一種探針卡的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體制程設(shè)備，特別是涉及一種用于監(jiān)測芯片電特性的探針卡。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中的探針卡一般包括懸臂式探針卡和垂直式探針卡，如圖1所示，圖1顯示的是現(xiàn)有技術(shù)中懸臂式探針卡的結(jié)構(gòu)示意圖。懸臂式探針卡一般包括平鋪開在探針尖端和承載探針尖端且長度為L、寬度為b、厚度為h的懸臂，以及通過信號線與懸臂電連接的焊盤凸點(diǎn)；所述焊盤凸點(diǎn)將與測試機(jī)臺中的電路進(jìn)行連接用以完成測試；所述平鋪開的若干探針尖端彼此之間具有尖端間隙；并且各個探針尖端用于接觸晶圓上對應(yīng)的各個焊墊；這種懸臂式探針卡一般設(shè)有較少數(shù)量的探針尖端，用于測試具有少量焊墊的測試結(jié)構(gòu)；例如可用于WAT的測試等。而對于大多數(shù)晶圓上的測試結(jié)構(gòu)來說，這些測試結(jié)構(gòu)含有較多的焊墊，這種懸臂式探針卡不能很好地用于測試其他除測試晶圓上的測試結(jié)構(gòu)之外的其他測試結(jié)構(gòu)。
[0003]還有一種垂直式探針卡可用于測試具有數(shù)目較多的焊墊的測試結(jié)構(gòu)，如圖2所不，這種垂直式探針卡一般由分布在一個基板10上的若干垂直于該基板的懸臂11和位于懸臂自由端的尖端12組成。為方便說明，圖1中只給出一個位于基板上的懸臂。該垂直式探針卡的尖端較懸臂式探針卡的探針尖端更加靠近晶圓上的焊墊，使得測試更加靈敏；同時由于該垂直式探針卡同時排布在同一個基板10上，排布密集使得更加節(jié)省焊墊的排布面積，因此能夠測試具有較多焊墊的測試結(jié)構(gòu)。
[0004]而如圖2所示的現(xiàn)有技術(shù)中的每一個垂直式探針卡中的懸臂是由若干橫臂和縱臂交錯連接而成的方波形懸臂，懸臂的一端固定于一基板10上，另一端設(shè)有尖端12 ;當(dāng)進(jìn)行測試時，通常在基板的背面施加壓力；所述方波形懸臂的橫臂和縱臂的連接點(diǎn)13常常由于壓力的作用會發(fā)生扭曲形變，該形變引起所述尖端12與晶圓上的焊墊接觸不良，最終導(dǎo)致測試無效。
[0005]因此，有必要提出一種新的探針卡解決上述問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種探針卡，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中的垂直式探針卡由于施加壓力的同時使得懸臂容易發(fā)生形變而導(dǎo)致尖端與焊墊接觸不靈敏的問題。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種探針卡，所述探針卡至少包括:具有上下表面的基板；垂直固定于所述基板上表面的若干方波形懸臂；所述方波形懸臂由若干橫臂和縱臂交錯連接而成；其中相鄰兩個所述橫臂之間固定有支撐部件；所述懸臂的自由端設(shè)有尖端。
[0008]作為本實(shí)用新型的探針卡的一種優(yōu)選方案，所述支撐部件為由兩個縱臂和連接在該兩個縱臂之間的一個橫臂構(gòu)成的U型金屬部件；所述U型金屬部件的兩個縱臂平行于所述方波形懸臂中的橫臂；所述U型金屬部件的兩個縱臂的末端設(shè)有垂直于該U型金屬部件的縱臂的支柱，其中一個支柱固定于所述支撐部件中與所述支柱相鄰的橫臂和縱臂的連接點(diǎn)。
[0009]作為本實(shí)用新型的探針卡的一種優(yōu)選方案，所述懸臂中相鄰兩個橫臂之間的所述U型金屬部件的橫臂較該U型金屬部件的開口更靠近于所述懸臂中該相鄰兩個橫臂之間的縱臂。
[0010]作為本實(shí)用新型的探針卡的一種優(yōu)選方案，所述方波形懸臂的若干橫臂長度分別相等，其若干縱臂長度分別相等；所述U型金屬部件的橫臂的長度為所述懸臂中的縱臂長度的1/3?1/2 ;所述U型金屬部件的縱臂的長度小于所述懸臂中橫臂的長度。
[0011]作為本實(shí)用新型的探針卡的一種優(yōu)選方案，所述支撐部件為由兩個縱臂和連接在該兩個縱臂之間的一個橫臂形成的非金屬U型部件；所述非金屬U型部件的兩個縱臂平行于所述方波形懸臂中的橫臂；所述非金屬U型部件的兩個縱臂的末端設(shè)有垂直于該非金屬U型部件的縱臂的支柱，該兩個支柱分別固定于與所述每個支柱最接近的懸臂的橫臂和縱臂的連接點(diǎn)。
[0012]作為本實(shí)用新型的探針卡的一種優(yōu)選方案，所述懸臂的自由端為構(gòu)成該懸臂的橫臂；所述尖端設(shè)置于該懸臂自由端的橫臂上；與該自由端的橫臂最接近的U型非金屬部件中的支柱固定于該自由端的橫臂上。
[0013]作為本實(shí)用新型的探針卡的一種優(yōu)選方案，所述支撐部件為由非金屬材料制成的支撐柱；所述支撐柱的兩端分別固定于所述方波形懸臂中相鄰的兩個橫臂上。
[0014]作為本實(shí)用新型的探針卡的一種優(yōu)選方案，所述方波形懸臂中每相鄰兩個橫臂之間固定有至少兩個支撐柱。
[0015]作為本實(shí)用新型的探針卡的一種優(yōu)選方案，固定于所述基板下表面的若干方波形懸臂在所述基板上的排布與該探針卡所測試的晶圓中的焊墊在所述晶圓上的排布形成對應(yīng)。
