專利名稱：壓力式流量控制裝置的節(jié)流孔及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于流體的壓力式流量控制裝置中的音速噴嘴(節(jié)流孔)和其制造方法的改良，主要用于半導體制造設(shè)備中的氣體供給系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
作為半導體制造設(shè)備中的氣體供給系統(tǒng)的流量控制裝置，過去一直廣泛使用質(zhì)量流控制，近年來，作為替代裝置，開發(fā)出了壓力式流量控制裝置。
圖20表示本發(fā)明的申請人先期公開的壓力式流量控制裝置的結(jié)構(gòu)，在節(jié)流孔5的上游側(cè)壓力P1和下游側(cè)壓力P2之比P2/P1保持在氣體的臨界壓力比以下的情況下，基本上是以Q=KP1(K為常數(shù))計算節(jié)流孔下游側(cè)的流體流量Q(日本特開平8-338546號)。
另外，在圖20中，1為壓力式流量控制裝置，2為控制閥，3為閥驅(qū)動部，4為壓力檢測器，5為節(jié)流孔，7為控制裝置，7a為溫度補償電路，7b為流量計算電路，7c為比較電路，7d為放大電路，21a、21b為放大電路，22a、22b為A/D轉(zhuǎn)換電路，24為反相放大器，25為閥，Qy為控制信號，Qc為計算信號，Qs為流量設(shè)定信號。
上述圖20的壓力式流量控制裝置通過控制控制閥2的開閉，調(diào)整節(jié)流孔下游側(cè)上游側(cè)壓力P1，可高精度地控制節(jié)流孔下游側(cè)的流量Q，具有優(yōu)良的實用效果。
但是，這種壓力式流量控制裝置中遺留有諸多應解決的問題，其中重點是下述的與音速噴嘴(節(jié)流孔)有關(guān)的問題。
即，首先，第1個問題是節(jié)流孔的制造成本。作為節(jié)流孔，在有些情況下要求其口徑φ為10μm～O.8mm左右，具有φ為10μm～0.8mm的微小口徑的音速節(jié)流孔，通常是通過放電加工或蝕刻加工而形成。但在通過放電加工或蝕刻加工將節(jié)流孔加工成指定形狀，例如由ISO9300所規(guī)定的形狀的情況下，具有節(jié)流孔的制造費用顯著增加的難點。
第2個問題是節(jié)流孔的流量特性的離散性。具有微小口徑的音速節(jié)流孔加工既困難，其流量特性在指定的范圍內(nèi)又難以一致，并且各自的差有增大的傾向。其結(jié)果，流量的測量精度惡化，測量值的修正費時費力。
第3個問題是流量特性曲線上的線性范圍問題。當節(jié)流孔上游側(cè)壓力P1和節(jié)流孔下游側(cè)壓力P2之比P2/P1為氣體的臨界壓力比(在空氣或氮的情況下為0.5)以下時，通過節(jié)流孔的氣體為音速，節(jié)流孔下游側(cè)的壓力變動不會向節(jié)流孔上游側(cè)傳播。其結(jié)果，可獲得與節(jié)流孔上游側(cè)的狀態(tài)相對應的穩(wěn)定的質(zhì)量流量。
但是，在現(xiàn)實的流量特性曲線中，所謂線性特性的壓力比的范圍，即可以Q=KP1計算流量的壓力比范圍為遠低于臨界壓力比的值，具有這種流量的可控制范圍窄的問題。
而且，線性特性也存在若干問題，由于難以獲得高度的線性，所以具有難以實現(xiàn)進一步提高控制精度的問題。
