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快速二次元光學(xué)測量裝置的制造方法

文檔序號:10766846閱讀:748來源:國知局
快速二次元光學(xué)測量裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型屬于光學(xué)檢測領(lǐng)域,尤其涉及一種快速二次元光學(xué)測量裝置,包括測量框架,測量框架的底部設(shè)有光源,待測樣品位于光源上方,與光源相應(yīng)的測量框架的上部設(shè)有多個用于采集待測樣品圖像的取像元件,多個取像元件可以同時對待測樣品上相互垂直的兩尺寸方向采集圖像,取像元件連接圖像處理元件,測量框架上還設(shè)有可對取像元件位置進行調(diào)節(jié)的取像元件調(diào)節(jié)機構(gòu),因而本實用新型測量裝置可以根據(jù)待測樣品的尺寸大小情況,將測量框架上部的取像元件調(diào)節(jié)到合適位置后,多個取像元件便可以同時對待測樣品上相互垂直的兩尺寸方向采集圖像,然后由圖像處理元件根據(jù)接收到的圖像執(zhí)行二次元的計算,提高了測量精度和測量效率,具有廣闊的市場前景。
【專利說明】
快速二次元光學(xué)測量裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于光學(xué)檢測領(lǐng)域,尤其涉及一種快速二次元光學(xué)測量裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]產(chǎn)品或模具的二次元信息主要是指產(chǎn)品或模具的長、寬等基本尺寸以及其包含的孔或凹槽等其他幾何尺寸,二次元信息測量是光學(xué)檢測領(lǐng)域重要的檢測項目之一,尤其是對于電子產(chǎn)品面板,為了達(dá)到最優(yōu)性能,電子產(chǎn)品面板的長、寬、孔等要受到嚴(yán)格限定,因而,二次元信息的檢測成為電子產(chǎn)品面板生產(chǎn)商和應(yīng)用商品質(zhì)檢測工作的重要環(huán)節(jié),在這種市場背景下,如何快速且精確的測量出二次元信息,成為電子產(chǎn)品面板生產(chǎn)商和應(yīng)用商關(guān)心的焦點問題。
[0003]目前市場上常見的二次元檢測裝置是在待測樣品上方固定設(shè)有取像相機,取像相機連接圖像處理單元,待測樣品的上方或下方設(shè)有照明單元,照明單元發(fā)出的光經(jīng)待測樣品后反射或透射后進入取像相機,取像相機采集此時的圖像并將其傳送給圖像處理單元,由圖像處理單元對接收到的圖像進行二次元的計算。由于要對待測樣品進行多個幾何尺寸的測量,因而在使用這種檢測裝置測量二次元時需要人工手動來回移動待測樣品的位置,嚴(yán)重影響了測量效率。為了提高測量效率,市場上還有一種改進后的測量裝置是將待測樣品設(shè)置在移動平臺上,通過自動化控制移動平臺的位移實現(xiàn)對待測樣品位置的調(diào)整,這種測量裝置雖然不需要人工手動調(diào)整待測樣品的位置,一定程度上提高了測量效率,但是由于取像相機仍需要分別多次對待測樣品采集圖像,因而這種改進后的測量裝置仍不能滿足高效率的要求。同時,由于待測樣品設(shè)置在移動平臺上,為了保證待測樣品移動時取像相機采集的圖像不失真,此時需要移動平臺滿足高精密的要求,這就提高了測量裝置整體的制造成本。如果移動平臺不能滿足高精密的要求,待測樣品移動時會導(dǎo)致取像相機采集的圖像失真,從而影響了二次元測量的測量精度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種能夠快速測量二次元信息、測量精度高且適用范圍廣的快速二次元光學(xué)測量裝置。
