顯微鏡的加持及調(diào)整裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種顯微鏡的加持及調(diào)整裝置，用于加持顯微鏡并調(diào)整顯微鏡的觀測角度與視野范圍，包括X?Y?Z三自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與加持調(diào)整機(jī)構(gòu)(5)；所述的加持調(diào)整機(jī)構(gòu)(5)包括顯微鏡固定板(27)、兩個擺動滑桿(29)，鎖緊螺栓(30)與工作平臺(31)；工作平臺(31)通過連接板(4)與X?Y?Z三自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的終端移動件連接；顯微鏡安裝于顯微鏡固定板(27)上。結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，可以完成觀測疲勞裂紋的功能，并且能完成對不同尺寸，不同部位疲勞裂紋各個觀測角度的觀察與測量，并根據(jù)裂紋的擴(kuò)展走向加以移動觀測，從而得到疲勞裂紋的顯微圖像，以及裂紋的長度數(shù)據(jù)和擴(kuò)展規(guī)律走勢圖，并能夠監(jiān)測記錄材料損傷過程，且能與在線裂紋檢測系統(tǒng)同步進(jìn)行。
【專利說明】
顯微鏡的加持及調(diào)整裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本專利涉及機(jī)械結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種顯微鏡的加持及調(diào)整裝置，具體的是用于疲勞裂紋觀測用顯微鏡的加持及調(diào)整裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]顯微鏡是由一個透鏡或幾個透鏡的組合構(gòu)成的一種光學(xué)儀器，主要用于放大微小物體成為人的肉眼所能看到的儀器。在對材料的疲勞裂紋觀測時，需要有足夠顯微圖像分辨率，能夠監(jiān)測并記錄材料損傷過程，以便進(jìn)行線裂紋檢測，研究材料損傷特征。在實驗室研究過程中，由于疲勞裂紋產(chǎn)生、擴(kuò)展的不確定性，且實際實驗過程中對觀測角度的要求，現(xiàn)有顯微鏡并不能保證對裂紋不同角度及位置的觀測要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的是提供一種顯微鏡的加持及調(diào)整裝置，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，可以完成觀測疲勞裂紋的功能，并且能完成對不同尺寸，不同部位疲勞裂紋各個觀測角度的觀察與測量，并根據(jù)裂紋的擴(kuò)展走向加以移動觀測，從而得到疲勞裂紋的顯微圖像，以及裂紋的長度數(shù)據(jù)和擴(kuò)展規(guī)律走勢圖，并能夠監(jiān)測記錄材料損傷過程，且能與在線裂紋檢測系統(tǒng)同步進(jìn)行。
[0004]本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的:
[0005]—種顯微鏡的加持及調(diào)整裝置，用于加持顯微鏡并調(diào)整顯微鏡的觀測角度與視野范圍，包括X-Y-Z三自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與加持調(diào)整機(jī)構(gòu)5;
[0006]所述的加持調(diào)整機(jī)構(gòu)5包括顯微鏡固定板27、兩個擺動滑桿29，鎖緊螺栓30與工作平臺31;工作平臺31通過連接板4與X-Y-Z三自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的終端移動件連接；
[0007]顯微鏡固定板27下邊與工作平臺31鉸接，兩個擺動滑桿29下端與工作平臺31鉸接，擺動滑桿29設(shè)有長滑槽，鎖緊螺栓30設(shè)于長滑槽中并與顯微鏡固定板27兩側(cè)連接，顯微鏡固定板27、擺動滑桿29、鎖緊螺栓30與工作平臺31構(gòu)成曲柄導(dǎo)桿機(jī)構(gòu)；
[0008]顯微鏡安裝于顯微鏡固定板27上。
[0009]顯微鏡固定板27擺動角度為O?90度。
[0010]所述的X-Y-Z三自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括X軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)1、Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2與Z軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3;分別包括移動部件與固定部件；
[0011]Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2的固定部件固定于X軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)I的移動部件上，Z軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3的固定部件固定于Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2的移動部件上;Z軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3的移動部件為所述的X-Y-Z三自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的終端移動件。
[0012]所述的X軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)1、Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2與Z軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3均采用絲杠-螺母結(jié)構(gòu)實現(xiàn)調(diào)節(jié)，絲杠安裝于固定部件上軸向旋轉(zhuǎn)，螺母設(shè)于移動部件上，由絲杠驅(qū)動移動。
[0013]所述的X軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)1、Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2與Z軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3均包括導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)采用兩平行光杠固定于固定部件上導(dǎo)向，移動部件設(shè)有兩導(dǎo)向孔沿光杠精準(zhǔn)移動。
