一種高精度真空管真空度測(cè)試儀的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種在軍工、電子工業(yè)等領(lǐng)域中，用于對(duì)真空管的真空度進(jìn)行高精度測(cè)量的高精度真空管真空度測(cè)試儀。
【背景技術(shù)】
[0002]目前對(duì)真空管真空度的微電流測(cè)量以1-V變換電路實(shí)現(xiàn)為主，電路結(jié)構(gòu)為電流輸入運(yùn)放反相輸入端，同相輸入端接地，反相輸入端與輸出端接1-V變換電阻，其特點(diǎn)是電流測(cè)量精度比較高，其缺點(diǎn)是測(cè)量范圍比較窄，如測(cè)量范圍涵蓋6個(gè)數(shù)量級(jí)，則至少需要分四段測(cè)量，由繼電器切檔實(shí)現(xiàn)，并且在切換點(diǎn)附近時(shí)測(cè)量誤差較大，測(cè)量速度也較慢，通常該種微電流測(cè)量方式，為保證測(cè)量精度，一般測(cè)量范圍比較窄。另外一種方法是直接在回路的采樣電阻上取分壓，該方法的采樣電阻阻值通常非常大，在測(cè)量中非常容易受到干擾，同時(shí)為保證測(cè)量精度，還需要附加補(bǔ)償電路，其測(cè)量電路復(fù)雜，成本高，且測(cè)量數(shù)據(jù)一致性較差。隨著真空管的發(fā)展，上述做法已無(wú)法滿(mǎn)足真空管真空度的測(cè)量要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]鑒于現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型提供一種長(zhǎng)期工作穩(wěn)定性和可靠性高，真空度測(cè)量精度可達(dá)10_7Pa的高精度真空管真空度測(cè)試儀。
[0004]本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的，所采取的技術(shù)方案是:一種高精度真空管真空度測(cè)試儀，包括設(shè)置在外殼內(nèi)的高精度真空管真空度測(cè)試儀電路，所述高精度真空管真空度測(cè)試儀電路包括AC/DC供電電路1、AC/DC供電電路I1、30kV高壓直流電源電路、高壓緩沖電路、觸控屏電路、光纖隔離電路1、光纖隔離電路I1、信號(hào)隔離電路、高隔DC/DC電路、單片控制電路及光纖接口電路，其特征在于:還包括微電流測(cè)量電路，所述30kV高壓直流電源電路分別與AC/DC供電電路1、微電流測(cè)量電路及信號(hào)隔離電路連接，所述單片控制電路分別與高隔DC/DC電路、光纖接口電路、觸控屏電路、信號(hào)隔離電路及光纖隔離電路II連接，所述AC/DC供電電路II分別與觸控屏電路和高隔DC/DC電路連接，所述微電流測(cè)量電路分別與高壓緩沖電路和光纖隔離電路I連接，所述光纖隔離電路I與光纖隔離電路II連接。
[0005]本實(shí)用新型的有益效果是:該高精度真空管真空度測(cè)試儀可完全替代國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品，大大降低企業(yè)的采購(gòu)成本。測(cè)量的速度快，整個(gè)測(cè)量時(shí)間在200ms左右。測(cè)量精度高，測(cè)量錯(cuò)誤率極低，測(cè)量范圍寬，實(shí)際測(cè)量范圍從幾nA至1.5mA?？垢蓴_及抗高壓沖擊能力強(qiáng)，不怕輸出短路，長(zhǎng)期工作可靠性高?？梢酝獠堪惭b上位機(jī)軟件，并通過(guò)安裝的觸控屏，使測(cè)試操作更加方便、靈活。
【附圖說(shuō)明】
[0006]圖1是本實(shí)用新型的電路連接；
