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帶高壓隔離體裝配件的壓力變送器的制作方法

文檔序號:6131755閱讀:180來源:國知局
專利名稱:帶高壓隔離體裝配件的壓力變送器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明的背景本發(fā)明涉及壓力變送器,尤其是本發(fā)明涉及一種用于支撐壓力傳感器和用于把壓力傳感器和變送器的內(nèi)腔與待測工藝線流體分隔開的隔離體裝配件。
用隔離體裝配件把壓力傳感器與工藝線上的待測流體分隔開是公所周知的事。一般是,隔離的裝配件安裝在變送器的底座上,該變送器放置在朝變送器內(nèi)腔敞開的孔中。內(nèi)腔保護(hù)著與壓力傳感器相連接的已知電路,以便獲得與工藝線上的壓力成比例的信號。隔離體裝配件包括一連接器或接頭,它可與工藝線相連接以得到所測的工藝流體。連接器具有螺紋,該螺紋與變送器殼體的相應(yīng)螺紋相接合使連接器與殼體相固定。在工藝線的一遠(yuǎn)端,該連接器接收一機(jī)加工插頭,該插頭具有面向工藝流體的柔性隔離膜片。該隔離膜片把插頭中形成的一內(nèi)腔與工藝流體隔開。該內(nèi)腔注滿實際上不可壓縮的液體;例如硅油,在此稱為“充填液體”在插頭內(nèi)部形成從內(nèi)腔向遠(yuǎn)離隔離膜片的插頭端延伸的通道。一個測試頭與插座和連接器的遠(yuǎn)端相焊接。該測試頭有構(gòu)成帶接插端的傳感器腔體的凹槽。測試頭支撐著傳感器腔體內(nèi)的壓力傳感器。傳感器腔體內(nèi)也注滿充填液體。由于傳感器腔體與隔離內(nèi)腔可通過通道互通流體,因此通過充填液體可將工藝流體的壓力傳遞給壓力傳感器。壓力傳感器提供與充填液體壓力,因而也是與工藝流體壓力成正比的一輸出信號。
如果壓力傳感器測量表壓或壓差,裝配件則在測試頭上支撐壓力傳感器并有一與其中的一個壓力傳感器互通流體的通道。如果支撐件的熱膨脹系數(shù)與壓力傳感器的熱膨脹系數(shù)有顯著的差異,溫度的變化使壓力傳感器上產(chǎn)生應(yīng)力和變形并且使裝配件產(chǎn)生應(yīng)力引起損傷和測量誤差。由于這種誤差是因壓力傳感器上產(chǎn)生的熱應(yīng)力引起測量元件的形變所產(chǎn)生的,所以很難使它與工藝流體壓力所產(chǎn)生的變化區(qū)分開。在公知技術(shù)中的一項解決辦法是,選擇熱膨脹系數(shù)與壓力傳感器相匹配的支撐材料。然而,已有技術(shù)一直存在著密封和將支架固定在測試頭上的問題。
此外,盡管以上所描述的隔離裝配件適用于多種應(yīng)用情況,但是,它通常不適用于工藝流體壓力超過每平方英寸4000磅的高壓應(yīng)用。
發(fā)明概要一種壓力變送器包括一個把工藝流體與壓力變送器的內(nèi)腔分隔開的隔離體裝配件,隔離體裝配件包括用于接收工藝流體的管線壓力并且將管線壓力與傳感器的腔體耦接,傳感器腔體由與一插頭末端相連的測試頭構(gòu)成。一環(huán)形件安裝測試頭和插頭末端,使在隔離體插頭和測試頭之間形成的連接得到加強(qiáng)。
本發(fā)明的另一主要方面是,當(dāng)壓力傳感器所提供的裝配件包括一底座和具有第一端和第二相對末端的一支架。第一末端與壓力傳感器堅固地結(jié)合成一體,同時有一彈性接頭將支座的第二端連接到底座上,彈性接頭的材料至少包括環(huán)氧樹脂、聚酰亞胺或聚氨基甲酸(乙)脂中的一種。
附圖的簡要說明

圖1為壓力變送器的視圖,它以部分剖面和部分方框的形式繪示本發(fā)明的隔離體裝配件。
圖2為安裝在殼體接合器內(nèi),根據(jù)本發(fā)明制成的隔離體裝配剖面視圖;圖3為圖2的部分放大剖面視圖;圖4為根據(jù)本發(fā)明制成的修改的隔離體裝配件的剖面視圖。
圖5為圖4的部分放大剖面視圖。