[0014]由上述本實用新型提供的技術(shù)方案可以看出，本實用新型實施例提供的一種顯微鏡的加持及調(diào)整裝置，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，可以完成觀測疲勞裂紋的功能，并且能完成對不同尺寸，不同部位疲勞裂紋各個觀測角度的觀察與測量，并根據(jù)裂紋的擴(kuò)展走向加以移動觀測，從而得到疲勞裂紋的顯微圖像，以及裂紋的長度數(shù)據(jù)和擴(kuò)展規(guī)律走勢圖，并能夠監(jiān)測記錄材料損傷過程，且能與在線裂紋檢測系統(tǒng)同步進(jìn)行。
【附圖說明】
[0015]為了更清楚地說明本實用新型實施例的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖。
[0016]圖1為本實用新型實施例提供的顯微鏡的加持及調(diào)整裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本實用新型實施例提供的顯微鏡的加持及調(diào)整裝置的加持調(diào)整機(jī)構(gòu)立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3為本實用新型實施例提供的顯微鏡的加持及調(diào)整裝置的加持調(diào)整機(jī)構(gòu)簡化機(jī)構(gòu)示意圖；
[0019]圖4為本實用新型實施例提供的顯微鏡的加持及調(diào)整裝置的X軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖5為本實用新型實施例提供的顯微鏡的加持及調(diào)整裝置的Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖6為本實用新型實施例提供的顯微鏡的加持及調(diào)整裝置的Z軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)立體結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0022]下面結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦偷膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型的保護(hù)范圍。
[0023]另需要說明的是本文中所提到的描述方位的“上”、“下”、“左”、“右”、“前、“后”除特殊說明均不特指該方位，只是為了描述方便，所述產(chǎn)品的放置方向不同其描述也不盡相同。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下可理解的方位，都屬于本實用新型的保護(hù)范圍。
[0024]下面將結(jié)合附圖對本實用新型實施例作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。
[0025]實施例一
[0026]如圖1到圖2所示，一種顯微鏡的加持及調(diào)整裝置，用于加持顯微鏡并調(diào)整顯微鏡的觀測角度與視野范圍，本實用新型不僅適用疲勞裂紋觀測用顯微鏡，也適用顯微鏡，其結(jié)構(gòu)上包括X-Y-Z三自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與加持調(diào)整機(jī)構(gòu)5;
[0027]所述的加持調(diào)整機(jī)構(gòu)5包括顯微鏡固定板27、兩個擺動滑桿29，鎖緊螺栓30與工作平臺31;工作平臺31通過連接板4與X-Y-Z三自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的終端移動件連接；
[0028]顯微鏡固定板27下邊與工作平臺31鉸接，具體是通過旋轉(zhuǎn)軸28鉸接，增加了鉸接的牢固性，兩個擺動滑桿29設(shè)于顯微鏡固定板27兩側(cè)，下端與工作平臺31鉸接，具體是通過螺栓鉸接，擺動滑桿29上設(shè)有長滑槽，鎖緊螺栓30設(shè)于長滑槽中并與顯微鏡固定板27兩側(cè)連接，顯微鏡固定板27擺動，鎖緊螺栓30在長滑槽滑動，如圖3所示，顯微鏡固定板27、擺動滑桿29，鎖緊螺栓30與工作平臺31構(gòu)成曲柄導(dǎo)桿機(jī)構(gòu);工作平臺31為“機(jī)架”，顯微鏡固定板27為連架桿“曲柄”，擺動滑桿29為連架桿“導(dǎo)桿”鎖緊螺栓30為“滑塊”，A、B為鉸接點，C為滑動鉸接點，這一結(jié)構(gòu)可以保證顯微鏡固定板27擺動角度為O?90度。在合適的角度，鎖緊螺栓30可以鎖緊曲柄導(dǎo)桿機(jī)構(gòu)。保證顯微鏡的觀測角度。
[0029]顯微鏡是安裝于顯微鏡固定板27上，具體的可以通過卡緊裝置安裝于顯微鏡固定板27上，現(xiàn)有的顯微鏡一般也是這樣安裝的。
[0030]本例的所述的X-Y-Z三自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括X軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)1、Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2與Z軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3;分別包括移動部件與固定部件；
[0031]Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2的固定部件固定于X軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)I的移動部件上，Z軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3的固定部件固定于Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2的移動部件上;Z軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3的移動部件為所述的X-Y-Z三自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的終端移動件。
[0032]本例的所述的X-Y-Z三自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，可以是任何的機(jī)械或機(jī)電結(jié)構(gòu)，如X-Y-Z三方向的步進(jìn)電機(jī)機(jī)構(gòu)、齒輪齒條機(jī)構(gòu)等，均是可以的，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以實現(xiàn)，均是本實用新型的保護(hù)范圍。