[0005]本發(fā)明解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足所采用的技術(shù)方案是:
[0006]一種快速二次元光學(xué)測量裝置,包括測量框架,其特征在于,測量框架的底部設(shè)有光源,待測樣品位于光源上方,與光源相應(yīng)的測量框架的上部設(shè)有多個用于采集待測樣品圖像的取像元件,多個取像元件可以同時對待測樣品上相互垂直的兩尺寸方向采集圖像,取像元件連接圖像處理元件,測量框架上還設(shè)有可對取像元件位置進行調(diào)節(jié)的取像元件調(diào)節(jié)機構(gòu)。
[0007]本發(fā)明所述的測量框架上設(shè)有導(dǎo)向桿,所述的取像元件安裝在導(dǎo)向桿上,且沿待測樣品長邊方向的導(dǎo)向桿上分別設(shè)有三個取像元件,沿待測樣品短邊方向的導(dǎo)向桿上分別設(shè)有兩個取像元件。十個取像元件可以同時對待測樣品長邊和短邊兩個相互垂直的尺寸方向采集圖像,提高了測量效率和精度,取像元件分別安裝在導(dǎo)向桿上,便于取像元件調(diào)節(jié)機構(gòu)對取像元件的位置進行調(diào)節(jié),操作方便。
[0008]本發(fā)明所述的取像元件調(diào)節(jié)機構(gòu)是在測量框架上設(shè)有滾珠絲杠和水平滑軌,水平滑軌上設(shè)有水平滑座,所述的導(dǎo)向桿固定在水平滑座上,滾珠絲杠的螺母連接水平滑座。通過滾珠絲杠運作帶動水平滑座上的導(dǎo)向桿沿著水平滑軌來回移動,從而對導(dǎo)向桿上的取像元件位置進行調(diào)節(jié)。
[0009]本發(fā)明所述的滾珠絲杠為雙向絲杠,雙向絲杠上均設(shè)有左旋、右旋無牙螺母,且雙向絲杠的一端設(shè)有旋轉(zhuǎn)把手。滾珠絲杠選用雙向絲杠,可以對取像元件的位置進行遠(yuǎn)近調(diào)節(jié),使本發(fā)明測量裝置可以適用于測量不同尺寸大小的待測樣品,擴大了本發(fā)明的應(yīng)用范圍。雙向絲杠上設(shè)有左旋、右旋無牙螺母,使用者可以根據(jù)具體情況對取像元件的位置進行快速調(diào)節(jié),提高了測量效率。雙向絲杠一端設(shè)有旋轉(zhuǎn)把手,可以方便人工對取像元件的位置進行調(diào)節(jié),提高了易操作性。
[0010]本發(fā)明所述的光源為偏振光源,使本發(fā)明待測樣品上方取像元件采集的圖像更清晰,提高了本發(fā)明測量裝置的測量精度。
[0011]本發(fā)明所述的光源上方的測量框架上設(shè)有待測樣品治具,供放置待測樣品。待測樣品放置在待測樣品治具上,可以防止測量過程中待測樣品發(fā)生位移,提高了本發(fā)明測量裝置的測量精度。
[0012]本發(fā)明所述的待測樣品治具是在測量框架上設(shè)有治具框,治具框下部的四周邊設(shè)有支撐塊,支撐塊下部設(shè)有支撐彈簧,與支撐塊相應(yīng)的治具框上部設(shè)有滑槽,支撐塊一端設(shè)有滑柱,滑柱上端由滑槽內(nèi)凸出于治具框,支撐塊另一端設(shè)有限位柱。通過沿著滑槽移動凸出于治具框的滑柱,可以根據(jù)待測樣品實際尺寸的大小調(diào)節(jié)支撐塊的位置,使支撐塊上的限位柱將待測樣品固定住。
[0013]本發(fā)明所述的滑槽邊緣設(shè)有刻度,且刻度的大小范圍與待測樣品的尺寸大小相對應(yīng)。使用本發(fā)明測量裝置時,操作者可以根據(jù)待測樣品尺寸的大小,快速的將滑柱移動到相應(yīng)的刻度處,節(jié)省了來回移動滑柱的時間,提高了本發(fā)明測量裝置的測量效率。
[0014]本發(fā)明所述的取像元件為千兆以太網(wǎng)工業(yè)相機。
[0015]本發(fā)明所述的工業(yè)相機前端設(shè)有遠(yuǎn)心鏡頭,測量精度高。
