專利名稱：用于集成電路測試系統(tǒng)的生產(chǎn)界面的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于半導(dǎo)體制造中的自動測試設(shè)備，具體涉及測試系統(tǒng)的生產(chǎn)界面和操作裝置驅(qū)動程序。
自動測試設(shè)備被廣泛用于半導(dǎo)體制造過程。通常，在制造過程中，半導(dǎo)體至少測試一次；而有時，要完成更多步測試。由于每一個元件都要測試，對于半導(dǎo)體制造的經(jīng)濟(jì)性來說，快速測試至關(guān)重要，測試速度慢會阻礙生產(chǎn)半導(dǎo)體元件所需的昂貴生產(chǎn)設(shè)備的充分利用?，F(xiàn)代半導(dǎo)體元件非常復(fù)雜，并且存在許多操作狀態(tài)。必須逐一經(jīng)過這些操作狀態(tài)，才能完成整個測試過程。因此，采用自動測試設(shè)備將測試數(shù)據(jù)分配給一個半導(dǎo)體器件，并在生產(chǎn)過程中非?？焖俚剡M(jìn)行大量測量。


圖1示出了現(xiàn)有的一種通用自動測試系統(tǒng)。為了實(shí)現(xiàn)全面快速測試，該自動測試系統(tǒng)通常包含一個測試器主體112、一個計(jì)算機(jī)工作站110和一個操作裝置114。計(jì)算機(jī)工作站110同時控制操作裝置114和測試器主體112。它控制操作裝置114將半導(dǎo)體器件(圖中未示出)定位在與測試器主體112上的大量測試探針118接觸的位置。通常，一個測試器會包括一個含有測試探針118的獨(dú)立的測試頭。然而，這個特點(diǎn)對于本發(fā)明并不重要。
然后，計(jì)算機(jī)工作站110控制測試器主體112對測試中的器件進(jìn)行一系列測試。每個測試過程通常都包含一個設(shè)置部分，在該設(shè)置部分控制信號從計(jì)算機(jī)工作站110傳輸?shù)綔y試主體112?？刂菩盘柾ǔＪ峭ㄟ^總線116傳輸?shù)臄?shù)字信號，它配置測試主體112的硬件以便為測試過程進(jìn)行所需的測量。根據(jù)控制信號，測試主體112的硬件提供激勵并測量在測器件的響應(yīng)。
如圖1所示，測試主體112的硬件包含大量表示為引腳124的電路。每個引腳124均產(chǎn)生信號或?qū)y試探針118的某一個進(jìn)行測量。每個引腳124均可提供或測量靜態(tài)信號或直流信號。另外，每個引腳124可以提供或測量有時稱為“脈沖串”的交替數(shù)據(jù)。
在一個脈沖串期間，測試主體112由時序電路120控制。時序電路120使得每個引腳124從相關(guān)的存儲器128讀取一個數(shù)據(jù)值序列。每個數(shù)據(jù)值均表示引腳在特定點(diǎn)的對應(yīng)測試探針118上隨時使用的或準(zhǔn)備測量的信號的信號類型。如果該引腳將測量值和一個期望值作比較，其比較結(jié)果也可被存入存儲器128。
所有引腳124在某一時刻應(yīng)提供的數(shù)值或希望測量的數(shù)值由數(shù)據(jù)值集定義，該數(shù)據(jù)值集被稱作“向量”。在一個脈沖串期間，要執(zhí)行許多向量。這些向量必須以很高的速率執(zhí)行，以便模擬在測器件的實(shí)際操作條件。測試半導(dǎo)體器件所需的脈沖串通常需要有幾百萬個向量來定義。當(dāng)設(shè)定測試系統(tǒng)測試某種特定類型的元件時，將這些向量按特定方式裝載到存儲器128。該裝載過程可能持續(xù)幾分鐘，并且對每個脈沖串只裝載一次。相反地，對每個脈沖串，計(jì)算機(jī)工作站110發(fā)送命令指明哪些向量作為脈沖串的一部分將被執(zhí)行。一旦該脈沖串結(jié)束，計(jì)算機(jī)工作站110就從存儲器128或時序電路120讀取脈沖串的結(jié)果。
此外，測試器主體112包括一個或多個測試儀器126。一個測試儀器126完成某個特定的測試功能。例如，它可以產(chǎn)生一個特定的測試信號，如正弦波信號。另一方面，測試儀器126可以以高速率采樣信號，這樣該信號隨后就能由數(shù)字信號處理器進(jìn)行分析。這些功能可以作為脈沖串的一部分被執(zhí)行，也可以獨(dú)立于脈沖串執(zhí)行。
對一個元件的完整測試，有時稱為一個“作業(yè)”，它包含一系列間或有直流測量值或測試儀器126所得測量值的脈沖串。這些脈沖串可用于測量在測器件的特定功能特性。另一方面，每一個脈沖串僅能將在測器件置于可獲得直流測量值的狀態(tài)。執(zhí)行這些測試環(huán)節(jié)命令的過程，常常稱為“流程”，它由計(jì)算機(jī)工作站110的軟件監(jiān)控。
一旦，一個器件完成全面測試，或在確定有缺陷的點(diǎn)完成測試后，則計(jì)算機(jī)工作站110向操作裝置114發(fā)送控制信號，然后操作裝置114將下一個要測試的器件送到測試主體112并重復(fù)上述過程。計(jì)算機(jī)工作站110還采集有關(guān)特定器件合格或不合格的數(shù)據(jù)，并且能夠處理此數(shù)據(jù)以便丟棄有缺陷的器件，或者完成諸如對具有不合格趨勢的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析的其它功能。
對生產(chǎn)來說，幫助操作者控制測試器的軟件如果易于學(xué)習(xí)和使用將是非常有益的。生產(chǎn)測試環(huán)境所需的是一個非常簡單的操作者界面，它能連接測試系統(tǒng)的其它部分。此外，該界面必須具有靈活性并易于修改，因?yàn)槊總€用戶對這個界面都有不同的要求。
本發(fā)明提供了一種方法能夠創(chuàng)建簡單的而又非常靈活的用于測試系統(tǒng)的操作者界面。生產(chǎn)操作者界面是用自含式ActiveX控件創(chuàng)建的，每個控件提供了到整個測試系統(tǒng)中某個特定部分的接口。這些控件相互之間自動地進(jìn)行通信。生產(chǎn)界面使用了ActiveX“測試器控件”，它為軟件控制系統(tǒng)的其它部分提供了應(yīng)用編程接口。本發(fā)明還提供一個自含式ActiveX控件庫，它含有“操作者控件”，該控件能被“拖放”到操作者窗口以向操作者提供信息并使操作者能控制測試系統(tǒng)。該ActiveX操作者控件通過ActiveX測試器控件連接到測試系統(tǒng)的其它部分。
此外，半導(dǎo)體測試系統(tǒng)還需要能適于與一個或多個不同的封裝器件操作裝置或晶片探測器協(xié)同工作，它們是用來放置半導(dǎo)體器件以便于測試器進(jìn)行測試。ActiveX操作者控件允許操作者從操作裝置驅(qū)動程序庫里選擇操作裝置驅(qū)動程序。每個操作裝置驅(qū)動程序使用了一個ActiveX操作裝置測試器控件，它用作操作裝置和ActiveX測試器控件之間的接口(從而也就將操作裝置連接到測試系統(tǒng)的其它部分)。
圖1是現(xiàn)有技術(shù)測試器的硬件框圖。
圖2是本發(fā)明生產(chǎn)界面的功能框圖。
圖3是一個非常簡單的產(chǎn)品操作者界面的例子。
圖2是本發(fā)明整個測試系統(tǒng)的詳細(xì)功能框圖。這個系統(tǒng)包括PC工作站2000，測試器2002，操作裝置2004和主機(jī)2006。工作站2000的軟件包括生產(chǎn)界面2008和測試開發(fā)和執(zhí)行程序2010(一般稱為軟件控制系統(tǒng))。
