同地制作觸屏。
實(shí)施例7與實(shí)施例6相同地制作由防眩性硬涂層/透明塑料薄膜基材/硬化物層/透明導(dǎo)電性層構(gòu)成的疊層體。接著，在此防眩性硬涂層上，依次疊層TiO2(折射率2.30、膜厚15nm)、SiO2(折射率1.46、膜厚29nm)，TiO2(折射率2.30、膜厚109nm)、SiO2(折射率1.46、膜厚87nm)，形成防止反射處理層。在形成TiO2薄膜時，使用鈦?zhàn)鳛榘?，用直流磁控管濺射法，真空度為0.27Pa，以500sccm的流量通入Ar氣體，以80sccm的流量通入O2氣體。另外在基板的背面設(shè)置表面溫度為0℃的冷卻輥，冷卻透明的塑料膜片。此時的靶上供給7.8W/cm2的電力，動態(tài)速率是23nm·m/分鐘。
在形成SiO2薄膜時，使用有機(jī)硅作為靶，用直流磁控管濺射法，真空度為0.27Pa，以500sccm的流量通入Ar氣體，以80sccm的流量通入O2氣體。另外在基板的背面設(shè)置表面溫度為0℃的冷卻輥，冷卻透明的塑料膜片。此時的靶上供給7.8W/cm2的電力，動態(tài)速率是23nm·m/分鐘。另外，將此透明導(dǎo)電性膜片作為一側(cè)的屏板使用，與實(shí)施例2相同地制作觸屏。
實(shí)施例8將與實(shí)施例相同地制作的透明導(dǎo)電性膜片通過丙烯酸系粘結(jié)劑貼在厚度1.0mm的聚碳酸制的板上，制作透明導(dǎo)電性疊層板。作為固定電極使用此透明導(dǎo)電性疊層板，作為可動電極使用實(shí)施例6的透明導(dǎo)電性膜片，與實(shí)施例2相同地制作觸屏。
比較例3代替聚酯樹脂，制作含有氧化硅微粒子的硬化物層。在含有光聚合引發(fā)劑的丙烯酸樹脂(大日精化工業(yè)(株)，塞卡比姆EXF-01J)100重量份中，添加0.5重量份的平均粒徑1.5μm的球狀單分散的氧化硅微粒子(日本觸媒(株)制，西赫斯特KE-P150)，加入80重量份的甲苯溶劑，攪拌后得到氧化硅微粒子均勻分散的涂料。用麥耶刷將配制好的涂敷液涂在一側(cè)面上具有易粘結(jié)層的雙軸定向聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(東洋紡績(株)制，A4140，厚度188μm)的粘結(jié)易處理面上，涂膜的厚度是5μm，在80℃下，干燥1分鐘后，使用紫外線照射裝置(埃估拉菲克斯(株)制，UB042-5AM-W型)進(jìn)行紫外線照射(光量300mJ/cm2)，使涂膜硬化。在得到的透明塑料膜的基材硬化層上，與實(shí)施例相同地成膜錫-銻復(fù)合氧化物膜。進(jìn)而，使用此透明導(dǎo)電性膜片與實(shí)施例2相同地制作觸屏。
比較例4在與實(shí)施例1相同的一面上，即具有異粘結(jié)層的雙軸拉伸的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(東洋紡績(株)制，A4140，厚度188μm)的粘結(jié)易處理面上，涂敷有機(jī)硅化合物的丁醇、異丙醇的混合醇溶液(濃度1重量％)后，100℃下干燥1分鐘。此后，使用氧化錫含量5重量％的銦合金靶，基板120℃下，在有機(jī)硅化合物上進(jìn)行成膜。另外，真空度為0.27Pa，作為氣體，以130sccm的流量通入Ar氣體，以40sccm的流量通入O2氣體，在靶上施加1.5W/cm2電力。成膜后，進(jìn)而在150℃下加熱處理10分鐘，制作結(jié)晶性的銦-錫復(fù)合氧化物薄膜。另外，與實(shí)施例2相同地制作觸屏。
以上實(shí)施例及比較例的測定結(jié)果如表1及圖1～12所示。在圖15中表示了實(shí)施例4的透明導(dǎo)電性膜片上的透明導(dǎo)電性膜片面的掃描電子顯微鏡的表面形態(tài)。