[0016]本發(fā)明所述的工業(yè)相機鏡筒上設(shè)有角度調(diào)節(jié)機構(gòu),可以通過對其調(diào)節(jié)使遠(yuǎn)心鏡頭與待測樣品的表面相垂直,進一步提高本發(fā)明測量裝置的測量精度。
[0017]本發(fā)明所述的工業(yè)相機鏡筒上還設(shè)有高度調(diào)節(jié)機構(gòu),可以對遠(yuǎn)心鏡頭與待測樣品之間的距離進行調(diào)節(jié),使二者之間的距離與遠(yuǎn)心鏡頭的焦距相適應(yīng),提高測量精度。
[0018]本發(fā)明的有益效果是,由于本發(fā)明快速二次元測量裝置包括測量框架,測量框架的底部設(shè)有光源,待測樣品位于光源上方,與光源相應(yīng)的測量框架的上部設(shè)有多個用于采集待測樣品圖像的取像元件,多個取像元件可以同時對待測樣品上相互垂直的兩尺寸方向采集圖像,取像元件連接圖像處理元件,測量框架上還設(shè)有可對取像元件位置進行調(diào)節(jié)的取像元件調(diào)節(jié)機構(gòu),因而利用本發(fā)明測量裝置進行二次元光學(xué)測量時,只需要將待測樣品放置于光源上方,根據(jù)待測樣品的尺寸大小情況,通過取像元件調(diào)節(jié)機構(gòu)將測量框架上部的取像元件調(diào)節(jié)到合適位置后,多個取像元件便可以同時對待測樣品上相互垂直的兩尺寸方向采集圖像,然后取像元件將采集到的圖像發(fā)送給圖像處理元件,最終由圖像處理元件根據(jù)接收到的圖像執(zhí)行二次元的計算。由于取像元件安裝在導(dǎo)向桿上,便于取像元件調(diào)節(jié)機構(gòu)對取像元件進行位置調(diào)節(jié),提高了本發(fā)明的易操作性。由于取像元件調(diào)節(jié)機構(gòu)是在測量框架上設(shè)有滾珠絲杠和水平滑軌,水平滑軌上設(shè)有水平滑座,所述的導(dǎo)向桿固定在水平滑座上,滾珠絲杠的螺母連接水平滑座,且所述的滾珠絲杠為雙向絲杠,雙向絲杠上均設(shè)有左旋、右旋無牙螺母,雙向絲杠的一端設(shè)有旋轉(zhuǎn)把手,因而使用本發(fā)明測量裝置時,通過滾珠絲杠的運作可以帶動水平滑座上的導(dǎo)向桿沿著水平滑軌來回移動,從而對取像元件的位置進行遠(yuǎn)近調(diào)節(jié),使本發(fā)明測量裝置可以適用于測量不同尺寸大小的待測樣品,擴大了本發(fā)明的應(yīng)用范圍。雙向絲杠上設(shè)有左旋、右旋無牙螺母,使用者可以根據(jù)具體情況對取像元件的位置進行快速調(diào)節(jié),提高了測量效率。雙向絲杠一端設(shè)有旋轉(zhuǎn)把手,可以方便使用者對取像元件的位置進行調(diào)節(jié),提高了本發(fā)明測量裝置的易操作性。由于測量框架上還設(shè)有供放置待測樣品的待測樣品治具,待測樣品放置在待測樣品治具上,可以防止測量過程中待測樣品發(fā)生位移,避免了待測樣品位置的不確定性,提高了本發(fā)明測量裝置的測量精度。
【附圖說明】
[0019]圖1為本發(fā)明測量裝置的一種實施例結(jié)構(gòu)示意圖,也是一種優(yōu)選實施例示意圖。
[0020]圖2為圖1的俯視圖。
[0021 ]圖3為本發(fā)明待測樣品治具的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖4為本發(fā)明取像元件的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0023]以下描述用于揭露本發(fā)明以使本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)本發(fā)明。以下描述中的優(yōu)選實施例只作為舉例,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以想到其他顯而易見的變型。在以下描述中界定的本發(fā)明的基本原理可以應(yīng)用于其他實施方案、變形方案、改進方案、等同方案以及沒有背離本發(fā)明的精神和范圍的其他技術(shù)方案。