最佳實施例的詳細(xì)描述本發(fā)明具有一隔離體裝配件12的變送器10如圖1所示。變送器10包括具有一底座16的殼體14、通過螺紋19與底座16相連接的殼體接合器17,以及一放大的機(jī)體18。殼體接合器17包括接收本發(fā)明隔離體裝配件12的一個孔20。在設(shè)有以下所描述的隔離體裝配件12和變送器10的其它部件的情況下,孔20通向形成于放大的機(jī)體18內(nèi)的內(nèi)腔22。
隔離裝配件12將此處用箭頭24表示的工藝流體與內(nèi)腔22的進(jìn)口隔開。通常情況下,一條工藝管道(未示出)運進(jìn)工藝流體24與柔順的隔離體隔膜片26的接觸。工藝流體24對隔離體隔片26施加壓力。在通道28內(nèi)裝載一些填充液體將工藝流體壓力傳遞給設(shè)置在傳感器腔32內(nèi)的壓力傳感器32,傳感器腔32內(nèi)也充注有填充液體。
導(dǎo)線36將壓力傳感器30與初級電路38相連,再由連線40將其與變送器電路42相連。如在已有技術(shù)中那樣,通過一對扭鉸線46,由一外接直流電源44向變送器電路42供電,扭鉸線46是由端口48進(jìn)入變送器10的。這對扭鉸線46的線端接在引接板50上。通過連線52,使引接板50與變送器電路42相連。罩蓋54A和54B使引接板50和變送器電路42能夠分別進(jìn)出。
在所舉的實施例中,壓力傳感器30為公知具有應(yīng)變計的半導(dǎo)體型的,(圖中未予示出),它對傳感器腔32內(nèi)的壓力作出響應(yīng)。為了實現(xiàn)本發(fā)明的目的,本發(fā)明可采用與隔離體膜片26流體耦合的其它公知的壓力傳感器,例如用電容的和光學(xué)的壓力傳感器。
壓力傳感器30提供與傳感器腔32內(nèi)的壓力相對應(yīng)的輸出信號,它代表工藝流體24的壓力。通過初級電路板38,將傳感器的輸出信號提供給變送器電路42。通過將流經(jīng)扭鉸線對46的DC電流調(diào)節(jié)在4至20mA之間,由變送器電路42傳送工藝流體的壓力。按照已知的數(shù)字規(guī)約,例如HART@規(guī)約,變送器電路42還能用一合適的控制部件進(jìn)行數(shù)字傳送。
圖2示出隔離體裝配件12和殼體接合器17,它們是對殼體14的部件進(jìn)行考慮而用以實現(xiàn)本發(fā)明的目的的。然而,應(yīng)該了解到,在本實施例中,盡管殼體接合器17不必就是殼體14的一個可拆部件。換言之,只要將底座16設(shè)計容納隔離體裝配件12,隔離體裝配件12就可以直接緊固在底座16上。
殼體接合器17設(shè)有限定孔20的一個環(huán)形壁62。在本實施例中表明,隔離體裝配件12包括一連接器64、一隔離體插頭66、一測試頭68和一環(huán)形測試頭環(huán)70,它們各由合適的諸如不銹鋼(SST316)之類的抗腐蝕金屬制成。隔離體插頭66上設(shè)有朝外的螺紋72并可與環(huán)形臂62內(nèi)表面76上朝內(nèi)的螺紋74相互螺紋嚙合用以將隔離體裝配件12安裝在殼體接合器17上。最好,螺紋72和74是為緊密裝配而提供的1級螺紋以保證沿著該接合處被確定為一阻斷火焰的通道。
連接器64提供用于將發(fā)送器10連接到工藝流體24源頭的裝置。連接器/隔離體插頭的接口67把連接器64接到隔離體插頭66上。在本實施例中已表明,連接器/隔離體插頭接口67包括一環(huán)形焊縫82和強(qiáng)化螺紋80。螺紋80與設(shè)置在隔離插頭66的一延伸部分86上相應(yīng)的螺紋84相嚙合。用已知的方式將隔離體膜片26連接到延伸部分86上,以把填充液體與工藝液體24隔開。
參照下一附圖3,環(huán)形焊縫82分別連接連接器64和隔離體插頭66的相對表面90和92。最好如圖所示,相對表面90和92是由連接器64和隔離體插頭66中分別放置的凹槽94和96形成的環(huán)形表面。凹槽94和96被安排成使表面90與92的內(nèi)環(huán)邊緣基本上對準(zhǔn)。通過對準(zhǔn)表面90和92的內(nèi)環(huán)邊緣,使相對表面90和92之間的應(yīng)力密度減小,從而加固了由環(huán)形焊縫82形成的接合面。