從表1結(jié)果可以看出，實(shí)施例1～8所記載的透明導(dǎo)電性膜片面上具有特定形態(tài)(直徑及高)、特定個數(shù)的突起的本發(fā)明透明導(dǎo)電性膜片，其霧值低透明性良好。進(jìn)而，使用此透明導(dǎo)電性膜片的觸屏，由于表面突起，滑動性好，所以在用聚縮醛筆(頂端形狀0.8mmR)，加有5.0N負(fù)載下進(jìn)行10萬次滑動試驗(yàn)后，在滑動部(圖1～圖8的1號)上沒有白化現(xiàn)象，ON的電阻也沒有異常。另外也可正確地認(rèn)識輸入的O印符號。
與此相反，透明導(dǎo)電性膜片的突起的直徑、高度及個數(shù)都在本發(fā)明下限外的比較例1的透明導(dǎo)電性膜片，雖然其透明性優(yōu)良，但是突起的滑動性不太好，所以用作觸屏?xí)r，在用聚縮醛筆(頂端形狀0.8mmR)，加有5.0N負(fù)載下進(jìn)行10萬次滑動試驗(yàn)后，在滑動部(圖9的1號)上有白化現(xiàn)象，ON的電阻也上升。另外也不能正確地認(rèn)識輸入的O印符號。
另一方面，透明導(dǎo)電性膜片的突起的直徑、高度及個數(shù)都在本發(fā)明下限外的比較例2的透明導(dǎo)電性膜片，霧值高，透明性差。
硬化物層中添加了氧化硅粒子的比較例3的透明導(dǎo)電性膜片，霧值高，進(jìn)而突起非常大，沒有充分的滑動性。因此，用作觸屏?xí)r，在用聚縮醛筆(頂端形狀0.8mmR)，加有5.0N負(fù)載下進(jìn)行10萬次滑動試驗(yàn)后，在滑動部(圖11的1號)上有白化現(xiàn)象，ON的電阻也上升。另外也不能在滑動部正確地認(rèn)識輸入的O印符號。
在使用結(jié)晶性的銦-錫復(fù)合氧化物薄膜、使用透明導(dǎo)電性膜片面沒有突起的比較例4的透明導(dǎo)電性膜片的觸屏?xí)r，在用聚縮醛筆(頂端形狀0.8mmR)，加有5.0N負(fù)載下進(jìn)行10萬次滑動試驗(yàn)后，在滑動部(圖12的1號)上雖然沒有白化現(xiàn)象，但ON的電阻上升。另外也不能正確地認(rèn)識輸入的O印符號。這是由于透明導(dǎo)電性膜片面由于沒有突起，滑動性惡化，由于滑動試驗(yàn)而產(chǎn)生裂紋的緣故。
表1
揮發(fā)成份對透明導(dǎo)電性膜片的影響實(shí)施例9在含有光聚合引發(fā)劑的丙烯酸樹脂(大日精化工業(yè)(株)，塞卡比姆EXF-01J)100重量份中，添加3重量份的共聚合聚酯樹脂(東洋紡績(株)制，百龍200，重均分子量18,000)，作為溶劑，加入甲苯/MEK(8/2；重量比)的混合溶劑，使其固形成份濃度達(dá)到50重量％，攪拌，使其均勻溶解，配制成涂敷液。用麥耶刷將涂敷液涂雙軸定向的聚對苯二甲酸乙二醇酯膜片(東洋紡績(株)制，A4340，厚度188μm)上，涂膜的厚度是5μm，在80℃下，干燥1分鐘后，使用紫外線照射裝置(埃估拉菲克斯(株)制，UB042-5AM-W型)進(jìn)行紫外線照射(光量300mJ/cm2)，使涂膜硬化。接著在180℃下進(jìn)行加熱1分鐘的處理，減少揮發(fā)成份。
另外，為了將層壓此硬化層的塑料膜片暴露于真空，在真空室中進(jìn)行開卷處理。此時的壓力是0.002Pa，暴露時間是10分鐘。另外中心輥冷卻溫度是40℃。
接著，在此硬化物層上成膜由銦-錫復(fù)合氧化物構(gòu)成的透明導(dǎo)電性膜片。此時作為靶使用含有5重量％氧化錫的氧化銦(三井金屬礦業(yè)(株)制，密度7.1g/cm3)，施加2W/cm2的電力。
