專利名稱：半導體版圖掃描方法和系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
0001本發(fā)明涉及掃描半導體版圖的方法，所述版圖包含帶有邊和
角的對象。
0002本發(fā)明進一步涉及用于掃描半導體版圖的計算機程序產(chǎn)品和 系統(tǒng)并涉及用于生產(chǎn)集成電路的方法。
背景技術(shù)：
0003半導體版圖的掃描被用在將版圖轉(zhuǎn)移到另一種技術(shù)的版圖處 理或修改系統(tǒng)中，該系統(tǒng)使所述版圖更小或者該系統(tǒng)試圖修復這些版 圖中的約束違例。版圖轉(zhuǎn)移系統(tǒng)試圖基于輸入版圖來計算新的版圖， 從而新版圖滿足用于半導體器件的新生產(chǎn)工藝的設(shè)計規(guī)則或約束。版 圖壓縮系統(tǒng)試圖優(yōu)化區(qū)域的設(shè)計或區(qū)域版圖。版圖的置著區(qū)(footprint) 必須變得更小并且壓縮引擎可以實現(xiàn)這一目的，從而原始設(shè)計意圖仍 存在于新版圖中同時不存在涉及規(guī)則違例。
0004根據(jù)美國專利6,587,992己知一種二維壓縮系統(tǒng)。在依照該美 國專利的系統(tǒng)中，確定版圖元件的邊和角點(comerpoint)的位置變量 并且建立約束系統(tǒng)。這些約束利用位置變量來描述兩個版圖元件的邊 和角之間的最小距離。 一些約束是一維的(例如，x2-Xl>d)，其它約 束是二維的(例如，(x2-Xl)2+(y2-Xl)2>d2)。建立目標函數(shù)，其必須為 二維壓縮而優(yōu)化。求解約束系統(tǒng)以在兩個維度同步壓縮并優(yōu)化版圖。 由于非線性的二維約束，約束系統(tǒng)非常難于在合理的運行時間內(nèi)求解。 因此非線性約束通過線性約束(例如，(X2-x0+(y2-x!)〉dv^)來表示。
0005已知系統(tǒng)存在的問題是，在帶有n個元件的版圖中，在二維 內(nèi)的移動自由度導致112個約束。理論上每個對象可以移動以接近每個 其它對象，因此必須將每個對象約束到每個其它對象。對于更大的版 圖，約束數(shù)量將明顯增加求解約束系統(tǒng)所需要的時間。

發(fā)明內(nèi)容
0006本發(fā)明的目的是提供一種掃描半導體版圖的方法，所述方法 減少約束的數(shù)量。這一目的通過提供依照上文的掃描方法來實現(xiàn)，所
述方法進一步包括
識別局部最近點對，所述局部最近點對包含在第一邊上的第一點 和在第二邊上的第二點，其中所述第一邊和所述第二邊互相不接觸， 所述第一點和所述第二點之間的距離是所述第一邊和所述第二邊之間 的最短距離，以及凸起邊界區(qū)域帶有在其邊緣上的所述第一點和所述
第二點，所述凸起邊界區(qū)域不含邊；
識別兩個平行邊之間的鄰近關(guān)系，其中所述平行邊具有至少一個 公共局部最近點對；以及
將所述鄰近關(guān)系與對應(yīng)邊對的引用(reference) —起存儲在數(shù)據(jù)庫 的鄰近關(guān)系表內(nèi)。
0007根據(jù)本發(fā)明的掃描機構(gòu)掃描版圖的對象。對象可以是多邊形 或線路。該掃描機構(gòu)在二維環(huán)境中識別相鄰對象邊之間和相鄰角之間 的鄰近關(guān)系。在找到鄰近關(guān)系處，對應(yīng)的邊或角是相鄰的。相鄰關(guān)系 通過搜索具有公共局部最近點對的邊而被找到。局部最近點對顯示兩 個對象或邊緣之間的相互作用在該處最顯著。在邊接近到一起并且在 其之間沒有其它對象的位置處，相互作用是最明顯的。通過半導體設(shè) 計版圖的配置和拓撲來確定與對應(yīng)的邊和角一同存儲的鄰近關(guān)系。數(shù) 據(jù)庫提供用于版圖分析的最佳機會。儲存的鄰近信息也使得快速搜索 并查找版圖內(nèi)可能修改或需要修改的位置成為可能。因為相鄰位置僅 在直接鄰近物之間被識別，所以關(guān)系的數(shù)量保持相對小并且與對象的 數(shù)量成線性關(guān)系。可能在掃描后執(zhí)行的基于鄰近(proximity)的版圖 壓縮或設(shè)計修改花費的計算能力(computational power)遠小于現(xiàn)有技 術(shù)的已知方法的計算能力。根據(jù)本發(fā)明用于掃描半導體版圖的方法適 用于設(shè)計和/或生產(chǎn)集成電路的方法。