生產(chǎn)界面2008用作操作者與測試開發(fā)和執(zhí)行程序2010，主機(jī)2006以及操作裝置2004之間的接口。為了能在生產(chǎn)測試環(huán)境中控制該設(shè)備，有必要為設(shè)備操作者提供一個簡單的控制界面。然而，不同的用戶對該界面有許多不同的要求，甚至同一個用戶在不同的位置也會有不同的要求。此外，測試設(shè)備還經(jīng)常因有各種不同需要而必須與其它計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)相交互。提供一種簡單而又具有靈活性，能符合所有用戶需要，并且可以與其它計(jì)算機(jī)控制程序相交互的界面是一個非常困難的問題。在此之前都是用C/C++實(shí)現(xiàn)。
生產(chǎn)界面2008通過使用以下稱之為“控件”的自含式控制對象解決了這個問題，每個這種控件都提供了到整個測試系統(tǒng)的一個特定部分的接口，其中整個測試系統(tǒng)包括測試開發(fā)和執(zhí)行程序2010，主機(jī)2006和操作裝置驅(qū)動程序2024。這些控件相互之間自動地進(jìn)行通信。
在優(yōu)選實(shí)施例中，這些控件都是用來自Microsoft Corporation ofRedmond，WA的Visual Basic(以下稱為VB)編寫的“ActiveX”控件。用Visual Basic能很快也很容易地將這些控件結(jié)合到圖形用戶界面(GUI)當(dāng)中，也可以在不用GUI時作為編程接口使用。該ActiveX控件允許操作者啟動測試開發(fā)和執(zhí)行程序2010，主機(jī)2000或操作裝置2004中的一個動作。操作者在產(chǎn)品測試過程中使用了一個ActiveX控件與執(zhí)行器2016通信。此外，操作者還可以通過操作裝置2004和主機(jī)2006啟動其它伴隨動作，或者生產(chǎn)界面能響應(yīng)操作裝置2004或主機(jī)2006的請求自動地啟動測試開發(fā)和執(zhí)行程序2010中的動作(通過執(zhí)行器2016)。
ActiveX控件接口由屬性，事件和方法所定義。方法是Visual Basic的函數(shù)，它能在控件里調(diào)用。函數(shù)可以帶參數(shù)并返回值，與C/C++庫中的函數(shù)定義相類似。屬性基本上是控件里的全局變量，對其值的讀取和/或設(shè)置是由訪問函數(shù)提供的。屬性在設(shè)計(jì)時和運(yùn)行時都是可編程的，VB自動地處理將被設(shè)定的屬性值作為生產(chǎn)界面執(zhí)行程序的一部分保存下來這一過程。事件是由控件啟動的信號，它被傳遞給容納該控件的對象。如果需要，容器(在本優(yōu)選實(shí)施例中是生產(chǎn)界面)可以包含一個該事件的處理程序。
在本優(yōu)選實(shí)施例中有四種ActiveX控件● 測試器控件2014。向系統(tǒng)的其它部分提供應(yīng)用編程接口(API)。
● 操作者控件2022。它們是GUI構(gòu)件，使得操作者能在測試器控制臺執(zhí)行各種動作或察看狀態(tài)。
● 操作裝置測試器控件2026。它是定義了到任何操作裝置2004的接口的ActiveX控件。它用作操作裝置驅(qū)動程序2024與生產(chǎn)界面的測試器控件2014之間的單一連接點(diǎn)。任何包含了該控件的對象都可以被生產(chǎn)界面2008用作操作裝置驅(qū)動程序2024。
● 主機(jī)接口控件2021。該控件將測試器控件2014API轉(zhuǎn)換成用于主機(jī)2006發(fā)送或接收的標(biāo)準(zhǔn)消息。
生產(chǎn)控件這個詞是指所有用以創(chuàng)建生產(chǎn)操作者界面和/或操作裝置驅(qū)動程序的ActiveX控件。它包括測試器控件，操作者控件，操作裝置測試器控件和主機(jī)接口控件。
為了在半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境中操作測試器需要有多種不同的窗口，操作者會根據(jù)所執(zhí)行的測試調(diào)用相應(yīng)的窗口到他的顯示器上。為了創(chuàng)建這些窗口，程序員可以從ActiveX控件庫里把控件“拖放”到操作者窗口。ActiveX控件是自含式的，所以能被拖放到任何程序中?！巴戏拧边@個詞一般指選擇一個對象并把該對象放到容器中的動作。容器這個詞一般指能容納其它對象的實(shí)體。在本優(yōu)選實(shí)施例中，容器是操作者窗口，被容納的對象是ActiveX控件。其好處是可以很簡單的在操作者界面中創(chuàng)建不同的窗口。在此之前，所有的這些窗體都要分別用C/C++編程實(shí)現(xiàn)，這樣做難度大而且浪費(fèi)時間。在半導(dǎo)體測試中應(yīng)用ActiveX控件作為操作者控件完全是一種創(chuàng)新。
另一個好處是操作者工作站中的特定窗口中的ActiveX控件都互相進(jìn)行交互的方式。每個ActiveX控件都被設(shè)計(jì)成能進(jìn)行這樣的操作在初始化時，每個操作者控件將搜索窗口中的其它操作者控件和測試器控件，并建立與每個其它ActiveX控件的通信鏈路，使得每個控件都能和其它任一控件進(jìn)行交互。
更進(jìn)一步說明，如圖3示出了生產(chǎn)操作者界面的一個示例。Operator Interface(操作者界面)3000包含一個測試器控件3030，一個收集顯示區(qū)(bin display)3010，和一個開始按鈕3020。收集顯示區(qū)和開始按鈕是操作者控件的例子。下面所示的是一個搜索例程的例子，它用來識別窗口中所有的收集顯示區(qū)。所用的方法是遍歷父窗口中所有的控件找出類型為“BinDisplay”的控件。當(dāng)找到一個收集顯示區(qū)時，該控件的對象句柄就被保存下來以便將來與之進(jìn)行通信。此搜索例程很難確定，下面這段用Visual Basic編寫的程序是已知的實(shí)現(xiàn)搜索的最好的方式。
<pre listing-type="program-listing"><![CDATA[′Note 1This routine currently looks up exactly one level，it′should be extended to walk through an arbitrary number of′levels.′Note 2This routine is called whenever communication with a bin′display is needed(see note 3).Since the number of′controls cannot change at run time(see note 4)，for′optimization，if bin displays have already been found，′the routine simply exits.′Note 3This routine is called multiple times because there is not′an appropriate initialization event for the user control′when it can be called.Neither UserControl_Initialize or UserControl_InitProperties works for different reasons.′This should be corrected when possible.