瞬間真空提供裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種瞬間真空提供裝置，其包括：至少一腔室，其與抽真空對象的腔體連通，該腔室與腔體之間還設置有啟閉單元；真空泵，其通過管路連接腔室；真空度測量部和真空度調節(jié)部，其分別設置于管路、腔室和/或腔體上；處理控制部，其電連接真空度測量部和真空度調節(jié)部，真空度測量部實時測量腔室內的真空度并反饋到處理控制部，處理控制部將實時測量的真空度與所需要的真空度進行對比，不符合時控制真空度調節(jié)部將腔室內的真空度調節(jié)到所需要的真空度。本發(fā)明與現有技術相比，可以在低成本和高效率的前提下為需要真空環(huán)境的腔體獲得瞬間的真空環(huán)境，同時對于真空度的控制也更為精確。
【專利說明】
瞬間真空提供裝置
技術領域
[0001]本發(fā)明涉及一種真空提供裝置，具體涉及一種瞬間真空提供裝置。
【背景技術】
[0002]在科學研究和生產過程中，很多研究實驗及工藝都在真空設備中進行。一般真空的獲得都是使用不同的真空栗或栗組，再或者使用真空發(fā)生器等實現，但真空栗等都是通過較細管路連接設備，在管路上加真空控制閥，這樣真空獲得較慢，且控制很難精確，容易過沖，不能滿足一些需要瞬間真空和精確控制的科研或生產工藝要求。還有就是加大型真空栗組實現，但成本太高，真空度不可控。

【發(fā)明內容】

[0003]為了解決上述技術問題，本發(fā)明提供了一種可以滿足瞬間真空要求且控制更為精確的瞬間真空提供裝置。
[0004]為了達到上述目的，本發(fā)明的技術方案如下:
[0005]瞬間真空提供裝置，其包括:
[0006]至少一腔室，其與抽真空對象的腔體連通，該腔室與腔體之間還設置有啟閉單元；
[0007]真空栗，其通過管路連接腔室；
[0008]真空度測量部，其設置于管路、腔室和/或腔體上，用于測量腔室內的真空度；
[0009]真空度調節(jié)部，其設置于管路、腔室和/或腔體上，用于調節(jié)腔室內的真空度；
[0010]處理控制部，其電連接真空度測量部和真空度調節(jié)部，真空度測量部實時測量腔室內的真空度并反饋到處理控制部，處理控制部將實時測量的真空度與所需要的真空度進行對比，不符合時控制真空度調節(jié)部將腔室內的真空度調節(jié)到所需要的真空度。
[0011]本發(fā)明提供的瞬間真空提供裝置，設置了與抽真空對象的腔體連通的腔室、通過管路連接腔室的真空栗、設置于管路、腔室和/或腔體上的真空度測量部和真空度調節(jié)部、以及處理控制部;使用時，用真空栗提前對腔室抽真空，真空度通過處理控制部、真空度測量部和真空調節(jié)單元控制調節(jié)到所需值，然后打開啟閉單元，這時腔體的氣體會快速吸入腔室達到真空度平衡，然后關閉啟閉單元，由此獲得腔體內瞬間的真空環(huán)境，且對真空度的控制更為精確。
[0012]因此，本發(fā)明與現有技術相比，可以在低成本和高效率的前提下為需要真空環(huán)境的腔體獲得瞬間的真空環(huán)境，同時對于真空度的控制也更為精確。
[0013]在上述技術方案的基礎上，本發(fā)明還可以作如下改進:
[0014]作為優(yōu)選的方案，上述的啟閉單元還與處理控制部電連接，腔室內的真空度未達到需求時，處理控制部控制打開啟閉單元，腔體內的空氣快速進入腔室后，真空度測量部測量腔室內的真空度是否達到平衡，如達到則處理控制部控制關閉啟閉單元。
[0015]采用上述優(yōu)選的方案，可以配合真空度的控制使得腔體和腔室之間的真空度快速且準確地得到平衡，這是由于腔體真空度更高(更好，絕對壓力更低)，腔室和腔體平衡后，目標腔體會獲得更高的真空度。也可以反過來加氣降低真空度，這時是要另一個腔室真空度更低(更差，絕對壓力更高)。
[0016]作為優(yōu)選的方案，上述的啟閉單元為閥門。
[0017]采用上述優(yōu)選的方案，可以便于腔室和腔體之間快速的連通和斷開。
[0018]作為優(yōu)選的方案，上述的閥門為插板閥或蝶閥。
[0019]采用上述優(yōu)選的方案，可以便于對閥門進行控制。
[0020]作為優(yōu)選的方案，上述的腔室設置于豎直的柱形體內。
[0021]采用上述優(yōu)選的方案，可以便于氣體的流通，使得瞬間真空度的獲得更為迅速。
【附圖說明】
[0022]圖1為本發(fā)明的瞬間真空提供裝置在一些實施方式下的結構示意圖。
[0023]圖2為本發(fā)明的瞬間真空提供裝置在另一些實施方式下的結構示意圖。
[0024]圖3為本發(fā)明的瞬間真空提供裝置在另一些實施方式下的結構示意圖。
[0025]其中，1.腔室2.腔體3.啟閉單元4.真空栗41.管路42.真空度測量部43.真空度調節(jié)部5.處理控制部。
【具體實施方式】
[0026]下面結合附圖詳細說明本發(fā)明的優(yōu)選實施方式。
