使用同軸針的懸臂式探針卡的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種使用同軸針的懸臂式探針卡，其包括：電路板，具有一下表面，以及位于下表面的一信號接點及一接地接點；固定座，位于電路板的下表面下方；以及一探針，包括一針芯，以及一設置在針芯外圍的阻抗匹配結構，阻抗匹配結構包括設置在針芯外圍的絕緣體，以及一設置在絕緣體外圍的導電體，探針固定在固定座上，針芯具有一與信號接點接觸的連接端部，且針芯具有一相對于電路板的下表面呈傾斜狀的傾斜段，阻抗匹配結構自固定座延伸至信號接點及接地接點，針芯的連接端部受阻抗匹配結構與電路板包覆而未外露，且導電體與接地接點電連接。本發(fā)明利用簡便且有效的方式在同軸針的針芯與電路板連接的部分產生良好的阻抗匹配及屏蔽干擾的效果。
【專利說明】
使用同軸針的懸臂式探針卡
技術領域
[0001] 本發(fā)明設及一種探針卡，特別是關于一種使用同軸針的懸臂式探針卡。
【背景技術】
[0002] 中國臺灣專利編號為1279548的專利所提供的懸臂式探針卡主要包括一電路板、 一固定在該電路板底面的固定座，W及多個固定在固定座上的探針，懸臂式探針卡是使用 同軸針，即，各探針包含有一可導電的針忍、一設在針忍外圍的絕緣體，W及一設在絕緣體 外圍的導電體。各探針自固定座向上傾斜延伸至電路板底面，且針忍的一端及導電體的一 端分別焊接在電路板底面的一信號接點及一接地接點；因此，針忍能W其凸伸出固定座的 另一端點觸一待測物，W將檢測信號傳輸至待測物，此外，導電體能對針忍產生阻抗匹配及 屏蔽干擾的效果，因此該探針卡可應用于高頻測試。
[0003] 然而，前述專利中，各探針的絕緣體及導電體并未包覆針忍與電路板連接的部分 而使該部分裸露在外，運樣才能讓針忍及導電體分別焊接在電路板底面的信號接點及接地 接點，但卻造成該探針阻抗匹配不連續(xù)且屏蔽干擾的效果也受到影響。由于探針卡的性能 需求越趨高頻化，前述探針卡雖可滿足業(yè)界現階段需求，仍有改善的空間。
[0004] 美國專利號為US8115107的專利提供一種同軸信號線與電路板的連接結構，其包 含有一電路板、一固定在電路板接地接點的固定座，W及一端位于固定座內且與電路板的 信號接點連接的同軸信號線，W利用該固定座屏蔽該同軸訊號線與電路板的信號接點連接 的部分。然而，該專利所提供的技術針對同軸信號線，且設置在電路板面對測試機的表面 上，難W應用于如前述設置在電路板面對待測物表面的探針架構上，尤其，該固定座呈非完 整的套筒狀，運樣才能讓同軸信號線的線忍焊接固定在電路板的信號接點，因此，在線忍焊 接完成后，需再將另一固定座與原固定座相互拼接，才能完整地屏蔽該同軸信號線與電路 板的信號接點連接的部分，但探針卡上的探針設置得相當密集，因此要將前述專利的連接 結構應用在探針卡的探針與電路板的連接結構上，根本不可行。

【發(fā)明內容】

[0005] 針對上述問題，本發(fā)明的主要目的在于提供一種使用同軸針的懸臂式探針卡，其 利用較為簡便且有效方式在同軸針的針忍與電路板連接的部分產生良好的阻抗匹配及屏 蔽干擾的效果。
[0006] 為實現上述目的，本發(fā)明采取W下技術方案:一種使用同軸針的懸臂式探針卡，其 特征在于包括:一電路板，具有一下表面，W及位于所述下表面的一信號接點及一接地接 點；一固定座，位于所述電路板的下表面下方；W及一探針，包括一針忍，W及一設置在所述 針忍外圍的阻抗匹配結構，所述阻抗匹配結構包括一設置在所述針忍外圍的絕緣體，W及 一設置在所述絕緣體外圍的導電體，所述探針固定在所述固定座上，所述針忍具有一與所 述信號接點接觸的連接端部，且所述針忍具有一相對于所述電路板的下表面呈傾斜狀的傾 斜段，所述阻抗匹配結構自所述固定座延伸至所述信號接點及所述接地接點，所述針忍的 連接端部受所述阻抗匹配結構與所述電路板包覆而未外露，且所述導電體與所述接地接點 電連接。由于阻抗匹配結構延伸至信號接點，因此可對針忍與信號接點接觸的部分產生良 好的阻抗匹配及屏蔽干擾的效果。
