十字型探針卡的制作方法
【專利摘要】一種十字型探針卡，包括：探針卡板，所述探針卡板用于承載所述功能測試端子；測試端子，所述測試端子分布設(shè)置在所述探針卡板的圓周邊沿；探針引腳，所述探針引腳與所述待測器件之探針墊對應(yīng)，呈十字型排布，并設(shè)置在所述探針卡盤之中間部位。本發(fā)明所述十字型探針卡可同時完成對所述測試單元的橫向模組測試和縱向模組測試，且無需進(jìn)行芯片角度旋轉(zhuǎn)，極大的縮短了WAT測試時間，提高了測試效率。同時，本發(fā)明所述十字型探針卡可保證所述探針引腳位于同一平面，避免探針引腳異面導(dǎo)致的WAT測試異常。
【專利說明】十字型探針卡
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件測試【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種十字型探針卡。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,集成電路(Integrated Circuit, IC)集成度越來越高,并在所述芯片(Chip)的周圍設(shè)計(jì)探針墊(Pad)，使其周圍具有若干十字型探針墊，所述芯片便包括橫向測試模組和縱向測試模組。在晶圓可接受測試(Wafer Accepted Test, WAT)過程中，所述探針卡是所述測試機(jī)臺與所述待測器件之間的紐帶，用于電連接所述測試機(jī)臺與所述待測器件。
[0003]請參閱圖4 (a)、圖4 (b),圖4 (a)?圖4 (b)所示為現(xiàn)有探針卡之結(jié)構(gòu)示意圖。但是，現(xiàn)有的探針卡3之探針31通常為單排或者雙排結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。在晶圓可接受測試過程中，需要建立兩個方向的探針菜單，即橫向探針菜單和縱向探針菜單。
[0004]作為本領(lǐng)域技術(shù)人員，容易理解地，在所述橫向探針菜單下，僅能進(jìn)行橫向模組測試；在縱向探針菜單下，僅能進(jìn)行縱向模組測試。故，在完成所述芯片之橫向模組測試后，需要將所述芯片旋轉(zhuǎn)90°，并再次扎針，以完成所述縱向模組測試。顯然地，所述芯片的多次旋轉(zhuǎn)，以及重復(fù)扎針勢必影響所述晶圓可接受性測試效率。
[0005]故針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本案設(shè)計(jì)人憑借從事此行業(yè)多年的經(jīng)驗(yàn)，積極研究改良，于是有了本發(fā)明一種十字型探針卡。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明是針對現(xiàn)有技術(shù)中，在所述傳統(tǒng)的晶圓可接受性測試測試時，所述芯片需要多次旋轉(zhuǎn)，以及重復(fù)扎針導(dǎo)致的晶圓可接受性測試效率低下等缺陷提供一種十字型探針卡。
[0007]為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明之目的，本發(fā)明提供一種十字型探針卡，所述十字型探針卡包括:探針卡板，所述探針卡板用于承載所述功能測試端子；測試端子，所述測試端子分布設(shè)置在所述探針卡板的圓周邊沿；探針引腳，所述探針引腳與所述待測器件之探針墊對應(yīng)，呈十字型排布，并設(shè)置在所述探針卡盤之中間部位。
[0008]可選地，所述分布設(shè)置在所述探針卡板之圓周邊沿的測試端子的數(shù)量為48個。
[0009]可選地，所述呈十字型排布，并設(shè)置在所述探針卡板之中間部位的探針引腳的數(shù)量為24個。
[0010]可選地，所述探針引腳呈對稱分布設(shè)置在所述探針卡板之中間部位。
[0011]可選地，所述探針引腳在任一方向上所述探針引腳呈并行交叉排列，所述探針引腳不相互交叉。
[0012]可選地，所述十字型探針卡可同時完成對所述測試單元的橫向模組測試和縱向模組測試，且無需進(jìn)行芯片角度旋轉(zhuǎn)。
[0013]綜上所述，本發(fā)明所述十字型探針卡可同時完成對所述測試單元的橫向模組測試和縱向模組測試，且無需進(jìn)行芯片角度旋轉(zhuǎn)，極大的縮短了 WAT測試時間，提高了測試效率。同時，本發(fā)明所述十字型探針卡可保證所述探針引腳位于同一平面，避免探針引腳異面導(dǎo)致的WAT測試異常。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1所示為本發(fā)明十字型探針卡的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2 Ca)所示為本發(fā)明十字型探針卡之探針引腳的俯視圖；
[0016]圖2 (b)所示為本發(fā)明十字型探針卡之探針引腳的仰視圖；
