專利名稱：用于校正半導(dǎo)體制造系統(tǒng)故障的方法和系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于校正半導(dǎo)體制造系統(tǒng)故障的方法和系統(tǒng)，更具體地說，本發(fā)明涉及利用與服務(wù)人員進(jìn)行交互式范例分析來校正故障的方法。
背景技術(shù)：
維護(hù)半導(dǎo)體制造設(shè)備是耗時(shí)且昂貴的過程，它涉及到設(shè)備制造商與制造機(jī)關(guān)之間的合作。半導(dǎo)體設(shè)備制造商與半導(dǎo)體制造機(jī)關(guān)之間的低效率交互可能造成設(shè)備停工，這增加了總體的運(yùn)作成本，以及維修時(shí)間和部件替換的額外消耗。
在電子工業(yè)中，設(shè)備制造商使用許多分立的獨(dú)立服務(wù)模型，設(shè)置這些服務(wù)模型所從事的活動范圍從制造系統(tǒng)的維護(hù)到制造系統(tǒng)的故障檢查、部件替換和核準(zhǔn)、零件替換和核準(zhǔn)等等。結(jié)果，這些服務(wù)模型表現(xiàn)出彼此之間缺乏數(shù)據(jù)通信、導(dǎo)致冗余的嚴(yán)重重疊、以及在為便于設(shè)備服務(wù)而設(shè)計(jì)的組織內(nèi)部建立起了無形的邊界。本發(fā)明人認(rèn)為使用獨(dú)立的服務(wù)模型導(dǎo)致了服務(wù)成本的增加和運(yùn)作效率的降低。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的一個(gè)方面是減小或消除上述的任何或全部問題。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是降低服務(wù)成本并使半導(dǎo)體制造機(jī)關(guān)維護(hù)中的工作效率最大化。
本發(fā)明的再一個(gè)目的是提供一種系統(tǒng)，用于隔離和/或校正半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中的故障。
本發(fā)明的這些以及其他的目的是通過一種對用于半導(dǎo)體制造的處理工具中的故障進(jìn)行校正的方法實(shí)現(xiàn)的。該方法包括收集針對于處理工具中舊故障的舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)，接收針對于處理工具中新故障的新的服務(wù)行為數(shù)據(jù)并將新的服務(wù)行為數(shù)據(jù)與舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。然后根據(jù)所述比較識別出相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)，并根據(jù)相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)進(jìn)行校正活動。
根據(jù)另一個(gè)方面，一種對用于半導(dǎo)體制造的處理工具中的故障進(jìn)行校正的系統(tǒng)包括控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)設(shè)置為收集針對于處理工具中舊故障的舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)，接收針對于處理工具中新故障的新的服務(wù)行為數(shù)據(jù)，并將新的服務(wù)行為數(shù)據(jù)與舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。控制系統(tǒng)根據(jù)所述比較識別出相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)，并根據(jù)相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)進(jìn)行校正活動以校正處理工具中的新故障。
本發(fā)明的另一個(gè)方面是一種計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，它包含用于在處理器上執(zhí)行的程序指令，當(dāng)由處理器執(zhí)行時(shí)，所述程序指令使計(jì)算機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行權(quán)利要求所述方法中的步驟。
本發(fā)明的另一個(gè)方面是一種對用于半導(dǎo)體制造的處理工具中的故障進(jìn)行校正的系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括用于收集針對于處理工具中舊故障的舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)的收集裝置；用于接收針對于處理工具中新故障的新的服務(wù)行為數(shù)據(jù)的接收裝置；用于將新的服務(wù)行為數(shù)據(jù)與舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)進(jìn)行比較的比較裝置；用于根據(jù)所述比較識別出相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)的識別裝置；以及用于根據(jù)相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)進(jìn)行校正活動的校正裝置。


在附圖中，圖1示出了根據(jù)本發(fā)明一種實(shí)施例的處理系統(tǒng)的示意圖；圖2A圖示了用于對服務(wù)功能進(jìn)行操作的示例性操作者界面；圖2B圖示了用于進(jìn)行圖2A所述服務(wù)功能的另一示例性操作者界面；
圖2C圖示了用于進(jìn)行圖2A所述服務(wù)功能的另一示例性操作者界面；圖2D圖示了用于進(jìn)行圖2A所述服務(wù)功能的另一示例性操作者界面；圖2E圖示了用于進(jìn)行圖2A所述服務(wù)功能的另一示例性操作者界面；圖2F圖示了用于進(jìn)行圖2A所述服務(wù)功能的另一示例性操作者界面；圖2G圖示了用于進(jìn)行圖2A所述服務(wù)功能的另一示例性操作者界面；圖2H圖示了用于進(jìn)行圖2A所述服務(wù)功能的另一示例性操作者界面；圖2I圖示了用于進(jìn)行圖2A所述服務(wù)功能的另一示例性操作者界面；圖2J圖示了用于進(jìn)行圖2A所述服務(wù)功能的另一示例性操作者界面；圖2K圖示了用于進(jìn)行圖2A所述服務(wù)功能的另一示例性操作者界面；圖3示出了根據(jù)本發(fā)明另一種實(shí)施例校正處理系統(tǒng)故障的一種方法。