′Note 4Controls can actually be added at run time.We are assuming′that this will not happen.This may not strictly be a safe′assumption.Private Sub BinDisplayInit()Dim thisControl As Object If Not IsEmpty(BinDisplayHandleSet)Then Exit Sub BinDisplayHandleSet＝True FoundBinDisplays＝False For Each thisControl In UserControl.Parent.ControlsIf TypeOf thisControl Is Binisplay Then If FoundBinDisplays Then ReDim Preserve BinDisplayHandle(UBound(BinDisplayHandle)-LBound(BinDisplayHandle)+1) Else ReDim BinDisplayHandle(1) FoundBinDisplays＝True End If Set BinDisplayHandle(UBound(BinDisplayHandle))＝thisControlEnd If Next thisControlEnd Sub]]></pre>
下面是一個ActiveX控件如何相互通信的例子，當(dāng)操作者想要啟動一個測試時，他將使用操作者控件2022中的ActiveX開始控件。開始控件被編程為與ActiveX測試器控件2014中的一個方法互相通信，該方法將通過執(zhí)行器2016啟動測試的開始。測試程序?qū)⑦\(yùn)行并得到結(jié)果。測試開發(fā)和執(zhí)行程序2010將發(fā)回一個測試結(jié)束的指示。測試器控件2014將從執(zhí)行器2016請求測試結(jié)果。然后，測試器控件2014將測試結(jié)果通知所有收集顯示區(qū)。
操作者界面中所有ActiveX控件都通過ActiveX測試器控件與測試系統(tǒng)的其它部分相通信。只有一個測試器控件2014。
操作者控件2022還有一個ActiveX操作裝置控件，它使操作者能從可用操作裝置驅(qū)動程序的菜單里選擇一種操作裝置，與之相連，并使之可用。這里的操作裝置一般是指封裝器件操作裝置或晶片探測器。操作裝置驅(qū)動程序2024的設(shè)計(jì)是與已有技術(shù)最大不同之所在。在已有技術(shù)的測試器中，對操作裝置的支持是由單個高度可配置的庫組成，它試圖支持所有可能的設(shè)備。實(shí)踐證明這很難為用戶使用。配置設(shè)備的特定部分是很復(fù)雜的工作，因?yàn)樵摻缑嬷杏性S多可編程的設(shè)置，但只有一部分是必要的。如果新的操作裝置所需的特征沒有包含在庫里，那么就需要對系統(tǒng)軟件進(jìn)行升級，而這不是終極用戶所能做的。并且，該庫還容易出現(xiàn)錯誤，因?yàn)闉橹С中虏僮餮b置而做的修改有可能在現(xiàn)存的操作裝置中引入錯誤。
在優(yōu)選實(shí)施例中，每個操作裝置都有它自己的驅(qū)動程序，它只包含操作該特定操作裝置必須的代碼。運(yùn)行時，操作該操作裝置所需的驅(qū)動程序被動態(tài)地加載到生產(chǎn)界面中。與已有技術(shù)的方法相比它有幾個重要的優(yōu)點(diǎn)—由于每個驅(qū)動程序模塊僅含有它所需的代碼，所以它很小并且簡單。
—Visual Basic開發(fā)環(huán)境使得在現(xiàn)場組織或用戶自己能很容易地創(chuàng)建新的驅(qū)動程序而不需要制造商軟件包的支持。優(yōu)選實(shí)施例中包括了一些驅(qū)動程序，它們可以被拷貝作為起始點(diǎn)。
—本發(fā)明軟件開發(fā)引起錯誤的風(fēng)險幾乎沒有，不象單個庫那樣為了加入新的特征而不斷的做修改。
優(yōu)選實(shí)施例將提供一個操作裝置驅(qū)動程序庫，用戶可以直接使用它，也可以以它為基礎(chǔ)來開發(fā)新的驅(qū)動程序。開發(fā)新的驅(qū)動程序，通常從拷貝優(yōu)選實(shí)施例已提供的驅(qū)動程序開始。驅(qū)動程序包含一個VB窗體，它至少含有一個操作裝置測試器控件2026和對通信接口2028的調(diào)用。操作裝置測試器控件2026定義了與操作裝置2004的接口。用戶定義的代碼可以使用控件的屬性，事件和方法，還能通過通信接口2028適當(dāng)?shù)貙Σ僮餮b置編程。
更具體地說，操作裝置測試器控件2026是一個ActiveX控件，它定義了到任何操作裝置2004的接口。它用作操作裝置驅(qū)動程序2024與生產(chǎn)界面2008其它部分之間的單一連接點(diǎn)。任何包含了該控件的對象都可以被生產(chǎn)界面2008作為操作裝置驅(qū)動程序2024來使用。
通信接口2028定義了測試器控件2014與其它外圍設(shè)備之間的網(wǎng)絡(luò)傳輸層。操作裝置驅(qū)動程序2024使用了一個或多個通信接口2028對操作裝置或探測器2004進(jìn)行實(shí)際的讀和寫。
生產(chǎn)界面2008還有一個ActiveX主機(jī)接口控件2021，它使操作者能將主機(jī)2006連接到測試器2002。在生產(chǎn)場地上，測試器2002有時候要連接到主機(jī)2006，后者監(jiān)控測試器狀態(tài)，收集測試結(jié)果，并能直接地控制測試過程。
主機(jī)接口控件2021將測試器控件2014API轉(zhuǎn)換成由主機(jī)2006發(fā)送或接收的標(biāo)準(zhǔn)消息。主機(jī)接口控件2021有兩個部分。主機(jī)消息控件2030負(fù)責(zé)將測試器控件2014API轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)形式的消息以便主機(jī)的理解。網(wǎng)絡(luò)接口2032進(jìn)行與主機(jī)的實(shí)際網(wǎng)絡(luò)通信。
主機(jī)消息控件2030是ActiveX控件，它等待測試器控件2014的事件，并能執(zhí)行它的屬性和方法。當(dāng)收到需要發(fā)送消息到主機(jī)2006的測試器控件2014事件時，它產(chǎn)生一個描述該事件的主機(jī)消息并觸發(fā)“消息就緒”事件。當(dāng)利用“消息接收”方法收到來自主機(jī)2006的消息后，它訪問合適的測試器控件方法和屬性來執(zhí)行該請求。網(wǎng)絡(luò)接口2032由生產(chǎn)界面中的代碼來控制，生產(chǎn)界面與主機(jī)消息控件進(jìn)行交互。
測試開發(fā)和執(zhí)行程序2010運(yùn)行在Windows NT操作系統(tǒng)下，它由劃分成組件的軟件組成，它們用于1)測試開發(fā)和分析階段，以及2)測試執(zhí)行階段。Excel工作簿308是用于程序中在測試開發(fā)和分析階段開發(fā)測試的部分。Excel是一種允許開發(fā)應(yīng)用程序的電子數(shù)據(jù)表格程序。Visual Basic內(nèi)嵌在Excel中的編程語言，可用它來編寫測試模板并控制測試的執(zhí)行。