發(fā)明的公開本發(fā)明是為了解決以往的壓力式流量控制裝置用的節(jié)流孔中的控制精度難以進一步提高等問題而提出的，其目的是提供一種壓力式流量控制的節(jié)流孔以及其制造方法，使節(jié)流孔的加工較簡單，大幅度降低其制造成本，同時流量特性上的離散性較小，且在較寬的壓力比范圍內(nèi)實現(xiàn)高精度的壓力流量控制。本發(fā)明要解決的問題為(A)節(jié)流孔的制造成本難以降低，(B)節(jié)流孔的加工困難，加工精度的離散性直接導致控制流量的差別，不能進行高精度和穩(wěn)定的流量控制，(C)節(jié)流孔流量特性上為線性特性的壓力比范圍窄，不能在較寬的壓力比范圍內(nèi)進行高精度的壓力流量控制，(D)線性特性不是高度線性。
為了解決上述各問題，權(quán)利要求1的發(fā)明為一種壓力式流量控制裝置，在節(jié)流孔上游側(cè)壓力P1和下游側(cè)壓力P2之比P2/P1保持在氣體的臨界壓力的情況下，以Q=KP1(K為常數(shù))計算節(jié)流孔下游側(cè)的流體流量Q，同時通過由計算的流量值Q和設(shè)定流量Qs的差信號控制節(jié)流孔上游側(cè)的控制閥開閉，調(diào)整節(jié)流孔上游側(cè)壓力P1，將節(jié)流孔下游側(cè)的流體流量控制為設(shè)定流量Qs，其中，具備入口圓錐部1和與其相連接的較短的節(jié)流平行部2，該圓錐部1為在壓力式流量控制裝置中使用的節(jié)流孔中，將穿設(shè)在主體構(gòu)件D上的下孔6一方的開口端部切削而形成的喇叭吹口狀；并且還具備圓錐擴徑部3和與其相連接的平行擴徑部4，該圓錐擴徑部3與通過將上述下孔6另一方的開口端部擴徑而形成的上述節(jié)流平行部2相連接。
而且，權(quán)利要求2的發(fā)明為在權(quán)利要求1的發(fā)明中，入口圓錐部1為用從剖面上看是內(nèi)壁面呈曲線形狀的所謂納長石形成的。
另外，權(quán)利要求3的發(fā)明為在權(quán)利要求1的發(fā)明中，入口圓錐部1為用從剖面上看是內(nèi)壁面呈直線形狀的所謂納直線型刀具形成的。
另一方面，權(quán)利要求4的發(fā)明為用下述方法制造在上述壓力式流量控制裝置中使用的節(jié)流孔中，即，從主體構(gòu)件D的一側(cè)面向另一側(cè)面穿有下孔6，之后通過刀具1a將下孔6的單側(cè)面的入口部內(nèi)方切削而形成呈喇叭吹口狀的入口圓錐部1和與其相連接的較短的節(jié)流平行部2，然后通過由擴徑用鉆孔錐4a從上述主體構(gòu)件D的另一側(cè)將下孔6的直徑擴大，形成與上述節(jié)流平行部2相連接的較短的圓錐擴徑部3以及與其相連接的平行擴徑部4。
權(quán)利要求5的發(fā)明為在權(quán)利要求4的發(fā)明中，形成入口圓錐部1的刀具1a為納長石或直線型刀具。
而且，權(quán)利要求6的發(fā)明為在權(quán)利要求4或權(quán)利要求5的發(fā)明中，在形成入口圓錐部1和與其相連接的節(jié)流平行部2之后，用外徑Φ2與上述節(jié)流平行部2的內(nèi)徑Φ1相等的鉆孔錐2a，從一側(cè)面將下孔6的直徑擴大，另外，在用擴徑用鉆孔錐4a從另一側(cè)面將下孔6的直徑擴大之前，用直徑較擴徑用鉆孔錐4a直徑粗的中心鉆孔器7對下孔6的另一側(cè)端部進行除毛刺的操作，另外，在上述圓錐擴徑部3形成后，用具有外徑與上述節(jié)流平行部2的內(nèi)徑Φ1相同的鉆孔錐2a從另一側(cè)面對節(jié)流平行部2的另一側(cè)端部進行除毛刺的操作。
