本技術(shù)涉及顯微鏡，尤其涉及一種太陽能電池用顯微鏡載物平臺。

背景技術(shù)：

1、隨著全球科技的發(fā)展、人類環(huán)保意識的增強(qiáng)以及新能源產(chǎn)業(yè)的推廣，太陽能作為一種較為成熟新興能源，在能源配比中扮演著愈來愈重要的角色。目前太陽能電池的發(fā)展主要以硅基topcon電池片為主，電池的生產(chǎn)過程中有多道工序需要工藝控制點(diǎn)的檢測與監(jiān)控，其中topcon電池的制絨、堿拋和去繞鍍工序都需要使用3d顯微鏡對硅片表面進(jìn)行微觀監(jiān)控測試，尤其去繞鍍工序中需要監(jiān)控硅片側(cè)邊剖面的塔基的尺寸，以確認(rèn)硅片生產(chǎn)過程中的合格情況。

2、太陽能電池用顯微鏡載物平臺是太陽能行業(yè)中的關(guān)鍵設(shè)備之一，用于對太陽能電池片進(jìn)行高精度的測量和分析。隨著太陽能技術(shù)的不斷發(fā)展，對太陽能電池片的質(zhì)量和性能要求也越來越高，因此，對顯微鏡載物平臺的技術(shù)要求也日益提升。

3、現(xiàn)有的太陽能電池用顯微鏡載物平臺，只適合平放電池片，而且去繞鍍后需測試硅片四個(gè)側(cè)邊的塔基尺寸，因?yàn)?d顯微鏡無有效固定硅片側(cè)面的載物臺，導(dǎo)致嚴(yán)重影響該工序工藝的監(jiān)控，使產(chǎn)品生產(chǎn)無法流暢進(jìn)行，對產(chǎn)能達(dá)成與產(chǎn)品質(zhì)量都有不利影響。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種太陽能電池用顯微鏡載物平臺，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的上述不足之處。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：一種太陽能電池用顯微鏡載物平臺，包括載物臺，所述載物臺的頂部開設(shè)有凹陷放置區(qū)，所述載物臺頂部兩側(cè)設(shè)置有平面放置區(qū)，所述凹陷放置區(qū)設(shè)置在兩個(gè)所述平面放置區(qū)之間，所述凹陷放置區(qū)的側(cè)壁上開設(shè)有多個(gè)第一氣孔，所述平面放置區(qū)上設(shè)置有多個(gè)第二氣孔。

3、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：所述凹陷放置區(qū)設(shè)計(jì)為直線型且長度足夠。

4、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：所述載物臺的頂部兩側(cè)開設(shè)有真空吸附槽，所述真空吸附槽設(shè)置在平面放置區(qū)的內(nèi)部。

5、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：所述載物臺的內(nèi)部固定安裝有真空管，所述真空管的兩側(cè)均固定安裝有第一吸氣管，多個(gè)所述第一吸氣管的一端分別于多個(gè)第一氣孔相連接，所述真空管的底部固定安裝有多個(gè)第二吸氣管，多個(gè)所述第二吸氣管的一端分別與多個(gè)所述第二氣孔相連接，所述真空管的一端固定連接有氣嘴。

6、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：所述真空管的內(nèi)部轉(zhuǎn)動設(shè)置有密封套管，所述密封套管，所述密封套管上設(shè)置有第一連接孔和第二連接孔，所述第一連接孔與所述第一吸氣管相連通，所述第二連接孔與所述第二吸氣管相連通，所述真空管的一端固定安裝有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出端貫穿所述真空管與所述密封套管的一端固定連接。

7、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：所述密封套管的一端固定安裝有卡塊，所述真空管的一端開設(shè)有卡槽，所述卡塊滑動設(shè)置在所述卡槽內(nèi)部。

8、本實(shí)用新型提供了一種太陽能電池用顯微鏡載物平臺。具備以下有益效果：本實(shí)用新型中載物臺由凹陷放置區(qū)和平面放置區(qū)組成，其中凹陷放置區(qū)，凹陷放置區(qū)側(cè)壁設(shè)置第一氣孔，通過第一氣孔對硅片樣品的側(cè)壁進(jìn)行真空吸附將樣品固定，將切好的硅片樣品放置在凹陷放置區(qū)內(nèi)部，便于測試硅片側(cè)面塔基尺寸，平面放置區(qū)表面設(shè)置的第二氣孔，用于對硅片樣品吸附，將硅片樣品吸附固定于載物臺頂部，以防樣品隨載物臺移動發(fā)生位置變動。