在優(yōu)選實(shí)施例中，器件數(shù)據(jù)開發(fā)和流程開發(fā)工具310就是在Excel工作簿308中用定制的電子數(shù)據(jù)表格來實(shí)現(xiàn)的。有三種類型的測試數(shù)據(jù)需要在電子數(shù)據(jù)表格里說明器件數(shù)據(jù)，測試流程數(shù)據(jù)，測試實(shí)例數(shù)據(jù)。器件數(shù)據(jù)是一些有關(guān)定時設(shè)置，通道映射，邊沿設(shè)置或引腳映射的電子數(shù)據(jù)表格。每個電子數(shù)據(jù)表格都是一個數(shù)據(jù)集。測試實(shí)例數(shù)據(jù)電子數(shù)據(jù)表格規(guī)定了關(guān)于測試模板以及相關(guān)的器件數(shù)據(jù)集。一個測試模板就是一個測試算法。在優(yōu)選實(shí)施例中，測試模板是用Visual Basic編寫的。測試模板及相關(guān)數(shù)據(jù)集被稱為“實(shí)例”。測試流程數(shù)據(jù)可以是規(guī)定了一系列將被執(zhí)行的測試步驟的電子數(shù)據(jù)表格。這一系列測試步驟可能就是一系列測試模板的執(zhí)行，它們每個都用到了相關(guān)的器件數(shù)據(jù)集。
總而言之，Excel電子數(shù)據(jù)表格信息312包括器件數(shù)據(jù)集；測試實(shí)例信息，它定義了哪些模板及其相關(guān)的數(shù)據(jù)集將被使用；和測試流程信息，它定義了將被執(zhí)行的測試實(shí)例的序列。
測試模板320是用Visual Basic編寫的，一般由廠商提供。在生產(chǎn)測試的測試執(zhí)行時間之前的測試開發(fā)和分析階段，將用到器件數(shù)據(jù)與流程開發(fā)工具310，Excel工作薄312和廠商提供的測試模板320。測試模板320和Excel工作薄312還將在生產(chǎn)測試中用到。
在測試開發(fā)和執(zhí)行程序2010中，生產(chǎn)測試的測試執(zhí)行階段還會用到的其它軟件包括執(zhí)行器2016，流程控制軟件314，數(shù)據(jù)管理器316和設(shè)備驅(qū)動程序328。所有這些軟件都在Windows NT操作系統(tǒng)環(huán)境下工作。
在優(yōu)選實(shí)施例中，測試器控件2014啟動測試程序的加載。Excel被啟動，工作簿308被打開。數(shù)據(jù)從工作薄312輸入數(shù)據(jù)管理器316。執(zhí)行器2016響應(yīng)測試器控件2014并調(diào)用流程控件314和儀器驅(qū)動程序328。它們向數(shù)據(jù)管理器316請求數(shù)據(jù)?，F(xiàn)在測試已準(zhǔn)備就緒，所有的功能都處于空閑狀態(tài)。當(dāng)測試程序準(zhǔn)備運(yùn)行時，測試器控件通知執(zhí)行器2016啟動測試過程。執(zhí)行器通知流程控件314執(zhí)行程序。流程控件決定哪個實(shí)例將被執(zhí)行并從模板庫320中調(diào)用模板。該模板向數(shù)據(jù)管理員316請求器件數(shù)據(jù)(也就是參數(shù))然后調(diào)用驅(qū)動程序328。
設(shè)備驅(qū)動程序328向測試器2002提供信號以對待測器件(DUT)進(jìn)行完全測試，或者說執(zhí)行“作業(yè)”。完全測試包括對DUT的直流電平，功能性和串行/掃描測試。對半導(dǎo)體來說，測試器可以是當(dāng)前技術(shù)水平的任何一種測試器。美國專利No.5606568就是測試器的一個例子，它被轉(zhuǎn)讓給相同受讓人Teradyne，包含在本文中作為參考。
測試器2002完成模板測試后，將判斷測試是否通過并將控制權(quán)交給流程控件314。流程控件判斷是否需要執(zhí)行更多的實(shí)例還是整個流程已經(jīng)完成。如果流程已經(jīng)結(jié)束，測試系統(tǒng)就進(jìn)入空閑狀態(tài)。
測試開發(fā)和執(zhí)行模塊2010在轉(zhuǎn)讓給相同受讓人Teradyne的共同待審專利申請“LOW COST，EASY TO USE AUTOMATIC TESTSYSTEM SOFTWARE”中有更全面的說明，該申請的發(fā)明人是Daniel C.Proskauer和Predeep B.Deshpande，提交于1997年6月13日，序列號為08/874,615，其被包含在本文中作為參考。
附錄A將對生產(chǎn)界面2008，操作裝置驅(qū)動程序2024和主機(jī)接口控件2022做更為詳細(xì)的說明。
包括版權(quán)在內(nèi)的附錄A中材料的所有權(quán)利，都屬于本發(fā)明的受讓人Teradyne所有。Teradyne持有并保留所有附錄A中的權(quán)利，并且僅允許對該材料進(jìn)行有關(guān)在該專利授權(quán)后的復(fù)制，而不能以其它目的進(jìn)行復(fù)制。
本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例已被演示并描述，本領(lǐng)域技術(shù)人員可據(jù)此得到許多變化和替換實(shí)施例。因此，應(yīng)僅以所附權(quán)利要求來限制本發(fā)明的范圍。
附錄AIG-XL產(chǎn)品軟件目錄1. 介紹11.1 結(jié)構(gòu)概要1.2 開放式設(shè)計(jì)概念1.3 ActiveX控件2. 測試器控件 43. 操作者控件 63.1 操作裝置控件3.2 工作臺控件3.3 收集顯示區(qū)控件3.4 開始按鈕控件3.5 合格率監(jiān)控器控件4. 操作裝置驅(qū)動程序84.1 驅(qū)動程序模塊4.2 內(nèi)置驅(qū)動程序4.3 開發(fā)一個驅(qū)動程序4.4 操作裝置驅(qū)動程序向?qū)?.5 測試一個驅(qū)動程序5. 主機(jī)接口135.1 主機(jī)消息控件5.2 網(wǎng)絡(luò)接口
6.項(xiàng)目列表 15IG-XL產(chǎn)品軟件修訂歷史1997年6月16日J(rèn)on Vollmar加入了ActiveX，主機(jī)控件部分1997年5月14日J(rèn)on Vollmar第一個版本，基于Ed的“Aurora Production Software”相關(guān)文檔“Aurora Production Software”，Ed Gilbert，8/2/96\\aurorant\aurora\Documents\Productin SW\ProposalProductionSoftware.doc介紹結(jié)構(gòu)概要本文介紹了IG-XL的產(chǎn)品軟件。如圖1所示，產(chǎn)品測試需要四個物理部件。測試器由一臺運(yùn)行IG-XL的PC及其相關(guān)測試硬件組成。操作裝置把器件插入進(jìn)行測試并根據(jù)測試結(jié)果將它們分類收集(注本文中的“操作裝置”應(yīng)理解為“操作裝置或探測器”)。最后，測試器通常連接到主機(jī)(服務(wù)器)上，該主機(jī)收集并存儲測試結(jié)果，而且可能直接控制測試過程。在后一種情況中，主機(jī)經(jīng)常被稱為單元控制器。
圖1IG-XL生產(chǎn)軟件在IG-XL中，有兩個Windows NT進(jìn)程。Microsoft Excel是裝載，運(yùn)行和調(diào)試該程序的接口。在生產(chǎn)過程中，Excel仍然執(zhí)行這些功能，只不過沒有可視的窗口，除非操作者進(jìn)入工程模式。