附圖的簡要說明

圖1為本發(fā)明的壓力式流量控制裝置的節(jié)流孔的縱向剖視圖；圖2為本發(fā)明的第2實施例的壓力式流量控制裝置的節(jié)流孔的局部縱向剖視圖；圖3為形成節(jié)流孔A的主體構(gòu)件的縱向剖視圖；圖4為節(jié)流孔A的加工工序的中心攻絲工序的說明圖；圖5為節(jié)流平行部的形成工序的說明圖；圖6為用于入口圓錐部形成的納長石C的說明圖；
圖7為入口圓錐部和節(jié)流平行部形成的說明圖；圖8為通過中心攻絲的除毛刺工序的說明圖；圖9為圓錐擴徑部和平行擴徑部形成的說明圖；圖10表示根據(jù)本發(fā)明的節(jié)流孔A(Φ=0.11mm)的流量特性；圖11表示根據(jù)本發(fā)明的節(jié)流孔的流量-壓力特性的一例；圖12表示ISO9300所規(guī)定的音速節(jié)噴嘴型節(jié)流孔的流量特性；圖13表示圖12的節(jié)流孔的流量-壓力特性；圖14表示由使結(jié)構(gòu)簡潔化的Φ=0.11mm的穿孔構(gòu)成的節(jié)流孔的流量特性；圖15表示圖14的節(jié)流孔的流量-壓力特性；圖16表示平行擴徑部為2段的節(jié)流孔的流量特性；圖17表示圖16的節(jié)流孔的流量-壓力特性；圖18為具備圓錐狀入口圓錐部的節(jié)流孔A的流量特性曲線；圖19為具備圓錐狀入口圓錐部的節(jié)流孔A的流量·線性誤差曲線；圖20為在先申請的壓力式流量控制裝置的結(jié)構(gòu)圖。
符號的說明A為節(jié)流孔，Φ1為節(jié)流平行部的內(nèi)徑，Φ2為平行擴徑部的內(nèi)徑，D為主體構(gòu)件，B為流體入口側(cè)的外表面，C為流體出口側(cè)的外表面，1為入口圓錐部，1a為納長石，2為節(jié)流平行部，2a為Φ=0.11mm的鉆孔錐，3為圓錐擴徑部，4為平行擴徑部，4a為Φ=0.2mm的擴徑用鉆孔錐，5為中心凹部，5a為中心攻絲用穿孔機，6為下孔，6a為Φ=0.1mm的鉆孔錐，7為中心鉆孔器，R為入口圓錐部的曲率半徑，L1為圓錐狀入口圓錐部的深度，L為節(jié)流平行部的長度，α0為圓錐狀入口圓錐部的傾斜角，α為圓錐擴徑部的傾斜角，L2為圓錐擴徑部和平行擴徑部的長度。
實施發(fā)明的最佳方式以下，參照附圖對本發(fā)明的實施例加以說明。圖1為本發(fā)明的壓力式流量控制裝置的節(jié)流孔的縱向剖視圖，在圖1中，A為節(jié)流孔，1為入口圓錐部，2為節(jié)流平行部，3為圓錐擴徑部，4為平行擴徑部。
該節(jié)流孔A是通過對不銹鋼(SUS316L)的薄板(厚度約為2～3mm)進行切削加工而形成，其入口一側(cè)(流體的高壓一側(cè))的外表面B為平面，而且出口一側(cè)(流體的低壓一側(cè))的外表面C為凹形曲面(部分為球面)，另外節(jié)流孔的內(nèi)徑φ1為0.11mm。
即，上述入口圓錐部1形成曲率半徑R為0.22mm的喇叭出口狀的彎曲面，并且形成與該入口圓錐部1相連接，長度為0.05mm的節(jié)流平行部2。
該節(jié)流平行部2的內(nèi)徑φ1選定為0.11mm，該節(jié)流平行部2限制節(jié)流孔A的內(nèi)徑。