另外，以130sccm的流量通入Ar氣體，以10sccm的流量通入O2氣體，在0.4Pa的氣氛下，用磁控管濺射法成膜。但不是通常的DC，為了防止電弧放電，使用日本意埃努愛制PRG-100，以50kHz周期加入5μs寬的脈沖。另外，在中心輥冷卻溫度40℃下進(jìn)行濺射。
另外，用濺射工藝監(jiān)測器(伯東(株)制，SPM200)經(jīng)常監(jiān)測，同時為了使銦-錫復(fù)合氧化物薄膜中的氧化度保持一定，向氧氣的流量計及DC電源中進(jìn)行反饋。通過以上的操作，堆積厚度22nm的由銦-錫復(fù)合氧化物構(gòu)成的透明導(dǎo)電性膜片。進(jìn)而，使用此透明導(dǎo)電性膜片，與實(shí)施例1相同地制作觸屏。
實(shí)施例10在與實(shí)施例9的透明塑料膜片基材/硬化物層構(gòu)成的疊層體的硬化物層面的相反面上，用凹版反轉(zhuǎn)法涂敷聚酯丙烯酸酯和聚氨酯丙烯酸酯的混合物構(gòu)成的紫外線固化型樹脂，使溶劑干燥，膜厚為5μm。而后，以10m/分鐘的速度通過160W的紫外線照射裝置，使其形成硬涂層。接著在180℃下進(jìn)行1分鐘的加熱處理，減少揮發(fā)成份。
在此由硬涂層/透明塑料膜基材/硬化物層構(gòu)成的疊層體上，與實(shí)施例2相同地成膜銦-錫氧化物薄膜。進(jìn)而，使用此透明導(dǎo)電性膜片，與實(shí)施例1相同地制作觸屏。
實(shí)施例11與實(shí)施例9相同地制作由透明塑料膜基材/硬化物層構(gòu)成的疊層體。在與此疊層體的硬化層的相反面上，用凹版反轉(zhuǎn)法涂敷由聚酯丙烯酸酯和聚氨酯丙烯酸酯(大日精化工業(yè)(株)制，EXG)的混合物構(gòu)成的紫外線固化型樹脂，干燥后的膜厚是5μm。而后，以和紫外線固化型樹脂相接觸地疊層罩面，該罩面是表面上具有微細(xì)凸?fàn)畹木蹖Ρ蕉姿嵋叶减サ恼置尜x形膜。此罩面賦形膜的表面形狀，平均表面粗造度為0.4μm突起的平均間距是160μm、最大表面粗造度為25μm。
這樣疊層了的膜片以10m/分鐘的速度通過160W的紫外線照射裝置，使紫外線固化型樹脂固化。接著，剝離罩面賦形膜，在表面施以凹形加工，形成具有防眩效果的硬涂層。接著，在180℃下進(jìn)行1分鐘的加熱處理，減少揮發(fā)成份。
在由硬涂層/透明塑料膜基材/硬化物層構(gòu)成的疊層體上，作為透明導(dǎo)電性膜片，與實(shí)施例9相同地成膜銦-錫氧化物薄膜。進(jìn)而，使用此透明導(dǎo)電性膜片，作為一方的屏板，與實(shí)施例1相同地制作觸屏。
實(shí)施例12與實(shí)施例11相同地制作由防眩性硬涂層/透明塑料膜基材/硬化物層/透明性導(dǎo)電性膜片層構(gòu)成的疊層體。接著，在此防眩性硬涂層上順次地疊層TiO2(折射率2.30，膜厚15nm)、SiO2(折射率1.46，膜厚29nm)、TiO2(折射率2.30，膜厚109nm)、SiO2(折射率1.46，膜厚87nm)，形成反射處理層。在形成TiO2薄膜時，使用鈦?zhàn)鳛榘校弥绷鞔趴毓転R射法，真空度為0.27Pa，以500sccm的流量通入Ar氣體，以80sccm的流量通入O2氣體。另外在基板的背面設(shè)置表面溫度為0℃的冷卻輥，冷卻透明的塑料膜片。此時的靶上供給7.8W/cm2的電力，動態(tài)速率是23nm·m/分鐘。
在形成SiO2薄膜時，使用有機(jī)硅作為靶，用直流磁控管濺射法，真空度為0.27Pa，以500sccm的流量通入Ar氣體，以80sccm的流量通入O2氣體。另外在基板的背面設(shè)置表面溫度為0℃的冷卻輥，冷卻透明的塑料膜。此時的靶上供給7.8W/cm2的電力，動態(tài)速率是23nm·m/分鐘。進(jìn)而，使用此透明導(dǎo)電性膜片，作為一方的屏板，與實(shí)施例1相同地制作觸屏。