圖4圖示了一種計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，本發(fā)明的一種實(shí)施例可以在該計(jì)算機(jī)系統(tǒng)上實(shí)施。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在參考附圖，其中，在這幾幅視圖中，相同的標(biāo)號表示相同的或相應(yīng)的部分。圖1示出了用于半導(dǎo)體制造的處理系統(tǒng)1。處理系統(tǒng)1包括設(shè)置為在襯底上進(jìn)行處理的處理工具10以及結(jié)合到處理工具10并設(shè)置為履行服務(wù)功能的控制系統(tǒng)20，所述服務(wù)功能用于使用服務(wù)行為數(shù)據(jù)對處理工具10進(jìn)行校正?？刂葡到y(tǒng)履行的服務(wù)功能可以提供服務(wù)活動數(shù)據(jù)，該服務(wù)活動數(shù)據(jù)對服務(wù)人員校正處理工具10是有用的，或者可以對處理工具提供自動控制以便校正故障。根據(jù)一種實(shí)施例，控制系統(tǒng)20存儲服務(wù)行為數(shù)據(jù)，所述服務(wù)行為數(shù)據(jù)用于履行服務(wù)功能以及對處理工具10的故障進(jìn)行校正。
控制系統(tǒng)20可以直接耦合到處理工具10，也可以經(jīng)由例如半導(dǎo)體制造機(jī)關(guān)或材料處理機(jī)關(guān)中的本地內(nèi)部網(wǎng)耦合到處理工具10。另外，控制系統(tǒng)20可以經(jīng)由互聯(lián)網(wǎng)連接和內(nèi)部網(wǎng)連接中的至少一個(gè)而耦合到處理工具10?；蛘?，控制系統(tǒng)20可以是獨(dú)立控制系統(tǒng)，其中獨(dú)立控制系統(tǒng)設(shè)置為經(jīng)由人工登錄和數(shù)據(jù)介質(zhì)中的至少一個(gè)來接收服務(wù)行為數(shù)據(jù)，所述數(shù)據(jù)介質(zhì)例如軟盤、磁帶、光盤或閃存驅(qū)動器。
仍然參考圖1，處理系統(tǒng)1還可以包括耦合到控制系統(tǒng)10的操作者界面(未示出)。例如，操作者界面可以包括圖形用戶接口(GUI)。GUI使控制系統(tǒng)20能夠進(jìn)行下列至少其一收集服務(wù)行為數(shù)據(jù)、校正故障以及提供服務(wù)活動數(shù)據(jù)以幫助服務(wù)人員校正故障。此處所用的“校正故障”包括提供數(shù)據(jù)或者進(jìn)行操作，所述操作作為完成故障校正的中間步驟。因此，校正故障可以是向服務(wù)人員提供數(shù)據(jù)以幫助對處理工具進(jìn)行故障檢查，或者將故障孤立到有限數(shù)目的原因。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)明白，GUI屏幕可以包括選擇表結(jié)構(gòu)和/或?qū)Ш綐錉罱Y(jié)構(gòu)。另外，作為界面的一部分，可以提供鍵盤、鼠標(biāo)、觸摸屏或這些方式的任意組合。
處理工具可以包括例如耦合到制造系統(tǒng)(MS)平臺的制造系統(tǒng)(MS)工具。例如，MS平臺包括集束型設(shè)備(cluster-tool)裝置，例如Unity II、Unity IIe、Unity M或Unity ME，或者包括串行工具裝置，例如Telius平臺，用于進(jìn)行半導(dǎo)體制造處理，它們可以從Tokyo ElectronLimited(TBS Broadcast Center，3-6 Akasaka 5-chome，Minato-ku，Tokyo107-8481)買到。另外，例如，MS平臺可以包括可從Tokyo ElectronLimited買到的ACT8、ACT 12或Lithius Track系統(tǒng)。另外，例如，MS平臺可以包括可從Tokyo Electron Limited買到的Alpha系列或TELFormula批處理熱處理系統(tǒng)。另外，例如，MS平臺可以包括可從Tokyo ElectronLimited買到的Trias沉積系統(tǒng)。MS工具可以包括例如DRM、A-DRM、DRM II、SCCM-DT、SCCM-Ox或SCCM-Poly Etch系統(tǒng)，或者SPA沉積系統(tǒng)。更一般地說，MS工具可以包括例如刻蝕系統(tǒng)；沉積系統(tǒng)，例如熱沉積系統(tǒng)、化學(xué)氣相沉積(CVD)系統(tǒng)、原子層沉積(ALD)系統(tǒng)、物理氣相沉積(PVD)系統(tǒng)或離子化PVD(I-PVD)系統(tǒng)；光刻膠旋涂系統(tǒng)；介質(zhì)上旋涂系統(tǒng)；清潔系統(tǒng)，例如液體浸沒系統(tǒng)或超臨界流體清潔系統(tǒng)；熱處理系統(tǒng)，例如批處理氧化、擴(kuò)散、低壓CVD爐或熱固化系統(tǒng)；快速熱處理(RTP)系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)；離子注入系統(tǒng)；平坦化系統(tǒng)；電鍍系統(tǒng)；器件探測系統(tǒng)；計(jì)量系統(tǒng)等等。
如圖2A所示，提供了圖形用戶界面(GUI)的一種示例性示意圖，以突出控制系統(tǒng)20提供的一種或多種服務(wù)功能。例如，GUI提供了用于修理處理工具的服務(wù)功能鍵，即“Repair Machine”(修理機(jī)器)鍵。
根據(jù)一種實(shí)施例，控制系統(tǒng)20從處理工具10收集服務(wù)行為數(shù)據(jù)，并存儲服務(wù)行為數(shù)據(jù)。服務(wù)行為數(shù)據(jù)通常包括與半導(dǎo)體制造中進(jìn)行的服務(wù)有關(guān)的數(shù)據(jù)，更具體地說所涉及的數(shù)據(jù)與校正半導(dǎo)體處理工具10的故障相關(guān)。例如，當(dāng)服務(wù)人員為處理工具10提供服務(wù)時(shí)，服務(wù)行為數(shù)據(jù)可被輸入控制系統(tǒng)20并存儲，所述服務(wù)行為數(shù)據(jù)包括但不限于服務(wù)修理日期、服務(wù)修理時(shí)間、服務(wù)修理類型、服務(wù)修理說明、(多個(gè))服務(wù)修理測試、(多個(gè))服務(wù)修理校正活動以及服務(wù)修理原因。
與服務(wù)人員有關(guān)的用于處理工具10的其他服務(wù)行為數(shù)據(jù)可以包括服務(wù)人員姓名、服務(wù)人員職位、服務(wù)人員履行其主要職責(zé)的地點(diǎn)(例如制造機(jī)關(guān)、用戶場所等)、監(jiān)督人姓名、電話號碼、地址、電子郵件地址、參考文件、照片文件等。