上述圓錐擴徑部3與節(jié)流平行部2連續(xù)地形成，在圖1的節(jié)流孔A中，由后述的外徑為0.2mm的穿孔用鉆的前端刃的形狀(前端角為120°)所決定的傾斜角α約為60°的斜面為圓錐擴徑部3。
另外，上述平行擴徑部4與圓錐擴徑部3連續(xù)地形成，其內(nèi)徑φ2選定為0.22mm。
圖2表示本發(fā)明的節(jié)流孔A的第2實施例，在第2實施例中，入口圓錐部1形成從剖面所視為內(nèi)壁面為直線形狀(即圓錐面狀的圓錐部1)，其傾斜角α0選定為120°。
而且，節(jié)流孔內(nèi)徑φ1為0.14mm，入口圓錐部1的深度L1=0.25mm，節(jié)流平行部2的長度L=0.05mm，平行擴徑部4的內(nèi)徑φ2=0.16mm，傾斜角α=60°，圓錐擴徑部3和平行擴徑部4的長度L2=0.65mm。
另外，上述圖1和圖2的各實施例中，節(jié)流孔內(nèi)徑φ1為0.11mm和0.14mm，但作為本發(fā)明的節(jié)流孔，內(nèi)徑φ1最好是在0.099mm～0.9mm左右。
以下，以上述圖1的節(jié)流孔A的制造為例，對本發(fā)明的壓力式流量控制裝置的節(jié)流孔的具體制造方法加以說明。
參照圖3至圖9，首先對厚度為3mm的不銹鋼板(SUS316L)進行切削加工，形成圖3所示形狀的主體構(gòu)件D。
另外，主體構(gòu)件D的入口一側(cè)的外表面B形成平面狀，而出口一側(cè)的外表面C形成球面狀(凹形曲面狀)。
當上述主體構(gòu)件D的形成結(jié)束后，對入口一側(cè)的外表面B的中心部進行圖4所示形狀的中心攻絲。
即，用φ=0.1mm的超硬鉆孔錐6a從圖5所示的上述中心凹部5向內(nèi)方進行圖5所示的穿孔加工，形成下孔6。然后，用具有圖6所示形狀的曲率半徑R=0.2mm的納長石1a對上述同樣5的下孔6的讓入口一側(cè)進行圓錐加工，形成從圖7所示的剖面所看到的，內(nèi)壁面為曲線形狀的入口圓錐部1。
另外，關(guān)于圖2的節(jié)流孔A的制造，用前端角α0為60°的直線型刀具(圖中未示出)取代上述納長石1a，形成從圖2的剖面所視，內(nèi)壁面為直線的入口圓錐部1(即圓錐狀的圓錐部)。
另外，形成上述入口圓錐部1后，如圖7所示，納長石1a與φ=0.11mm的鉆孔錐2a相交換，從流體入口一側(cè)(入口一側(cè)的外表面B)向流體出口一側(cè)(出口一側(cè)的外表面C)進行直徑為0.11mm的穿孔操作。因此，由上述直徑為0.1mm的鉆孔錐6a開出直徑為0.11mm的穿孔。
之后，轉(zhuǎn)換主體構(gòu)件D的裝夾方向，并且將錐換為圖8所示的中心鉆孔器(外徑為0.3mm×前端角為120°)7，從剛才穿孔的直徑為0.11mm的孔的流體出口一側(cè)端部向內(nèi)方，將刀具尖伸進0.05mm，將出口側(cè)的端部上殘留的毛刺除去。
上述由中心鉆孔器7進行的除毛刺結(jié)束后，用外徑為0.2mm，前端角為120°的擴徑用鉆孔錐4a形成圖9所示的φ=0.2mm的平行擴徑部4。
最后，用上述φ=0.11mm的鉆孔錐2a取代上述鉆孔錐4a，將節(jié)流平行部2和圓錐擴徑部3的交界處殘留的毛刺除去。
本發(fā)明的節(jié)流孔A由上述的納長石1a，直徑為0.1mm的鉆孔錐2a，直徑為0.11mm的鉆孔錐2a，直徑為0.2mm的鉆孔錐4a和中心鉆孔器7進行切削，穿孔和除毛刺加工而形成，而不需特別的研磨工序或發(fā)電工序等穿孔加工。
即，可通過極簡單的工序廉價地制造本發(fā)明的節(jié)流孔A。