實(shí)施例13將與實(shí)施例9相同地制作的透明導(dǎo)電性膜片通過丙烯酸系粘結(jié)劑貼在厚度1.0mm的聚碳酸制的板上，制作透明導(dǎo)電性疊層板。作為固定電極使用此透明導(dǎo)電性疊層板，作為可動電極使用實(shí)施例6的透明導(dǎo)電性膜片，與實(shí)施例2相同地制作觸屏。
實(shí)施例9A除了在180℃下進(jìn)行1分鐘的加熱處理及通過10分鐘的真空暴露處理減少揮發(fā)成份的工藝外，與實(shí)施例9相同地制作透明導(dǎo)電性膜片。進(jìn)而，使用此透明導(dǎo)電性膜片，作為一方的屏板，與實(shí)施例1相同地制作觸屏。
以上的實(shí)施例9～13及實(shí)施例9A的測定結(jié)果表示在表2上，另外實(shí)施例9～11的形狀表示在圖16～20。
從表2的結(jié)果，可以看出實(shí)施例9～13記載的透明導(dǎo)電性膜片，可以得到揮發(fā)成份量少具有良好的透明導(dǎo)電性膜片。使用此透明導(dǎo)電性膜片做成的觸屏，使用聚縮醛制的筆，用5.0N的負(fù)荷進(jìn)行10萬次滑動試驗(yàn)后也不白化，ON電阻也沒有異常，另外也能正確地認(rèn)識輸入的O印符號。
與此相反，由于實(shí)施例9A的揮發(fā)量多，膜質(zhì)量有若干的下降，作為觸屏使用時，在用聚縮醛筆(頂端形狀0.8mmR)，加有5.0N負(fù)載下進(jìn)行10萬次滑動試驗(yàn)后，在滑動部有微小的白化現(xiàn)象，ON的電阻也上升。輸入的O印符號，在滑動部的認(rèn)識精度有若干的變差。
表2
(注)上述各透明導(dǎo)電性膜片面的突起是直徑0.80μm，高度0.30μm，個數(shù)是60個/100μm2。
透明導(dǎo)電性膜片面的硬度的影響實(shí)施例14在含有光聚合引發(fā)劑的丙烯酸樹脂(大日精化工業(yè)(株)，塞卡比姆EXF-01J)100重量份中，添加3重量份的共聚合聚酯樹脂(東洋紡績(株)制，百龍200，重均分子量18,000)，作為溶劑，加入甲苯/MEK(8/2；重量比)的混合溶劑，使其固形成份濃度達(dá)到50重量％，攪拌，使其均勻溶解，配制成涂敷液。
用麥耶刷將配制好的涂敷液涂在兩面上具有易粘結(jié)層的透明雙軸定向聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(東洋紡績社制，A4340，厚度188μm)上，涂膜的厚度是5μm，在80℃下，干燥1分鐘后，使用紫外線照射裝置(埃估拉菲克斯(株)制，UB042-5AM-W型)進(jìn)行紫外線照射(光量300mJ/cm2)，使涂膜硬化。接著在180℃下加熱處理1分鐘，減少揮發(fā)成份。
另外，為了將層壓此硬化層的塑料膜暴露于真空，在真空室中進(jìn)行開卷處理。此時的壓力是0.002Pa，暴露時間是10分鐘。另外中心輥冷卻溫度是40℃。
接著，在此硬化物層上成膜由銦-錫復(fù)合氧化物構(gòu)成的透明導(dǎo)電性膜片。此時，靶濺射前的壓力是0.0007Pa，作為靶使用含有5重量％氧化錫的氧化銦(三井金屬礦業(yè)(株)制，密度7.1g/cm3)，施加2W/cm2的電力。另外，以130sccm的流量通入Ar氣體，以10sccm的流量通入O2氣體，在0.4Pa的氣氛下，用磁控管濺射法成膜。但不是通常的DC，為了防止電弧放電，使用日本意埃努愛制RPG-100，以50kHz周期加入5μs寬的脈沖。另外，在中心輥冷卻溫度50℃下進(jìn)行濺射。