另外，例如，與處理工具10有關(guān)的其他服務(wù)行為數(shù)據(jù)可以包括MS平臺的類型、MS平臺的型號、MS平臺的序列號、MS工具的類型、與具體MS工具相關(guān)的處理、MS工具的型號、MS工具的序列號、與具體MS工具相關(guān)的MS零件、MS零件的類型、MS零件的型號、MS零件的序列號、是否有備用零件的標(biāo)識符號、消耗零件的識別符號以及(多種)MS零件成本。
對半導(dǎo)體處理工具故障的校正可以來自服務(wù)說明或服務(wù)協(xié)議的義務(wù)。因此，與處理工具10的服務(wù)協(xié)議相應(yīng)的其他服務(wù)行為數(shù)據(jù)可以包括，例如協(xié)議號、服務(wù)協(xié)議的標(biāo)題(例如一年24×7的配件上門保修)、服務(wù)覆蓋時(shí)間(24×7)、覆蓋條目的識別符號(例如非消耗件、修理工作、起動工作)、未覆蓋條目的識別符號(例如消耗件、用戶損壞)、價(jià)目表(例如，該價(jià)目表可以基于控制系統(tǒng)中已有的服務(wù)行為數(shù)據(jù))、處罰(例如對于可用程度低于93％的月份，增加一個(gè)月)、服務(wù)人員對制造機(jī)關(guān)的貢獻(xiàn)、契約或合同開始的日期、契約或合同結(jié)束的日期、契約或合同的開票日期、契約或合同的支付日期等。服務(wù)協(xié)議可以指定到處理工具，也可以指定到制造機(jī)關(guān)(即用戶)。
根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施例，控制系統(tǒng)20提供的服務(wù)行為數(shù)據(jù)用于履行修理服務(wù)功能，例如如上所述對故障進(jìn)行隔離和校正。例如，控制系統(tǒng)20設(shè)置為進(jìn)行交互式范例分析用于元件修理。在這種實(shí)施例中，控制系統(tǒng)20可以識別屬于舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)的一種或多種情況，其中與例如處理工具10的故障有關(guān)的新的服務(wù)行為數(shù)據(jù)與舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)基本相符，并使用這種相關(guān)性來幫助服務(wù)人員進(jìn)行修理服務(wù)即校正故障。此處所用的“與服務(wù)行為數(shù)據(jù)相符”包括完全一致的相符和近似的相符，它們可以由面向?qū)ο蟮?、基于?guī)則的或本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的任何其他編程方法來限定。如果需要，控制系統(tǒng)20可以對要進(jìn)行的一個(gè)或多個(gè)測試進(jìn)行識別以減少相符的服務(wù)行為數(shù)據(jù)的數(shù)量。另外，可以使服務(wù)人員可訪問對于處理工具10(例如MS平臺和MS工具)而言具體的測試過程。測試過程可以存儲在控制系統(tǒng)20中。隨著控制系統(tǒng)20進(jìn)行測試和獲取結(jié)果，相符的服務(wù)行為數(shù)據(jù)數(shù)量減少。例如，控制系統(tǒng)20可以幫助識別處理工具10中要替換的MS零件以便校正故障。一旦識別了MS零件，即可使服務(wù)人員能夠訪問對于處理工具10(例如MS平臺和MS工具)而言具體的測試過程。替換過程可以存儲在控制系統(tǒng)20中。
再參考圖2A，這幅示了用于用控制系統(tǒng)20進(jìn)行服務(wù)元件修理的示例性操作者界面。在此示例中，服務(wù)人員已經(jīng)接收到了來自處理工具的故障，并已經(jīng)選擇了用交互式范例分析來隔離故障并確定校正故障的活動。例如，該故障可以包括用于將射頻(RF)發(fā)生器的輸出電阻抗與等離子處理系統(tǒng)(例如刻蝕系統(tǒng))的輸入電阻抗相匹配的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)上的高反射功率。由圖2A可見，服務(wù)人員與控制系統(tǒng)20進(jìn)行交互，并通過選擇“Repair Machine”鍵來激活服務(wù)元件修理功能。
一旦被激活，控制系統(tǒng)20的操作者界面就使服務(wù)人員可以識別處理工具(例如通過MS平臺序列號或MS工具序列號)、處理工具的類型以及與服務(wù)帳戶(或購買帳戶)有關(guān)的處理類型；參見圖2B。此后，控制系統(tǒng)可以提供識別出的處理工具的修理歷史清單；參見圖2C。例如，如圖2C所示，控制系統(tǒng)從存儲器收集舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)，并將這些舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)提交給服務(wù)人員。服務(wù)行為數(shù)據(jù)可以包括服務(wù)日期、服務(wù)類型、服務(wù)說明以及服務(wù)原因。例如，服務(wù)類型指明了服務(wù)包括測試還是包括校正活動。
此外，控制系統(tǒng)20使服務(wù)人員可以識別故障或失敗的測試；參見圖2D。在圖2D的實(shí)施例中，如果測試失敗(或故障)是已知的故障，則它可以顯示在操作者界面的左側(cè)。如果測試失敗不是已知的故障，則界面使服務(wù)人員可以輸入測試失敗。
現(xiàn)在參考圖2E，服務(wù)人員輸入由處理工具報(bào)告的測試失敗的結(jié)果。這種服務(wù)行為數(shù)據(jù)存儲在存儲器中。如圖2E所示，控制系統(tǒng)提供測試計(jì)劃數(shù)據(jù)中的一些，例如包括失敗下限、警告下限、目標(biāo)結(jié)果、警告上限、失敗上限、將目標(biāo)結(jié)果與實(shí)際結(jié)果進(jìn)行比較的數(shù)學(xué)操作、測量單位以及結(jié)果是否是基于鑒定而做出的。
現(xiàn)在參考圖2F，控制系統(tǒng)20在存儲器中搜索與當(dāng)前的測試失敗或故障相符的其他服務(wù)行為(或事例)。例如，控制系統(tǒng)可以提出針對當(dāng)前的服務(wù)行為(或事例)進(jìn)行過的測試和校正活動。另外，例如，控制系統(tǒng)可以提出為當(dāng)前的服務(wù)行為(或事例)計(jì)劃的測試和校正活動。另外，例如，控制系統(tǒng)可以提出與當(dāng)前的服務(wù)行為(或事例)有關(guān)的MS零件。另外，控制系統(tǒng)可以提出對于相符的事例已完成的測試以及對于相符的事例已完成的校正活動。如圖2F所示，三十(30)個(gè)過去的事例與當(dāng)前的事例相符。在已完成的測試和校正活動的列表中，服務(wù)人員可以編輯結(jié)果、將另外的已完成的測試或校正活動添加到列表末端、將另外的測試或校正活動添加到計(jì)劃的測試或校正活動的列表中、檢查對于具體MS平臺、MS工具、MS零件或MS服務(wù)協(xié)議的測試過程、檢查對于具體測試的測試說明或檢查對于具體校正活動的過程。在計(jì)劃的測試和校正活動列表中，服務(wù)人員可以將測試或校正活動添加到已完成的列表中、刪除測試或校正活動、在列表中將測試或校正活動向上或向下移動、檢查對于具體MS平臺、MS工具、MS零件或MS服務(wù)協(xié)議的測試過程、檢查對于具體測試的測試說明或檢查對于具體校正活動的過程。