[0024]圖1示出了本發(fā)明快速二次元光學(xué)測量裝置的一種實施例結(jié)構(gòu)示意圖,也是一種優(yōu)選實施例示意圖。如圖1所示,本實施例所述的快速二次元光學(xué)測量裝置,包括測量框架10,測量框架10的底部設(shè)有光源20,待測樣品位于光源10上方,與光源20相應(yīng)的測量框架10的上部設(shè)有多個用于采集待測樣品圖像的取像元件30,多個取像元件30可以同時對待測樣品上相互垂直的兩尺寸方向采集圖像,取像元件30均連接圖像處理元件(圖中未示出),取像元件30對光源20發(fā)出的光經(jīng)待測樣品之后的圖像進行采集,然后將采集到的圖像傳送給圖像處理元件,由圖像處理元件根據(jù)接收到的圖像進行二次元的計算。由圖1可以看出,測量框架10上還設(shè)有可對取像元件30位置進行調(diào)節(jié)的取像元件調(diào)節(jié)機構(gòu)。
[0025]由圖1、圖2可以看出,本實施例所述的測量框架10上設(shè)有導(dǎo)向桿31,所述的取像元件30安裝在導(dǎo)向桿31上,便于取像元件調(diào)節(jié)機構(gòu)對取像元件30的位置進行調(diào)節(jié),操作方便,且在本實施例中,沿待測樣品長邊方向的導(dǎo)向桿31上分別設(shè)有三個取像元件30,沿待測樣品短邊方向的導(dǎo)向桿31上分別設(shè)有兩個取像元件30,即本實施例中待測樣品上方共設(shè)有十個取像元件,十個取像元件可以同時對待測樣品長邊和短邊兩個相互垂直的尺寸方向采集圖像,提高了測量效率和測量精度。
[0026]由圖2可以看出,本實施例所述的取像元件調(diào)節(jié)機構(gòu)是在測量框架10上設(shè)有滾珠絲杠32和水平滑軌33,水平滑軌33上設(shè)有水平滑座34,所述的導(dǎo)向桿31—端固定在水平滑座34上,滾珠絲杠32的螺母連接水平滑座34。使用本發(fā)明裝置時,通過滾珠絲杠的運作可以帶動水平滑座34上的導(dǎo)向桿31沿著水平滑軌來回移動,從而對導(dǎo)向桿31上的取像元件30位置進行調(diào)節(jié)。為了使本發(fā)明測量裝置可以適用于測量不同尺寸大小的待測樣品,本實施例所述的滾珠絲杠32為雙向絲杠,雙向絲杠上均設(shè)有左旋、右旋無牙螺母,通過雙向絲杠的運作可以調(diào)節(jié)左旋、右旋無牙螺母之間的距離減小或增大,從而調(diào)整取像元件之間的距離,使本發(fā)明可以測量不同尺寸大小的待測樣品,擴大了本發(fā)明測量裝置的應(yīng)用范圍。由于雙向絲杠上設(shè)有無牙螺母,使用者可以根據(jù)待測樣品尺寸大小的具體情況實現(xiàn)對取像元件位置的快速調(diào)節(jié),提高了測量效率。由圖1、圖2可以看出,雙向絲杠的一端還設(shè)有旋轉(zhuǎn)把手35,可以方便使用者通過旋轉(zhuǎn)把手帶動雙向絲杠運作,從而實現(xiàn)對取像元件的位置進行調(diào)節(jié),提高了本發(fā)明測量裝置的易操作性。