另外，用濺射工藝監(jiān)測器(伯東(株)制，SPM200)經(jīng)常監(jiān)測，同時為了使銦-錫復(fù)合氧化物薄膜中的氧化度保持一定，向氧氣的流量計及DC電源中進(jìn)行反饋。通過以上的操作，堆積厚度22nm的由銦-錫復(fù)合氧化物構(gòu)成的透明導(dǎo)電性膜片。進(jìn)而，使用此透明導(dǎo)電性膜片，作為一方的屏板，作為另一方的屏板使用在玻璃基板上用等粒子CVD法厚度20nm的銦-錫復(fù)合氧化物薄膜(日本曹達(dá)社制，S500)。將此2枚的屏板使透明導(dǎo)電性膜片對置地中間加入直徑30μm的環(huán)氧樹脂珠，制做成觸屏。
實(shí)施例15在與實(shí)施例14中，由透明二軸定向PET膜片基材/硬化物層構(gòu)成的疊層體的、與硬化物層面的相反面上，用凹版反轉(zhuǎn)法涂敷聚酯丙烯酸酯和聚氨酯丙烯酸酯的混合物構(gòu)成的紫外線固化型樹脂(大日精化工業(yè)社制，EXG)，作為硬化層樹脂使溶劑干燥。而后，以10m/分鐘的速度通過160W的紫外線照射裝置，使其形成硬涂層。接著在180℃下進(jìn)行1分鐘的加熱處理，減少揮發(fā)成份。
在此由硬涂層/透明雙軸定向PET膜基材/硬化物層構(gòu)成的疊層體面上，與實(shí)施例14相同地成膜銦-錫氧化物薄膜。進(jìn)而，使用此透明導(dǎo)電性膜片，與實(shí)施例14相同地制作觸屏。
實(shí)施例16與實(shí)施例14相同地制作由透明雙軸定向PET膜基材/硬化物層構(gòu)成的疊層體。在與該疊層體的硬化物層面的相反面上，作為硬涂層樹脂，用凹版反轉(zhuǎn)法涂敷聚酯丙烯酸酯和聚氨酯丙烯酸酯的混合物構(gòu)成的紫外線固化型樹脂(大日精化工業(yè)社制，EXG)，干燥后的膜厚是5μm，而后，以和紫外線固化型樹脂相接觸地疊層罩面(東麗社制、X)，該罩面是表面上具有微細(xì)凸?fàn)畹木蹖Ρ蕉姿嵋叶减サ恼置尜x形膜。此罩面賦形膜的表面形狀，平均表面粗造度為0.40μm，突起的平均間距是160μm、最大表面粗造度為25μm。
這樣疊層了的薄膜以10m/分鐘的速度通過160W的紫外線照射裝置，使紫外線固化型樹脂固化。接著，剝離罩面賦形膜，在表面施以凹形加工，形成具有防眩效果的硬涂層。接著，在180℃下進(jìn)行1分鐘加熱處理，減少揮發(fā)成份。
在這樣的由防眩性硬涂層/透明雙軸定向PET膜基材/硬化物層構(gòu)成的疊層體的硬化物面層上，與實(shí)施例14相同地成膜銦-錫復(fù)合氧化物薄膜作為透明導(dǎo)電性膜片，進(jìn)而，使用此透明導(dǎo)電性膜片作為一方的屏板，與實(shí)施例14相同地制作觸屏。
實(shí)施例17與實(shí)施例16相同地制作由防眩性硬涂層/透明塑料薄膜基材/硬化物層/透明導(dǎo)電性層構(gòu)成的疊層體。接著，在此防眩性硬涂層上，依次疊層TiO2(折射率2.30、膜厚15nm)、SiO2(折射率1.46、膜厚29nm)、TiO2(折射率2.30、膜厚109nm)、SiO2(折射率1.46、膜厚87nm)形成防止反射處理層。
在形成TiO2薄膜時，使用鈦?zhàn)鳛榘?，用直流磁控管濺射法，真空度為0.27Pa，作為氣體，以500sccm的流量通入Ar氣體，以80sccm的流量通入O2氣體。另外在基板的背面設(shè)置表面溫度為0℃的冷卻輥，冷卻透明的塑料膜。此時的靶上供給7.8W/cm2的電力，動態(tài)速率是23nm·m/分鐘。
在形成SiO2薄膜時，使用有機(jī)硅作為靶，用直流磁控管濺射法，真空度為0.27Pa，作為氣體，以500sccm的流量通入Ar氣體，以80sccm的流量通入O2氣體。另外在基板的背面設(shè)置表面溫度為0℃的冷卻輥，冷卻透明的塑料膜。此時的靶上供給7.8W/cm2的電力，動態(tài)速率是23nm·m/分鐘。另外，將此透明導(dǎo)電性膜片作為一側(cè)的屏板使用，與實(shí)施例14相同地制作觸屏。