例如，控制系統(tǒng)20可以如上所述提供交互式范例分析，其中逐條記載了對于相符的事例已完成的測試和對于相符的事例已完成的校正活動。對于相符的事例已完成的那些測試，控制系統(tǒng)可以通過對假如進(jìn)行測試并通過就會留下來的事例數(shù)目以及假如進(jìn)行測試并失敗就會留下來的事例數(shù)目進(jìn)行標(biāo)記來對測試進(jìn)行排名(或區(qū)分優(yōu)先次序)。例如，當(dāng)對用于C4F8處理氣體的質(zhì)量流量控制器進(jìn)行測試時(shí)，假如測試通過就保留的事例數(shù)目是二十一(21)，假如測試失敗就保留的事例數(shù)目是七(7)。此外，對于相符的事例已完成的那些校正活動，控制系統(tǒng)可以通過對進(jìn)行校正活動時(shí)將被校正的事例數(shù)目(或事例的百分?jǐn)?shù)(％))以及進(jìn)行校正活動時(shí)沒有被校正的事例數(shù)目進(jìn)行標(biāo)記來對校正活動進(jìn)行排名(或區(qū)分優(yōu)先次序)。例如，當(dāng)對用于C4F8處理氣體的質(zhì)量流量控制器進(jìn)行替換時(shí)，被校正的事例數(shù)目是四(4)，未校正的事例數(shù)目是零(0)。
使用控制系統(tǒng)提出的服務(wù)活動數(shù)據(jù)(參見圖2E)，服務(wù)人員可以例如選擇進(jìn)行測試。例如，服務(wù)人員可以進(jìn)行一個(gè)或多個(gè)測試，并選擇“Matcher Mode Setting”(匹配器模式設(shè)定)、“PC Pressure Control”(PC壓力控制)和“C4F8Flow”(C4F8流)。當(dāng)服務(wù)人員選擇進(jìn)行一個(gè)或多個(gè)測試并開始進(jìn)行這些測試時(shí)，服務(wù)人員可以獲得用于進(jìn)行測試的對于具體MS零件、對于具體MS工具以及對于具體MS平臺的測試過程。在此示例中，如圖2G所示，測試結(jié)果分別包括通過、通過和失敗。在進(jìn)行這些測試的同時(shí)，匹配的事例數(shù)目從三十(30)減少到二十一(21)、十五(15)、四(4)。另外，對于相符事例的校正活動減少到一個(gè)，即對C4F8質(zhì)量流量控制器(MFC)進(jìn)行替換。因此，服務(wù)人員可以通過對具體的MS零件即C4F8質(zhì)量流量控制器發(fā)出請求來選擇進(jìn)行校正活動；參見圖2H。與MS零件的訂單有關(guān)的服務(wù)行為數(shù)據(jù)可以存儲在控制系統(tǒng)中。服務(wù)行為數(shù)據(jù)例如可以包括MS零件號、數(shù)量、MS平臺及其狀態(tài)、MS工具及其狀態(tài)、裝運(yùn)信息、請求信息、核準(zhǔn)信息、服務(wù)帳號和替換原因。
現(xiàn)在參考圖2I，控制系統(tǒng)可以指明與當(dāng)前事例有關(guān)的MS零件。例如，可以提出MS零件來源、MS零件、MS零件號(P/N)、MS零件序列號(S/N)以及MS零件狀態(tài)。例如，MS零件狀態(tài)可以包括“已訂購”、“已支付”、“已裝運(yùn)”、“已安裝”或“已拆除”。一旦對MS零件發(fā)出請求，就可以修改MS零件狀態(tài)，并開始指示該MS零件“已裝運(yùn)”，已由服務(wù)帳號“支付”。服務(wù)人員在一端用控制系統(tǒng)請求MS零件，另一個(gè)服務(wù)人員在另一端用控制系統(tǒng)處理請求，包括核準(zhǔn)、裝運(yùn)等。另外，一旦請求者接收到MS零件，裝運(yùn)狀態(tài)就可以改為已接收，并可以由服務(wù)人員輸入MS零件序列號。圖2I還指出了對于當(dāng)前事例計(jì)劃的測試和校正活動。例如C4F8質(zhì)量流量控制器待替換。
如圖2J所示，當(dāng)服務(wù)人員接收到所請求的MS零件并開始替換MS工具上的MS零件時(shí)，服務(wù)人員可以獲得替換專用于該處理工具的MS零件的指示。校正活動過程可以存儲在控制系統(tǒng)中，并經(jīng)由控制系統(tǒng)提供給服務(wù)人員。例如，圖2J圖示了替換C4F8質(zhì)量流量控制器的校正活動過程。校正活動過程可以具體到MS零件，具體到處理工具。
一旦校正活動完成，就更新控制系統(tǒng)以反映其改變；參見圖2K。例如，計(jì)劃的校正活動被移動到已完成的校正活動，并更新與該事例有關(guān)的MS零件以表明被拆下的MS零件，包括MS零件來源、MS零件、MS零件號、MS零件序列號以及MS零件狀態(tài)。此后，服務(wù)人員可以開始對起初失敗的測試進(jìn)行復(fù)查。例如，在此事例中，服務(wù)人員復(fù)查測試51A5和C4F8流測試。如果象在此事例中一樣測試通過，則更新控制系統(tǒng)20以反映這些附加的測試及測試結(jié)果。然后，可以對MS零件進(jìn)行凈化和拆毀，如果選擇這樣做的話。
在作為第一示例說明的服務(wù)處理過程中的任何地方，另一個(gè)服務(wù)人員例如服務(wù)監(jiān)督者，都可以監(jiān)視具體事例的進(jìn)程。例如，如果沒有進(jìn)行交互式范例分析，而只對MS零件進(jìn)行了零星的替換(即“用霰彈槍射擊的方法(shot-gunning approach)”)，則服務(wù)監(jiān)督者可以通過拒絕為MS零件進(jìn)行支付、指示請求MS零件的服務(wù)人員遵循交互式范例分析等來影響服務(wù)行為。
題為“Activity management system and method of using”的共同在審美國專利申請(代理人文檔號No.248132US)中提供了計(jì)算機(jī)系統(tǒng)履行的服務(wù)功能的更多細(xì)節(jié)，該申請的全部內(nèi)容通過引用而結(jié)合于此。
現(xiàn)在參考圖3，說明了對半導(dǎo)體制造系統(tǒng)故障進(jìn)行校正的一種方法。該方法如流程圖100所示，始于步驟110，即收集用于處理工具中舊故障的舊服務(wù)行為數(shù)據(jù)。舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)例如可以包括故障類型、所進(jìn)行的診斷故障原因的測試以及所采取的試圖校正故障的校正活動；所有這些都可以存儲在對于每個(gè)故障的存儲器中。舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)可以輸入控制系統(tǒng)20，所述控制系統(tǒng)20例如可由服務(wù)人員通過人工或自動的方式訪問。一旦舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)被輸入控制系統(tǒng)，就可以通過控制系統(tǒng)提供的操作者界面直接訪問，或者經(jīng)由互聯(lián)網(wǎng)/內(nèi)部網(wǎng)連接來訪問。