[0017]圖3所示為本發(fā)明十字型探針卡的測試結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖4 (a)?圖4 (b)所示為現(xiàn)有探針卡之結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]為詳細(xì)說明本發(fā)明創(chuàng)造的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所達(dá)成目的及功效，下面將結(jié)合實(shí)施例并配合附圖予以詳細(xì)說明。
[0020]請參閱圖1，圖1所示為本發(fā)明十字型探針卡之結(jié)構(gòu)示意圖。所述十字型探針卡I包括:探針卡板(Prober Card Board, PCB) 11,所述探針卡板11用于承載所述功能測試端子；測試端子12，所述測試端子12分布設(shè)置在所述探針卡板11的圓周邊沿；探針引腳13，所述探針引腳13與所述待測器件之探針墊(未圖示)對應(yīng)，呈十字型排布，并設(shè)置在所述探針卡盤11之中間部位。
[0021]作為【具體實(shí)施方式】，非限制性的列舉，在本發(fā)明中，所述分布設(shè)置在所述探針卡板11之圓周邊沿的測試端子12的數(shù)量為48個；所述呈十字型排布，并設(shè)置在所述探針卡板11之中間部位的探針引腳13的數(shù)量為24個。更具體地，所述探針引腳13呈對稱分布設(shè)置在所述探針卡板11之中間部位。
[0022]請參閱圖2 (a)、圖2 (b),并結(jié)合參閱圖1,圖2 (a)所示為本發(fā)明十字型探針卡之探針引腳的俯視圖。圖2 (b)所示為本發(fā)明十字型探針卡之探針引腳的仰視圖。為便于所述十字型探針卡I的制造，即所述探針引腳13在所述十字型探針卡I上的排列，優(yōu)選地，在任一方向上所述探針引腳呈并行交叉排列，所述探針引腳13不相互交叉。
[0023]請參閱圖3，并繼續(xù)參閱圖1，圖3所示為本發(fā)明十字型探針卡的測試結(jié)構(gòu)示意圖。為了直觀的揭露本發(fā)明之技術(shù)方案，凸顯本發(fā)明之有益效果，非限制性地，以所述十字型探針卡I對由所述第一芯片21、第二芯片22、第三芯片23，以及第四芯片24組成的測試單元2進(jìn)行WAT測試為例進(jìn)行闡述。所述測試單元2的芯片數(shù)量不應(yīng)視為對本發(fā)明技術(shù)方案的限制。
[0024]明顯地，在對所述測試單元2進(jìn)行WAT測試時，僅需扎針一次，便可完成對所述測試單元2的橫向模組測試和縱向模組測試，且在所述芯片傳輸至所述測試機(jī)臺后無需進(jìn)行芯片角度旋轉(zhuǎn)，極大的縮短了 WAT測試時間，改善了測試效率。另一方面，本發(fā)明所述十字型探針卡I可保證所述探針引腳13位于同一平面，避免探針引腳13異面導(dǎo)致的WAT測試異常。
[0025]綜上所述，本發(fā)明所述十字型探針卡可同時完成對所述測試單元的橫向模組測試和縱向模組測試，且無需進(jìn)行芯片角度旋轉(zhuǎn)，極大的縮短了 WAT測試時間，提高了測試效率。同時，本發(fā)明所述十字型探針卡可保證所述探針引腳位于同一平面，避免探針引腳異面導(dǎo)致的WAT測試異常。
[0026]本領(lǐng)域技術(shù)人員均應(yīng)了解，在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，可對本發(fā)明進(jìn)行各種修改和變形。因而，如果任何修改或變型落入所附權(quán)利要求書及等同物的保護(hù)范圍內(nèi)時，認(rèn)為本發(fā)明涵蓋這些修改和變形。
【權(quán)利要求】
1.一種十字型探針卡，其特征在于，所述十字型探針卡包括: 探針卡板，所述探針卡板用于承載所述功能測試端子； 測試端子，所述測試端子分布設(shè)置在所述探針卡板的圓周邊沿； 探針引腳，所述探針引腳與所述待測器件之探針墊對應(yīng)，呈十字型排布，并設(shè)置在所述探針卡盤之中間部位。
2.如權(quán)利要求1所述的十字型探針卡，其特征在于，所述分布設(shè)置在所述探針卡板之圓周邊沿的測試端子的數(shù)量為48個。
3.如權(quán)利要求1所述的十字型探針卡，其特征在于，所述呈十字型排布，并設(shè)置在所述探針卡板之中間部位的探針引腳的數(shù)量為24個。
4.如權(quán)利要求3所述的十字型探針卡，其特征在于，所述探針引腳呈對稱分布設(shè)置在所述探針卡板之中間部位。
5.如權(quán)利要求1所述的十字型探針卡，其特征在于，所述探針引腳在任一方向上所述探針引腳呈并行交叉排列，所述探針引腳不相互交叉。
6.如權(quán)利要求1?4任一權(quán)利要求所述的十字型探針卡，其特征在于，所述十字型探針卡可同時完成對所述測試單元的橫向模組測試和縱向模組測試，且無需進(jìn)行芯片角度旋轉(zhuǎn)。
【文檔編號】G01R1/073GK103558426SQ201310565733
【公開日】2014年2月5日 申請日期:2013年11月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月13日
【發(fā)明者】代瑞娟, 莫保章, 席與凌 申請人:上海華力微電子有限公司