磁性計測裝置、氣室以及它們的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及磁性計測裝置、氣室、磁性計測裝置的制造方法以及氣室的制造方法。
【背景技術】
[0002]已知一種光抽運(optical pumping)式磁性計測裝置，其對封裝有堿金屬氣體的氣室照射直線偏振光，根據(jù)偏振面的旋轉角測量磁場。專利文獻I中公開了一種具備氣室的磁性計測裝置，該氣室將在玻璃管的中空部封裝有堿金屬的安瓿(ampoule)容納在由玻璃組成的室內，通過向其安瓿照射激光而在安瓿(玻璃管)上形成貫通孔，使安瓿內的堿金屬蒸發(fā)，從而使其蒸汽(氣體)充滿室內。
[0003]現(xiàn)有技術文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻1:日本特開2012-183290號公報

【發(fā)明內容】

[0006]不過，當氣室內的堿金屬的氣體濃度較低或不穩(wěn)定時，會出現(xiàn)磁性計測裝置的性能下降從而無法準確計測的情況、磁性計測裝置不起作用的情況。因此，期望一種氣室和磁性計測裝置及其制造方法，通過抑制氣室內堿金屬氣體的濃度波動，偏差)而能夠進行穩(wěn)定的制造，并能夠進行高精度計測。
[0007]本發(fā)明用于解決上述技術問題中的至少一部分，可通過以下方式或應用例實現(xiàn)。
[0008][應用例I]本應用例的磁性計測裝置是一種計測磁場的磁性計測裝置，其特征在于，包括:氣室，所述氣室具備第一室、第二室、以及用于連通所述第一室和所述第二室的連通孔，在所述第一室和所述第二室中填充有堿金屬的氣體，在所述第二室中配置有所述堿金屬的固體和液體中的至少一種。
[0009]根據(jù)本應用例的構成，在第二室中配置有堿金屬的固體和液體中至少一種。因而，與未配置堿金屬的固體、液體的情況相比，能夠向第二室穩(wěn)定地供給堿金屬蒸發(fā)后的氣體，同時當?shù)诙抑挟a生不必要的氣體時，不僅堿金屬的氣體，堿金屬的固體、液體也有助于與不必要的氣體發(fā)生反應，因此能更快地減少第二室內的不必要的氣體。由此，能夠抑制不必要的氣體擴散至與第二室連通的第一室，并且能更多地增加從第二室流入第一室的堿金屬的氣體的量。因此，在第二室和第一室中，能更快地結束不必要的氣體與堿金屬的氣體之間的反應，使堿金屬的氣體的濃度穩(wěn)定。結果，可提供通過抑制氣室內堿金屬氣體的濃度降低、波動而能夠進行穩(wěn)定制造并能夠進行高精度計測的氣室和磁性計測裝置。
[0010][應用例2]在上述應用例的磁性計測裝置中，優(yōu)選地，在所述第二室中配置有玻璃片，所述堿金屬的固體和液體中的至少一種附著在所述玻璃片上。
[0011]根據(jù)本應用例的構成，由于配置在第二室中的玻璃片上附著有堿金屬的固體和液體中至少一種，因此即使從玻璃片產生不必要的氣體，也可通過堿金屬的氣體以及堿金屬的固體或液體與不必要的氣體發(fā)生發(fā)應來減少第二室內的不必要的氣體。另外，在玻璃片上附著有堿金屬的固體或液體的部分，由于其表面被堿金屬的固體或液體覆蓋，因此與未附著堿金屬的固體、液體的情況相比，能夠抑制產生新的不必要的氣體。由此，能夠抑制不必要的氣體擴散至與第二室連通的第一室，并且能更快地穩(wěn)定第二室和第一室內的堿金屬的氣體的濃度。
[0012][應用例3]在上述應用例的磁性計測裝置中，優(yōu)選地，所述第一室和所述第二室由第一玻璃構成，所述玻璃片由與所述第一玻璃不同的第二玻璃構成。
[0013]根據(jù)本應用例的構成，在第二室中即使從第一玻璃和第二玻璃(玻璃片)產生不必要的氣體，也可通過堿金屬的固體或液體與不必要的氣體發(fā)生反應來減少第二室內的不必要的氣體，因此能夠抑制不必要的氣體擴散至第一室。另外，在第一室中即使從第一玻璃產生不必要的氣體而與堿金屬氣體發(fā)生反應、堿金屬氣體減少的情況下，由于配置在第二室中的堿金屬的固體或液體蒸發(fā)而擴展至第一室，因此也能使第一室中的堿金屬的氣體的濃度穩(wěn)定。
[0014][應用例4]在上述應用例的磁性計測裝置中，優(yōu)選地，所述第一玻璃的厚度為Imm?5mm，所述第二玻璃的厚度為0.1mm?0.5mm。