實(shí)施例18與實(shí)施例14相同，通過丙稀酸系粘著劑將制作的透明性導(dǎo)電性膜片粘合在厚度1.0mm的聚碳酸酯制板上，制作透明導(dǎo)電性疊層板。此透明導(dǎo)電性疊層板作為固定電極，實(shí)施例15的透明導(dǎo)電性膜片作為可動電極，與實(shí)施例4相同地制作觸屏。
實(shí)施例14A除了省去180℃下進(jìn)行1分鐘的加熱處理及10分鐘的真空暴露處理減少揮發(fā)成份以外，其它與實(shí)施例14相同地制作透明導(dǎo)電性膜片。進(jìn)而，使用此透明導(dǎo)電性膜片，與實(shí)施例14相同地制作觸屏。
實(shí)施例14B在濺射后，在210℃下進(jìn)行2分鐘的熱處理外，與實(shí)施例14相同地制作觸屏。
以上的實(shí)施例14～18及實(shí)施例14A及實(shí)施例14B的測定結(jié)果表示在表3中，由實(shí)施例14～18的觸屏的輸出形式表示在圖21～25。
從表3的結(jié)果可以看出，實(shí)施例14～18記載的透明導(dǎo)電性膜片及透明導(dǎo)電性膜片板，可以得到高硬度的透明導(dǎo)電性膜片。使用此透明導(dǎo)電性膜片的觸屏，對聚縮醛制的筆(頂端的形狀0.8mmR)加上5.0N的負(fù)載，在觸屏上進(jìn)行10萬次的滑動試驗(yàn)后，沒有白化現(xiàn)象，ON的電阻也無異常。另外，也能正確地認(rèn)識輸入的O印記號。
與此相反，實(shí)施例14A記載的透明導(dǎo)電性膜片，其透明導(dǎo)電性膜片的硬度不充分，所以作為觸屏使用時，對聚縮醛制的筆(頂端的形狀0.8mmR)加上5.0N的負(fù)載，在觸屏上進(jìn)行10萬次的滑動試驗(yàn)后，有若干白化現(xiàn)象，ON的電阻也上升。另外，在滑動部對輸入的O印記號的認(rèn)識的精度有若干的下降。
另外，實(shí)施例14B記載的透明導(dǎo)電性膜片，其透明導(dǎo)電性膜片的硬度非常高，所以成為很脆的薄膜。作為觸屏使用時，對聚縮醛制的筆(頂端的形狀0.8mmR)加上5.0N的負(fù)載，在觸屏上進(jìn)行10萬次的滑動試驗(yàn)后，在滑動部有白化現(xiàn)象，雖然ON的電阻沒有上升。但是，在滑動部對輸入的O印記號的認(rèn)識的精度有若干的下降。另外，在滑動部對輸入的O印記號的認(rèn)識的精度變差。這是由于通過滑動試驗(yàn)，在透明導(dǎo)電性膜片上產(chǎn)生裂紋的原故。
表3
(注)上述各透明導(dǎo)電性膜片面的突起是直徑0.80μm，高度0.30μm，個數(shù)是60個/100μm2。
本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜片是在透明塑料膜片的基材上順次疊層以固化型樹脂為主的構(gòu)成成份的硬化物層及透明性導(dǎo)電薄膜，由于在透明導(dǎo)電性膜片的形成面上有特定數(shù)(3～200個/100μm2)的特定形態(tài)的突起，所以滑動性和透明性優(yōu)良。
該膜中的揮發(fā)成份量是30ppm以下，所以可以成膜為具有良好膜質(zhì)的透明導(dǎo)電性膜片。使用上述良好的透明導(dǎo)電性膜片的筆輸入觸屏，用筆擠壓，即使與對向的透明導(dǎo)電性膜片接觸也不產(chǎn)生剝離、裂紋等。
進(jìn)而，透明導(dǎo)電性膜片的特征是上述透明導(dǎo)電性膜片面的硬度是0.4～0.8GPa，所以使用上述良好的透明導(dǎo)電性膜片的筆輸入觸屏，用筆擠壓，即使與對向的透明導(dǎo)電性膜片接觸也不產(chǎn)生剝離、裂紋等。本發(fā)明的筆輸入觸屏，具有用筆擠壓，即使與對向的透明導(dǎo)電性膜片接觸也不產(chǎn)生剝離、裂紋等筆輸入耐久性，而且，位置檢測精度和顯示質(zhì)量也很好。因此適用于筆輸入觸屏的使用。
