專利名稱：用于調度半導體批次的系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本公開內容涉及在半導體處理中調度批次(lot)。更具體地，
本公開內容涉及為了操作員的檢查而顯示半導體處理工具的調度邏輯。
背景技術：
在半導體制造中，每個半導體都是作為半導體批次或組(下文 稱為"批次")的一部分形成的。半導體批次由多個不同的處理工 具來處理。
將半導體批次安排或調度到處理工具是一個動態(tài)過程。例如，
在制造過程、原材料、處理工具和其他變量方面的條件可能改變， 這導致了需要將半導體批次動態(tài)調度到處理工具。
每個處理工具根據(jù)一個或多個過程規(guī)則對半導體批次執(zhí)行特定 的制造過程。該過程規(guī)則由服務管理器施加，該服務管理器通常稱 作實時調度服務管理器或"管理器"。該服務管理器是關于將要采 取的適當調度步驟(例如，特定批次應該傳遞到哪個工具)做出決
定的自動系統(tǒng)。而且，服務管理器考慮操作員輸入的覆蓋(override) 條件或過濾器。
服務管理器基于每個工具的操作特性以及其與給定批次發(fā)生關 系的方式來應用調度規(guī)則。調度規(guī)則可能出于多種原因從調度列表 (即，列出將要由工具處理的批次的列表)中移除批次。這些原因 包括工具設置優(yōu)化、等待批量邏輯更新或對管理器上的在制品 (WIP)平衡要求做出補償。
在某些情況中，調度規(guī)則和/或過濾器有意地使批次不被處理， 從而使工具空閑一段時間。然而，工具的用戶/操作員無法分辨具有
空的調度列表的工具是被有意設計為空閑狀態(tài)，還是應該做些事情 以使一個或多個批次可調度到該工具。
對于調度規(guī)則的邏輯的可視性不是實時可用的，因為已經將服 務管理器優(yōu)化為快速執(zhí)行調度規(guī)則。對于制造操作來說，了解批次 不能被調度的原因是重要的，因為一旦了解了原因，就可以知道做 什么可以使空閑的批次可用以及更好地利用工具。
因此，本申請已經確定的是需要一種實時顯示以利用解釋代碼 來示出被調度的批次的狀態(tài)。

發(fā)明內容
提供了一種用于在多個工具之間調度多個半導體批次的系統(tǒng)。 所述系統(tǒng)包括調度服務器管理器以及調度綜合器和顯示設備。調度 綜合器和顯示設備向所述管理器傳遞調度請求，并且從所述管理器 接收調度列表。所述管理器查詢所述多個半導體批次的處理狀態(tài)并 且顯示調度列表以響應所述處理狀態(tài)。所述調度列表包括與所述處 理狀態(tài)有關的相關原因和/或代碼。
還提供了 一種用于在多個工具之間調度多個半導體批次的系 統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括調度綜合器和顯示器、調度服務管理器和解釋基 礎設施。所述調度服務管理器將所述多個半導體批次調度到多個調 度器。所述調度服務管理器與所述調度綜合器和顯示器進行電通信。
設施從所述調度服務管理器向所述調度綜合器和顯示器導出信息。 所述信息包括所述多個半導體批次的調度狀態(tài)。
還提供了 一種用于處理半導體批次的方法。所述方法包括對具 有過濾器的調度服務器管理器進行編程，控制所述調度服務器管理 器來根據(jù)所述過濾器確定是否在多個調度器中的至少一個調度器上 調度所述半導體批次，以及如果所述調度服務器管理器沒有調度所 述半導體批次，則控制所述調度服務器管理器在預定的時間幀內輸
出原因代碼。
本發(fā)明還包括存儲在計算機可讀介質中的計算機程序產品，所 述程序產品包括用于執(zhí)行本發(fā)明方法的計算機可執(zhí)行代碼。本發(fā)明 還包括在計算系統(tǒng)中部署本發(fā)明的計算機程序產品的方法。
在下面，將更詳細地描述本發(fā)明的這些和其他方面。


圖1示出了根據(jù)本公開內容的系統(tǒng)的示例性實施方式；
法；
圖3示出了根據(jù)本公開內容的調度服務器管理器的示例性實施 方式；以及
圖4示出了根據(jù)本公開內容的輸出表格的示例性實施方式。
具體實施例方式