0008在一個實施例中，所述方法進一步包含識別非平行邊的兩個 角之間的鄰近關(guān)系，其中所述兩個角共享局部最近點對，以及將所述鄰近關(guān)系與對應(yīng)角對的引用一起儲存到鄰近關(guān)系表中。
0009在這個實施例中，彼此對角相對的兩個對象之間的鄰近關(guān)系 同樣被存儲。取決于將對鄰近信息執(zhí)行的操作，這些額外鄰近關(guān)系可 能有用也可能沒用。在平行邊的角之間的鄰近關(guān)系不被存儲，這是因 為根據(jù)上文描述的基本實施例，平行邊己經(jīng)具有鄰近關(guān)系。
0010在優(yōu)選實施例中，所述方法進一步包括識別不平行于所述第
一個提及邊的邊的邊與角之間的鄰近關(guān)系，其中所述邊與所述角共享 局部最近點對，以及將所述鄰近關(guān)系與對應(yīng)角和邊的引用一起儲存到 鄰近關(guān)系表中。
0011這個實施例的優(yōu)點是，其同樣識別了帶有非平行和非正交邊 的版圖中的鄰近關(guān)系。例如，45°角下的邊通常用于半導體版圖中。 這種邊可以與另一個邊的角共享局部最近點對。
0012在另一個實施例中，凸起邊界區(qū)域是含有所述對的完整邊的 矩形，所述方法進一步包含將所述數(shù)據(jù)庫中的所述關(guān)系與所述對應(yīng)邊 對的引用一起儲存為延伸鄰近關(guān)系。當凸起邊界區(qū)域是含有完整邊對 的矩形并且該矩形不含有任何其它角或邊時，延伸鄰近關(guān)系也可以在 兩個角之間被識別。同樣，更嚴格的標準可以被采用以識別兩個角之 間的延伸鄰近關(guān)系。更嚴格的標準可能需要凸起邊界區(qū)域是矩形，對 于所述兩個角中的每個角，所述矩形含有連接到相應(yīng)角的至少一個完 整邊，，并且所述矩形不含有任何其它角或邊。
0013使用大的邊界框來識別延伸鄰近關(guān)系，所述邊界框包含全部 邊而不是僅邊和角的一部分。延伸鄰近關(guān)系的較大邊界框同樣包括較 小邊界框。延伸鄰近關(guān)系是鄰近關(guān)系的子類。當考慮延伸鄰近關(guān)系而 不是'正常'鄰近關(guān)系時，約束的數(shù)量進一步減少。這所使用的鄰近 關(guān)系用于的應(yīng)用，無論約束數(shù)量的進一步減少是優(yōu)勢(更簡單計算) 或劣勢(更少的有關(guān)版圖的信息)取決于。
0014在一個實施例中，所述方法進一步包含的步驟是基于所述儲 存的鄰近關(guān)系和對應(yīng)邊對生成觸發(fā)器，所述觸發(fā)器限定所述對應(yīng)邊的 相對位置的限制，超過所述限制所述半導體設(shè)計版圖的拓撲被改變。
0015只要版圖的拓撲(某個對象在另一個對象的左側(cè)，某個對象
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在下側(cè)等)沒有被改變，鄰近關(guān)系就提供關(guān)于半導體設(shè)計版圖的充分 關(guān)系。如果鄰近信息只用于版圖分析，那么不需要額外的信息。當應(yīng) 用執(zhí)行一些版圖改變動作時，版圖的拓撲改變。觸發(fā)器限定版圖改變 的限制，超過該限制，對應(yīng)的鄰近變得無效并且拓撲被改變?；趦?存的鄰近和對應(yīng)邊和角的相對位置導出該觸發(fā)器。該觸發(fā)器可以被用 于避免拓撲改變并用于限定限制，在該限制內(nèi)拓撲保持有效。