[0007] 在本發(fā)明的一種實施例中，所述探針的阻抗匹配結構包括一固定在所述針忍的主 區(qū)段，W及一補償蓋，所述針忍的傾斜段具有所述連接端部，所述連接端部凸伸出所述主區(qū) 段且延伸至并焊接在所述信號接點處，所述補償蓋固定在所述主區(qū)段一端且遮蓋所述連接 端部。進而利用補償蓋對針忍的連接端部產生良好的阻抗匹配及屏蔽干擾的效果。
[0008] 進一步，所述補償蓋固定在所述電路板的另一接地接點。
[0009] 進一步，所述接地接點呈環(huán)形且環(huán)繞所述信號接點，所述補償蓋固定在所述接地 接點處。進而，該補償蓋可設置得更為穩(wěn)固。
[0010] 在本發(fā)明之另一種實施例中，所述探針的針忍的連接端部連接在所述傾斜段一 端，所述連接端部接觸于所述探針卡的下表面的信號接點且實質上垂直于所述下表面，所 述絕緣體及所述導電體分別一體地自所述固定座延伸至所述信號接點及所述接地接點。換 言之，探針與電路板連接的區(qū)段垂直于電路板的下表面，且該區(qū)段也設有絕緣體及導電體 而可產生良好的阻抗匹配及屏蔽干擾的效果。因此，該探針的針忍不需焊接或通過銀膠固 定在信號接點處，只要將導電體焊接或粘接在電路板上，使得針忍抵接于信號接點即可，運 樣安裝方式相當簡便。
[0011] 較佳地，所述探針與所述信號接點之間設有一絕緣薄膜，所述針忍的連接端部穿 過所述絕緣薄膜與所述信號接點接觸。藉此，該絕緣薄膜可避免該導電體固定于該電路板 時所使用的焊料或銀膠流動至該訊號接點，W避免該訊號接點與該接地接點因同時接觸該 焊料或銀膠而短路。
[0012] 較佳地，所述信號接點為一信號盲孔，所述探針的針忍的連接端部插入所述信號 盲孔。運樣可使針忍與信號接點因接觸面積較大而更確實地相互電導通。
[0013] 較佳地，所述接地接點呈環(huán)形且環(huán)繞所述信號接點，所述導電體固定在所述接地 接點處。運樣可使該探針與該電路板連接得更為穩(wěn)固。
[0014] 較佳地，還包括一導電套管，所述導電套管固定在所述電路板上且與所述接地接 點電連接，所述探針插入所述導電套管，且所述導電體與所述導電套管接觸。因此，電路板 上可先固定多個導電套管，再將探針一一插入即可，可避免在電路板上已密集地設置探針 的情況下還要再將探針焊接或粘接在電路板上，因此在安裝上相當方便。
[0015] 更佳地，所述接地接點呈環(huán)形且環(huán)繞所述信號接點，所述導電套管固定在所述接 地接點處。運樣可使導電套管設置地更為穩(wěn)固，進而使探針與電路板連接得更為穩(wěn)固。
[0016] 在本發(fā)明之又一種實施例中，所述信號接點及所述接地接點分別為一內孔及一環(huán) 繞所述內孔的外孔，且所述內孔及所述外孔內分別設有一導電層，所述探針的針忍插設在 所述內孔且與所述內孔的導電層接觸，所述阻抗匹配結構插設在所述外孔，且所述導電體 與所述外孔的導電層接觸。運樣可使探針的設置方式更為簡便。
[0017] 較佳的，所述電路板的下表面與所述固定座之間還設置一中介板，所述探針穿設 在所述中介板上，且所述探針卡具有一貫穿所述電路板及所述中介板的穿孔，W供一光學 鏡頭設置在所述穿孔內。
【附圖說明】
[0018]圖1是本發(fā)明第一較佳實施例所提供的使用同軸針的懸臂式探針卡的剖視示意 圖；