參考附圖，尤其參考附圖1,示出了用于調度半導體批次的系統(tǒng) 的示例性實施方式("系統(tǒng)100")。有優(yōu)勢地，系統(tǒng)100包括解釋 基礎設施105，該解釋基礎設施105實時生成被調度的批次的狀態(tài)以 及關于該狀態(tài)的解釋代碼，以便顯示給操作員。因此，系統(tǒng)100允 許用戶修正和/或覆蓋系統(tǒng)內的規(guī)則以便提高制造吞吐量。
系統(tǒng)100包括向實時調度服務器管理器120 ("管理器，，120) 傳遞調度請求115的調度綜合器和顯示設備("設備"110)。調度 請求115包含將要由管理器120調度到各種工具用于處理的被提議 的批次的列表。管理器120管理調度請求115以在多個調度器130、 135、 140之間分配它們。特別地，管理器120向調度器130、 135、 140發(fā)送調度請求115，調度器130、 135、 140處理來自于設備110 的調度請求。此外，管理器120將已經由調度器130、 135、 140計 算的調度列表125傳回設備110。調度列表125包含當前被各種調度 器130、 135、 140控制以便處理的實際批次的列表。管理器120、調度請求115,向調度器130、 135和140查詢關 于各種批次在調度器130、 135和140處是何種狀態(tài)的狀態(tài)報告。在 示出的實施方式中，管理器120在第一時間145和第二時間150查 詢關于第一批次155和第二批次160的狀態(tài)才艮告。
為了響應調度請求115,系統(tǒng)IOO在它們的分配時間向管理器 120返回調度列表125,其傳達了這些批次的處理狀態(tài)。調度列表125 包括批次155、 160在相應的時間145、 150的處理狀態(tài)以及特定批 次是否正被處理。服務管理器120匯總調度列表125并且將匯總的 調度列表125傳遞到設備110。
有優(yōu)勢地，設備180顯示的調度列表125具有關于為什么特定 批次155、 160在特定調度器130、 135、 140處還沒有^皮管理器120 調度用于處理的相關原因和/或解釋代碼。該原因代碼可能是調度器 130、 135、 140已經檢測到傳遞給管理器120的批次中的錯誤條件并 且管理器120停止了調度該批次，或者可替換地，該原因代碼可能 是管理器120已經基于包括過濾器在內的調度邏輯獨立地確定不將 一個或多個批次調度到調度器130、 135、 140。
因此，系統(tǒng)100包括耦合至管理器120的解釋基礎設施105?；?礎設施105包括文件收集器170和解釋文件175。文件收集器170 收集關于針對各種批次155、 160的實時調度的決定，并且使得其對 于設備110來說是可訪問的。換言之，收集器170收集(如在管理 器120處確定的)特定批次不可以被調度的原因，并且將該信息保 存到單獨的文件中(即，解釋文件175)。在某些實施方式中，解釋 文件175還包括帶有原因的相關傳感器讀取內容。
基礎設施105經由解釋報告出口 180實時地導出解釋文件175, 該文件經由例如設備IIO導出給操作員。實時通?？梢远x為在某 個批次在特定工具上的制造過程期間允許用戶與管理器12 0進行交 互。換言之，通過使用系統(tǒng)IOO,關于在調度器130、 135、 140處批 次沒被調度的原因的解釋代碼(即，解釋文件175)被傳遞到產品不 可調度解釋報告180，從而允許操作員對是否存在問題執(zhí)行實時確
定，并且如果是存在問題，則通過對管理器120中的規(guī)則進行重新 編程來采取合適的動作。
圖2示出了方法200，該方法200示出了非解釋調度信息和實時 解釋代碼調度信息的并行流。
在步驟210中，"i殳備IIO請求調度各種批次，如調度請求115 那樣。方法200前進到步驟220。在步驟220中，管理器120運4亍合 適的規(guī)則。換言之，運行用于一個或多個批次的規(guī)則，并且確定"調 度，，，即對沒被過濾掉的批次的處理定時和順序以及處理類型。方 法200并行地前進到步驟230和步驟240。