0016在進一步的實施例中，鄰近關(guān)系的鄰近類型與鄰近關(guān)系一起 儲存。根據(jù)本發(fā)明，鄰近關(guān)系也可以限定例如空間、寬度、重疊或延 伸情況等。
0017根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供一種用于掃描半導體設(shè)計版圖 的計算機程序產(chǎn)品，其中所述程序可操作用于促使處理器執(zhí)行根據(jù)本 發(fā)明的方法。
0018根據(jù)本發(fā)明的第三方面，提供一種適用于通過實現(xiàn)根據(jù)本發(fā) 明的方法掃描半導體設(shè)計版圖的系統(tǒng)。
0019通過參考下文描述的實施例，本發(fā)明的這些與其它方面將顯 而易見并被闡述。


0020在附圖中
圖1顯示兩個多邊形的平行邊之間的鄰近關(guān)系，
圖2顯示一個多邊形邊與平行線路之間的鄰近關(guān)系，
圖3a顯示兩個多邊形的角之間的鄰近關(guān)系，
圖3b顯示一個多邊形的角與另一個多邊形的邊之間的鄰近關(guān)系，
圖4顯示復雜多邊形內(nèi)的鄰近關(guān)系，
圖5顯示兩個多邊形的平行邊之間空的延伸邊界框，
圖6顯示兩個多邊形的平行邊之間被占用的延伸邊界框，
圖7顯示涉及重疊多邊形的鄰近關(guān)系，
圖8示意性顯示掃描版圖的方法，
圖9圖示說明如何從掃描結(jié)果得出鄰近關(guān)系，
圖IO顯示涉及鄰近關(guān)系的一些觸發(fā)器，圖11和圖12顯示涉及鄰近關(guān)系的一些觸發(fā)器， 圖13顯示根據(jù)本發(fā)明的方法的流程圖，以及
圖14顯示根據(jù)本發(fā)明的系統(tǒng)140的框圖。
具體實施例方式
0021圖1顯示兩個多邊形11、 12的平行邊之間的鄰近關(guān)系14。多 邊形ll、 12表示帶有特定材料、結(jié)構(gòu)或功能元素的半導體版圖上的區(qū) 域。兩個多邊形11、 12具有平行邊，其相互面對。凸起邊界區(qū)域13 被繪出，其包含邊的平行部分。兩個多邊形之間的鄰近關(guān)系14被識別， 這是因為凸起邊界區(qū)域13是空的，即不含任何其他角或邊。這種鄰近 關(guān)系14表示兩個相鄰多邊形11、 12之間的空間。在這個示例中以及 在下文的示例中，凸起邊界區(qū)域13是矩形，其包含與鄰近關(guān)系14相 關(guān)的邊或角的至少一些部分。然而應(yīng)注意，取決于應(yīng)用，其他形狀可 以等效或更適合于凸起邊界區(qū)域。例如，凸起邊界區(qū)域可以是三角形、 圓形、卵形或橢圓形。
0022鄰近關(guān)系15也確實存在于多邊形11、 12中。這種鄰近關(guān)系 15在相同的多邊形11、 12的兩個平行邊之間被識別并且表示多邊形 11、 12的寬度。這種鄰近關(guān)系15的邊界框矩形與多邊形11、 12相符。
0023圖2顯示多邊形21的邊和平行于多邊形21的線路之間的鄰 近關(guān)系。
0024圖3a顯示兩個多邊形31、 32的角35、 36之間的鄰近關(guān)系34。 邊界框矩形33被示出，其包含兩個角35、 36。因為邊界框矩形33不 包含任何其他角或邊，所以鄰近關(guān)系34在角35、 36之間被識別。在 圖3a中，矩形邊界框33被示出，但凸起邊界區(qū)域的其他類型如圓形、 橢圓形、三角形、五邊形或其他多邊形也可以被代替地使用。