[0019]圖視圖1中A處的放大示意圖；
[0020] 圖3是與圖1類似，只是顯示本發(fā)明第一較佳實施例所提供的使用同軸針的懸臂式 探針卡的探針外觀圖；
[0021] 圖4是本發(fā)明第二較佳實施例所提供的使用同軸針的懸臂式探針卡的剖視示意 圖；
[0022] 圖5是本發(fā)明第=較佳實施例所提供的使用同軸針的懸臂式探針卡的剖視示意 圖；
[0023] 圖6是本發(fā)明第四較佳實施例所提供的使用同軸針的懸臂式探針卡的剖視示意 圖；
[0024] 圖7是本發(fā)明第五較佳實施例所提供的使用同軸針的懸臂式探針卡的剖視示意 圖；
[0025] 圖8是本發(fā)明第六較佳實施例所提供的使用同軸針的懸臂式探針卡的剖視示意 圖；
[0026] 圖9是本發(fā)明第屯較佳實施例所提供的使用同軸針的懸臂式探針卡的剖視分解 圖；
[0027] 圖10是本發(fā)明第屯較佳實施例所提供的使用同軸針的懸臂式探針卡的剖視示意 圖；
[0028] 圖11是本發(fā)明第八較佳實施例所提供的使用同軸針的懸臂式探針卡的剖視示意 圖；
[00巧]圖12是圖11中B處的放大圖。
【具體實施方式】
[0030] 在W下介紹的實施例W及附圖中，相同的附圖號表示相同或類似的元件或其結構 特征。其次，當設及一元件設置在另一元件上時，表示前述元件直接設置在該另一元件上， 或前述元件間接地設置在該另一元件上，即，兩元件之間還設置有一個或多個其他元件。而 設及一元件"直接"設置在另一元件上時，表示兩元件之間并無設置任何其他元件。此外，附 圖僅示意顯示各個元件的相互關系，并不表示各個元件的真實尺寸及空間關系。下面結合 附圖和實施例對本發(fā)明進行詳細的描述。
[0031] 如圖1~圖3所示，本發(fā)明第一較佳實施例所提供的使用同軸針的懸臂式探針卡11 包括一電路板20、一設置在電路板20-下表面21的固定座30, W及一固定在電路板20及固 定座30上的探針40。實際上，在本實施例及W下各實施例中，電路板20及固定座30呈環(huán)形 (但不W此為限），且探針卡具有多個探針40,運些探針40可能是圍繞電路板20中屯、設置的， 或根據不同使用需求而有不同的排列方式，本發(fā)明的附圖僅顯示電路板20及固定座30-部 分，且僅顯示一探針40，W便更進一步地說明。
[0032] 電路板20與現有探針卡的電路板無異，其上表面設有多個信號接點及多個接地接 點（圖中未示），運些信號接點用于接收一測試機（圖中未示)提供的測試信號；電路板20的 下表面21也設有多個信號接點及多個接地接點，圖中僅示出其中一信號接點22及兩接地接 點23、24, W便說明。電路板20上、下表面的接地接點相互電連接，舉例而言，運些接地接點 可通過電路板20內的接地層或接地線路（圖中未示)進行相互電連接;電路板20下表面21的 信號接點通過電路板20的內部走線或在外部另接導線（圖中未示)而分別與電路板20上表 面的信號接點電連接，通過間接地接收測試機所提供的測試信號，進而將測試信號傳遞至 探針40。
[0033] 探針40采用同軸針，包括一由導電材料(例如銅）制成的針忍41，W及一設置在針 忍41外圍的阻抗匹配結構42,阻抗匹配結構42包括一設置在針忍41外圍的絕緣體43, W及 一設置在絕緣體43外圍的導電體44。在本實施例中，針忍41與絕緣體43之間具有一間隙45 (如圖2所示），針忍41與絕緣體43之間可(但不限于)設置至少一支撐套環(huán)（圖中未示），W維 持間隙45;此外，針忍41外表面也可(但不限于)增設有一絕緣套管（圖中未示）?；蛘?，絕緣 體43也可直接設置在針忍41外表面，即針忍41與絕緣體43之間可無間隙45?；蛘?，探針40也 可采用其他形狀的同軸針，例如中國臺灣專利編號為1279548的專利中所提供的各種同軸 針。