[0007]圖2本實(shí)用新型中微電流測(cè)量電路的電原理圖；
[0008]圖3本實(shí)用新型中控制流程圖；
[0009]圖4實(shí)用新型實(shí)際應(yīng)用中的連接框圖。
【具體實(shí)施方式】
[0010]如圖1、2所示，一種高精度真空管真空度測(cè)試儀，包括設(shè)置在外殼內(nèi)的高精度真空管真空度測(cè)試儀電路，高精度真空管真空度測(cè)試儀電路包括AC/DC供電電路1、AC/DC供電電路I1、30kV高壓直流電源電路、高壓緩沖電路、觸控屏電路、光纖隔離電路1、光纖隔離電路
I1、信號(hào)隔離電路、高隔DC/DC電路、單片控制電路及光纖接口電路，還包括微電流測(cè)量電路。
[0011]30kV高壓直流電源電路分別與AC/DC供電電路1、微電流測(cè)量電路及信號(hào)隔離電路連接，單片控制電路分別與高隔DC/DC電路、光纖接口電路、觸控屏電路、信號(hào)隔離電路及光纖隔離電路II連接，AC/DC供電電路II分別與觸控屏電路和高隔DC/DC電路連接，微電流測(cè)量電路分別與高壓緩沖電路和光纖隔離電路I連接，光纖隔離電路I與光纖隔離電路II連接。
[0012]上述微電流測(cè)量電路具體連接為，微電流輸入到接插件J4的2腳RTN，接插件J4的I腳E接微電流測(cè)量電路參考地大地，接插件J4的2腳RTN分別接電容C20、電阻R3的一端、M0S管Q2的柵極及源極，電容C20另一端接微電流測(cè)量電路參考地，MOS管Q2漏極分別接二極管D9、電容C6、電阻R12的一端，電阻R12另一端接+12V，電容C6另一端接二極管D9的另一端及微電流測(cè)量電路參考地，電阻R3另一端接繼電器RELAY的11腳，繼電器RELAY的I腳分別接+24V、二極管D1負(fù)極、繼電器RELAY的4腳，繼電器RELAY的16腳分別接二極管D1正極、三極管Q3集電極，三極管Q3基極分別接電阻R27、電阻R32、電容C38的一端，電阻R27另一端分別接電容C38另一端、三極管Q3的發(fā)射極、光耦UlO的3腳及+24V的參考地GND，電阻R32另一端分別接電阻R26—端、光耦UlO的4腳，電阻R26另一端接+24V，光耦UlO的I腳接接插件J2的I腳Z J，光耦Ul O的2腳通過(guò)電阻R40接數(shù)字地DGND，繼電器RELAY的8腳接接插件J3的3腳DIS，繼電器RELAY的9腳接運(yùn)放U7的6腳及2腳，運(yùn)放U7的7腳接+9V，運(yùn)放U7的4腳接-9V，運(yùn)放U7的3腳接電容C3的一端、跳線JPl的2腳，電容C3的另一端接微電流測(cè)量電路參考地，跳線JPl的I腳、2腳相連并分別接電阻R37、電阻R38的一端，電阻R38另一端接微電流測(cè)量電路參考地，電阻R37另一端通過(guò)電阻R36接Vref5V，跳線JPl的3腳接電位器RW中心抽頭，電位器RW另外兩端的一端接Vref5V，另一端微電流測(cè)量電路參考地，基準(zhǔn)U9的3腳接Vref5V，基準(zhǔn)現(xiàn)的2腳接微電流測(cè)量電路參考地，基準(zhǔn)U9的I腳分別接電阻R5—端、電阻R6—端，電阻R5另一端接Vref5V，電阻R6另一端接微電流測(cè)量電路參考地，電容C5的正極接Vref5V，電容C5的負(fù)極接微電流測(cè)量電路參考地，電阻R4的一端接+9V，電阻R4的另一端接Vref 5V，電阻R9的一端接Vref 5V，電阻R9的另一端通過(guò)電阻R8分別接電阻R7、電容C4的一端、運(yùn)放U5的3腳，電阻R7的另一端與電容C4的另一端接微電流測(cè)量電路參考地，運(yùn)放U5的2腳、I腳相接并分別與電阻R13—端、MOS管Ql的漏極連接，電阻R13的另一端接微電流測(cè)量電路參考地，繼電器RELAY的13腳通過(guò)電阻R2分別接電阻Rll、電阻Rl的一端，電阻Rl的另一端分別接電阻R10、電阻RO的一端、MOS管Ql的柵極及源極，電阻RO的另一端接微電流測(cè)量電路參考地，電阻RlO的另一端分別接電容Cl 