在步驟120中，接收針對新故障的新的服務(wù)行為數(shù)據(jù)。將新的服務(wù)行為數(shù)據(jù)手動或自動地輸入控制系統(tǒng)。
在步驟130中，將新的服務(wù)行為數(shù)據(jù)與舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，以便在140中識別相符的服務(wù)行為數(shù)據(jù)。相符的服務(wù)行為數(shù)據(jù)是服務(wù)活動數(shù)據(jù)的表，所述服務(wù)活動數(shù)據(jù)由服務(wù)功能提供以便幫助服務(wù)人員進(jìn)行服務(wù)活動，例如校正故障。
在步驟150中，用相符的服務(wù)行為數(shù)據(jù)確定并進(jìn)行校正活動。校正活動可以包括替換處理工具中的MS零件。另外，本方法可以包括進(jìn)行一個(gè)或多個(gè)測試以便減少相符的服務(wù)行為數(shù)據(jù)。例如，根據(jù)舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)，可以進(jìn)行一個(gè)或多個(gè)測試以減少相符事例的數(shù)目，并提供精簡過的一組可能的校正活動以便校正故障時(shí)采用。
圖4圖示了計(jì)算機(jī)系統(tǒng)1201，本發(fā)明的一種實(shí)施例可以在其上實(shí)現(xiàn)。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)1201可以用作圖1的控制系統(tǒng)20來進(jìn)行上述任何或所有的功能。計(jì)算機(jī)1201包括總線1202或用于傳遞信息的其他通信機(jī)構(gòu)，以及與總線1202耦合用于處理信息的處理器1203。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)1201還包括主存儲器1204，例如耦合到總線1202的隨機(jī)存取存儲器(RAM)或其他動態(tài)存儲器件(例如動態(tài)RAM(DRAM)、靜態(tài)RAM(SRAM)和同步DRAM(SDRAM))，它用于存儲信息和由處理器1203執(zhí)行的指令。另外，主存儲器1204可以用于在處理器1203執(zhí)行指令過程中存儲臨時(shí)變量或其他中間信息。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)1201還包括耦合到總線1202的只讀存儲器(ROM)1205或其他靜態(tài)存儲器件(例如可編程ROM(PROM)、可擦除PROM(EPROM)以及電可擦除PROM(EEPROM))，它用于存儲處理器1203所用的靜態(tài)信息和指令。
計(jì)算機(jī)系統(tǒng)1201還包括耦合到總線1202以控制一個(gè)或多個(gè)存儲裝置的磁盤控制器1206，所述存儲裝置用于存儲信息和指令，例如磁性硬盤1207以及可移動式介質(zhì)驅(qū)動器1208(例如軟盤驅(qū)動器、只讀光盤驅(qū)動器、讀/寫光盤驅(qū)動器、光盤庫(jukebox)、磁帶驅(qū)動器以及可移動式磁光驅(qū)動器。可以用適當(dāng)?shù)难b置接口(例如小型計(jì)算機(jī)系統(tǒng)接口(SCSI)、集成設(shè)備電路(IDE)、增強(qiáng)型IDE(E-IDE)、直接存儲器存取(DMA)或ultra-DMA)將存儲裝置添加到計(jì)算機(jī)系統(tǒng)1201。
計(jì)算機(jī)系統(tǒng)1201也可以包括特定目的的邏輯器件(例如專用集成電路(ASIC))或可設(shè)置的邏輯器件(例如簡單可編程邏輯器件(SPLD)、復(fù)雜可編程邏輯器件(CPLD)和現(xiàn)場可編程門陣列(FPGA))。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)還可以包括一個(gè)或多個(gè)數(shù)字信號處理器(DSP)例如來自Texas Instruments的TMS320系列芯片、來自Motorola的DSP56000、DSP56100、DSP56300、DSP56600和DSP96000系列芯片、來自Lucent Technologies的DSP1600和DSP3200系列或來自Analog Devices的ADSP2100和ADSP21000系列。也可以使用特別設(shè)計(jì)為對已轉(zhuǎn)換到數(shù)字域的模擬信號進(jìn)行處理的其他處理器。
計(jì)算機(jī)系統(tǒng)1201還可以包括耦合到總線1202以控制顯示器1210的顯示控制器1209，所述顯示器1210例如陰極射線管(CRT)，用于向計(jì)算機(jī)用戶顯示信息。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)包括輸入裝置，例如鍵盤1211和指點(diǎn)裝置1212，用于與計(jì)算機(jī)用戶之間的交互并向處理器1203提供信息。指點(diǎn)裝置1212例如可以是鼠標(biāo)、軌跡球或指點(diǎn)桿，用于向處理器1203傳遞方向信息和命令選擇，還用于控制顯示器1210上的光標(biāo)運(yùn)動。另外，打印機(jī)可以提供計(jì)算機(jī)系統(tǒng)1201存儲的和/或產(chǎn)生的數(shù)據(jù)的打印列表。
處理器1203執(zhí)行存儲器例如主存儲器1204中包含的一個(gè)或多個(gè)指令的一個(gè)或多個(gè)序列，計(jì)算機(jī)系統(tǒng)1201響應(yīng)于處理器的動作而進(jìn)行本發(fā)明的部分或全部的處理步驟。這些指令可以從另一個(gè)計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)讀入主存儲器1204，所述另一個(gè)計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)例如硬盤1207或可移動式介質(zhì)驅(qū)動器1208。也可以使用多處理結(jié)構(gòu)中的一個(gè)或多個(gè)處理器執(zhí)行主存儲器1204中包含的指令序列。在另外的實(shí)施例中，可以使用硬連線的電路取代軟件指令或與之組合。因此，實(shí)施方式不限于硬件電路和軟件的任何具體組合。