在步驟230中，調度列表125由管理器120生成。調度列表125 顯示實際將要被處理的批次、順序、以及管理器120基于來自于調 度器130、 135、 140的信息所確定的類似內容。然而，調度列表125 不列出在調度請求210中進行了請求但實際上沒被管理器120調度 的任何批次，沒被調度的原因諸如是給定批次被過濾器過濾掉了 。 方法200前進到步驟235。
在步驟235中，設備IIO接收調度列表125，但是不能實時訪問 調度列表125。相反，日志保存在設備110內，并且操作員必須手動 片企查日志以確定正在調度哪些批次，并且因此，通過排除過程確定 哪些批次沒被調度。此外，沒被調度的批次不具有附加的原因代碼， 解釋它們沒被調度的原因。
有優(yōu)勢地，在步驟240中，收集各種批次沒被調度的相應原因。 方法200前進到步驟245。
在步驟245中，解釋收集器170存儲在步驟240中收集的解釋 代碼。該解釋代碼包括如管理器120所確定的關于各種批次沒纟皮調 度或被延遲調度的原因的解釋，諸如被安裝的過濾器過濾掉了。在 一個實施方式中，解釋收集器170每15分鐘或根據(jù)需要收集解釋代 碼?？商鎿Q地，可以在操作員選擇的某個其他定時序列上獲取解釋 代碼。方法200前進到步驟250。
在步驟250中，在任何情況下，收集器170針對制造"日期"
在文件中存儲所有的解釋代碼。這可以是按24小時的周期、輪班、 或者某個其他的時間周期。每日報告(或15分鐘報告，或按需報告， 如步驟240和245中所收集的那樣)啟動其他并行過程。在步驟260 中這些原因被傳遞到歷史收集器每日文件中，并且在步驟265中傳 遞到產品不可調度解釋報告180。
可替換地，在步驟270中，歷史的不可調度解釋原因存儲在文 件中，并且使得其可被不可調度解釋報告工具180訪問。
在步驟280中，操作員/用戶請求實時信息，或者以其他方式向 操作員/用戶提供關于批次處理程序的周期性更新。然后向用戶"喿作 員提供關于各種批次沒被處理的原因的解釋代碼。
圖3更詳細地示出了管理器120。管理器120包括作為一個或多 個過濾器310、 315、 320而存儲在管理器中的一個或多個調度^L則 300。管理器120與解釋報告出口 180通信，該解釋報告出口 180例 如可以是以JAVA編程的出口。 4艮告出口 180耦合至顯示器，i者如 但不限于設備110。
報告出口 180是代碼或固件中可以被管理器120用來導出信息 的"出口端，，。有優(yōu)勢地，管理器120使用出口 180向設備110傳 遞將包含在不可調度解釋文件175中的信息。因此，在執(zhí)行了用戶 請求步驟280之后，用戶/操作員可以經由設備IIO查看因過濾器 310、 315、 320造成的不可調度的批次。該信息可以被用戶用來在工 廠中采取動作以提高生產力。
圖4示出了在設備110處可獲得的信息的表格400，如它涉及包 括在不可調度的解釋報告180內的解釋代碼。表格400可以包括諸 如但不限于調度工具標識符列410、批次標識符列420、調度時間列 430、解釋代碼列440、解釋原因列450、批次細節(jié)列460以及它們 的任何組合。
有優(yōu)勢地，解釋基礎設施105與管理器120合作以允許用戶實 時地看到批次和/或實時調度工具不工作的特定原因。這使得用戶/ 操作員能夠做出適當?shù)恼{整。
本發(fā)明的系統(tǒng)優(yōu)選地包括 一 個或多個與所述系統(tǒng)的部件相關的 計算機和/或微處理器用于實現(xiàn)系統(tǒng)的 一 個或多個方面。
本發(fā)明還包括存儲在計算機可讀介質中的計算機程序產品，該 計算機程序產品用于執(zhí)行本發(fā)明的一個或多個方法。例如，本發(fā)明
包括具有用于通過以下內容處理半導體批次的計算機可執(zhí)行代碼的 計算機程序產 品
對具有過濾器的調度服務器管理器進行編程；
控制調度服務器管理器來根據(jù)所述過濾器確定是否在多個調度 器中的至少一個調度器上調度半導體批次；以及
如果調度服務器管理器沒有調度半導體批次，則控制所述調度 服務器管理器在預定的時間幀內輸出原因代碼。
優(yōu)選地，計算機程序產品進一步包括計算機可執(zhí)行代碼，該計 算機可執(zhí)行代碼用于控制調度服務器管理器將原因代碼輸出到顯示 器。