[0027]為了達到本發(fā)明的目的，如圖1所示，在本發(fā)明的瞬間真空提供裝置的其中一些實施方式中，其包括:多個腔室I，其與抽真空對象的腔體2連通，該腔室I與腔體2之間還設置有啟閉單元3，該啟閉單元3具體可以為插板閥或蝶閥等閥門，也可以為蓋體，插板閥還可以具體設置為大口徑的真空插板閥；真空栗4，其通過管路41連接腔室I;真空度測量部42，其設置于管路41上，用于測量腔室I內的真空度;真空度調節(jié)部43，其設置于管路41上，用于調節(jié)腔室I內的真空度;處理控制部5，其電連接真空度測量部42和真空度調節(jié)部43，真空度測量部42實時測量腔室I內的真空度并反饋到處理控制部5，處理控制部5將實時測量的真空度與所需要的真空度進行對比，不符合時控制真空度調節(jié)部43將腔室I內的真空度調節(jié)到所需要的真空度。
[0028]其中，腔室I還可以根據需要僅設置為一個，而為了到達更快的目的，可以設置多個腔室I，使用時同時開啟或依次開啟多個腔室I;真空度測量部42和真空度調節(jié)部43則可以采用現有的真空測量裝置和真空調節(jié)裝置即可;處理控制部5則采用常用的單片機即可。另外，如圖2-3所示，真空度測量部42和真空度調節(jié)部43還可以直接設置在腔室I或者腔體2上，其可以與管路41上的真空度測量部42和真空度調節(jié)部43保持三者同時存在，三者中也可以僅設置一處以單獨存在。
[0029]本實施例提供的瞬間真空提供裝置，設置了與抽真空對象的腔體連通的腔室、通過管路連接腔室的真空栗、設置于管路上的真空度測量部和真空度調節(jié)部、以及處理控制部;使用時，用真空栗提前對腔室抽真空，真空度通過處理控制部、真空度測量部和真空調節(jié)單元控制調節(jié)到所需值，然后打開啟閉單元，這時腔體的氣體會快速吸入腔室達到真空度平衡，然后關閉啟閉單元，由此獲得腔體內瞬間的真空環(huán)境，且對真空度的控制更為精確。因此，本實施例與現有技術相比，可以在低成本和高效率的前提下為需要真空環(huán)境的腔體獲得瞬間的真空環(huán)境，同時對于真空度的控制也更為精確。
[0030]為了進一步地優(yōu)化本發(fā)明的實施效果，如圖1所示，在本發(fā)明的瞬間真空提供裝置的另一些實施方式中，在上述內容的基礎上，上述的啟閉單元3還與處理控制部5電連接，腔室I內的真空度未達到需求時，處理控制部5控制打開啟閉單元3，腔體2內的空氣快速進入腔室I后，真空度測量部42測量腔室I內的真空度是否達到平衡，如達到則處理控制部5控制關閉啟閉單元3。采用該實施方式的方案，可以配合真空度的控制使得腔體和腔室之間的真空度快速且準確地得到平衡，這是由于腔體真空度更高(更好，絕對壓力更低)，腔室和腔體平衡后，目標腔體會獲得更高的真空度。也可以反過來加氣降低真空度，這時是要另一個腔室真空度更低(更差，絕對壓力更高)。
[0031]為了進一步地優(yōu)化本發(fā)明的實施效果，如圖1所示，在本發(fā)明的瞬間真空提供裝置的另一些實施方式中，在上述內容的基礎上，上述的腔室I設置于豎直的柱形體內。采用該實施方式的方案，可以便于氣體的流通，使得瞬間真空度的獲得更為迅速。
[0032]以上所述的僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。
【主權項】
1.瞬間真空提供裝置，其特征在于，包括: 至少一腔室，其與抽真空對象的腔體連通，所述腔室與所述腔體之間還設置有啟閉單元； 真空栗，其通過管路連接所述腔室； 真空度測量部，其設置于所述管路、所述腔室和/或所述腔體上，用于測量所述腔室內的真空度； 真空度調節(jié)部，其設置于所述管路、所述腔室和/或所述腔體上，用于調節(jié)所述腔室內的真空度； 處理控制部，其電連接所述真空度測量部和所述真空度調節(jié)部，所述真空度測量部實時測量所述腔室內的真空度并反饋到所述處理控制部，所述處理控制部將實時測量的真空度與所需要的真空度進行對比，不符合時控制所述真空度調節(jié)部將所述腔室內的真空度調節(jié)到所需要的真空度。2.根據權利要求1所述的瞬間真空提供裝置，其特征在于，所述啟閉單元還與所述處理控制部電連接，所述腔室內的真空度未達到需求時，所述處理控制部控制打開所述啟閉單元，所述腔體內的空氣快速進入所述腔室后，所述真空度測量部測量所述腔室內的真空度是否達到平衡，如達到則所述處理控制部控制關閉所述啟閉單元。3.根據權利要求1或2所述的瞬間真空提供裝置，其特征在于，所述啟閉單元為閥門。4.根據權利要求3所述的瞬間真空提供裝置，其特征在于，所述閥門為插板閥或蝶閥。5.根據權利要求1或2所述的瞬間真空提供裝置，其特征在于，所述腔室設置于豎直的柱形體內。
【文檔編號】G05B19/042GK105892355SQ201610200863
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年3月31日
【發(fā)明人】張德龍
【申請人】威格氣體純化科技（蘇州）股份有限公司