一條環(huán)形焊縫100把測試頭68接到隔離體插頭66的一端102上以形成傳感器腔32。最好,端面102包括一延伸環(huán)部分104,同時測試頭68也有一延伸環(huán)部分105,延伸環(huán)部分104形成一環(huán)形表面106,它面對延伸環(huán)部分105上一凹入的外環(huán)開表面108。為了使測試頭68與隔離體插頭66的端面102對準(zhǔn),延伸環(huán)部分104和105經(jīng)過精密加工,以形成如圖所示的各自交疊的側(cè)壁。
以公知的方式,例如絕對壓力變送器中所用的硅酮RTV之類的化合物,將壓力傳感器30固定到測試頭68上。在120處繪示出饋通孔中的一個,它接納為壓力傳感器30和初級電路板38作電連接的導(dǎo)線122。玻璃封口124使金屬測試頭68與導(dǎo)線122電絕緣并固定。在測試頭68上焊接一充油管126,它為傳感器腔32提供向傳感器腔32中填充液體的入口。注滿液體后,將充油管126焊封住。在傳感器腔32內(nèi)設(shè)一襯墊128,用以減少傳感器腔32的容積,從而減少了填充的液體量。
環(huán)形焊縫134和136把測試頭環(huán)70連接到測試頭68和隔離體插頭66上。測試頭環(huán)70以及環(huán)形焊縫100、134和136都包含一個隔離體插頭/測試頭接合面101。測試頭環(huán)70和環(huán)形焊縫134及136使環(huán)形焊縫100得到加強(qiáng),從而把測試頭68進(jìn)一步固定到隔離體插頭66上。如果需要,可用一O型密封墊140與測試頭環(huán)70一起與殼體接合器17的內(nèi)表面接合以進(jìn)一步將內(nèi)腔22隔離和密封。回過頭來參閱圖1,在殼體接合器17的腔體146內(nèi)配置一封裝材料144用以固定其中的初級電路板38并且進(jìn)一步將內(nèi)腔22密封。
如上所述,隔離體裝配件12把內(nèi)腔22與工藝流體24分隔開。隔離體裝配件12尤其適合于高壓應(yīng)用,這是由于連接器/隔離體插頭的接合面67和隔離體插頭/測試頭的接合面101得到加固,使工藝流體24進(jìn)入內(nèi)腔22的最可能的途徑是首先從隔離膜片開始并經(jīng)傳感器內(nèi)腔32擴(kuò)展。可是,如果工藝流體24進(jìn)入傳感器內(nèi)腔32,將使傳感器30損壞。變送器電路42測出傳感器30的損壞并輸出警報指示,在工藝流體24窗蝕測試頭68進(jìn)入內(nèi)腔22之前,將變送器10的問題通知操作者。
圖4示出有控制排放系統(tǒng)151的隔離體裝配件150,該控制排放系統(tǒng)適用于計示壓力的變送器。該控制排放系統(tǒng)151使大氣直接與壓力傳感器30接合。如前述的隔離體裝配件12那樣,隔離體裝配件150固定于殼體接合器17上并包括有連接器64,一隔離體插頭152、一測試頭154和頭環(huán)70。最好,按以前所描述的方式由焊縫82、100、134和136連接連接器64、隔離體插頭152、測試頭154和頭環(huán)70。作為現(xiàn)有技術(shù)已知,計示壓力變送器依據(jù)的是工藝流體24相對大氣壓力的測量壓力。在本實施例中表明,大氣壓力通過隔離體插頭152內(nèi)的通道160提供給壓力傳感器30,通道160與測試頭部154中的通道162相連通。最好,通道160和162有合適的直徑和足夠的長度以提供阻斷火焰的通道。
在本實施例中表明,通過設(shè)置在隔離體插頭152上并與孔20相通的開口166,大氣壓力進(jìn)入通道160。如果需要,在孔166上可配置一合適的過濾材料165,例如多孔金屬和聚四氟乙烯,以防止污染物進(jìn)入通道160。在遠(yuǎn)離開口166的隔離體插頭152的一端面170上,通道160通向腔室172。最好,腔室172由設(shè)置于測試頭70內(nèi)的一環(huán)形內(nèi)溝槽構(gòu)成。除了由通道160和162提供的開口外,腔室172由焊縫100,134和136密封。通道162在其一端通向腔室172,而在通道162遠(yuǎn)離腔室172的一端則通向設(shè)置在測試頭154中的一圓柱凹槽180,形成傳感器腔32的一部分。