[0034] 在本實施例中，探針40的針忍41包括非相互垂直的一傾斜段412及一點觸段414， 阻抗匹配結構42包括一主區(qū)段46及一補償蓋47,主區(qū)段46及補償蓋47分別具有一位于針忍 41外圍的絕緣部462、472及一位于絕緣部462、472外圍的導電部464、474,主區(qū)段46與補償 蓋47的絕緣部462、472共同構成阻抗匹配結構42的絕緣體43,主區(qū)段46與補償蓋47的導電 部464、474共同構成阻抗匹配結構42的導電體44。實際上，探針40尚未固定在電路板20上 時，僅有主區(qū)段46包覆針忍41，補償蓋47則尚未設置，此時，探針40的結構與現有的懸臂式 探針卡的同軸針無異。
[0035] 探針40接近點觸段414的部分固定在固定座30上，導電體44在主區(qū)段46-端的部 分焊接或通過銀膠固定在接地接點23處并與該接地接點23電連接，針忍41的傾斜段412- 端焊接或通過銀膠固定在信號接點22處并與該信號接點22電連接，此時，傾斜段412相對于 電路板20的下表面21呈傾斜狀，且傾斜段412具有一凸伸出阻抗匹配結構42的主區(qū)段46且 延伸至信號接點22的連接端部412a。然后，補償蓋47焊接或通過銀膠固定在主區(qū)段46-端 且遮蓋連接端部412a，更明確地說，補償蓋47與主區(qū)段46的導電部474、464相互焊接或通過 銀膠而相互固定并且相互電連接。在補償蓋47設置完成后，探針40在外觀上完全未顯露出 連接端部412曰，如圖3所示。運樣，阻抗匹配結構42自固定座30延伸至信號接點22及接地接 點23,針忍41的連接端部412a受阻抗匹配結構42與電路板20包覆而未外露?，F有的同軸針 的阻抗匹配結構僅延伸至接地接點23,使得連接端部412a裸露在外而產生阻抗匹配不連續(xù) 及屏蔽干擾效果不佳等問題，相比之下，本實施例的阻抗匹配結構42通過補償蓋47遮蓋了 連接端部412a，因此可產生良好的阻抗匹配及屏蔽干擾效果。
[0036] 在本實施例中，信號接點22的兩相對側分別設置有兩接地接點23、24,在補償蓋47 被固定在主區(qū)段46時，也可同時固定在接地接點23,并且也可固定在接地接點24,進而使補 償蓋47設置得較為穩(wěn)固?；蛘?，主區(qū)段46的導電部464所連接的接地接點23也可呈環(huán)形且環(huán) 繞信號接點22，在此狀況下其剖視圖如圖1、圖2所示，圖中看起來與接地接點23相互分離的 接地接點24實際上為接地接點23的一部分，運樣，補償蓋47可更穩(wěn)固地固定在接地接點23 處。本發(fā)明中呈環(huán)形的接地接點并不限定為圓環(huán)形，只要可環(huán)繞信號接點的封閉形狀即可。
[0037] 如圖4所示，本發(fā)明第二較佳實施例所提供的使用同軸針的懸臂式探針卡12類似 于第一較佳實施例中的懸臂式探針卡11，不同的是本實施例的探針40與電路板20連接的部 分與第一較佳實施例不同。詳而言之，本實施例的探針40的針忍41的連接端部416是一體式 連接在傾斜段412-端，且阻抗匹配結構42的絕緣體43及導電體44并未分別由兩部分結合 而成，而是分別自傾斜段412-體地延伸至連接端部416并與連接端部416的末端齊平，傾斜 段412與連接端部416之間具有一夾角，進一步而言，是大于90度的夾角。探針40固定在電路 板20上時，針忍41的連接端部416接觸在信號接點22且實質上垂直于下表面21，且阻抗匹配 結構42的導電體44焊接或通過銀膠固定在電路板20的接地接點23、24處，運樣，針忍41的連 接端部416受阻抗匹配結構42與電路板20包覆而未外露。如圖4所示，圖中看起來相互分離 的兩接地接點23、24也可為一呈環(huán)形且環(huán)繞信號接點22的接地接點的兩部分，進而使探針 40更穩(wěn)固地固定在電路板20上。