[0033]本例采用了最佳的機(jī)械結(jié)構(gòu)的技術(shù)方案，所述的X軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)1、Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2與Z軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3均采用絲杠-螺母結(jié)構(gòu)實現(xiàn)調(diào)節(jié)，絲杠安裝于固定部件上軸向旋轉(zhuǎn)，螺母設(shè)于移動部件上，由絲杠驅(qū)動移動。這種絲杠-螺母結(jié)構(gòu)具有精度高，調(diào)整方便的優(yōu)點。同時，為了提高導(dǎo)向精度，所述的X軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)1、Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2與Z軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3均包括導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)采用兩平行光杠固定于固定部件上導(dǎo)向，移動部件設(shè)有兩導(dǎo)向孔沿光杠精準(zhǔn)移動。
[0034]所述的X軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)I有具體結(jié)構(gòu)如圖4所示，包括作為固定部件的X軸底座
6、2個X軸支撐塊7、Χ軸絲杠8、2個X軸支撐用軸承9、Χ軸手輪10、2根X軸光杠11與作為移動部件的X軸滑臺12;其中X軸支撐塊7與X軸底座6固定連接，可以是螺栓連接也可以是一體結(jié)構(gòu);X軸支撐塊7兩邊的光孔用于固定兩根X軸光杠8，且每塊X軸支撐塊7中部設(shè)有軸承座孔，用于2個X軸支撐用軸承9的安裝與定位，軸承內(nèi)圈與X軸絲杠8采用小過盈的過度配合，X軸手輪10與X軸絲杠8尾端連接，具體可采用緊定螺釘固定連接。X軸滑臺12中部設(shè)有螺紋孔，與X軸絲杠8配合形成螺旋傳動，可以采用梯形螺紋，當(dāng)手搖X軸手輪10，則帶動X軸絲杠8旋轉(zhuǎn)運動，將此運動轉(zhuǎn)化為X軸滑臺12的直線移動，X軸滑臺12兩邊的光孔分別穿過兩根X軸光杠11，對X軸滑臺12的運動起導(dǎo)向作用及限位作用，保證其實現(xiàn)水平移動。這里采用兩個光杠11，是一種“超定位”的方式，保證導(dǎo)向精準(zhǔn)。
[0035]所述的Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2如圖5所示，包括作為固定部件的Y軸底座13、2個Y軸支撐塊14、Υ軸絲杠15、Υ軸支撐用軸承16、Υ軸手輪17、2根Y軸光杠18與作為移動部件的Y軸滑臺19;作為固定部件的Y軸底座13固定于作為X軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)I的移動部件的X軸滑臺12上;其中Y軸支撐塊14與Y軸底座13固定連接，可以是螺栓連接也可以是一體結(jié)構(gòu);Y軸支撐塊14兩邊的光孔用于固定兩根Y軸光杠18，且每塊Y軸支撐塊14中部設(shè)有軸承座孔，用于2個Y軸支撐用軸承16的安裝與定位，軸承內(nèi)圈與Y軸絲杠15采用小過盈的過度配合，Y軸手輪17與Y軸絲杠15尾端連接，具體可采用緊定螺釘固定連接。Y軸滑臺19中部設(shè)有螺紋孔，與Y軸絲杠15配合形成螺旋傳動，可以采用梯形螺紋，當(dāng)手搖Y軸手輪17，則帶動Y軸絲杠15旋轉(zhuǎn)運動，將此運動轉(zhuǎn)化為Y軸滑臺19的直線移動，Y軸滑臺19兩邊的光孔分別穿過兩根Y軸光杠18，對Y軸滑臺19的運動起導(dǎo)向作用及限位作用，保證其實現(xiàn)水平移動。這里采用兩個Y軸光杠18，是一種“超定位”的方式，保證導(dǎo)向精準(zhǔn)。
[0036]所述的Z軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3如圖6所示，包括作為固定部件的Z軸底座20、2個Z軸支撐塊21、2軸絲杠22、2軸支撐用軸承23、2軸手輪24、2根2軸光杠25與作為移動部件的2軸滑臺26;作為固定部件的Z軸底座20固定于作為Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2的移動部件的Y軸滑臺19上;其中Z軸支撐塊21與Z軸底座20固定連接，可以是螺栓連接也可以是一體結(jié)構(gòu);Z軸支撐塊21兩邊的光孔用于固定兩根Z軸光杠25，且每塊Z軸支撐塊21中部設(shè)有軸承座孔，用于2個Z軸支撐用軸承23的安裝與定位，軸承內(nèi)圈與Z軸絲杠22采用小過盈的過度配合，這里下方的軸承可以采用端面止推軸承;Z軸手輪24與Z軸絲杠22尾端連接，具體可采用緊定螺釘固定連接。Z軸滑臺26中部設(shè)有螺紋孔，與Z軸絲杠22配合形成螺旋傳動，可以采用梯形螺紋，當(dāng)手搖Z軸手輪24，則帶動Z軸絲杠22旋轉(zhuǎn)運動，將此運動轉(zhuǎn)化為Z軸滑臺26的直線移動，Z軸滑臺26兩邊的光孔分別穿過兩根Z軸光杠25，對Z軸滑臺26的運動起導(dǎo)向作用及限位作用，保證其實現(xiàn)水平移動。這里采用兩個Z軸光杠25，是一種“超定位”的方式，保證導(dǎo)向精準(zhǔn)。Z軸滑臺26作為X-Y-Z三自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的終端移動件，用于固定連接加持調(diào)整機(jī)構(gòu)5，具體的與工作平臺31通過連接板4連接。
[0037]因此通過手動調(diào)節(jié)X軸、Y軸和Z軸三軸的手輪即可實現(xiàn)三個自由度的工進(jìn)，從而使顯微鏡整體結(jié)構(gòu)達(dá)到所需觀測區(qū)域位置。
[0038]這里還要說明的是，上述的固定方式依次是X軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)1、Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2、Ζ軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3與加持調(diào)整機(jī)構(gòu)5;也可以是其它的排列組合:
[0039]固定方式依次是X軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)1、Ζ軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3、Υ軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2與加持調(diào)整機(jī)構(gòu)5;
