消除被測物體表面盲點(diǎn)的顯微鏡輔助裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提出一種消除被測物體表面盲點(diǎn)的顯微鏡輔助裝置。該顯微鏡輔助裝置包括底座、旋轉(zhuǎn)基體、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和置物臺(tái)以及置物臺(tái)支架；所述底座的上表面開設(shè)有凹槽以及橫穿凹槽的轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)基體通過轉(zhuǎn)軸安裝于所述凹槽內(nèi)，能夠在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用下相對于凹槽自由轉(zhuǎn)動(dòng)；所述旋轉(zhuǎn)基體在轉(zhuǎn)軸所在的位置開設(shè)有缺口，在該缺口形成的內(nèi)凹表面通過水平調(diào)節(jié)組件固定安裝置物臺(tái)支架，所述置物臺(tái)通過豎直調(diào)節(jié)組件與置物臺(tái)支架安裝連接；所述置物臺(tái)的上表面設(shè)置有用于安放固定被觀測物體的機(jī)構(gòu)。該裝置只需要添加在顯微鏡載物臺(tái)表面，通過操作該裝置，即可實(shí)現(xiàn)對被測物體全方位觀察，消除被測物體表面的盲點(diǎn)，補(bǔ)足被測物體的全方位信息。
【專利說明】
消除被測物體表面盲點(diǎn)的顯微鏡輔助裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及一種顯微鏡輔助裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]反射光顯微鏡觀測物體的原理是:外來光源照射到物體表面，被物體反射后進(jìn)入顯微鏡成像系統(tǒng)，形成放大的像。但是只能觀察光源直接照射在物體表面區(qū)域的像，對于一些特殊孔洞及溝槽，由于側(cè)壁呈倒角分布，入射光被孔洞及溝槽的上表面遮擋，光無法完全進(jìn)入孔洞及溝槽的底部和側(cè)壁。在顯微鏡觀察物體時(shí)，這些無法被觀察的區(qū)域形成盲點(diǎn)，造成被測物體信息的缺失。
[0003]為了消除這種測試現(xiàn)象，目前韓國的HUVITZ數(shù)碼顯微鏡通過調(diào)整物鏡的傾斜角度，可以實(shí)現(xiàn)對被測物體全方位觀察，消除被測物體表面的盲點(diǎn)，補(bǔ)足被測物體的全方位信息。但是，該顯微鏡價(jià)格昂貴，且只適用于固定型號的顯微鏡。對于市場上常見的反射顯微鏡，如果采用該技術(shù)對其改裝，則存在破壞現(xiàn)有光學(xué)系統(tǒng)導(dǎo)致成像質(zhì)量降低以及損壞顯微鏡原有構(gòu)造的風(fēng)險(xiǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了各種常見反射顯微鏡消除盲點(diǎn)，并避免改裝顯微鏡引入顯微鏡成像質(zhì)量降低以及損壞顯微鏡原有構(gòu)造的風(fēng)險(xiǎn)，本發(fā)明提出一種新型的顯微鏡輔助裝置。
[0005]本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0006]消除被測物體表面盲點(diǎn)的顯微鏡輔助裝置，包括底座、旋轉(zhuǎn)基體、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和置物臺(tái)以及置物臺(tái)支架;所述底座的上表面開設(shè)有凹槽以及橫穿凹槽的轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)基體通過轉(zhuǎn)軸安裝于所述凹槽內(nèi)，能夠在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用下相對于凹槽自由轉(zhuǎn)動(dòng);所述旋轉(zhuǎn)基體在轉(zhuǎn)軸所在的位置開設(shè)有缺口，在該缺口形成的內(nèi)凹表面通過水平調(diào)節(jié)組件固定安裝置物臺(tái)支架，所述置物臺(tái)通過豎直調(diào)節(jié)組件與置物臺(tái)支架安裝連接;所述置物臺(tái)的上表面設(shè)置有用于安放固定被觀測物體的機(jī)構(gòu)。