0025圖3b顯示第一多邊形31b的角35b和第二多邊形32b的邊36b 之間的鄰近關(guān)系34b。第二多邊形32b的邊36b與多邊形32b的其他邊 成接近45°的角。邊界框矩形33b被示出，其包含兩個角35b、 36b。 因為邊界框矩形33b不包含任何其他角或邊，所以鄰近關(guān)系34b在角 35b、 36b之間被識別。0026圖4顯示在復雜多邊形41內(nèi)的鄰近關(guān)系43、 45。多邊形41 的邊之間的鄰近關(guān)系43通過虛線箭頭標明。多邊形41的角之間的鄰 近關(guān)系45通過實線箭頭標明。對于一些應(yīng)用，可能不需要使用可被識 別的全部鄰近關(guān)系43、 45來描述版圖的拓撲。在特定情況下，可以使 用選擇算法或用于識別需要的鄰近關(guān)系的額外標準來限制儲存的鄰近 關(guān)系的量。
0027圖5圖示說明可能限制儲存的鄰近關(guān)系的量的額外要求。圖5 示出在兩個多邊形51、 52的平行邊之間的空的延伸邊界框矩形56。延 伸邊界框矩形56通過沿包含在邊界框矩形53的平行邊延伸邊界框矩 形53而獲得。延伸邊界框矩形56包含多邊形51、 52的完整邊。因為 延伸邊界框矩形56不含任何其他角或邊，所以鄰近關(guān)系57被額外地 認為是延伸鄰近關(guān)系。對于一些應(yīng)用，優(yōu)選的是僅考慮延伸鄰近關(guān)系 而不是全部鄰近關(guān)系。
0028圖6顯示與圖5所示相同的多邊形51、 52，并帶有線路68。 例如，多邊形可以表示半導體結(jié)構(gòu)而線路可以表示互聯(lián)兩個或更多半 導體結(jié)構(gòu)的導線。在圖6中，線路68穿過延伸邊界框56。因此，兩個 多邊形51、 52的邊之間的鄰近關(guān)系67不被認為是延伸鄰近關(guān)系。
0029圖7顯示涉及重疊多邊形71、 78的鄰近關(guān)系74、 76、 78。半 導體版圖一般包含帶有半導體材料結(jié)構(gòu)的若干相互作用層。矩形多邊 形72位于U形多邊形71上面的一層。多邊形71、 72部分重疊。在圖 6中，若干個鄰近關(guān)系被識別。兩個鄰近關(guān)系74對應(yīng)于矩形多邊形72 的長邊和U形多邊形71內(nèi)側(cè)處的平行邊之間的自由空間。另一個鄰近 關(guān)系76對應(yīng)于兩個多邊形的重疊。矩形多邊形72延伸超過U形多邊 形71的兩個邊，這導致兩個鄰近關(guān)系78。
0030圖8示意性顯示一種掃描版圖以便識別鄰近關(guān)系的方法。在 圖8a中，版圖被顯示。該版圖包含兩個多邊形81、 82。多邊形81、 82的位置已知。基于與多邊形81、 82的位置相關(guān)的信息，通過使用下 述掃描步驟來識別鄰近關(guān)系。通過從版圖的第一側(cè)移動掃描線83到版 圖的另一側(cè)并且當掃描線83到達多邊形81、 82中一個的角時停止掃 描線83而執(zhí)行版圖掃描。在這個示例中，掃描線83從版圖的底部移動到頂部。當掃描線83停止時，掃描線83上關(guān)于全部角點的信息被 存儲在存儲器中。被檢測的角點被稱為事件。在第一次停止時，兩個 事件被檢測。多邊形82的兩個下角被存儲為底部事件(B)，因為這些 角是在掃描線83從底部到頂部移動期間檢測到的第一組角。在下一次 停止時，多邊形81引起兩個底部事件(B)。在相同水平位置，前一個 掃描線的底部事件(B)還沒有跟隨有頂部事件(T)。因此，在多邊形 82的底角的水平位置處，底部陰影事件(BS)被儲存。掃描線83的 第三次停止引起多邊形81的兩個底部陰影事件(BS)和多邊形82的 兩個頂部事件(T)。頂部事件標記多邊形82的結(jié)束。在第四次停止時， 多邊形81的頂角引起兩個頂部事件(T)，并且在多邊形82的角的水 平位置處，兩個陰影頂部事件(TS)被檢測。
0031每次掃描線停止時，多個事件不僅被檢測，而且檢測到事件 的相對位置被分析以用于檢測鄰近關(guān)系。圖9圖示說明鄰近關(guān)系是如 何從掃描結(jié)果推導出來的。如果在掃描線83上，發(fā)現(xiàn)底部陰影事件