權(quán)利要求
1．透明導(dǎo)電性膜片，是在透明塑料膜片基材(11)上依存疊層以硬化性樹脂為主要構(gòu)成成份的硬化物層(12)及透明導(dǎo)電性膜片(13)的透明導(dǎo)電性膜片(10)，其特征是在形成上述透明導(dǎo)電性膜片(13)的面上，每100μm2具有3～200個直徑0.05～3.0μm、高0.005～2.00μm的突起。
2．如權(quán)利要求1所述的透明導(dǎo)電性膜片，其特征是主要構(gòu)成成份的硬化物層(12)，進(jìn)而含有在硬化樹脂中非相溶的高分子樹脂，而且上述非相溶的高分子樹脂是分散成粒子狀。
3．如權(quán)利要求1或2所述的透明導(dǎo)電性膜片，其特征是上述透明導(dǎo)電性膜片(10)的透明導(dǎo)電性膜片(13)面的硬度是0.4～0.8GPa。
4．透明塑料膜片，是在透明塑料膜片基材(11)上依次疊層以硬化性樹脂為主要構(gòu)成成份的硬化物層(12)及透明導(dǎo)電性膜片(13)的透明導(dǎo)電性膜片(10)，其特征是含有透明導(dǎo)電性膜片(10)的揮發(fā)成份量是30ppm以下。
5．如權(quán)利要求1～4任一項(xiàng)所述的透明導(dǎo)電性膜片，其特征是上述透明導(dǎo)電性膜(13)是非結(jié)晶性的。
6．如權(quán)利要求1～5任一項(xiàng)所述的透明導(dǎo)電性膜片，其特征是上述固化型樹脂是紫外線固化型樹脂，該紫外線固化型樹脂中非相溶的樹脂，其重均分子量為5,000～50,000的聚酯，進(jìn)而，上述聚酯樹脂含有量對于每100重量份的紫外線固化型樹脂是0.10～20。
7．如權(quán)利要求1～6任一項(xiàng)所述的透明導(dǎo)電性膜片，其特征是上述透明導(dǎo)電性膜片(13)是由銦-錫復(fù)合氧化物或錫-銻復(fù)合氧化物構(gòu)成的。
8．如權(quán)利要求1～7任一項(xiàng)所述的透明導(dǎo)電性膜片，其特征是在與上述透明導(dǎo)電性膜片(10)的透明導(dǎo)電性膜片(13)面的相反面上疊層硬涂層(14)。
9．如權(quán)利要求8所述的透明導(dǎo)電性膜片，其特征是上述硬涂層(14)具有防眩效果。
10．如權(quán)利要求8或9所述的透明導(dǎo)電性膜片，其特征是在上述硬涂層(14)施以低反射處理。
11．透明導(dǎo)電性板，其特征是在與上述透明導(dǎo)電性膜片(10)的透明導(dǎo)電性膜片(13)面的相反面上通過粘合劑(41)粘合透明樹脂板(42)。
12．觸屏，在將具有上述透明導(dǎo)電性膜片(13)的一對屏板，使透明導(dǎo)電性膜片(13)相對地，中間夾有間隔物配置觸屏中，其特征是至少一方的屏板是由上述透明導(dǎo)電性膜片(10)或上述透明導(dǎo)電性板(40)構(gòu)成的。
全文摘要
透明導(dǎo)電性膜片,是在透明塑料膜片基材11上依次疊層以硬化性樹脂為主要構(gòu)成成份的硬化物層12及透明導(dǎo)電性膜片13的透明導(dǎo)電性膜片,其特征是在形成上述透明導(dǎo)電性膜片的面上,每100μm
文檔編號G06F3/033GK1320929SQ01109968
公開日2001年11月7日 申請日期2001年3月28日 優(yōu)先權(quán)日2000年3月28日
發(fā)明者大谷壽幸, 森原芳治, 伊藤勝也, 倉原俊次, 相川泰, 長濱博之, 橫山誠一郎 申請人:東洋紡績株式會社