如上所述，計(jì)算機(jī)系統(tǒng)1201包括至少一個(gè)計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)或存儲器用于保存根據(jù)本發(fā)明的教導(dǎo)編程的指令和包含此處所述的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)、表、記錄或其他數(shù)據(jù)。計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)的示例有光盤、硬盤、軟盤、磁帶、磁光盤、PROM(EPROM、EEPROM、flash EPROM)、DRAM、SRAM、SDRAM、或任何其他磁性介質(zhì)、光盤(例如CD-ROM)、或任何其他光學(xué)介質(zhì)、穿孔卡片、紙帶、或帶有孔結(jié)構(gòu)的其他物理介質(zhì)、載波(下面進(jìn)行說明)、或其他任何計(jì)算機(jī)可從其讀取的介質(zhì)。
本發(fā)明包括軟件，所述軟件存儲在計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)中任一種或其組合之上，用于控制計(jì)算機(jī)系統(tǒng)1201、驅(qū)動用于實(shí)施本發(fā)明的器件或裝置、以及使得計(jì)算機(jī)系統(tǒng)1201與人類用戶(例如打印工作人員)交互。這些軟件可以包括但不限于設(shè)備驅(qū)動器、操作系統(tǒng)、開發(fā)工具以及應(yīng)用軟件。這些計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)還包括本發(fā)明中的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，用于進(jìn)行實(shí)施本發(fā)明所需進(jìn)行的全部或部分(如果處理是分布式的)處理。
本發(fā)明的計(jì)算機(jī)代碼裝置可以是任何可解釋或可執(zhí)行的代碼機(jī)制，包括但不限于腳本、可解釋的程序、動態(tài)鏈接庫(DLL)、Java類以及完整的可執(zhí)行程序。此外，本發(fā)明的各部分處理可以是分布式以便獲得更好的性能、可靠性和/或成本。
此處所用的術(shù)語“計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)”指參與了向處理器1203提供指令用于執(zhí)行的任何介質(zhì)。計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)可以采取許多形式，包括但不限于非易失性介質(zhì)、易失性介質(zhì)以及傳輸介質(zhì)。非易失性介質(zhì)包括例如光盤、磁盤和磁光盤，例如硬盤1207或可移動介質(zhì)驅(qū)動器1208。易失性介質(zhì)包括動態(tài)存儲器，例如主存儲器1204。傳輸介質(zhì)包括同軸電纜、銅導(dǎo)線和光纖，包括構(gòu)成總線1202的電線。傳輸介質(zhì)也可以采取聲波或光波的形式，例如那些在無線電波和紅外數(shù)據(jù)傳輸中產(chǎn)生的波。
在將一個(gè)或多個(gè)指令的一個(gè)或多個(gè)序列傳送到處理器1203用于執(zhí)行的過程中，可能涉及多種形式的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)。例如，一開始可以在遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)的磁盤上攜帶指令。遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)可以從遠(yuǎn)程將實(shí)施本發(fā)明的全部或部分內(nèi)容所需的指令裝入動態(tài)存儲器并使用調(diào)制解調(diào)器經(jīng)過電話線發(fā)送指令。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)1201本地的調(diào)制解調(diào)器可以接收電話線上的數(shù)據(jù)并使用紅外發(fā)送器將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為紅外信號。耦合到總線1202的紅外檢測器可以接收紅外信號中攜帶的數(shù)據(jù)并將數(shù)據(jù)安排到總線1202上?？偩€1202將數(shù)據(jù)傳送到主存儲器1204，處理器1203從主存儲器1204取回并執(zhí)行指令。主存儲器1204接收的指令在處理器1203執(zhí)行之前或之后都可以可選地存儲在存儲裝置1207或1208上。
計(jì)算機(jī)系統(tǒng)1201還包括耦合到總線1202的通信接口1213。通信接口1213提供了耦合到網(wǎng)絡(luò)連接1214的雙向數(shù)據(jù)通信，所述網(wǎng)絡(luò)連接1214連接到例如局域網(wǎng)(LAN)1215或另一個(gè)通信網(wǎng)絡(luò)1216例如互聯(lián)網(wǎng)。例如，通信接口1213可以是網(wǎng)絡(luò)接口卡以加入到任何分組交換LAN。作為另一個(gè)例子，通信接口1213可以是非對稱數(shù)字用戶線路(ADSL)卡、綜合業(yè)務(wù)數(shù)字網(wǎng)(ISDN)卡或調(diào)制解調(diào)器，它向相應(yīng)類型的通信線路提供數(shù)據(jù)通信連接。也可以使用無線連接。在任何的這些實(shí)施方式中，通信接口1213發(fā)送和接收電的、電磁的或光的信號，所述信號攜帶了表示各種類型信息的數(shù)字式數(shù)據(jù)流。
網(wǎng)絡(luò)連接1214通常經(jīng)過一個(gè)或多個(gè)網(wǎng)絡(luò)向其他數(shù)據(jù)裝置提供數(shù)據(jù)通信。例如，網(wǎng)絡(luò)連接1214可以提供經(jīng)過本地網(wǎng)絡(luò)1215(例如LAN)或服務(wù)提供商操作的設(shè)備通到另一計(jì)算機(jī)的連接，所述服務(wù)提供商經(jīng)過通信網(wǎng)絡(luò)1216提供通信服務(wù)。本地網(wǎng)絡(luò)1214和通信網(wǎng)絡(luò)1216使用攜帶了數(shù)字式數(shù)據(jù)流的例如電的、電磁的或光的信號以及相關(guān)的物理層(例如CAT 5電纜、同軸電纜、光纖等)。經(jīng)過各種網(wǎng)絡(luò)的信號，以及網(wǎng)絡(luò)連接1214上并經(jīng)過通信接口1213的信號，它們攜帶了來自或送往計(jì)算機(jī)系統(tǒng)1201數(shù)字式數(shù)據(jù)，可以用基帶信號或基于載波的信號的形式實(shí)現(xiàn)?；鶐盘枌?shù)字式數(shù)據(jù)以未調(diào)制的電脈沖形式進(jìn)行傳送，所述電脈沖描述數(shù)字式的數(shù)據(jù)位流，其中術(shù)語“位”應(yīng)當(dāng)廣義解釋為意味著符號，每個(gè)符號傳送至少一個(gè)或多個(gè)信息位。