優(yōu)選地，計算機程序產品進一步包括計算機可執(zhí)行代碼，該計 算機可執(zhí)行代碼用于允許用戶評估原因代碼并且由用戶根據(jù)所述原 因代碼改變所述過濾器。所述改變可以包括刪除過濾器。
優(yōu)選地，計算機程序產品進一步包括允許原因代碼包括選擇自 這樣的組中的數(shù)據(jù)的計算機可執(zhí)行代碼，所述組包括調度工具標識 符信息、批次標識符信息、調度時間信息、解釋代碼信息、解釋原 因信息、批次細節(jié)信息以及它們的任何組合。
優(yōu)選地，計算機程序產品進 一 步包括用于在調度服務器管理器 處接收調度請求的計算機可執(zhí)行代碼和用于在調度服務器管理器將 原因代碼輸出到輸出設備之前在文件中存儲原因代碼的計算機可執(zhí) 行代碼。
本發(fā)明的計算機程序產品可以部署在計算機系統(tǒng)中(例如，通 過在系統(tǒng)的存儲器設備中安裝代碼來部署)。該計算機系統(tǒng)可以是 制造工具的一部分和/或包括制造工具的一部分。計算系統(tǒng)可以包括 多個計算機、多個制造工具、遠程計算機、便攜式計算機可讀介質
等。)
工業(yè)適用性
可以以這里描述的軟件和其他設備實現(xiàn)本發(fā)明，通過支持實時
批次處理。對于制造操作來說，了解批次不能被調度的原因是重要 的，因為一旦了解了原因，就可以知道做什么可以使空閑的批次可 用以及更好地利用工具。期望本發(fā)明的實現(xiàn)能夠提高制造工具的吞 吐量。
權利要求
1.一種用于在多個工具之間調度多個半導體批次(155、160)的系統(tǒng)(100)，所述系統(tǒng)包括調度服務器管理器(120)；以及調度綜合器和顯示設備(110)，用于將調度請求(115)傳遞到所述管理器并且從所述管理器接收調度列表(125)，其中，所述管理器查詢所述多個半導體批次的處理狀態(tài)并且顯示調度列表以響應所述處理狀態(tài)，其中所述調度列表包括與所述處理狀態(tài)有關的相關原因和/或代碼。
2. 根據(jù)權利要求1所述的系統(tǒng)，進一步包括耦合至所述管理器 的解釋基礎設施(105)，所述解釋基礎設施包括文件收集器(170), 其收集來自于所述管理器的關于所述處理狀態(tài)的判決。
3. 根據(jù)權利要求2所述的系統(tǒng)，其中所述文件收集器將所述相 關原因和/或代碼保存在解釋文件(175)中。
4. 根據(jù)權利要求3所述的系統(tǒng)，其中所述解釋文件包括對所述 多個工具的傳感器讀取內容。
5. 根據(jù)權利要求3所述的系統(tǒng)，其中所述解釋基礎設施經由解 釋報告出口 (180)將所述解釋文件導出到所述調度綜合器和顯示設 備。
6. 根據(jù)權利要求5所述的系統(tǒng)，其中所述解釋報告出口包括 JAVA編程的出口。
7. 根據(jù)權利要求3所述的系統(tǒng)，其中所述解釋文件包括選擇自 這樣的組中的數(shù)據(jù)，所述組包括調度工具標識符信息、批次標識符 信息、調度時間信息、解釋代碼信息、解釋原因信息、批次細節(jié)信 息以及它們的<壬何組合。
8. —種用于調度多個半導體批次(155、 160)的系統(tǒng)(100)， 所述系統(tǒng)包括調度綜合器和顯示器(110);調度服務管理器(120),用于將所述多個半導體批次調度到多 個調度器(130、 135、 140)，所述調度服務管理器與所述調度綜合 器和顯示器進行電通信；以及解釋基礎設施(105),其與所述調度服務管理器進行通信，所 述解釋基礎設施從所述調度服務管理器向所述調度綜合器和顯示器 導出信息(175)，所述信息包括所述多個半導體批次的調度狀態(tài)。
9. 根據(jù)權利要求8所述的系統(tǒng)，進一步包括用于根據(jù)所述信息 更新所述調度服務管理器的用戶輸入。
10. 根據(jù)權利要求8所述的系統(tǒng)，其中所述信息包括選擇自這樣 的組中的數(shù)據(jù)，所述組包括調度工具標識符信息、批次標識符信息、 調度時間信息、解釋代碼信息、解釋原因信息、批次細節(jié)信息以及 它們的i"壬^T組合。