(BS)在底部事件(B)的右側(cè)，如圖9a所示，則鄰近關(guān)系91在與角 連接的平行邊之間被識別。以相似的方式，如果BS位于B的左側(cè)(圖 9b)或當兩個底部事件(B)彼此緊鄰(圖9c)，則鄰近關(guān)系92、 93 被識別。圖9d示出一種情況，其中兩個角之間的鄰近關(guān)系95被識別。 在圖9d中，掃描線83包含TS和在其右側(cè)的B。在這種情況下，鄰近 關(guān)系94被限定在分別與B和TS相關(guān)的底角和頂角之間。進一步可能 的情況在圖9e中顯示。在這種情況下，頂部事件位于兩個平行邊之間。 在掃描線83上，BS、 T、 BS的組合被發(fā)現(xiàn)。在掃描線83下，兩個邊 與線路直接相鄰。當掃描線83位于版圖下部時，邊和線路之間的鄰近 關(guān)系已經(jīng)被識別。在掃描線83之上，兩個平行邊彼此直接相鄰。因此， 鄰近關(guān)系95在兩個平行邊之間被識別。
0032當掃描線從版圖的底部到頂部移動了全部路程時，通過從左 到右的掃描線移動來重復掃描工藝。當然掃描可以替換地從頂部到底 部執(zhí)行和/或從右到左執(zhí)行。當僅使用圖9中顯示的識別鄰近關(guān)系的規(guī) 則時，在同樣共享水平或垂直鄰近關(guān)系的邊的角之間，沒有對角鄰近 關(guān)系被限定。結(jié)果，鄰近關(guān)系的數(shù)量保持相對低，這導致例如更快的壓縮運算。
0033圖10顯示與鄰近關(guān)系101相關(guān)的一些觸發(fā)器。在圖10中， 三個觸發(fā)器102、103、104被限定用于兩個平行邊之間的鄰近關(guān)系101。 優(yōu)選地僅在版圖改變應(yīng)用如壓縮中生成觸發(fā)器。在僅包含版圖分析的 應(yīng)用中，不需要觸發(fā)器。觸發(fā)器是通過觸發(fā)器尋找運算產(chǎn)生的，所述 運算貫穿儲存的鄰近列表?；谏婕班徑P(guān)系101的邊的角的坐標的 相對位置，限定三個觸發(fā)器102、 103、 104。這些觸發(fā)器限定可能的版 圖改變而不影響版圖的拓撲。 一旦右邊多邊形的上邊比左邊多邊形的 上邊具有更低的位置，則第一觸發(fā)器102指出版圖的拓撲被改變，這 會導致新的以及消失的鄰近關(guān)系。同樣，其他觸發(fā)器103和104與邊 之間的其他關(guān)系相關(guān)。例如，當左邊多邊形的上邊比右邊多邊形的下 邊具有更低的位置時，觸發(fā)器103被觸發(fā)，鄰近關(guān)系101消失并且兩 個角之間新的鄰近關(guān)系被創(chuàng)建。因此觸發(fā)器102、 103、 104限定可能 施加到版圖的變化的限制，而不需要重復版圖掃描以限定鄰近關(guān)系。
0034圖11同樣顯示一些與鄰近關(guān)系111相關(guān)的觸發(fā)器。在這種情 況下，僅有兩個觸發(fā)器112、 113需要限定限制，在所述限制之間版圖 改變不引起拓撲改變。在圖12中，兩個觸發(fā)器115、 116被顯示用于 兩個角之間的鄰近關(guān)系114。
0035圖13顯示根據(jù)本發(fā)明的方法130的流程圖。方法130使用掃 描線來掃描布局。掃描線從版圖的第一側(cè)移動到第二側(cè)，例如從底部 到頂部。移動分步驟(stepwise)進行。在每一步， 一些分析被執(zhí)行以 用于識別鄰近關(guān)系。下述步驟在圖13中顯示
0036在第一方向從版圖的第一側(cè)到版圖的第二側(cè)分步驟移動111 掃描線。在這個示例中，掃描線從底部到頂部移動。
0037
一旦掃描線在其落入版圖中一個對象的一個或多于一個角的 位置上，掃描線停止132。
0038隨后，掃描線上關(guān)于對象的信息被存儲133。要儲存的信息取 決于掃描線上己經(jīng)儲存的信息。如果在掃描線的特定水平坐標，底部 事件(B)或底部陰影事件(BS)己經(jīng)被存儲并且沒有角在該特定水平 坐標被檢測，那么在掃描線處底部陰影事件(BS)被存儲。如果底部