另一進(jìn)程提供生產(chǎn)界面。這是用Microsoft Visual Basic編寫的可執(zhí)行程序。它是由包含在IG-XL中的稱為ActiveX控件的構(gòu)件塊組成。有三種類型的控件—測試器控件，其提供到IG-XL可執(zhí)行程序和作業(yè)的API—操作者控件，它們是GUI構(gòu)件，使得操作者能在測試器控制臺執(zhí)行各種動作或察看狀態(tài)。
—主機(jī)接口控件，該控件將測試器控件的API轉(zhuǎn)換成向主機(jī)發(fā)送或從主機(jī)接收的標(biāo)準(zhǔn)消息。這些標(biāo)準(zhǔn)的例子有由SEMI定義的SECS II和由Teradyne定義的SEMF。
生產(chǎn)界面還包括操作裝置驅(qū)動程序，它含有關(guān)于如何操作特定操作裝置或探測器的設(shè)備專用信息。在運(yùn)行時某個驅(qū)動程序?qū)⒈贿x取并裝載。IG-XL包括了標(biāo)準(zhǔn)接口以及常用設(shè)備的驅(qū)動程序。用戶也很容易創(chuàng)建定制的操作裝置驅(qū)動程序而不用對IG-XL做任何修改。開放式設(shè)計(jì)概念操作者界面必須很容易按用戶要求定制。每個用戶都希望創(chuàng)建他們自己的，按他們的工廠場地特制的接口。為了滿足這個要求，測試器軟件一般提供對大多數(shù)用戶都有用的基本顯示工具，然后還提供API讓用戶創(chuàng)建自己的工具。但是想要創(chuàng)建工具的用戶不能從修改系統(tǒng)開始，因?yàn)橹亟ㄏ到y(tǒng)軟件開發(fā)環(huán)境是困難而又昂貴的，并且讓它運(yùn)轉(zhuǎn)起來所需的接口往往是沒有被輸出或者提供文檔說明。
選擇Visual Basic使另一種不同的設(shè)計(jì)模型成為可能。VB開發(fā)環(huán)境既強(qiáng)大到足以開發(fā)系統(tǒng)軟件，又容易使用和價格便宜，用戶也可以使用它。
IG-XL包含了生產(chǎn)界面的示例，它既可以直接使用也可以拷貝和定制以后再使用。分發(fā)的標(biāo)準(zhǔn)版軟件中包括了操作者控件，主機(jī)接口控件和操作裝置驅(qū)動程序的源代碼和文檔。只要購買了Visual Basic，用戶將具有象IG-XL軟件包一樣的能力來創(chuàng)建生產(chǎn)界面。ActiveX控件概述ActiveX是來自Microsoft的軟件技術(shù)，它用于開發(fā)獨(dú)立于語言的軟件成分，稱為控件。用它能創(chuàng)建單個控件，比如說收集顯示區(qū)。控件以二進(jìn)制文件的形式發(fā)送，同時附隨了代碼和GUI信息，該控件可以加入到任何支持ActiveX的開發(fā)環(huán)境中，而與原來開發(fā)該控件的環(huán)境無關(guān)。
在Visual Basic V5.0之前，ActiveX控件是用C++開發(fā)的(稱為OLE自定義控件)。ActiveX的C++接口很難使用，而且需要專業(yè)Microsoft C++/MFC程序員。VB5.0加入了創(chuàng)建和使用ActiveX控件的功能，并且更容易使用，使這一技術(shù)為更廣范圍的程序員所接受。
屬性，事件和方法(Properties，Events，and Methods)傳統(tǒng)的C/C++庫所提供的特性包括類定義，函數(shù)調(diào)用轉(zhuǎn)換，如果設(shè)計(jì)不合理的話，還有全局變量。ActiveX控件接口由屬性，事件和方法所定義。
方法就是控件中可以調(diào)用的Visual Basic的函數(shù)。函數(shù)可以帶參數(shù)并返回值，與C/C++庫的函數(shù)定義相類似。
屬性基本上是控件中的全局變量，它的值由所提供的訪問函數(shù)進(jìn)行讀取和/或設(shè)置。屬性在設(shè)計(jì)時或運(yùn)行時都是可編程的，VB自動地處理將被設(shè)定的屬性值作為生產(chǎn)界面執(zhí)行程序的一部分保存下來這一過程。
事件是由控件啟動的信號。容器(生產(chǎn)界面)可以包含事件的處理程序。比如，測試器控件含有一個稱為測試完成的事件，它在一個作業(yè)結(jié)束后被發(fā)送。生產(chǎn)界面可以有該事件的處理程序，當(dāng)事件發(fā)生后它會被自動調(diào)用。測試器控件測試器控件是到測試器的API。它用作IG-XL與外界的單獨(dú)連接點(diǎn)。通過它，另外的控件可以裝載并運(yùn)行程序和接收結(jié)果。一個生產(chǎn)界面必須有且僅有一個測試器控件。有關(guān)測試器控件接口的文檔會發(fā)給用戶，但它的源代碼不會給用戶，因?yàn)椴幌氚阉紼xcel和exec的連接透露給普通用戶。
屬性● 程序名● 程序狀態(tài)一已裝載，已驗(yàn)證，運(yùn)行，中斷● DIB ID● 探針卡ID● 收集結(jié)果● 工程模式口令● 批量ID● 晶片坐標(biāo)● 操作者姓名● 活動位置列表—正進(jìn)行測試的位置映射表● 最大位置—程序的通道映射表中位置的數(shù)量● 校準(zhǔn)狀態(tài)● 程序句柄—允許在程序和用戶控件之間任意調(diào)用事件● 操作者登錄/退出● 裝載開始● 裝載結(jié)束● 裝載異常中止● 測試開始● 測試結(jié)束● 測試異常中止● 校準(zhǔn)開始● 校準(zhǔn)結(jié)束● 校準(zhǔn)異常中止● 開始新的批量● 批量結(jié)束● 晶片開始● 晶片結(jié)束● 作業(yè)刪除方法● 操作者登錄/退出● 裝載測試程序● 刪除測試程序● 開始一個批量● 結(jié)束一個批量● 測試單個器件● 失敗循環(huán)(為了驗(yàn)證連續(xù)性)● 重新測試● 操作裝置/探測器配置● 使能/禁止從操作裝置/探測器啟動● 激活/掛起一個位置
● 異常中止操作者控件操作裝置控件操作裝置控件使得操作者能從可用操作裝置驅(qū)動程序菜單中選擇一個操作裝置，連接它并使其就緒。
屬性● 操作裝置驅(qū)動程序句柄方法● 選擇操作裝置驅(qū)動程序● 連接操作裝置● 斷開操作裝置● 使操作裝置可用● 使操作裝置不可用位置控件該控件顯示作業(yè)通道映射表中的位置數(shù)目，并允許激活和掛起特定測試位置。
收集顯示區(qū)顯示特定位置的最新收集結(jié)果開始按鈕該控件是一個啟動作業(yè)運(yùn)行的按鈕合格率監(jiān)控器合格率監(jiān)控器控件監(jiān)控某個位置上器件測試的結(jié)果(通過/失效)，并可以跟蹤合格率。它提供合格率隨時間的圖形顯示，它還包括可編程的合格率限制，如果超出限制將觸發(fā)事件。