圖10表示根據(jù)本發(fā)明形成的圖1的4個節(jié)流孔(平行擴徑部的內(nèi)徑φ2=0.2mm)A的各自的流量特性。
從圖10可知，在P2/P1=0.583(P1=3.0kgf/cm2abs，P2=1.75kgf/cm2abs)的范圍內(nèi)，確保流量和1次側(cè)壓力P1之間的線性。
即，不論是僅通過納長石1a和鉆孔錐2a,4a,6a和中心鉆孔器7進行除毛刺的加工而形成的節(jié)流孔A，還是任意的節(jié)流孔A，其線性特性保持到P2/P1=0.583這一點，具有較高的實用效果。
圖11表示根據(jù)本發(fā)明的上述4個中的3個節(jié)流孔A的壓力-流量特性，可知各自(3個節(jié)流孔)之間有若干流量差的每一個節(jié)流孔都在壓力-流量之間成比例關(guān)系，具有優(yōu)良的線性特性(即，Q=KP1)。
另外，在圖11的壓力-流量測量時，求出流量為設(shè)定最大流量(1次壓為3kgf/cm2·abs上的流量)的50％的流量時的流量測量值和流量設(shè)定值的差，以流量誤差％計算該流量差和設(shè)定最大流量之比。在本發(fā)明的節(jié)流孔的情況下，可知上述流量誤差為-1.56％～-1.58％之間，在精度上有充分的實用性。
另一方面，圖12表示以往的由ISO9300所規(guī)定的音速噴嘴型節(jié)流孔的流量特性，2個之中的1個在P2/P1=0.633(P1=3.0kgf/cm2abs,P2=1.9kgf/cm2abs)的范圍內(nèi)確保其線性，另一個只能在P2/P1=0.51左右確保其線性，可知在各節(jié)流孔之間存在較大的差。
即可知，不論該音速噴嘴型的節(jié)流孔是否為經(jīng)過研磨工序等加工成復雜的形狀，制造成本高昂的節(jié)流孔，各節(jié)流孔各自的流量特性上有較大的離散性，既有線性特性良好的又有線性特性不良的，在實用上有致命的缺陷。
而且，圖13表示上述圖12的音速噴嘴型節(jié)流孔的壓力流量特性，設(shè)定最大流量的50％的流量中的誤差為-1.4～-2.3％。
圖14為使加工工作顯著地簡潔化，用φ=0.11mm得鉆孔錐從入口一側(cè)對主體構(gòu)件D進行穿孔的同時，由中心鉆孔器7對出口一側(cè)的端面進行除毛刺操作。
在圖13的節(jié)流孔的情況下，加工簡單且具有良好經(jīng)濟性的節(jié)流孔，流量特性中的線性特性可確保的領(lǐng)域為P2/P1=0.417(P1=3kgf/cm2abs,P2=1.25kgf/cm2abs)，存在只能在極窄的壓力比范圍內(nèi)確保其線性。而且，圖15表示上述圖14的節(jié)流孔的壓力流量特性，最大流量的50％的流量中的流量誤差為-3～-3.45％。
圖16為對本發(fā)明的節(jié)流孔A的平行擴徑部4在2段上進行擴徑的節(jié)流孔，平行擴徑部4上形成φ=0.2mm的第1平行擴徑部4a和φ=0.3mm的第2平行擴徑部4b。
在圖16的節(jié)流孔中，不論加工工序是否增加了2道工序量(φ為0.2mm的孔端部的除毛刺工序和φ為0.3mm的穿孔工序)，線性的保持范圍到P2/P1=0.567(P1=3kgf/cm2abs，P2=1.7kgf/cm2abs)為止，與本發(fā)明的節(jié)流孔A的情況相比，有線性的確保范圍窄的難點。
而且圖17表示上述圖16的節(jié)流孔的壓力流量特性，最大流量的50％的流量中的流量誤差為-1.42～-1.6％。