13事件(B)或底部陰影事件(BS)已經(jīng)被存儲并且掃描線包含角，那么 頂部事件(T)被存儲。類似地，頂部事件(T)和頂部陰影事件(TS) 后面跟隨有頂部陰影事件(TS)和底部事件(B)。0039在分析步驟133，掃描線上的信息被分析以檢測鄰近關(guān)系。0040如果鄰近關(guān)系被檢測，則在存儲步驟134，鄰近關(guān)系與對應(yīng)角 或邊一起被存儲到數(shù)據(jù)庫內(nèi)。額外的信息可以與鄰近關(guān)系一起存儲。 這種額外信息可以例如包括鄰近關(guān)系類型或關(guān)于角和邊的信息，如版 圖內(nèi)的位置或邊或角的對象的材料。
0041隨后，該方法返回到移動步驟131以分析下一個掃描線。這 些步驟被重復執(zhí)行直到掃描線到達第二側(cè)并且全部鄰近關(guān)系被存儲到 數(shù)據(jù)庫。然后該方法優(yōu)選地在另一方向(水平)重復以獲得版圖內(nèi)全 部鄰近的完整描述。如果完整的版圖被掃描，那么掃描方法結(jié)束135。 在掃描版圖后，在觸發(fā)器限定步驟136，觸發(fā)器可以被限定以用于識別 的鄰近關(guān)系。
0042圖14顯示根據(jù)本發(fā)明的系統(tǒng)140的框圖。系統(tǒng)140包含用與 接收版圖144的輸入141。輸入141可以是鍵盤、用于(可能通過互聯(lián) 網(wǎng))從另一臺計算機接收版圖144的網(wǎng)絡(luò)適配器、CD或DVD驅(qū)動器 或能夠提供數(shù)據(jù)給計算機系統(tǒng)的任何其它裝置。版圖144可能已經(jīng)被 存儲在系統(tǒng)140的存儲單元142內(nèi)。該系統(tǒng)也可以包含存儲單元142， 如硬盤。存儲單元142可以通過網(wǎng)絡(luò)遠程連接。存儲單元142被用于 存儲版圖或版圖副本以及鄰近數(shù)據(jù)庫。系統(tǒng)140包含被布置用于執(zhí)行 根據(jù)本發(fā)明的方法的處理器143。提供處理器143用于將接收的信息儲 存到存儲單元、分析信息并將分析的結(jié)果存儲在存儲單元142上。優(yōu) 選地，系統(tǒng)140還包含輸出裝置154以用于顯示分析結(jié)果給用戶或?qū)?結(jié)果印刷到紙張上。
0043應(yīng)該注意上述實施例僅說明而不是限制本發(fā)明，并且本領(lǐng)域 技術(shù)人員能夠設(shè)計許多代替實施例而不背離所附權(quán)利要求的范圍。在 權(quán)利要求中，置于括號內(nèi)的任何參考標記不應(yīng)被理解為限制權(quán)利要求。 動詞"包含"以及連詞的使用不排斥那些除了權(quán)利要求中說明的元件 和步驟的存在。元件前面的冠詞"一個"不排除存在多個這種元件。本發(fā)明可以通過包含若干不同元件的硬件方式實施，以及通過合適的 編程計算機實施。在權(quán)利要求例舉的若干手段中，這些手段中的幾個 可以通過一個和相同的硬件實施。實際上，相互不同的從屬權(quán)利要求 種所述的這些措施不表示這些措施的組合不具有優(yōu)勢。
權(quán)利要求