下面將討論,如果在傳感器腔32因而也在傳感器30或裝配組件中出現(xiàn)工藝流體24以致失效時,使工藝流體24能夠進(jìn)入凹槽180,控制排放系統(tǒng)151就阻止了工藝流體24進(jìn)入內(nèi)腔22。更具體地說,通道162將工藝流體由凹槽180引向腔室170,再將流體引向通道160并由于焊縫100、134和136而向離開內(nèi)腔22的方向流去。當(dāng)工藝流體24由開口166并在最終由孔20漏出時,就輸出一可見的指示,表明已經(jīng)發(fā)生此類故障。
接著參閱圖5,設(shè)置在凹槽180內(nèi)的支架181支撐傳感器腔32內(nèi)的壓差傳感器184。最好,壓差傳感器184包括帶隔膜片的硅片186,它連接到硅支撐座188上,再安裝到支架181上。支架181為整體結(jié)構(gòu),基本上是派熱克斯型的硼硅酸玻璃組成,它的熱膨脹系數(shù)基本上與硅支座188的相等。另一可供選擇的例子,支架181包括一適當(dāng)?shù)奶沾?。一陽極接頭189將玻璃支架181的端面190連接到硅支撐座188的下表面192上。陽極接頭189為玻璃支架181中的通道196和支撐座188中的孔198提供一密閉的封口,使大氣壓力由測試頭154中的通道162傳給硅片186的隔膜片。陽極接頭為不具有彈性的剛性接頭。
與位于端表面190和下表面192之間的剛性接頭189相比,環(huán)氧樹脂199提供一比較柔順或彈性的接合面200,它將支架181的端表面202和測試頭154相連并密封使大氣壓力直接與壓力傳感器30接合。最好,環(huán)氧樹脂199是將支架181連接到頭部154上的獨有裝置。環(huán)氧樹脂199吸收由測試154和玻璃支架181之間不同熱膨脹系數(shù)產(chǎn)生的應(yīng)力。不同于已有技術(shù)中為將玻璃支架181焊接到測試頭上,它將端面202鍍上金屬層,本發(fā)明的端面202最好不鍍層而保留住玻璃,從而減少了裝配步驟,降低了制造成本。
最好,環(huán)氧樹脂是溶解的且可任意減薄以提供薄層粘合線,減少向密封的傳感器腔32中放氣或減重,以及由此產(chǎn)生的測量誤差。溶解且可任意減薄的環(huán)氧樹脂還減少了產(chǎn)生空隙的應(yīng)力,這種應(yīng)力可以造成玻璃支座181的斷裂以及使熱傳導(dǎo)下降而導(dǎo)致溫度誤差。在另一優(yōu)選實施例中,環(huán)氧樹脂199不包含任何填充物。無填料環(huán)氧樹脂的應(yīng)用改進(jìn)了由在玻璃支座181和測試頭154的支撐表面之間的環(huán)氧樹脂199所構(gòu)成的密封效果,這是由于這樣一類填料具有不同于它被包含在其中的環(huán)氧樹脂的熱膨脹系數(shù)。適于高壓應(yīng)用的環(huán)氧樹脂為由貝勒里卡環(huán)氧樹脂技術(shù)股份有限公司(Epoxy Technology,Inc. of Billerica,MA hermetic sealing epoxy)生產(chǎn)的EP0-TEKH77型MA密封環(huán)氧樹脂。
很明顯,盡管已描述了由環(huán)氧樹脂199構(gòu)成的彈性接合面,但還可采用其它適合的有機(jī)密封的粘接材料。例如可以從加州的蘭喬·多明格斯的埃布萊斯克實施室(Ablestik Laboratories of Rancho Dominguesz,CA)買到合適的模壓連接聚酰亞胺,以及可以從明尼蘇達(dá)州的波爾明尼蘇達(dá)礦業(yè)和制造公司(Minnesota Mining and Manufacturing commpany of st.Paul.)買到聚氨基甲酸(乙)脂,也能用它們代替環(huán)氧樹脂199。