[0038] 運樣，阻抗匹配結構42的絕緣體43及導電體44分別一體地自固定座30延伸至電路 板20下表面21的信號接點22及接地接點23、24,因此探針40與電路板20連接的區(qū)段因設有 絕緣體43及導電體44而可產生良好的阻抗匹配及屏蔽干擾效果。而且，探針40的針忍41不 需焊接或通過銀膠固定在信號接點22處，只要將導電體44焊接或粘接在接地接點23、24處， 同時使針忍41抵接在信號接點22即可，運樣的安裝方式相當簡便。
[0039] 如圖5所示，本發(fā)明第=較佳實施例所提供的使用同軸針的懸臂式探針卡13類似 于第二較佳實施例中的懸臂式探針卡12,不同的是本實施例的探針40與信號接點22之間還 設有一絕緣薄膜50,例如邁拉膜片（Mylar?film)或聚對苯二甲酸乙二醋膜片。針忍41的連 接端部416末端凸出于阻抗匹配結構42且穿過絕緣薄膜50與信號接點22接觸。運樣，在將導 電體44焊接或粘接在電路板20的接地接點23、24時，絕緣薄膜50可避免焊料或銀膠流動至 信號接點22, W避免信號接點22與接地接點23、24因同時接觸焊料或銀膠而短路。
[0040] 如圖6所示，本發(fā)明第四較佳實施例所提供的使用同軸針的懸臂式探針卡14類似 于第=較佳實施例中的懸臂式探針卡13,不同的是本實施例之探針卡14還包括一導電套管 60,且本實施例的探針安裝方式與第=較佳實施例略有不同。此外，本實施例的導電套管60 及探針安裝方式也可應用于第二較佳實施例中未設有絕緣薄膜50的情況。
[0041] 詳而言之，導電套管60先焊接或通過銀膠固定在電路板20的接地接點23、24處且 與接地接點23、24電連接；圖中的接地接點23、24可為相互分離的兩接地接點，也可為一呈 環(huán)形且環(huán)繞信號接點22的接地接點的兩部分。然后，探針40再W緊配合方式插入導電套管 60而與電路板20相對固定，同時，針忍41末端與信號接點22接觸而相互電連接，且阻抗匹配 結構42的導電體44與導電套管60接觸而相互電連接;換言之，探針40僅需插入導電套管60， 而不需再進行焊接或使用銀膠固定。
[0042] 因此，在安裝探針40之前，電路板20的下表面21可先固設多個導電套管60,然后， 探針40只要逐一插入導電套管60即可完成安裝，運樣可避免在電路板20上難W焊接或通過 銀膠固定探針40的問題，尤其是在探針40設置得相當密集的情況下，因此本實施例在探針 安裝上相當方便。而且，在導電套管60固定在環(huán)形的接地接點的情況下，導電套管60可設置 地更為穩(wěn)固，進而使探針40與電路板20連接得更為穩(wěn)固。
[0043] 如圖7所示，本發(fā)明第五較佳實施例所提供的使用同軸針的懸臂式探針卡15類似 于第二較佳實施例中的懸臂式探針卡12,不同的是本實施例的信號接點22為一有阻抗匹配 功能的信號盲孔222,即，信號盲孔222的孔壁設有用于傳遞檢測信號的導電層，其與各接地 接點23、24之間有特定距離而可產生良好的阻抗匹配功能，針忍41的連接端部416末端凸出 于阻抗匹配結構42且插入信號盲孔222。因此，針忍41與信號接點22因接觸面積較大而更確 實地相互電導通。