1.一種用于掃描半導體版圖的方法，所述版圖包含具有邊和角的對象，所述方法包含識別局部最近點對，所述局部最近點對包含在第一邊上的第一點和在第二邊上的第二點，其中所述第一邊和所述第二邊互相不接觸，所述第一點和所述第二點之間的距離是所述第一邊和所述第二邊之間的最短距離，以及凸起邊界區(qū)域帶有在其邊緣上的所述第一點和所述第二點，所述凸起邊界區(qū)域不含邊；識別兩個平行邊之間的鄰近關(guān)系，其中所述平行邊具有至少一個公共局部最近點對；以及將所述鄰近關(guān)系與對應(yīng)邊對的引用一起儲存到數(shù)據(jù)庫的鄰近關(guān)系表中。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其進一步包括識別非平行邊的兩個角之間的鄰近關(guān)系，其中所述兩個角共享局部 最近點對，以及將所述鄰近關(guān)系與對應(yīng)角對的引用一起儲存到所述鄰近關(guān)系表中。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其進一步包含識別不平行于所述第一個提及邊的邊的邊與角之間的鄰近關(guān)系，其 中所述邊與所述角共享局部最近點對，以及將所述鄰近關(guān)系與對應(yīng)角和邊的引用一起儲存到所述鄰近關(guān)系表中。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述凸起邊界區(qū)域是矩形。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于掃描半導體設(shè)計版圖的方法，其中所述凸起邊界區(qū)域是含有所述對的完整邊的矩形，所述方法進一步包含將 所述數(shù)據(jù)庫中的所述關(guān)系與所述對應(yīng)邊對的引用一起儲存為延伸鄰近關(guān) 系。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于掃描半導體設(shè)計版圖的方法，其中所述凸起邊界區(qū)域是矩形，對于所述兩個角中的每個角，所述矩形含有連 接到相應(yīng)角的至少一個完整邊，所述方法進一步包含將所述數(shù)據(jù)庫中的 所述鄰近關(guān)系與所述對應(yīng)角對的引用一起儲存為延伸鄰近關(guān)系。
7. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于掃描半導體設(shè)計版圖的方法，其中所 述凸起邊界區(qū)域包含兩個矩形，所述兩個矩形共同含有所述兩個角和連 接到所述兩個角的每一個的兩個完整邊，所述方法進一步包含將所述數(shù) 據(jù)庫中的所述鄰近關(guān)系與所述對應(yīng)角對的引用一起儲存為延伸鄰近關(guān) 系。
8. 根據(jù)權(quán)利要求5到7中任一項所述的用于掃描半導體設(shè)計版圖的 方法，其中所述儲存包含將所述延伸鄰近關(guān)系儲存在所述數(shù)據(jù)庫的延伸 鄰近關(guān)系表中。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于掃描半導體設(shè)計版圖的方法，其進一 步包含基于所儲存的鄰近關(guān)系和對應(yīng)邊對生成觸發(fā)器，所述觸發(fā)器限定 所述對應(yīng)邊的相對位置的限制，超過所述限制所述半導體設(shè)計版圖的拓 撲被改變。
10. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于掃描半導體設(shè)計版圖的方法，其進一 步包含基于所儲存的鄰近關(guān)系和對應(yīng)角對生成觸發(fā)器，所述觸發(fā)器限定 所述對應(yīng)角的相對位置的限制，超過所述限制所述半導體設(shè)計版圖的拓 撲被改變。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的用于掃描半導體設(shè)計版圖的方法， 其進一步包含的步驟是將所述觸發(fā)器與對應(yīng)的鄰近關(guān)系一起儲存到所述鄰近關(guān)系表中。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于掃描半導體設(shè)計版圖的方法，其 進一步包含的步驟是將所述邊和所述角與對應(yīng)的鄰近關(guān)系一起儲存到所 述數(shù)據(jù)庫的版圖表中。