一端、運(yùn)放UI的3腳，電容Cl的另一端接微電流測(cè)量電路參考地，電阻Rl I的另一端分別接電容C2—端、運(yùn)放U2的3腳，電容C2的另一端接微電流測(cè)量電路參考地，運(yùn)放U2的7腳接+V2，運(yùn)放U2的4腳接-V2，運(yùn)放U2的I腳通過(guò)電容C9接微電流測(cè)量電路參考地，運(yùn)放U2的8腳通過(guò)電容C8接微電流測(cè)量電路參考地，運(yùn)放U2的5腳接微電流測(cè)量電路參考地，運(yùn)放U2的2腳分別接電阻R15、電容C7的一端，電容C7的另一端分別接電阻R14—端、運(yùn)放U2的6腳，電阻R14的另一端分別接電容C10、電阻R18的一端、電阻R15的另一端，電容ClO的另一端接微電流測(cè)量電路參考地，電阻R18的另一端分別接電阻R19—端、運(yùn)放U3的3腳，電阻R19的另一端接微電流測(cè)量電路參考地，運(yùn)放U3的7腳接+V3，運(yùn)放U3的4腳接-V3，運(yùn)放U3的I腳接電容C12的一端，電容C12的一端接微電流測(cè)量電路參考地，運(yùn)放U3的8腳通過(guò)電容Cll接微電流測(cè)量電路參考地，運(yùn)放U3的5腳接微電流測(cè)量電路參考地，運(yùn)放U3的6腳分別接電阻R21—端、穩(wěn)壓管Dzl負(fù)極、電阻R34—端，穩(wěn)壓管Dzl正極接微電流測(cè)量電路參考地，電阻R34另一端分別接電容C40、芯片U6的3腳，電容C40另一端接微電流測(cè)量電路參考地，電阻R21另一端分別接電阻R20—端、運(yùn)放U3的2腳，電阻R20另一端分別接電阻Rl 6、電阻Rl 7、電阻R22、電容C18、電阻R28的一端，電阻R16另一端分別接電容C13—端、運(yùn)放Ul的6腳，電容C13另一端分別接電阻R17另一端、運(yùn)放Ul的2腳，運(yùn)放Ul的7腳接+Vl，運(yùn)放Ul的4腳接-Vl，運(yùn)放UI的8腳通過(guò)電容C14接微電流測(cè)量電路參考地，運(yùn)放UI的I腳通過(guò)電容Cl 5接微電流測(cè)量電路參考地，運(yùn)放UI的5腳接微電流測(cè)量電路參考地，電容C18另一端接微電流測(cè)量電路參考地，電阻R22另一端分別接電阻R23的一端、運(yùn)放U4的3腳，電阻R23另一端接微電流測(cè)量電路參考地，運(yùn)放U4的7腳接+V4，運(yùn)放U4的4腳接-V4，運(yùn)放U4的8腳通過(guò)電容C16接微電流測(cè)量電路參考地，運(yùn)放U4的I腳接電容C17—端，電容C17另一端接微電流測(cè)量電路參考地，運(yùn)放的5腳接微電流測(cè)量電路參考地，運(yùn)放U4的2腳分別接電阻R24—端、電阻R25—端，電阻R25另一端分別接U4的6腳、電阻R35—端、穩(wěn)壓管Dz2負(fù)極，穩(wěn)壓管Dz2正極和電阻R24另一端接微電流測(cè)量電路參考地，電阻R35另一端分別接電容C39—端、芯片U6的2腳，電容C39另一端接微電流測(cè)量電路參考地，芯片U6的10腳接Vref5V，芯片U6的9腳分別接電阻R39—端、電容C19正極、電容C21正極、基準(zhǔn)1111的1(端及+5￥端，電阻1?9另一端接+9￥端，電容(:19、電容〇21的另一端及基準(zhǔn)Ull的A端分別接微電流測(cè)量電路參考地，芯片U6的I腳接接插件J2的2腳CONV，芯片U6的8腳接接插件J2