盡管,已經(jīng)對彈性接合面200作為將支架181固定到測試頭154上,以提供與使用計示壓力變送器的通道162有關(guān)的密封的方法進(jìn)行了描述和說明,但是,很顯然,計示壓力變送器僅是壓差變送器的一種類型,而彈性接合面200也可用于其它類型的壓差變送器。
盡管,本發(fā)明已經(jīng)參照最佳實施例進(jìn)行了描述,但本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)認(rèn)識到在形式和細(xì)節(jié)上所做的改變并不脫離本發(fā)明的精神和范圍。
權(quán)利要求
1.一種可與工藝線連接并對工藝線的壓力作出響應(yīng)輸出的變送器,其特征在于所述變送器包括一個殼體,它形成環(huán)繞一個孔的壁面,該孔伸入形成在殼體內(nèi)的一內(nèi)腔;一個用于測量壓力的傳感器;一個電路,它與傳感器耦接并提供輸出;以及一個隔離件,它安裝在孔內(nèi),將工藝線中的流體與內(nèi)腔隔開,隔離件包括一隔離體插頭,它設(shè)置在孔內(nèi)并與殼體相連接,隔離體插頭中有一膜片,經(jīng)過通向插頭末端的一通道進(jìn)行壓力耦接;一測試頭,它與插頭的末端相連接以形成安裝傳感器并接收來自通道壓力的傳感器腔;以及一環(huán)形件,它與隔離體插頭和測試頭相連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的變送器,其特征在于它有第一環(huán)形焊縫將測試頭連接到插頭的末端,第二環(huán)形焊縫將環(huán)形件連接到測試頭上以及第三環(huán)形焊縫將環(huán)形件連接到隔離體插頭上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的變送器,其特征在于它有一由第一端向第二端延伸的孔的連接器,連接器在第一端可與工藝線相連接并在第二端與隔離體插頭相連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的變送器,其特征在于它有一環(huán)形焊縫將連接器的第二端連接到插頭上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的變送器,其特征在于它有一貫穿測試頭的第二通道,第二通道將第二壓力耦接到傳感器上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的變送器,其特征在于它有一形成于測試頭的相對表面和環(huán)形件之間的凹槽,凹槽通向第二通道并且耦接第二壓力。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的變送器,其特征在于它有一形成在插頭內(nèi)的第三通道并與第二通道流體連通。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的變送器,其特征在于沿著一螺紋部分,壁面可與插頭螺紋連接,并且其中第三通道有一遠(yuǎn)離螺紋部分的開口。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的變送器,其特征在于它有一根管道,用環(huán)氧樹脂對著第二通道的開口將管道的第一端連接到測試頭上,管道支撐傳感器腔內(nèi)的傳感器并將第二壓力耦接到傳感器上。
10.一種可與工藝線連接并對工藝線上的壓力作出響應(yīng)輸出的變送器,其特征在于所述變送器包括一個殼體,它形成環(huán)繞一個孔的壁面,該孔伸入形成在殼體內(nèi)的一內(nèi)腔;一個用于測量壓力的傳感器;一個電路,它與傳感器耦接并提供輸出;以及一個隔離件,它安裝在孔內(nèi),將工藝線的流體與內(nèi)腔隔開,隔離件包括一隔離件插頭,在其中有一隔膜片,經(jīng)過通向插頭末端的一通道進(jìn)行壓力耦接;一測試頭,它連接到插頭末端以形成一傳感器腔接收來自通道的壓力,測試頭有一第二通道,由傳感器腔延伸通過測試頭,第二通道耦接第二壓力;以及一管道,它用環(huán)氧樹樹對著第二通道的開口,將管道的第一端連接到測試頭上,管道支撐傳感器腔內(nèi)的傳感器并將第二壓力耦接到傳感器上。