[0007]在以上方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還進(jìn)一步作了如下優(yōu)化:
[0008]上述凹槽為半球型凹槽。當(dāng)然，只要滿足旋轉(zhuǎn)基體在凹槽內(nèi)自由轉(zhuǎn)動(dòng)，凹槽的具體形狀并不限于半球型。
[0009]上述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)為:在底座的側(cè)面開設(shè)有貫通至所述凹槽的弧形通槽，弧形通槽內(nèi)插接有與旋轉(zhuǎn)基體側(cè)面固定連接的搖桿，弧形通槽即作為該搖桿的驅(qū)動(dòng)行程。當(dāng)然，除了這一具體結(jié)構(gòu)外，還可以采用常規(guī)的其他結(jié)構(gòu)形式，如在旋轉(zhuǎn)基體頂部設(shè)置推桿，或者旋轉(zhuǎn)基體內(nèi)置電磁線圈以非接觸的方式驅(qū)動(dòng)，等等。
[0010]上述轉(zhuǎn)軸安裝于旋轉(zhuǎn)基體的一角，置物臺(tái)支架通過水平調(diào)節(jié)組件與缺口形成的內(nèi)凹表面的內(nèi)側(cè)立面固定連接，置物臺(tái)以及置物臺(tái)支架與所述內(nèi)側(cè)立面保持間距;所述水平調(diào)節(jié)組件包括自缺口外側(cè)向缺口內(nèi)側(cè)水平貫穿置物臺(tái)支架并鉆入所述內(nèi)側(cè)立面的調(diào)節(jié)螺絲、以及靠近所述內(nèi)側(cè)立面一端水平套接于該調(diào)節(jié)螺絲上的彈簧;所述豎直調(diào)節(jié)組件包括豎直貫穿置物臺(tái)并鉆入置物臺(tái)支架的調(diào)節(jié)螺絲、以及位于置物臺(tái)與置物臺(tái)支架之間豎直套接于該調(diào)節(jié)螺絲上的彈簧。這里需要說明，其實(shí)轉(zhuǎn)軸并不必須安裝于旋轉(zhuǎn)基體的一角。水平調(diào)節(jié)組件和豎直調(diào)節(jié)組件的具體結(jié)構(gòu)可以采用常規(guī)的其他結(jié)構(gòu)形式。
[0011]上述豎直調(diào)節(jié)組件還包括一根或多根豎向的導(dǎo)向桿，豎向的導(dǎo)向桿豎直貫穿置物臺(tái)并鉆入置物臺(tái)支架。
[0012]上述置物臺(tái)支架與所述缺口形成的內(nèi)凹表面的位于轉(zhuǎn)軸中心線上的兩側(cè)立面緊密貼合。
[0013]上述水平調(diào)節(jié)組件還包括一根或多根橫向的導(dǎo)向桿，該橫向的導(dǎo)向桿自缺口外側(cè)向缺口內(nèi)側(cè)水平貫穿置物臺(tái)支架并鉆入所述內(nèi)側(cè)立面。
[0014]上述用于安放固定被觀測物體的機(jī)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)為:置物臺(tái)設(shè)置有用于抽真空的內(nèi)部氣路孔道，在置物臺(tái)表面靠近轉(zhuǎn)軸處設(shè)置有真空吸附槽，該真空吸附槽與所述內(nèi)部氣路孔道連通，作為安放被觀測物體的位置。當(dāng)然，安放固定被觀測物體除了采用真空吸附方式外，還可以采用常規(guī)的其他結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)，如設(shè)置卡扣、插槽、粘接條等方式。
[0015]本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0016]1、該裝置只需要添加在顯微鏡載物臺(tái)表面，通過操作該裝置，即可實(shí)現(xiàn)對被測物體全方位觀察，消除被測物體表面的盲點(diǎn)，補(bǔ)足被測物體的全方位信息。
[0017]2、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、可靠，安裝簡易；增大了顯微鏡對物體的測試角度，增加了顯微鏡獲取物體的信息量;只需進(jìn)行簡便的調(diào)節(jié)，即可獲取全方位信息。
【附圖說明】
[0018]圖1為被測物體的觀測盲點(diǎn)的示意圖。
[0019]圖2、圖3、圖4為本發(fā)明結(jié)構(gòu)的不同視角的示意圖。
[0020]圖5為本發(fā)明結(jié)構(gòu)的剖視示意圖。
[0021]圖6為本發(fā)明中置物臺(tái)的局部放大示意圖(無被觀測物體，露出真空吸附槽)。
[0022]附圖標(biāo)號說明:
[0023]1-底座，2-旋轉(zhuǎn)基體，3-轉(zhuǎn)軸，4-搖桿(旋轉(zhuǎn)基體的驅(qū)動(dòng)桿)，5-操作桿行程限位槽，6-水平調(diào)節(jié)組件，7-豎直調(diào)節(jié)組件，8-抽真空氣路孔道，9-真空吸附槽，10-置物臺(tái)，11-置物臺(tái)支架，12-被觀測物體；
[0024]61-左右調(diào)節(jié)螺絲，62-橫向彈簧，
[0025]71-高低調(diào)節(jié)螺絲，72-豎向彈簧。
【具體實(shí)施方式】
[0026]如圖2-圖6所示，所述底座的上表面開設(shè)有凹槽以及橫穿凹槽的轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)基體的一角通過轉(zhuǎn)軸安裝于凹槽內(nèi)，通過驅(qū)動(dòng)搖桿，能夠使旋轉(zhuǎn)基體相對于凹槽自由轉(zhuǎn)動(dòng);旋轉(zhuǎn)基體在轉(zhuǎn)軸所在的位置開設(shè)有缺口，在該缺口形成的內(nèi)凹表面固定設(shè)置有置物臺(tái)支架，置物臺(tái)以及置物臺(tái)支架與缺口形成的內(nèi)凹表面的內(nèi)側(cè)立面保持間距;置物臺(tái)通過水平調(diào)節(jié)組件和豎直調(diào)節(jié)組件與置物臺(tái)支架安裝連接。
[0027]水平調(diào)節(jié)組件具體包括自缺口外側(cè)向缺口內(nèi)側(cè)水平貫穿置物臺(tái)支架的調(diào)節(jié)螺絲、以及靠近所述內(nèi)側(cè)立面一端水平套接于該調(diào)節(jié)螺絲上的彈簧;豎直調(diào)節(jié)組件具體包括豎直貫穿置物臺(tái)并鉆入置物臺(tái)支架的調(diào)節(jié)螺絲、以及位于置物臺(tái)與置物臺(tái)支架之間豎直套接于該調(diào)節(jié)螺絲上的彈簧。
[0028]置物臺(tái)設(shè)置有用于抽真空的內(nèi)部氣路孔道，在置物臺(tái)表面靠近轉(zhuǎn)軸處設(shè)置有真空吸附槽，該真空吸附槽與所述內(nèi)部氣路孔道連通，作為安放被觀測物體的位置。
[0029]本發(fā)明輔助觀測的操作步驟如下:
[0030]1.將該輔助裝置放置于顯微鏡載物臺(tái)表面并固定，使得該輔助裝置的邊線和顯微鏡水平調(diào)節(jié)旋鈕的方向平行或垂直。
[0031]2.將該輔助裝置中置物臺(tái)的真空吸附槽以及內(nèi)部氣路孔道接通真空栗。
[0032]3.調(diào)節(jié)該輔助裝置的旋轉(zhuǎn)基體，使得旋轉(zhuǎn)基體上表面和顯微鏡載物臺(tái)上表面平行，調(diào)節(jié)顯微鏡載物臺(tái)的上下位置，直到顯微鏡可以清晰呈現(xiàn)該輔助裝置的旋轉(zhuǎn)基體上表面。
[0033]4.調(diào)節(jié)顯微鏡載物臺(tái)其中一個(gè)水平旋鈕，使輔助裝置的旋轉(zhuǎn)基體邊緣線位于顯微鏡視場正中間，調(diào)節(jié)另一個(gè)水平旋鈕，使該輔助裝置中置物臺(tái)位于顯微鏡視場中。
[0034]5.把待觀測物體放置該輔助裝置中置物臺(tái)的表面，打開真空栗，吸附固定待觀測物體。
[0035]6.通過高低調(diào)節(jié)螺絲和左右調(diào)節(jié)螺絲及與左右調(diào)節(jié)螺絲調(diào)節(jié)方向垂直的顯微鏡水平旋鈕來共同調(diào)節(jié)置物臺(tái)的位置(被觀測物體的位置)，直到被觀測物體表面在顯微鏡視場中清晰可見。
[0036]7.調(diào)節(jié)顯微鏡支架不同角度位置，可實(shí)現(xiàn)對被觀測物體全方位的觀察。
[0037]該輔助裝置再調(diào)節(jié)角度時(shí)，被觀測物體部位保持一個(gè)水平位置，始終處于顯微鏡的焦距和視場內(nèi)。