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于掃描半導體設(shè)計版圖的方法，其 進一步包含的步驟是將所述鄰近關(guān)系的鄰近類型和所述鄰近關(guān)系一起儲 存。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的用于掃描半導體設(shè)計版圖的方法，其中 所述鄰近類型是組空間、寬度、重疊或延伸情況中的一個。
15. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于掃描半導體設(shè)計版圖的方法，所 述方法包含下述步驟在第一方向?qū)呙杈€從所述版圖的第一側(cè)移動到所述版圖的第二當所述掃描線到達所述對象中的一個對象的角時，停止所述掃描線； 儲存所述掃描線上關(guān)于對象的信息；分析所述掃描線上的所述信息以便識別對應(yīng)于所述角或?qū)?yīng)于包含 所述角的邊的所述鄰近關(guān)系，將所述鄰近關(guān)系與對應(yīng)的角或邊一起儲存在數(shù)據(jù)庫內(nèi)， 重復執(zhí)行移動、停止、分析和儲存步驟直到所述掃描線到達所述二
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的用于掃描半導體設(shè)計版圖的方法，其進 一步包含在垂直于所述第一方向的第二方向上從所述版圖的第三側(cè)到所 述版圖的第四側(cè)移動第二掃描線，以及執(zhí)行所述移動、停止、分析、儲 存步驟并且重復執(zhí)行直到所述掃描線到達所述第四側(cè)。
17. —種用于生產(chǎn)集成電路的方法，其包含權(quán)利要求1所述的方法的全部步驟。
18. —種用于掃描半導體設(shè)計版圖的計算機程序產(chǎn)品，所述程序可操 作用于促使處理器執(zhí)行權(quán)利要求1所述的方法。
19. 一種用于掃描半導體設(shè)計版圖的系統(tǒng)，所述版圖包含帶有角和邊的半導體材料的對象，所述系統(tǒng)包含 輸入，其用于接收所述版圖，存儲單元，其用于儲存所述版圖以及用于儲存鄰近數(shù)據(jù)庫，以及 處理器，其被布置用于識別局部最近點對，所述局部最近點對包含在第一邊上的第一 點和在第二邊上的第二點，其中所述第一邊和所述第二邊互相不接 觸，所述第一點和所述第二點之間的距離是所述第一邊和所述第二 邊之間的最短距離，以及凸起邊界區(qū)域帶有在其邊緣上的所述第一 點和第二點，所述凸起邊界區(qū)域不含邊；識別兩個平行邊之間的鄰近關(guān)系，其中所述平行邊具有至少一 個公共局部最近點對；將所述鄰近關(guān)系與對應(yīng)邊對一起存儲在數(shù)據(jù)庫的鄰近關(guān)系表中。
全文摘要
一種用于掃描半導體版圖的方法，所述版圖包含帶有邊和角的對象，所述方法包含識別局部最近點對，識別兩條平行邊之間的鄰近關(guān)系，其中所述平行邊具有至少一個公共局部最近點對，以及將所述鄰近關(guān)系連同對應(yīng)邊對的引用存儲在數(shù)據(jù)庫的鄰近關(guān)系表中。在第一邊與第二邊互相不接觸的情況，局部最近點對被識別，第一點和第二點之間的距離是第一邊和第二邊之間的最短距離，并且在邊界具有第一點和第二點的凸起邊界區(qū)域不含有邊。
文檔編號G06F17/50GK101675437SQ200880007839
公開日2010年3月17日 申請日期2008年3月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月26日
發(fā)明者F·埃爾葉海亞維, J·G·G·P·凡吉斯貝根, J·P·F·維樂肯斯 申請人:薩甘泰克以色列公司