[0015]根據(jù)本應用例的構成，由于第二玻璃的厚度大約為第一玻璃的厚度的1/10，因此例如通過照射激光、施加沖擊，第二玻璃能夠比第一玻璃更容易地破壞。因而，通過將封裝有堿金屬的、由第二玻璃組成的安瓿配置在由第一玻璃組成的氣室的第二室中，選擇性加工并破壞安瓿，能夠將堿金屬的固體和液體中至少一種配置在第二室中，并使堿金屬蒸發(fā)后的蒸汽從第二室擴散，充填第一室。
[0016][應用例5]在上述應用例的磁性計測裝置中，優(yōu)選地，所述第一玻璃的紫外光透過率高于所述第二玻璃的紫外光透過率。
[0017]根據(jù)本應用例的構成，由于第一玻璃的紫外光透過率高于第二玻璃的紫外光透過率，因此第一玻璃的紫外光吸收系數(shù)小于第二玻璃的紫外光吸收系數(shù)。因而，照射紫外光區(qū)域的激光后，激光透過第一玻璃，并被第二玻璃吸收。由此，能夠在不損壞由第一玻璃構成的氣室的情況下選擇性地加工由第二玻璃構成的安瓿。
[0018][應用例6]在上述應用例的磁性計測裝置中，優(yōu)選地，所述連通孔的直徑為
0.4mm ?Imnin
[0019]根據(jù)本應用例的構成，由于連通孔的直徑較小，為0.4mm?1mm，因此堿金屬的固體、液體難以通過連通孔。因而，能夠抑制配置在第二室中的堿金屬的固體或液體侵入第一室，并且堿金屬的固體或液體在第二室中蒸發(fā)后的蒸汽能夠擴散至第一室。
[0020][應用例7]本應用例的氣室，其特征在于，具備:第一室；第二室；以及連通孔，連通所述第一室和所述第二室，在所述第一室和所述第二室中填充有堿金屬的氣體，在所述第二室中配置有所述堿金屬的固體和液體中的至少一種。
[0021]根據(jù)本應用例的構成，在第二室中配置有堿金屬的固體和液體中至少一種。因而，與未配置堿金屬的固體、液體的情況相比，能夠向第二室穩(wěn)定地供給堿金屬的氣體，同時當?shù)诙抑挟a生不必要的氣體時，不僅堿金屬的氣體，堿金屬的固體、液體也有助于與不必要的氣體發(fā)生反應，因此能更快地減少第二室內的不必要的氣體。由此，能夠抑制不必要的氣體擴散至與第二室連通的第一室，并且能更多地增加從第二室流入第一室的堿金屬的氣體的量。由此，在第二室和第一室中，能更快地結束不必要的氣體與堿金屬的氣體之間的反應，使堿金屬的氣體的濃度穩(wěn)定。結果，可提供通過抑制氣室內堿金屬的氣體的濃度降低、波動而能夠進行穩(wěn)定制造的氣室和磁性計測裝置。
[0022][應用例8]本應用例的磁性計測裝置的制造方法是計測磁場的磁性計測裝置的制造方法，其特征在于，包括以下工序:將封裝有堿金屬的固體的安瓿配置在氣室的第二室中，并密封第一室、所述第二室、以及連通孔，其中，所述氣室具備所述第一室、所述第二室、以及連通所述第一室和所述第二室的所述連通孔；破壞所述安瓿，從而將所述堿金屬的固體和液體中的至少一種配置在所述第二室中；以及將所述堿金屬的氣體填充在所述第一室和所述第二室中。
[0023]根據(jù)本應用例的制造方法，將封裝有堿金屬的固體的安瓿配置在氣室的第二室中并密封第一室、第二室以及連通孔，破壞第二室內的安瓿從而將堿金屬的固體和堿金屬的固體熔化后的液體中至少一種配置在第二室中。因而，與在安瓿上形成貫通孔而使堿金屬蒸發(fā)的情況相比，能夠向第二室穩(wěn)定地供給堿金屬的氣體，同時當?shù)诙抑挟a生不必要的氣體時，不僅堿金屬的氣體，堿金屬的固體、液體也有助于與不必要的氣體發(fā)生反應，因此能更快地減少第二室內的不必要的氣體。由此，能夠抑制不必要的氣體擴散至與第二室連通的第一室，并且能更多地增加從第二室流入第一室的堿金屬的氣體的量。由此，在第二室和第一室中，能更快地結束不必要的氣體與堿金屬的氣體之間的反應，使堿金屬的氣體的濃度穩(wěn)定。結果，能夠穩(wěn)定地制造由于能夠抑制氣室內堿金屬的氣體的濃度降低、波動，從而能夠高精度地計測磁場的磁性計測裝置。
[0024][應用例9]在上述應用例的磁性計測裝置的制造方法中，也可以是，通過對所述安瓿照射激光來破壞所述安瓿。
[0025]根據(jù)本應用例的制造方法，通過對安瓿照射激光來破壞安瓿，從而能夠將堿金屬的固體和液體中至少一種配置在第二室中。
[0026][應用例10]在上述應用例的磁性計測裝置的制造方法中，也可以是，通過對所述安咅瓦施加沖擊來破壞所述安咅瓦。
[0027]根據(jù)本應用例的制造方法，通過對安瓿施加沖擊來破壞安瓿，從而能夠將堿金屬的固體和液體中至少一種配置在第二室中。
[0028][應用例11]本應用例的氣室的制造方法，其特征在于，包括以下工序:將封裝有堿金屬的固體的安瓿配置在通過連通孔與第一室