圖18表示圖2所示的本發(fā)明的第2實施例的節(jié)流孔A的流量特性，而且，圖19表示圖2所示的節(jié)流孔的節(jié)流孔流量的線性誤差曲線。
另外，線性誤差(IF·S％)為根據(jù)在設(shè)定壓力為0～3.5(kgf/cm2·abs)的范圍測量的流量測量曲線，通過最小2乘法求出相對于最大正差和最大負差為最小且相等的上述流量測量曲線的近似直線，以相對于最大流量值的百分比表示該近似直線與實測值的差，在該節(jié)流孔A的情況下，相對于正方向的流體流動(圖2的箭頭亻的方向)產(chǎn)生最大為+1.10％的線性誤差，而相對于反方向的流體流動(圖2的箭頭口的方向)產(chǎn)生最大為-0.243％的線性誤差，可知相對于反方向的流體流動的線性誤差顯著減小。
發(fā)明的效果在圖10所示的本發(fā)明的節(jié)流孔A和圖12，圖13和圖16的各節(jié)流孔相比的情況下，本發(fā)明的節(jié)流孔A的節(jié)流孔加工工序極少，而且其加工也是以穿孔為中心進行切削，不需特別的表面研磨加工等。
其結(jié)果，本發(fā)明的節(jié)流孔A與其它形式的節(jié)流孔相比，可以極低的價格制造。
另外，這與圖2所示的本發(fā)明的第2實施例的節(jié)流孔A的情況相同，以往的其它形式的節(jié)流孔相比，可以極低的價格制造。
而且，本發(fā)明的節(jié)流孔A的流量特性可在P2/P1=0.583左右的范圍范圍內(nèi)保持流量和1次側(cè)壓力P1之間的線性，但各節(jié)流孔之間的流量特性曲線基本相同。即，即使制造數(shù)個節(jié)流孔，大致全部的節(jié)流孔在P2/P1=0.583的范圍內(nèi)保持其線性。
其結(jié)果，各節(jié)流孔A的流量特性的補償只進行Q=KP1中的常數(shù)K的補償即足夠，節(jié)流孔A的流量特性的調(diào)整極為簡單。另外，本發(fā)明的節(jié)流孔A的流量壓力特性具有優(yōu)良的線性，且最大流量的50％的流量中的流量誤差也為較低的-1.56～-1.58％，具有充分的實用性。
另外，入口圓錐部為圓錐狀的圓錐部的本發(fā)明的第1實施例的節(jié)流孔A為具備流量的線性誤差少且高度的線性特性的節(jié)流孔，其結(jié)果可進行高精度的流量控制。
本發(fā)明如上所述，可簡單且廉價地制造壓力式流量控制裝置用的節(jié)流孔，而且在較寬的壓力比P2/P1的范圍內(nèi)保持1次壓力P1和流量之間的線性的同時，具有可簡單地進行各節(jié)流孔之間的流量特性調(diào)整(流量補償)的良好實用效果。
權(quán)利要求
1．一種壓力式流量控制裝置的節(jié)流孔，在節(jié)流孔上游側(cè)壓力P1和下游側(cè)壓力P2之比P2/P1保持在氣體的臨界壓力比以下的狀態(tài)下，以Q=KP1(K為常數(shù))計算節(jié)流孔下游側(cè)的流體流量Q，同時通過由計算出的流量Q和設(shè)定流量Qs的差信號控制節(jié)流孔上游側(cè)的控制閥開閉，調(diào)整節(jié)流孔上游側(cè)壓力P1，將節(jié)流孔下游側(cè)的流體流量控制為上述設(shè)定流量Qs，具備入口圓錐部(1)和與其相連接的較短的節(jié)流平行部(2)，該圓錐部(1)為在壓力式流量控制裝置中使用的節(jié)流孔中，將穿設(shè)在主體構(gòu)件(D)上的下孔(6)一方的開口端部切削而形成的喇叭吹口狀；并且還具備圓錐擴徑部(3)和與其相連接的平行擴徑部(4)，該圓錐擴徑部(3)與通過將上述下孔(6)另一方的開口端部擴徑而形成的上述節(jié)流平行部(2)相連接。