屬性● 位置—該顯示將監(jiān)控哪個位置● 每單元器件—集合到一個單元的器件的數(shù)量● 單元數(shù)—多少單元被追蹤● 單元計(jì)數(shù)—單元有多滿● 單元合格率—器件的特定單元的合格率數(shù)● 單元顯示可用—顯示單元合格率的柱狀圖● 累積顯示可用—顯示各單元累積合格率的線圖● 圖表版式—水平或垂直● 上限警報—合格率閾值，超過它將觸發(fā)高警報事件● 下限警報—合格率閾值，低于它將觸發(fā)低警報事件事件● 合格率高警報● 合格率低警報方法● 重置—清除所有單元操作裝置驅(qū)動程序IG-XL中操作裝置驅(qū)動程序的設(shè)計(jì)是與VTD和ICD最大的不同。在后兩個系統(tǒng)中，支持這些測試器的操作裝置/探測器是由單一的，高度可配置的庫組成，該庫試圖支持所有可能的設(shè)備。實(shí)踐證明這很難為用戶使用。配置設(shè)備的任何特定部分是很復(fù)雜的工作，因?yàn)樵摻涌诶镉性S多可編程的控件，但只有一部分是必要的。如果新的操作裝置所需的特征沒有包含在庫里，那么就需要對系統(tǒng)軟件進(jìn)行升級，而這不是用戶所能做的。并且，該庫還容易出現(xiàn)錯誤，因?yàn)闉橹С中虏僮餮b置而做的修改有可能在現(xiàn)存的庫中引入錯誤。驅(qū)動程序模型在IG-XL中，每個操作裝置都有它自己的驅(qū)動程序，它只包含操作該操作裝置必須的代碼。運(yùn)行時，操作使用中的操作裝置所需的驅(qū)動程序被動態(tài)地加載到生產(chǎn)界面中。與VTD/ICD的方法相比它有幾個重要的優(yōu)點(diǎn)—由于每個驅(qū)動程序模型僅含有它所需的代碼，所以它很小并且簡單。
—Visual Basic開發(fā)環(huán)境使得Teradyne現(xiàn)場工作組織或用戶自己能很容易的創(chuàng)建新的驅(qū)動程序而不需要制造商軟件包的支持。IG-XL系統(tǒng)包括了一些驅(qū)動程序，它們可以被拷貝作為起始點(diǎn)。
—Teradyne軟件開發(fā)引起錯誤的風(fēng)險幾乎沒有，不象單個庫為了加入新的特征而不斷的做修改。內(nèi)置驅(qū)動程序IG-XL提供一個操作裝置驅(qū)動程序庫，用戶可直接使用它，也可以以它為基礎(chǔ)來開發(fā)新的驅(qū)動程序。我們將提供以下驅(qū)動程序—P849，這是一個IEEE標(biāo)準(zhǔn)，用于通過RS232接口與操作裝置或探測器通信。在Teradyne中有時候稱之為RDP。任何符合該標(biāo)準(zhǔn)的外圍設(shè)備都可以不加修改的使用此內(nèi)置驅(qū)動程序。
—SECS II/HSEM(操作裝置專用設(shè)備模型)，這是一個SEMI標(biāo)準(zhǔn)，用于根據(jù)SECS II通信標(biāo)準(zhǔn)與操作半導(dǎo)體的設(shè)備連接。該驅(qū)動程序?qū)⒅С秩魏畏显撘?guī)范的設(shè)備。
—Teradyne用戶常用的專用操作裝置/探測器(列表待定)。開發(fā)驅(qū)動程序?yàn)殚_發(fā)新的驅(qū)動程序，通常從拷貝IG-XL已提供的驅(qū)動程序開始。驅(qū)動程序包含一個VB窗體，它至少含有一個操作裝置測試器控件和對通信接口的調(diào)用。操作裝置測試器控件定義了與IG-XL的接口。該窗體中的用戶定義代碼可以使用控件的屬性，事件和方法，還能適當(dāng)?shù)赝ㄟ^通信接口對操作裝置編程。
圖2顯示了操作裝置驅(qū)動程序的結(jié)構(gòu)
圖2操作裝置驅(qū)動程序內(nèi)部構(gòu)件操作裝置測試器控件操作裝置測試器控件是由IG-XL提供的定義了到任何操作裝置的接口的ActiveX控件。它用作操作裝置驅(qū)動程序與IG-XL其它部分之間的單一連接點(diǎn)。任何包含了該控件的對象都可以被拖放到生產(chǎn)界面中作為操作裝置使用。
屬性● 可用● 連接● 收集結(jié)果● ErrorCode● ErrorMessage● DutID● HandlerProberID● OutputTubeStatus(僅對操作裝置)
● InputTubeStatus(僅對操作裝置)● WaferStatus(僅對探測器)● InputCassetteStaus(僅對探測器)● Xcoord(僅對探測器)● Ycoord(僅對探測器)事件● 測試結(jié)束● 可用● 不可用● 連接● 斷開● 晶片完成(僅對探針)方法● 開始測試● 使操作裝置可用● 使操作裝置不可用● 連接操作裝置● 斷開操作裝置● WaitForStart● BinDispatch● LoadSetup● SendCommand● SendRequest● BreakContact(僅對操作裝置)● MakeContact(僅對操作裝置)● LoadWafer(僅對探測器)● UnloadWafer(僅對探測器)● ProbeWafer(僅對探測器)
● AbortProbing(僅對探測器)● MoveToAbsoluteDie(僅對探測器)● MoveRelativeDie(僅對探測器)● MoveRelativePosition(僅對探測器)● MoveTowardContact(僅對探測器)● MoveAwayFromContact(僅對探測器)● MoveToGivenHeight(僅對探測器)● AssignGoodDieBins(僅對探測器)● AssignLogicalInkCodes(僅對探測器)通信接口通信接口定義了測試器與任何外圍設(shè)備之間的網(wǎng)絡(luò)傳輸層。操作裝置/探針驅(qū)動程序使用了一個或多個這種通信接口對操作裝置或探測器進(jìn)行實(shí)際讀和寫。
我們支持五種接口—RS232，這是標(biāo)準(zhǔn)的串行接口。Microsoft的Visual Basic提供了串行端口控制器，我們希望使用它。我們還有一個Ed Gilbert開發(fā)的更為復(fù)雜的，多線程的控件。
—GPIB，這是一種標(biāo)準(zhǔn)的并行接口，它廣泛地應(yīng)用于測試和測量儀器中。我們希望從National Instruments購買到PC GPIB。
—專用并行接口，這是一種特殊的并行接口，專門為快速測試器處理通信而設(shè)計(jì)的，其中的每一線路都執(zhí)行一個特定的測試功能(不是PC上的并行接口)。VTD生產(chǎn)一種并行接口控制器產(chǎn)品，它連接到計(jì)算機(jī)的RS232端口上，并產(chǎn)生必要的并行信號。我們希望用這種產(chǎn)品來實(shí)現(xiàn)對并行接口的支持。
—以太網(wǎng)，在新設(shè)備中出現(xiàn)了以太網(wǎng)接口，我們需要支持這種接口。不過目前還沒有計(jì)劃。
—并行串行的組合，有些機(jī)器同時包括了專用并行接口，用于快速連接，和RS232端口，用于在需要時的更復(fù)雜的通信。由于操作裝置驅(qū)動程序能通過任何或所有上述的接口進(jìn)行通信，所以對此的支持不需要特殊的工作。
如果通信接口是ActiveX控件將會很方便，但不是一定要這樣。它也可以是C/C++DLL，或任何可以從Visual Basic代碼里調(diào)用的對象。操作裝置驅(qū)動程序向?qū)indows軟件有一個“向?qū)А钡母拍?，它可以幫你開始一個開發(fā)任務(wù)，它會問你一系列你想要做什么的問題，然后自動生成項(xiàng)目的代碼框架，你要手動地往框架里填充其它代碼，就可以完成項(xiàng)目的開發(fā)。這使新手能很容易就開始一個項(xiàng)目，就是對有經(jīng)驗(yàn)的驅(qū)動程序編寫人員來說也能有一個很方便的開始來編寫其程序代碼。
我們將創(chuàng)建一個便于操作裝置驅(qū)動程序開發(fā)的操作裝置驅(qū)動程序向?qū)?。它將提出這樣一些問題● 該驅(qū)動程序是針對操作裝置還是對探測器？● 該驅(qū)動程序是針對操作裝置還是對探測器？● 將使用哪種通信接口？● 是并行的測試操作裝置嗎？有多少位置？● 支持多少收集器？測試驅(qū)動程序?qū)ιa(chǎn)界面的測試一般需要用到工作測試程序和測試器。這使得同時進(jìn)行產(chǎn)品軟件和測試程序軟件的開發(fā)受到限制。