11. 一種處理半導體批次(155、 160)的方法，包括 對具有過濾器(310、 315、 320 )的調度服務器管理器(120)進行編程；調度器(130、 135、 140)中的至少一個調度器上調度所述半導體批 次；以及述調度服務器管理器在預定的時間幀內輸出原因代碼。
12. 根據(jù)權利要求11所述的方法，進一步包括控制所述調度服 務器管理器將所述原因代碼(180)輸出到顯示器(110)。
13. 根據(jù)權利要求13所述的方法，進一步包括 由用戶評估所述原因代碼；以及由所述用戶根據(jù)所述原因代碼改變所述過濾器。
14. 根據(jù)權利要求13所述的方法，其中改變所述過濾器包括刪 除所述過濾器。
15. 根據(jù)權利要求11所述的方法，其中所述原因代碼包括選擇 自這樣的組中的數(shù)據(jù)，所述組包括調度工具標識符信息、批次標識符信息、調度時間信息、解釋代碼信息、解釋原因信息、批次細節(jié) 信息以及它們的任何組合。
16. 根據(jù)權利要求11所述的方法，進一步包括在所述調度服務 器管理器處接收調度請求(115)。
17. 根據(jù)權利要求11所述的方法，進一步包括在所述調度服務
18. —種計算機可讀介質中的計算機程序產品，所述程序產品包 括計算機可執(zhí)行代碼，所述計算機可執(zhí)行代碼用于執(zhí)行處理半導體 批次(155、 160)的方法，所述方法包括對具有過濾器(310、 315、 320)的調度服務器管理器(120)進 行編程；控制所述調度服務器管理器來根據(jù)所述過濾器確定是否在多個 調度器(130、 135、 140)中的至少一個調度器上調度所述半導體批 次；以及
19. 根據(jù)權利要求18所述的計算機程序產品，進一步包括用于計算機可執(zhí)行代碼。
20. 根據(jù)權利要求19所述的計算機程序產品，進一步包括用于所述過濾器的計算機可執(zhí)行代碼。
21. 根據(jù)權利要求19所述的計算機程序產品，進一步包括這樣 的計算機可執(zhí)行代碼，所述計算機可執(zhí)行代碼允許所述原因代碼包 括選擇自這樣的組中的數(shù)據(jù)，所述組包括調度工具標識符信息、批 次標識符信息、調度時間信息、解釋代碼信息、解釋原因信息、批 次細節(jié)信息以及它們的任何組合。
22. 根據(jù)權利要求19所述的計算機程序產品，進一步包括用于 在所述調度服務器管理器處接收調度請求(115)的計算機可執(zhí)行代碼。
23. 根據(jù)權利要求19所述的計算機程序產品，進一步包括用于 在所述調度服務器管理器輸出所述原因代碼之前將所述原因代碼存 儲在文件中的計算機可執(zhí)行代碼。
24. —種用于部署計算基礎設施的方法，包括將計算機可執(zhí)行代 碼集成到計算系統(tǒng)中，其中所述代碼結合所述計算系統(tǒng)能夠執(zhí)行處 理半導體批次(155、 160)的方法，所述方法包括對具有過濾器(310、 315、 320 )的調度服務器管理器(120)進 行編程；控制所述調度服務器管理器來根據(jù)所述過濾器確定是否在多個 調度器(130、 135、 140)中的至少一個調度器上調度所述半導體批 次；以及如果所述調度服務器管理器沒有調度所述半導體批次，則控制所 述調度服務器管理器在預定的時間幀內輸出原因代碼(180)。
全文摘要
提供了一種用于在多個工具之間調度多個半導體批次(155、160)的系統(tǒng)(110)。該系統(tǒng)包括調度服務器管理器(120)以及調度綜合器和顯示設備(110)。調度綜合器和顯示設備向管理器傳遞調度請求(115)并且從管理器接收調度列表(125)。該管理器查詢多個半導體批次的處理狀態(tài)并且顯示調度列表以響應處理狀態(tài)。調度列表包括與處理狀態(tài)有關的相關原因和/或代碼(180)。
文檔編號G07F17/32GK101361075SQ200780001721
公開日2009年2月4日 申請日期2007年1月29日 優(yōu)先權日2006年1月31日
發(fā)明者A·德齊德齊克, E·迪克斯坦, R·伯達 申請人:國際商業(yè)機器公司