數(shù)字式數(shù)據(jù)也可以用來對載波進(jìn)行調(diào)制，例如由幅值的、相位的和/或頻移鍵控的信號進(jìn)行，其中所述信號經(jīng)過導(dǎo)體介質(zhì)傳播，或者作為電磁波經(jīng)過傳播介質(zhì)傳遞。因此，數(shù)字式數(shù)據(jù)可以作為未調(diào)制的基帶信號經(jīng)過“有線”連接通道發(fā)送和/或不同于基帶方式地通過調(diào)制載波在預(yù)定頻帶內(nèi)發(fā)送。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)1201可以經(jīng)過(多個(gè))網(wǎng)絡(luò)1215和1216、網(wǎng)絡(luò)連接1214以及通信接口1213發(fā)送和接收數(shù)據(jù)，包括程序代碼。此外，網(wǎng)絡(luò)連接1214可以提供經(jīng)過LAN 1215到移動裝置1217的連接，所述移動裝置1217例如個(gè)人數(shù)字助理(PDA)、膝上型計(jì)算機(jī)或蜂窩電話。
盡管上面只詳細(xì)說明了本發(fā)明的特定示例性實(shí)施例，本領(lǐng)域技術(shù)人員易于理解，在示例性實(shí)施例范圍內(nèi)可以有許多變型而不實(shí)質(zhì)性脫離本發(fā)明的新穎內(nèi)容和優(yōu)點(diǎn)。因此，所有這些變型都應(yīng)當(dāng)包括在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種對用于半導(dǎo)體制造的處理工具的故障進(jìn)行校正的方法，包括收集針對于所述處理工具中舊故障的舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)；接收針對于所述處理工具中新故障的新的服務(wù)行為數(shù)據(jù)；將所述新的服務(wù)行為數(shù)據(jù)與所述舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)進(jìn)行比較；根據(jù)所述比較識別出相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)；以及根據(jù)所述相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)進(jìn)行校正活動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括用所述相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)對所述處理工具進(jìn)行一個(gè)或多個(gè)測試，以產(chǎn)生新的相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)，其中，所述新的相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)縮小了所述相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)的范圍。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述的進(jìn)行所述一個(gè)或多個(gè)測試包括對所述一個(gè)或多個(gè)測試中的每個(gè)測試進(jìn)行排名，所述排名是根據(jù)所述相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)中如果所述被排名的測試得到通過就將保留的舊的故障的數(shù)目而進(jìn)行的。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中，隨著所述相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)中如果所述被排名的測試得到通過就將保留的舊的故障數(shù)目的減少，所述被排名的測試的排名提高。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述的進(jìn)行所述一個(gè)或多個(gè)測試包括對所述一個(gè)或多個(gè)測試中的每個(gè)測試進(jìn)行排名，所述排名是根據(jù)所述相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)中如果所述被排名的測試失敗就將保留的舊的故障的數(shù)目而進(jìn)行的。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，隨著所述相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)中如果所述被排名的測試失敗就將保留的舊的故障數(shù)目的增加，所述被排名的測試的排名提高。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述的進(jìn)行所述校正活動包括在所述處理工具中替換一個(gè)或多個(gè)制造系統(tǒng)零件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，所述的替換所述一個(gè)或多個(gè)制造系統(tǒng)零件包括對各項(xiàng)替換制造系統(tǒng)零件進(jìn)行排名，所述排名是根據(jù)所述相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)中在進(jìn)行所述被排名的替換制造系統(tǒng)零件時(shí)校正的舊的故障數(shù)目而進(jìn)行的。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，隨著所述相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)中在進(jìn)行對所述被排名的替換制造系統(tǒng)零件時(shí)校正的舊的故障數(shù)目的增加，所述被排名的替換對制造系統(tǒng)零件的排名提高。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，所述的替換所述一個(gè)或多個(gè)制造系統(tǒng)零件包括對各項(xiàng)替換制造系統(tǒng)零件進(jìn)行排名，所述排名是根據(jù)所述相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)中在進(jìn)行所述被排名的替換制造系統(tǒng)零件時(shí)未校正的舊的故障數(shù)目而進(jìn)行的。