11.一種用于壓力傳感器的裝配件,其特征在于它包括一基座;一支架,它有第一和第二相對端,其中的第一端與壓力傳感器剛性連接;以及一位于支架的第二端和基座之間的彈性接合面,彈性接合面包含由環(huán)氧樹脂、聚酰亞銨和聚氨基甲酸脂組成的一組材料中選出的一種材料。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝配件,其特征在于其中的材料是可任意溶解的環(huán)氧樹脂。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝配件,其特征在于其中的材料是不同填料的環(huán)氧樹脂。
14.一種可與工藝線連接并對工藝線上的壓力相對于大氣壓力作出響應(yīng)輸出的變送器,其特征在于所述變送器包括一個殼體,它形成環(huán)繞一個孔的內(nèi)壁,該孔伸入形成在殼體內(nèi)的一內(nèi)腔;一個用于測量壓力的傳感器;一個電路,它與傳感器耦接并提供輸出;以及一個配置在孔內(nèi)的隔離體插頭,它包括在其中的一隔膜片通過第一通道與插頭末端壓力耦接;由第一表面向第二表面延伸的第二通道用于將大氣壓力傳送給傳感器;以及一配置在第一表面和第二表面之間與內(nèi)壁連接的部分。
15.一種可與工藝線連接并對工藝線上的壓力作出響應(yīng)輸出的變送器,其特征在于所述變送器包括一個殼體,它形成環(huán)繞一個孔的壁面,該孔伸入形成在殼體中的內(nèi)腔;以及,安裝在孔內(nèi)的一個隔離組件,它將工藝線中的流體與內(nèi)腔隔開,隔離組件包括一設(shè)置在孔內(nèi)的隔離插頭,它有一配置在一延伸部分用于接收壓力的隔膜片,延伸部分有第一組螺紋;一有由第一端向第二端延伸的孔的連接器,它可與工藝線在第一端連接并有與延伸部分上的第一組螺紋搭配的第二組螺紋;以及一環(huán)形焊縫將隔離插頭連接到連接器上。
16.一種可與工藝線連接并對工藝線中的壓力作出響應(yīng)輸出的變送器,其特征在于所述變送器包括一個殼體,它形成環(huán)繞一個孔的壁,該孔伸入形成在殼體內(nèi)的內(nèi)腔;以及一個安裝在孔內(nèi)的隔離組件,它將工藝線中的流體與內(nèi)腔隔開,隔離組件包括一安放在孔內(nèi)的隔離體插頭,它有一用于接收壓力的隔膜片,隔離體插頭有圍繞第一溝槽的一第一配接表面;一具有圍繞第二溝槽的第二配接表面的連接器,連接器配置成使第一和第二溝槽相互連通,以及一環(huán)形焊縫將第一配接表面連接到第二配接表面上。
全文摘要
壓力變送器(10)包括一個用于將工藝流體與壓力變送器(10)的內(nèi)腔(22)隔開的隔離體裝配組件(12,150)。隔離體裝配組件(12,150)包括一用于接收工藝流體線壓力的一隔離體插頭(66,152),將一測試頭(68,154)與插頭(66,152)末端連接形成在線壓力與傳感器腔(32)的耦合。將一環(huán)形件(70)裝在測試頭(68,154)上,插頭(66,152)末端加強(qiáng)隔離體插頭(66,152)和測試頭(68,154)之間的連接。在另一實施例中,隔離體裝配件(150)包括一底座(154)和有第一和第二相對端(190,202)的支架(181)。第一端(190)與壓力傳感器(184)剛性相連,而用環(huán)氧樹脂接頭(200)將支架(181)的第二端(202)與底座154相連。
文檔編號G01L9/00GK1182479SQ96193401
公開日1998年5月20日 申請日期1996年4月24日 優(yōu)先權(quán)日1995年4月28日
發(fā)明者馬克·H·奧爾森, 米切爾·B·約斯特, 布賴恩·J·比肖夫, 托馬斯·M·莫澤 申請人:羅斯蒙德公司
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