[0027]如圖1、圖3所示,本實施例所述的光源20上方的測量框架10上設(shè)有待測樣品治具50,供放置待測樣品,待測樣品放置在待測樣品治具上,可以防止測量過程中待測樣品發(fā)生位移,避免了待測樣品位置的不確定性,提高了本發(fā)明測量裝置的測量精度。由圖3可以看出,本實施例所述的待測樣品治具50是在測量框架10上設(shè)有治具框51,治具框51下部的四周邊設(shè)有支撐塊52,支撐塊52下部設(shè)有支撐彈簧,與支撐塊52相應(yīng)的治具框51上部設(shè)有滑槽53,支撐塊52—端設(shè)有滑柱54,滑柱54上端由滑槽53內(nèi)凸出于治具框51,支撐塊另一端設(shè)有限位柱55,使用本發(fā)明測量裝置時,操作者可以通過沿著滑槽53移動凸出于治具框51的滑柱54,從而根據(jù)待測樣品實際尺寸的大小調(diào)節(jié)支撐塊52的位置,使支撐塊52上的限位柱55將待測樣品固定住,操作方便。作為優(yōu)選實施方式,本實施例所述的滑槽53邊緣設(shè)有刻度,且刻度的大小范圍與待測樣品的尺寸大小相對應(yīng),使用時操作者可以根據(jù)待測樣品尺寸的實際大小,快速的將滑柱54移動到滑槽53相應(yīng)的刻度處,節(jié)省了操作者移動滑柱的時間,提高了本發(fā)明測量裝置的測量效率。
[0028]作為優(yōu)選實施方式,本實施例所述的取像元件30為千兆以太網(wǎng)工業(yè)相機,靈敏度好,測量精度高。千兆以太網(wǎng)工業(yè)相機前端設(shè)有遠(yuǎn)心鏡頭,進一步提高了本發(fā)明測量裝置的測量精度。由圖4中可以看出,本實施例所述的千兆以太網(wǎng)工業(yè)相機鏡筒上設(shè)有角度調(diào)節(jié)機構(gòu)62,操作者可以通過對角度調(diào)節(jié)機構(gòu)62進行調(diào)節(jié),使遠(yuǎn)心鏡頭與待測樣品的表面相垂直,確保了二者之間的垂直度,使本發(fā)明測量裝置具有較高的測量精度。作為進一步改進,本實施例所述的工業(yè)相機鏡筒上還設(shè)有高度調(diào)節(jié)機構(gòu)63,可以對遠(yuǎn)心鏡頭與待測樣品之間的距離進行調(diào)節(jié),使二者之間的距離與遠(yuǎn)心鏡頭的焦距相適應(yīng),提高了測量精度。優(yōu)選的,本實施例所述的圖像處理元件為具有數(shù)據(jù)處理軟件的通用計算機。
[0029]本實施例所述的光源20優(yōu)選為偏振光源,對此,在本實施例中,所述的偏振光源是通過在LED光源與待測樣品之間設(shè)置了偏振片來實現(xiàn)。由于本實施例中光源設(shè)置在待測樣品下方,因而本實施例所述的待測樣品優(yōu)選為透明材料物體,如玻璃。
[0030]利用本發(fā)明快速二次元光學(xué)測量裝置測量二次元時,操作者可以根據(jù)待測樣品的尺寸大小情況,快速將待測樣品治具上的滑柱移動到滑槽內(nèi)與待測樣品尺寸相應(yīng)的刻度處,然后將待測樣品放置在待測樣品治具的支撐塊上,通過支撐塊上的限位柱將待測樣品固定在待測樣品治具上,從而可以防止待測樣品在測量過程中發(fā)生位移,避免了待測樣品位置的不確定性,提高了本發(fā)明測量裝置的測量精度。將待測樣品固定住后,根據(jù)待測樣品的實際尺寸大小,調(diào)節(jié)測量框架上的旋轉(zhuǎn)把手,將取像元件調(diào)整到與待測樣品尺寸相應(yīng)的合適位置,從而可以對待測樣品采集清晰、完整的圖像,提高了測量精度。由于本發(fā)明待測樣品上方設(shè)有十個取像元件,可以同時對待測樣品相互垂直的兩尺寸方向采集圖像,大大提高了本發(fā)明測量裝置的測量效率。
[0031]本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)理解,上述描述及附圖中所示的本發(fā)明的實施例只作為舉例而并不限制本發(fā)明。本發(fā)明的目的已經(jīng)完整并有效地實現(xiàn)。本發(fā)明的功能及結(jié)構(gòu)原理已在實施例中展示和說明,在沒有背離所述原理下,本發(fā)明的實施方式可以有任何變形或修改。
【主權(quán)項】