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中，隨著所述相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)中對所述被排名的替換制造系統(tǒng)零件時(shí)未校正的舊的故障數(shù)目的減少，所述被排名的替換制造系統(tǒng)零件的排名提高。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述的收集所述處理工具中所述舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)包括收集下列系統(tǒng)中至少其一的舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)刻蝕系統(tǒng)、沉積系統(tǒng)、跟蹤系統(tǒng)、熱系統(tǒng)、離子注入系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)、平坦化系統(tǒng)、計(jì)量系統(tǒng)以及測試系統(tǒng)。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述的進(jìn)行校正活動包括自動控制所述處理工具校正其中的所述故障。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述的進(jìn)行校正活動包括向服務(wù)人員提供服務(wù)活動數(shù)據(jù)以幫助所述服務(wù)人員校正所述處理工具中的所述故障。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述的進(jìn)行校正活動包括對所述處理工具中的所述故障進(jìn)行隔離。
16.一種計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，含有用于在處理器上執(zhí)行的程序指令，當(dāng)由所述處理器執(zhí)行時(shí)，所述程序指令使計(jì)算機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行權(quán)利要求1所述方法中的步驟。
17.一種用計(jì)算機(jī)系統(tǒng)對用于半導(dǎo)體制造的處理工具中的故障進(jìn)行校正的系統(tǒng)，包括收集裝置，用于收集針對于所述處理工具中舊故障的舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)；接收裝置，用于接收針對于所述處理工具中新故障的新的服務(wù)行為的裝置；比較裝置，用于將所述新的服務(wù)行為數(shù)據(jù)與所述舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)進(jìn)行比較；識別裝置，用于根據(jù)所述比較識別出相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)；以及校正裝置，用于根據(jù)所述相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)進(jìn)行校正活動。
18.一種對用于半導(dǎo)體制造的處理工具中的故障進(jìn)行校正的系統(tǒng)，包括存儲器，所述存儲器設(shè)置為存儲校正所述故障所需的數(shù)據(jù)；控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)設(shè)置為收集針對于所述處理工具中舊故障的舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)，接收針對于所述處理工具中新故障的新的服務(wù)行為數(shù)據(jù)，將所述新的服務(wù)行為數(shù)據(jù)與所述舊的服務(wù)行為數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，根據(jù)所述比較識別出相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)，并根據(jù)所述相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)進(jìn)行校正活動以校正所述處理工具中的所述新故障。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的系統(tǒng)，其中，所述控制系統(tǒng)設(shè)置為用所述相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)對所述處理工具進(jìn)行一個(gè)或多個(gè)測試，以產(chǎn)生新的相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)，其中，所述新的相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)縮小了所述相符服務(wù)行為數(shù)據(jù)的范圍。
20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的系統(tǒng)，其中，所述處理工具包括下列系統(tǒng)中的至少一種刻蝕系統(tǒng)、沉積系統(tǒng)、跟蹤系統(tǒng)、熱系統(tǒng)、離子注入系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)、平坦化系統(tǒng)、計(jì)量系統(tǒng)以及測試系統(tǒng)。
全文摘要
本發(fā)明說明了一種對半導(dǎo)體制造系統(tǒng)故障進(jìn)行校正的方法和系統(tǒng)。對服務(wù)組件的故障校正是用與服務(wù)人員的交互式范例分析實(shí)現(xiàn)的。交互式范例分析可以識別一個(gè)或多個(gè)事例，其中在所述事例中當(dāng)前的服務(wù)行為數(shù)據(jù)與過去的服務(wù)行為數(shù)據(jù)基本相符，并利用這種相關(guān)性來幫助服務(wù)人員進(jìn)行服務(wù)組件的修理。如果需要，交互式范例分析可以對要進(jìn)行的一個(gè)或多個(gè)測試進(jìn)行識別以減少相符事例的數(shù)目。由于通過交互式范例分析進(jìn)行測試并獲取結(jié)果，減少了相符事例的數(shù)目。例如，交互式范例分析可以幫助識別制造系統(tǒng)工具中需要替換以便對問題進(jìn)行校正的制造系統(tǒng)零件。
文檔編號H01L21/66GK1981300SQ200580001926
公開日2007年6月13日 申請日期2005年1月19日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月15日
發(fā)明者埃里克·考夫曼, 保羅·布朗 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社