[0044] 如圖8所示，本發(fā)明第六較佳實施例所提供的使用同軸針的懸臂式探針卡16類似 于第五較佳實施例的懸臂式探針卡15,不同的是本實施例的探針卡16還包括一如第四較佳 實施例中的導電套管60,并采用如第四較佳實施例中的探針安裝方式，即，導電套管60先焊 接或通過銀膠固定在電路板20的接地接點23、24處，探針40再插入導電套管60。運樣，本實 施例的探針40除了針忍41可確實地與信號接點22電導通，更具有方便安裝的優(yōu)點。
[0045] 如圖9、圖10所示，本發(fā)明第屯較佳實施例所提供的使用同軸針的懸臂式探針卡 17,采用與第五較佳實施例類似的探針40,其針忍41的連接端部416末端凸出于阻抗匹配結 構42,不同的是本實施例的電路板70下表面71設有一內孔72及一環(huán)繞內孔72的外孔74,且 內孔72及外孔74內分別設有一導電層722、742,內孔72及外孔74即分別為電路板70的信號 接點及接地接點，探針40的針忍41插設在內孔72內且與內孔72的導電層722接觸而相互電 連接，阻抗匹配結構42插設在外孔74內，且導電體44與外孔74的導電層742接觸而相互電連 接而接地。運樣，探針40不需焊接或通過銀膠固定在電路板70上，只要將針忍41及阻抗匹配 結構42插入內、外孔72、74,即可使探針40固定在電路板70上，并同時使針忍41及阻抗匹配 結構42的導電體44與信號接點72及接地接點74電連接，如此可使探針的設置方式更為簡 便。
[0046] 本發(fā)明也可應用于諸如CIS(CM0S image sensor)等影像感測元件或者其他光電 元件測試用的探針卡，例如圖11、圖12所示的本發(fā)明第八較佳實施例所提供的懸臂式探針 卡18,探針卡18的電路板20下表面21還設置一中介板81及一基板82,基板82底部設置類似 于前述的用于固定探針40的固定座30,換言之，固定座30隔著基板82及中介板81間接地設 置在電路板20的下表面21。探針卡18具有一貫穿電路板20、中介板81及基板82的穿孔182， W供一光學鏡頭（圖中未示)設在穿孔182內。因此，探針卡18在對受測物進行點測時，光線 能透過光學鏡頭而照射于受測物，W量測受測物接收光源的信號是否有問題。
[0047] 在本實施例中，電路板20與探針40類似于第五較佳實施例，且探針卡18還設有現 有的高頻探針184,用于傳輸高頻信號的高頻探針（詳細說明參見中國臺灣專利公開號為 201428300的專利），或者，探針卡18也可設有現有的一般探針，進而傳遞中、低頻信號，或者 用于連接電源或接地，而探針40也用于傳遞高頻信號。組裝探針卡1別寸，先將導電套管60焊 接或通過銀膠固定在電路板20下表面21的接地接點23、24處，再將中介板81設在電路板20 下表面21，且中介板81具有一通孔812W供導電套管60設置于其中。另外，先將運些探針40、 184固定在固定座30上，再將固定座30設置在基板82底部，并使運些探針40、184穿過基板82 而自其頂部凸伸而出，然后，基板82設置在中介板81底部，探針40穿設在通孔812中并W其 針忍41及阻抗匹配結構42分別插設在信號盲孔222及導電套管60中，探針184則穿過中介板 81與電路板20并與電路板20上表面26的信號接點27及接地接點28電連接。上述其他實施例 的電路板及探針也可通過由類同于本實施例的結構及組裝方式而應用于此類設有光學鏡 頭W供光電元件測試用的探針卡。
[0048]上述各實施例僅用于說明本發(fā)明，各部件的結構、尺寸、設置位置及形狀都是可W 有所變化的，在本發(fā)明技術方案的基礎上，凡根據本發(fā)明原理對個別部件進行的改進和等 同變換，均不應排除在本發(fā)明的保護范圍之外。
【主權項】