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力式流量控制裝置的節(jié)流孔，入口圓錐部(1)為從剖面上看是內(nèi)壁面呈曲線形狀的入口圓錐部。
3．根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力式流量控制裝置的節(jié)流孔，入口圓錐部(1)為從剖面上看是內(nèi)壁面呈直線形狀的入口圓錐部。
4．一種壓力式流量控制裝置的節(jié)流孔的制造方法，從主體構(gòu)件(D)的一側(cè)面向另一側(cè)面穿有下孔(6)，之后通過刀具(1a)將下孔(6)的單側(cè)面的入口部內(nèi)方切削而形成呈喇叭吹口狀的入口圓錐部(1)和與其相連接的較短的節(jié)流平行部(2)，然后通過由擴徑用鉆孔錐(4a)從上述主體構(gòu)件(D)的另一側(cè)將下孔(6)的直徑擴大，形成與上述節(jié)流平行部(2)相連接的較短的圓錐擴徑部(3)以及與其相連接的平行擴徑部(4)。
5．根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓力式流量控制裝置的節(jié)流孔的制造方法，形成入口圓錐部(1)的刀具(1a)為納長石或直線型刀具。
6．根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的壓力式流量控制裝置的節(jié)流孔的制造方法，在形成入口圓錐部(1)和與其相連接的節(jié)流平行部(2)之后，用外徑與上述節(jié)流平行部(2)的內(nèi)徑(Φ1)相等的鉆孔錐(2a)從一側(cè)面將下孔(6)的直徑擴大，另外，在用擴徑用鉆孔錐(4a)從另一側(cè)面將下孔(6)的直徑擴大之前，用直徑較擴徑用鉆孔錐(4a)直徑粗的中心鉆孔器(7)對下孔(6)的另一側(cè)端部進行除毛刺的操作，另外，在上述圓錐擴徑部(3)形成后，用具有外徑與上述節(jié)流平行部(2)的內(nèi)徑(Φ1)相同的鉆孔錐(2a)從另一側(cè)面對節(jié)流平行部(2)的另一側(cè)端部進行除毛刺的操作。
全文摘要
一種壓力式流量控制裝置中使用的節(jié)流孔,節(jié)流孔具備入口圓錐部1和與其相連接的節(jié)流平行部2,該節(jié)流平行部2為在壓力式流量控制裝置中使用的節(jié)流孔中,將穿設(shè)在主體構(gòu)件D上的下孔6一方的開口端部切削而形成的喇叭吹口狀;并且還具備圓錐擴徑部3和與其相連接的平行擴徑部4,該圓錐擴徑部3與通過將上述下孔6另一方的開口端部擴徑而形成的上述節(jié)流平行部2相連接。
文檔編號G05D7/01GK1236418SQ98801149
公開日1999年11月24日 申請日期1998年8月13日 優(yōu)先權(quán)日1997年8月15日
發(fā)明者大見忠弘, 加賀爪哲, 杉山一彥, 深田収, 尾澤進, 佐藤義浩, 土肥亮介, 宇野富雄, 西野功二, 福田浩幸, 池田信一, 山路道雄 申請人:株式會社富士金, 大見忠弘, 東京電子株式會社