在IG-XL中產(chǎn)品軟件的模塊化設(shè)計(jì)允許將對生產(chǎn)界面的測試與對新操作裝置驅(qū)動程序的測試分開來進(jìn)行。已經(jīng)有標(biāo)準(zhǔn)的PC卡使PC能直接與操作裝置進(jìn)行通信，而不需要有測試器存在。我們將提供一種專用的軟件測試工具，它能連接到測試器控件而不是Excel。該工具有一個最小的可執(zhí)行過程，它看上去能裝載和運(yùn)行一個程序并返回隨機(jī)的或預(yù)設(shè)定的收集結(jié)果。它使得工程師能利用安裝了IG-XL的膝上電腦、操作裝置和接口卡來開發(fā)生產(chǎn)界面以執(zhí)行很深入的測試。主機(jī)接口控件在生產(chǎn)場地上，測試器一般要連接到主機(jī)上，后者監(jiān)控測試器狀態(tài)，收集測試結(jié)果，并能直接地控制測試過程。IG-XL產(chǎn)品軟件將通過主機(jī)接口來支持這些功能，如圖3所示
圖3主機(jī)接口控件內(nèi)部構(gòu)件主機(jī)接口有兩個部分。主機(jī)消息控件負(fù)責(zé)將IG-XL測試器控件API轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)形式的消息以便主機(jī)的理解。網(wǎng)絡(luò)接口與主機(jī)進(jìn)行實(shí)際的網(wǎng)絡(luò)通信。主機(jī)消息控件主機(jī)消息控件是ActiveX控件，它等待測試器控件的事件，并能執(zhí)行它的屬性和方法。當(dāng)收到需要發(fā)送消息到主機(jī)的測試器控件事件時，它就產(chǎn)生一個描述該事件的主機(jī)消息并觸發(fā)“消息就緒”事件。當(dāng)通過“消息接收(message received)”方法由主機(jī)接收到消息后，它訪問適當(dāng)?shù)臏y試器控件方法和屬性來完成該請求。
屬性
● 可用—該控件能被設(shè)為不可用，使其暫停發(fā)送消息事件● 主機(jī)消息就緒—測試器有消息要發(fā)送到主機(jī)。生產(chǎn)界面中的事件處理器將消息通過網(wǎng)絡(luò)傳送出去。
方法● 執(zhí)行主機(jī)消息—生產(chǎn)界面通過網(wǎng)絡(luò)接口接收需要被處理的主機(jī)消息。
IG-XL提供兩個專用的主機(jī)消息控件● SEMF(標(biāo)準(zhǔn)事件消息格式)，這是由Teradyne開發(fā)的標(biāo)準(zhǔn)。它包含了主要從測試器發(fā)送到主機(jī)以報告其狀態(tài)的文本消息。
● SECS II/TSEM，SECS(SEMI設(shè)備通信標(biāo)準(zhǔn))是描述主機(jī)與任何半導(dǎo)體設(shè)備之間消息傳送細(xì)節(jié)的標(biāo)準(zhǔn)。TSEM(測試器專用設(shè)備模型)是對該標(biāo)準(zhǔn)的補(bǔ)充，它是專門針對測試設(shè)備的。網(wǎng)絡(luò)接口到網(wǎng)絡(luò)的接口是由生產(chǎn)界面中的代碼處理的，它與主機(jī)消息控件相互作用。Windows NT提供了多種與主機(jī)進(jìn)行通信的選項(xiàng)● Winsock控件，Visual Basic包括標(biāo)準(zhǔn)的ActiveX控件，能用TCP建立到網(wǎng)絡(luò)中任何一個也支持套接字的節(jié)點(diǎn)的套接字通信。
● RPC(遠(yuǎn)程過程調(diào)用)，此標(biāo)準(zhǔn)允許一臺計(jì)算機(jī)能執(zhí)行網(wǎng)絡(luò)中另一機(jī)器上的子程序調(diào)用。在Visual Basic中使用它比使用套接字要困難，但它是使生產(chǎn)界面能在網(wǎng)絡(luò)中做任何事情的一利選擇方法。
● 分布式ActiveX，在Windows操作系統(tǒng)環(huán)境里，位于不同機(jī)器上的ActiveX控件可以直接互相調(diào)用，就象在一個進(jìn)程里通信一樣容易。我們還沒有非常徹底地研究這種可能性。項(xiàng)目列表產(chǎn)品用戶控件—測試器控件—位置控件，收集顯示區(qū)，操作裝置控件，開始按鈕—合格率監(jiān)控器主機(jī)通信—SEMF主機(jī)消息控件—SECS II/TSEM主機(jī)消息控件操作裝置驅(qū)動程序—操作裝置測試器控件—P849驅(qū)動程序—SECS II/HSEM驅(qū)動程序—專用操作裝置/探測器#1—專用操作裝置/探測器#2—RS232接口—GPIB接口—以太網(wǎng)接口—操作裝置驅(qū)動程序向?qū)А獪y試工具生產(chǎn)界面示例—示例#1—示例#2這些項(xiàng)目將和IG-XL的標(biāo)準(zhǔn)部分一起發(fā)送，包括源代碼以在用戶開發(fā)需要時作為參考的例子。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，包括軟件控制系統(tǒng)，自含式控件對象庫，操作者窗口，一個或多個所述自含式控件對象適于創(chuàng)建所述軟件控制系統(tǒng)的生產(chǎn)界面，所述生產(chǎn)界面具有1)自含式測試器控件，用于提供到所述軟件控制系統(tǒng)的應(yīng)用編程接口，和2)自含式操作者控件，用于提供所述操作者窗口與所述自含式測試器控件之間的接口，所述控件庫中的所述自含式操作者控件是“拖放”控件，適于被“拖放”到所述操作者窗口中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其中所述操作者窗口中的所述自含式對象都能相互通信。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其中每個自含式控件對象都被設(shè)計(jì)成能進(jìn)行這樣的操作在初始化時，每個自含式控件對象將搜索窗口中的其它自含式控件對象，并與每一個其它自含式控件對象建立通信鏈路，使得每個自含式控件對象都能和其它任一個自含式控件對象進(jìn)行交互。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其中所述自含式控件是ActiveX控件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其中所述ActiveX控件是用Visual Basic編程語言進(jìn)行編程。
6.根據(jù)權(quán)利要求2的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其中所述自含式測試器控件對象和所述自含式操作者控件對象同在所述操作者窗口中，并且相互通信。
7.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其中所述操作者窗口中的所述自含式操作者ActiveX控件都能相互通信。
8.根據(jù)權(quán)利要求6的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其中每個ActiveX控件都適于進(jìn)行這樣的操作在初始化時，每個ActiveX控件將搜索窗口中的其它ActiveX控件，并與每一個其它ActiveX控件建立通信鏈路，使得每個ActiveX控件都能和其它任一個ActiveX控件進(jìn)行交互。