[0038]另外，在測試半導(dǎo)體激光器等正方體的邊緣時(shí)，通過調(diào)節(jié)支架的角度，可以對位于邊緣的相鄰兩個(gè)平面內(nèi)的點(diǎn)進(jìn)行觀測，簡化了分別對相鄰兩面進(jìn)行觀測的復(fù)雜過程。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.消除被測物體表面盲點(diǎn)的顯微鏡輔助裝置，其特征在于:包括底座、旋轉(zhuǎn)基體、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和置物臺(tái)以及置物臺(tái)支架;所述底座的上表面開設(shè)有凹槽以及橫穿凹槽的轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)基體通過轉(zhuǎn)軸安裝于所述凹槽內(nèi)，能夠在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用下相對于凹槽自由轉(zhuǎn)動(dòng);所述旋轉(zhuǎn)基體在轉(zhuǎn)軸所在的位置開設(shè)有缺口，在該缺口形成的內(nèi)凹表面通過水平調(diào)節(jié)組件固定安裝置物臺(tái)支架，所述置物臺(tái)通過豎直調(diào)節(jié)組件與置物臺(tái)支架安裝連接;所述置物臺(tái)的上表面設(shè)置有用于安放固定被觀測物體的機(jī)構(gòu)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡輔助裝置，其特征在于:所述凹槽為半球型凹槽。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡輔助裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)為:在底座的側(cè)面開設(shè)有貫通至所述凹槽的弧形通槽，弧形通槽內(nèi)插接有與旋轉(zhuǎn)基體側(cè)面固定連接的搖桿，弧形通槽即作為該搖桿的驅(qū)動(dòng)行程。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡輔助裝置，其特征在于:所述轉(zhuǎn)軸安裝于旋轉(zhuǎn)基體的一角，置物臺(tái)支架通過水平調(diào)節(jié)組件與缺口形成的內(nèi)凹表面的內(nèi)側(cè)立面固定連接，置物臺(tái)以及置物臺(tái)支架與所述內(nèi)側(cè)立面保持間距;所述水平調(diào)節(jié)組件包括自缺口外側(cè)向缺口內(nèi)側(cè)水平貫穿置物臺(tái)支架并鉆入所述內(nèi)側(cè)立面的調(diào)節(jié)螺絲、以及靠近所述內(nèi)側(cè)立面一端水平套接于該調(diào)節(jié)螺絲上的彈簧;所述豎直調(diào)節(jié)組件包括豎直貫穿置物臺(tái)并鉆入置物臺(tái)支架的調(diào)節(jié)螺絲、以及位于置物臺(tái)與置物臺(tái)支架之間豎直套接于該調(diào)節(jié)螺絲上的彈簧。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的顯微鏡輔助裝置，其特征在于:所述豎直調(diào)節(jié)組件還包括一根或多根豎向的導(dǎo)向桿，所述豎向的導(dǎo)向桿豎直貫穿置物臺(tái)并鉆入置物臺(tái)支架。6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的顯微鏡輔助裝置，其特征在于:所述置物臺(tái)支架與所述缺口形成的內(nèi)凹表面的位于轉(zhuǎn)軸中心線上的兩側(cè)立面緊密貼合。7.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的顯微鏡輔助裝置，其特征在于:所述水平調(diào)節(jié)組件還包括一根或多根橫向的導(dǎo)向桿，所述橫向的導(dǎo)向桿自缺口外側(cè)向缺口內(nèi)側(cè)水平貫穿置物臺(tái)支架并鉆入所述內(nèi)側(cè)立面。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡輔助裝置，其特征在于，所述用于安放固定被觀測物體的機(jī)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)為:所述置物臺(tái)設(shè)置有用于抽真空的內(nèi)部氣路孔道，在置物臺(tái)表面靠近轉(zhuǎn)軸處設(shè)置有真空吸附槽，該真空吸附槽與所述內(nèi)部氣路孔道連通，作為安放被觀測物體的位置。
【文檔編號】G02B21/26GK106019552SQ201610471424
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年6月23日
【發(fā)明人】李秀山, 王貞福, 楊國文
【申請人】中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所