[0040]固定方式依次是Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2、Χ軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)1、Ζ軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3與加持調(diào)整機(jī)構(gòu)5;
[0041 ]固定方式依次是Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2、Ζ軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3、Χ軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)I與加持調(diào)整機(jī)構(gòu)5;
[0042]固定方式依次是Z軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3、Χ軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)1、Υ軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2與加持調(diào)整機(jī)構(gòu)5;
[0043]固定方式依次是Z軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)3、Υ軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)2、Χ軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)I與加持調(diào)整機(jī)構(gòu)5;
[0044]均是本實用新型的保護(hù)范圍。
[0045]以上所述，僅為本實用新型較佳的【具體實施方式】，但本實用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項】
1.一種顯微鏡的加持及調(diào)整裝置，用于加持顯微鏡并調(diào)整顯微鏡的觀測角度與視野范圍，其特征在于，包括X-Y-Z三自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與加持調(diào)整機(jī)構(gòu)(5); 所述的加持調(diào)整機(jī)構(gòu)(5)包括顯微鏡固定板(27)、兩個擺動滑桿(29)，鎖緊螺栓(30)與工作平臺(31);工作平臺(31)通過連接板(4)與X-Y-Z三自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的終端移動件連接； 顯微鏡固定板(27)下邊與工作平臺(31)鉸接，兩個擺動滑桿(29)下端與工作平臺(31)鉸接，擺動滑桿(29)設(shè)有長滑槽，鎖緊螺栓(30)設(shè)于長滑槽中并與顯微鏡固定板(27)兩側(cè)連接，顯微鏡固定板(27)、擺動滑桿(29)、鎖緊螺栓(30)與工作平臺(31)構(gòu)成曲柄導(dǎo)桿機(jī)構(gòu)； 顯微鏡安裝于顯微鏡固定板(27)上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡的加持及調(diào)整裝置，其特征在于，顯微鏡固定板(27)擺動角度為O?90度。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的顯微鏡的加持及調(diào)整裝置，其特征在于:所述的X-Y-Z三自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括X軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(I)、Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2)與Z軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(3);分別包括移動部件與固定部件； Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2)的固定部件固定于X軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(I)的移動部件上，Z軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(3)的固定部件固定于Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2)的移動部件上;Z軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(3)的移動部件為所述的X-Y-Z三自由度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的終端移動件。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯微鏡的加持及調(diào)整裝置，其特征在于，所述的X軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(1)、Υ軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2)與Z軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(3)均采用絲杠-螺母結(jié)構(gòu)實現(xiàn)調(diào)節(jié)，絲杠安裝于固定部件上軸向旋轉(zhuǎn)，螺母設(shè)于移動部件上，由絲杠驅(qū)動移動。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的顯微鏡的加持及調(diào)整裝置，其特征在于，所述的X軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(I)、Y軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2)與Z軸支撐及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(3)均包括導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)采用兩平行光杠固定于固定部件上導(dǎo)向，移動部件設(shè)有兩導(dǎo)向孔沿光杠精準(zhǔn)移動。
【文檔編號】G01N21/01GK205643134SQ201620336641
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年4月20日
【發(fā)明人】竇艷濤, 盛敏徽, 蔡曉君, 崔洋, 韓碩
【申請人】北京石油化工學(xué)院