9、應(yīng)當(dāng)理解，前面的一般描述和以下詳細(xì)描述都僅是示例性和說明性的，而不是用于限制本公開。

10、本申請文件提供本公開中描述的技術(shù)的各種實(shí)現(xiàn)或示例的概述，并不是所公開技術(shù)的全部范圍或所有特征的全面公開。

技術(shù)特征：

1.一種太陽能電池用顯微鏡載物平臺，包括載物臺(1)，其特征在于：所述載物臺(1)的頂部開設(shè)有凹陷放置區(qū)(101)，所述載物臺(1)頂部兩側(cè)設(shè)置有平面放置區(qū)(102)，所述凹陷放置區(qū)(101)設(shè)置在兩個(gè)所述平面放置區(qū)(102)之間，所述凹陷放置區(qū)(101)的側(cè)壁上開設(shè)有多個(gè)第一氣孔(3)，所述平面放置區(qū)(102)上設(shè)置有多個(gè)第二氣孔(4)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽能電池用顯微鏡載物平臺，其特征在于，所述凹陷放置區(qū)(101)設(shè)計(jì)為直線型且長度足夠。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種太陽能電池用顯微鏡載物平臺，其特征在于，所述載物臺(1)的頂部兩側(cè)開設(shè)有真空吸附槽(2)，所述真空吸附槽(2)設(shè)置在平面放置區(qū)(102)的內(nèi)部。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種太陽能電池用顯微鏡載物平臺，其特征在于，所述載物臺(1)的內(nèi)部固定安裝有真空管(5)，所述真空管(5)的兩側(cè)均固定安裝有第一吸氣管(6)，多個(gè)所述第一吸氣管(6)的一端分別于多個(gè)第一氣孔(3)相連接，所述真空管(5)的底部固定安裝有多個(gè)第二吸氣管(7)，多個(gè)所述第二吸氣管(7)的一端分別與多個(gè)所述第二氣孔(4)相連接，所述真空管(5)的一端固定連接有氣嘴(8)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種太陽能電池用顯微鏡載物平臺，其特征在于，所述真空管(5)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動設(shè)置有密封套管(10)，所述密封套管(10)，所述密封套管(10)上設(shè)置有第一連接孔(11)和第二連接孔(12)，所述第一連接孔(11)與所述第一吸氣管(6)相連通，所述第二連接孔(12)與所述第二吸氣管(7)相連通，所述真空管(5)的一端固定安裝有電機(jī)(9)，所述電機(jī)(9)的輸出端貫穿所述真空管(5)與所述密封套管(10)的一端固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種太陽能電池用顯微鏡載物平臺，其特征在于，所述密封套管(10)的一端固定安裝有卡塊(13)，所述真空管(5)的一端開設(shè)有卡槽(14)，所述卡塊(13)滑動設(shè)置在所述卡槽(14)內(nèi)部。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種太陽能電池用顯微鏡載物平臺，包括載物臺，所述載物臺的頂部開設(shè)有凹陷放置區(qū)，所述載物臺頂部兩側(cè)設(shè)置有平面放置區(qū)，所述凹陷放置區(qū)設(shè)置在兩個(gè)所述平面放置區(qū)之間，所述凹陷放置區(qū)的側(cè)壁上開設(shè)有多個(gè)第一氣孔，所述平面放置區(qū)上設(shè)置有多個(gè)第二氣孔；本技術(shù)中載物臺由凹陷放置區(qū)和平面放置區(qū)組成，其中凹陷放置區(qū)，凹陷放置區(qū)側(cè)壁設(shè)置第一氣孔，通過第一氣孔對硅片樣品的側(cè)壁進(jìn)行真空吸附將樣品固定，將切好的硅片樣品放置在凹陷放置區(qū)內(nèi)部，便于測試硅片側(cè)面塔基尺寸，平面放置區(qū)表面設(shè)置的第二氣孔，用于對硅片樣品吸附，將硅片樣品吸附固定于載物臺頂部，以防樣品隨載物臺移動發(fā)生位置變動。

技術(shù)研發(fā)人員：秦臻,路忠林,李質(zhì)磊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：安徽旭合新能源科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240507
技術(shù)公布日：2024/12/23