[0016]如上所述，本實(shí)用新型的探針卡，具有以下有益效果:本實(shí)用新型的所述探針卡在每相鄰兩個橫臂之間設(shè)有支撐部件使得在所述基板的上表面施加壓力的同時，所述方波形懸臂不至于由于受力不均勻而導(dǎo)致變形，從而避免由于懸臂的變形而使得探針與晶圓上焊墊相互擠壓導(dǎo)致各自損壞，并且造成測試無效。
【附圖說明】
[0017]圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中懸臂式探針卡的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖2顯示為現(xiàn)有技術(shù)中垂直式探針卡的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖3顯示為本實(shí)用新型的一種垂直式探針卡的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖4和圖5顯不為本實(shí)用新型的另兩種垂直式探針卡的結(jié)構(gòu)不意圖。
[0021]元件標(biāo)號說明
[0022]10基板
[0023]11方波形懸臂
[0024]111、142、152 橫臂
[0025]112、141、151 縱臂
[0026]12尖端
[0027]13連接點(diǎn)
[0028]14U型金屬部件
[0029]143、153支柱
[0030]15非金屬U型部件
[0031]16支撐柱
【具體實(shí)施方式】
[0032]以下通過特定的具體實(shí)例說明本發(fā)明的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本發(fā)明還可以通過另外不同的【具體實(shí)施方式】加以實(shí)施或應(yīng)用，本說明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒有背離本發(fā)明的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。
[0033]請參圖3至圖5。需要說明的是，本實(shí)施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本發(fā)明的基本構(gòu)想，遂圖式中僅顯示與本發(fā)明中有關(guān)的組件而非按照實(shí)際實(shí)施時的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實(shí)際實(shí)施時各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。
[0034]實(shí)施例一
[0035]如圖3所示，本實(shí)用新型提供一種探針卡，所述探針卡設(shè)有基板10，所述基板10設(shè)有上下表面；所述基板的上表面設(shè)有垂直固定于該基板上表面的若干方波形懸臂11 ;如圖3所示，所述方波形懸臂由若干橫臂111和縱臂112交錯連接而成；其中相鄰兩個所述橫臂之間固定有支撐部件；所述懸臂的自由端設(shè)有尖端12。作為本實(shí)用新型的探針卡的一種優(yōu)選方案，如圖3所示，所述支撐部件為由兩個縱臂141和連接在該兩個縱臂141之間的一個橫臂142構(gòu)成的U型金屬部件14 ;所述U型金屬部件14與所述懸臂11的位置關(guān)系為:兩個縱臂平行于所述方波形懸臂中的橫臂；所述U型金屬部件14的兩個縱臂的末端還設(shè)有垂直于該U型金屬部件的縱臂的支柱143，其中一個支柱固定于所述支撐部件中與所述支柱相鄰的橫臂和縱臂的連接點(diǎn)。由于所述支撐部件為U型金屬部件，因此，本實(shí)用新型的方案若使用金屬部件作為支撐部件，則該支撐部件盡量不與所述懸臂11中的兩個相鄰的橫臂111連接，避免短路。另外，之所以在所述U型金屬部件14的兩個縱臂的末端設(shè)置兩個垂直該縱臂的支柱143，并且將其中一個支柱固定在所述懸臂的橫臂和縱臂的連接點(diǎn)，目的是在所述基板的下表面施加如圖所示的壓力時，所述連接點(diǎn)處的支柱可以起到平衡力矩的作用。
[0036]作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，如圖3所示，所述懸臂11中相鄰兩個橫臂111之間的所述U型金屬部件14的橫臂142較該U型金屬部件的開口更靠近于所述懸臂中該相鄰兩個橫臂之間的縱臂112。也就是說，圖3中位于所述探針卡懸臂的相鄰兩個橫臂111之間的U型金屬部件14的開口朝外，所述U型金屬部件14的開口與該U型金屬部件的橫臂相比，其橫臂更靠近于位于該U型金屬部件上下兩個橫臂111之間的縱臂112。該優(yōu)選方案中，之所以將所述U型金屬部件的開口朝外的目的一個是使得在所述U型金屬部件的兩個縱臂上的支柱能夠落在所述懸臂的橫臂和縱臂的連接點(diǎn)的同時，能使得整個U型金屬部件落在懸臂兩個橫臂之間的空間內(nèi)，由于所述基板上會排布眾多所述懸臂，因此，該優(yōu)選方案的好處是能節(jié)省懸臂的排布空間，使得每個懸臂在所述基板上排布的更加緊湊。