1.一種快速二次元光學(xué)測量裝置,包括測量框架,其特征在于,測量框架的底部設(shè)有光源,待測樣品位于光源上方,與光源相應(yīng)的測量框架的上部設(shè)有多個用于采集待測樣品圖像的取像元件,多個取像元件可以同時對待測樣品上相互垂直的兩尺寸方向采集圖像,取像元件連接圖像處理元件,測量框架上還設(shè)有可對取像元件位置進行調(diào)節(jié)的取像元件調(diào)節(jié)機構(gòu)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速二次元光學(xué)測量裝置,其特征在于,所述的測量框架上設(shè)有導(dǎo)向桿,所述的取像元件安裝在導(dǎo)向桿上,且沿待測樣品長邊方向的導(dǎo)向桿上分別設(shè)有三個取像元件,沿待測樣品短邊方向的導(dǎo)向桿上分別設(shè)有兩個取像元件。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的快速二次元光學(xué)測量裝置,其特征在于,所述的取像元件調(diào)節(jié)機構(gòu)是在測量框架上設(shè)有滾珠絲杠和水平滑軌,水平滑軌上設(shè)有水平滑座,所述的導(dǎo)向桿固定在水平滑座上,滾珠絲杠的螺母連接水平滑座。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的快速二次元光學(xué)測量裝置,其特征在于,所述的滾珠絲杠為雙向絲杠,雙向絲杠上均設(shè)有左旋、右旋無牙螺母,且雙向絲杠的一端設(shè)有旋轉(zhuǎn)把手。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的二次元光學(xué)測量裝置,其特征在于,所述的光源為偏振光源。6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的快速二次元光學(xué)測量裝置,其特征在于,所述的光源上方的測量框架上設(shè)有待測樣品治具,供放置待測樣品。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的快速二次元光學(xué)測量裝置,其特征在于,所述的待測樣品治具是在測量框架上設(shè)有治具框,治具框下部的四周邊設(shè)有支撐塊,支撐塊下部設(shè)有支撐彈簧,與支撐塊相應(yīng)的治具框上部設(shè)有滑槽,支撐塊一端設(shè)有滑柱,滑柱上端由滑槽內(nèi)凸出于治具框,支撐塊另一端設(shè)有限位柱。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的快速二次元光學(xué)測量裝置,其特征在于,所述的滑槽邊緣設(shè)有刻度,且刻度的大小范圍與待測樣品的尺寸大小相對應(yīng)。9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的快速二次元光學(xué)測量裝置,其特征在于,所述的取像元件為千兆以太網(wǎng)工業(yè)相機,且千兆以太網(wǎng)工業(yè)相機前端設(shè)有遠(yuǎn)心鏡頭。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的快速二次元光學(xué)測量裝置,其特征在于,所述的工業(yè)相機鏡筒上設(shè)有角度調(diào)節(jié)機構(gòu)和高度調(diào)節(jié)機構(gòu)。
【文檔編號】G01B11/00GK205448968SQ201620149542
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2016年2月29日
【發(fā)明人】唐翔, 黃海瑞, 陶金明, 汪旭東, 閆飛, 彭衛(wèi)軍, 楊曉寧, 秦學(xué)琴, 趙偉
【申請人】蘇州精創(chuàng)光學(xué)儀器有限公司
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