9.一種半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，包括軟件控制系統(tǒng)，ActiveX控件庫，操作者窗口，一個或多個所述ActiveX控件適于創(chuàng)建所述軟件控制系統(tǒng)的生產(chǎn)界面，所述生產(chǎn)界面具有1)ActiveX測試器控件，用于提供到所述軟件測試程序的應(yīng)用編程接口，和2)ActiveX操作者控件，用于提供所述操作者窗口與所述ActiveX測試器控件之間的接口，所述庫中的所述ActiveX操作者控件適于被“拖放”到所述操作者窗口中。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其中所述操作者窗口中的所述ActiveX控件都能相互通信。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其中每個ActiveX控件適于進(jìn)行這樣的操作在初始化時，每個ActiveX控件將搜索窗口中的其它ActiveX控件，并與每一個其它ActiveX控件建立通信鏈路，使得每個ActiveX控件都能和其它任一個ActiveX控件進(jìn)行交互。
12.根據(jù)權(quán)利要求11的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其中所述ActiveX控件是用Visual Basic編程語言進(jìn)行編程。
13.一種半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，包括半導(dǎo)體測試器，測試開發(fā)和執(zhí)行程序，用于向所述測試器提供半導(dǎo)體器件數(shù)據(jù)參數(shù)，執(zhí)行器，用于通過所述測試開發(fā)和執(zhí)行程序?qū)y試進(jìn)行初始化，ActiveX控件庫，一個或多個所述ActiveX控件適于創(chuàng)建所述執(zhí)行器的生產(chǎn)界面，所述生產(chǎn)界面具有1)ActiveX測試器控件，用于提供到所述執(zhí)行器的應(yīng)用編程接口，和2)ActiveX操作者控件，用于提供所述操作者窗口與所述ActiveX測試器控件之間的接口，所述庫中的所述ActiveX操作者控件適于被“拖放”到所述操作者窗口中，所述操作者窗口中的所述ActiveX操作者控件都能相互通信。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其中每個ActiveX控件適于進(jìn)行這樣的操作在初始化時，每個ActiveX控件將搜索窗口中的其它ActiveX控件，并與每一個其它ActiveX控件建立通信鏈路，使得每個ActiveX控件都能和其它任一個ActiveX控件進(jìn)行交互。
15.根據(jù)權(quán)利要求14的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其中所述ActiveX控件是用Visual Basic編程語言進(jìn)行編程。
16.一種半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，適于與一個或多個不同的操作裝置協(xié)同工作，所述操作裝置用于放置待測半導(dǎo)體器件，該半導(dǎo)體測試系統(tǒng)包括操作裝置驅(qū)動程序庫，每個所述操作裝置驅(qū)動程序適于與不同的操作裝置協(xié)同工作，生產(chǎn)界面，適于訪問所述庫，該生產(chǎn)界面具有1)自含式測試器控件對象，用于提供到所述操作裝置驅(qū)動程序的應(yīng)用編程接口，和2)自含式操作者控件對象，用于提供操作者窗口與所述自含式測試器控件對象之間的接口，所述自含式操作者控件對象允許操作者從所述操作裝置驅(qū)動程序庫里選擇操作裝置驅(qū)動程序。
17.根據(jù)權(quán)利要求16的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其中每個操作裝置驅(qū)動程序具有一個自含式操作裝置測試器控件對象，它用作所述操作裝置與所述自含式測試器控件對象之間的接口。
18.根據(jù)權(quán)利要求17的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，具有一個通信接口，該通信接口定義了所述操作裝置與所述操作裝置測試器控件對象之間的網(wǎng)絡(luò)通信層。
19.根據(jù)權(quán)利要求18的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其中所述操作裝置測試器控件對象，所述測試器控件對象以及所述操作者控件對象都是ActiveX控件。
20.根據(jù)權(quán)利要求19的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其中所述ActiveX控件是用Visual Basic編程語言編寫的。
21.一種半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，包括測試器，操作裝置，用于放置將由所述測試器測試的半導(dǎo)體器件，所述操作裝置是多個適于與所述測試系統(tǒng)協(xié)同工作的操作裝置之一，操作裝置驅(qū)動程序庫，每個所述操作裝置驅(qū)動程序適于與不同的操作裝置協(xié)同工作，生產(chǎn)界面，適于訪問所述操作裝置驅(qū)動程序庫，該生產(chǎn)界面具有1)ActiveX測試器控件，用于提供到所述操作裝置驅(qū)動程序的應(yīng)用編程接口，和2)ActiveX操作者控件，用于提供操作者窗口與所述ActiveX測試器控件之間的接口，所述ActiveX操作者控件允許操作者從所述操作裝置驅(qū)動程序庫里選擇操作裝置驅(qū)動程序。
22.根據(jù)權(quán)利要求21的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其中每個操作裝置驅(qū)動程序具有一個ActiveX操作裝置測試器控件，它用作所述操作裝置與所述ActiveX測試器控件之間的接口。
23.根據(jù)權(quán)利要求22的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，具有包括一個通信接口，該通信接口定義了所述操作裝置與所述ActiveX操作裝置測試器控件之間的網(wǎng)絡(luò)通信層。
全文摘要
使用自含式ActiveX控件創(chuàng)建一種生產(chǎn)操作者界面,其中每個ActiveX控件提供到整個測試系統(tǒng)的一個特定部分的接口。這些控件自動地相互通信。該生產(chǎn)界面使用ActiveX“測試器控件”,其提供到軟件控制系統(tǒng)的其它部分的應(yīng)用編程接口。提供一個自含式ActiveX控件庫,其包含可以被“拖放”到操作者窗口中的“操作者控件”,從而向操作者提供信息和控制測試系統(tǒng)的能力。此外,半導(dǎo)體測試系統(tǒng)需要適于與一個或多個不同的封裝器件操作裝置或晶片探測器協(xié)同工作,其中操作裝置或晶片探測器用于放置半導(dǎo)體器件來由測試器進(jìn)行測試。ActiveX操作者控件允許操作者從操作裝置驅(qū)動程序庫中選擇操作裝置驅(qū)動程序。
文檔編號G01R31/28GK1270672SQ98809199
公開日2000年10月18日 申請日期1998年8月3日 優(yōu)先權(quán)日1997年9月16日
發(fā)明者丹尼爾C·普羅斯考爾 申請人:泰拉丁公司