1. 一種使用同軸針的懸臂式探針卡，其特征在于包括： 一電路板，具有一下表面，以及位于所述下表面的一信號接點及一接地接點； 一固定座，位于所述電路板的下表面下方； 以及一探針，包括一針芯，以及一設置在所述針芯外圍的阻抗匹配結構，所述阻抗匹配 結構包括一設置在所述針芯外圍的絕緣體，以及一設置在所述絕緣體外圍的導電體，所述 探針固定在所述固定座上，所述針芯具有一與所述信號接點接觸的連接端部，且所述針芯 具有一相對于所述電路板的下表面呈傾斜狀的傾斜段，所述阻抗匹配結構自所述固定座延 伸至所述信號接點及所述接地接點，所述針芯的連接端部受所述阻抗匹配結構與所述電路 板包覆而未外露，且所述導電體與所述接地接點電連接。2. 如權利要求1所述的使用同軸針的懸臂式探針卡，其特征在于:所述探針的阻抗匹配 結構包括一固定在所述針芯的主區(qū)段，以及一補償蓋，所述針芯的傾斜段具有所述連接端 部，所述連接端部凸伸出所述主區(qū)段且延伸至并焊接在所述信號接點處，所述補償蓋固定 在所述主區(qū)段一端且遮蓋所述連接端部。3. 如權利要求2所述的使用同軸針的懸臂式探針卡，其特征在于:所述補償蓋固定在所 述電路板的另一接地接點。4. 如權利要求2所述的使用同軸針的懸臂式探針卡，其特征在于:所述接地接點呈環(huán)形 且環(huán)繞所述信號接點，所述補償蓋固定在所述接地接點處。5. 如權利要求1所述的使用同軸針的懸臂式探針卡，其特征在于:所述探針的針芯的連 接端部連接在所述傾斜段一端，所述連接端部接觸于所述探針卡的下表面的信號接點且實 質上垂直于所述下表面，所述絕緣體及所述導電體分別一體地自所述固定座延伸至所述信 號接點及所述接地接點。6. 如權利要求5所述的使用同軸針的懸臂式探針卡，其特征在于:所述探針與所述信號 接點之間設有一絕緣薄膜，所述針芯的連接端部穿過所述絕緣薄膜與所述信號接點接觸。7. 如權利要求5所述的使用同軸針的懸臂式探針卡，其特征在于:所述信號接點為一信 號盲孔，所述探針的針芯的連接端部插入所述信號盲孔。8. 如權利要求5至7任一項所述的使用同軸針的懸臂式探針卡，其特征在于:所述接地 接點呈環(huán)形且環(huán)繞所述信號接點，所述導電體固定在所述接地接點處。9. 如權利要求5至7任一項所述的使用同軸針的懸臂式探針卡，其特征在于:還包括一 導電套管，所述導電套管固定在所述電路板上且與所述接地接點電連接，所述探針插入所 述導電套管，且所述導電體與所述導電套管接觸。10. 如權利要求9所述的使用同軸針的懸臂式探針卡，其特征在于:所述接地接點呈環(huán) 形且環(huán)繞所述信號接點，所述導電套管固定在所述接地接點處。11. 如權利要求1所述的使用同軸針的懸臂式探針卡，其特征在于:所述信號接點及所 述接地接點分別為一內孔及一環(huán)繞所述內孔的外孔，且所述內孔及所述外孔內分別設有一 導電層，所述探針的針芯插設在所述內孔且與所述內孔的導電層接觸，所述阻抗匹配結構 插設在所述外孔，且所述導電體與所述外孔的導電層接觸。12. 如權利要求1所述的使用同軸針的懸臂式探針卡，其特征在于:所述電路板的下表 面與所述固定座之間還設置一中介板，所述探針穿設在所述中介板上，且所述探針卡具有 一貫穿所述電路板及所述中介板的穿孔，以供一光學鏡頭設置在所述穿孔內。
【文檔編號】G01R1/18GK106018891SQ201511019549
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2015年12月30日
【發(fā)明人】彭勻奎, 蔡錦溢, 張嘉泰, 楊金田, 楊惠彬, 余陳志, 鄒宜欣
【申請人】旺矽科技股份有限公司