技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種基于濺射薄膜的薄膜應(yīng)變計(jì)，有基底、薄膜應(yīng)變計(jì)敏感柵、覆蓋物保護(hù)膜及導(dǎo)引電信號(hào)的引出線組成?；资且粚雍穸仍?00μm之內(nèi)的聚酰亞胺薄膜，起到絕緣作用和傳遞應(yīng)變作用；用于感知結(jié)構(gòu)應(yīng)變的敏感柵是一層金屬薄膜鎳鉻合金，通過濺射薄膜制備工藝制成，可大大降低應(yīng)變計(jì)的使用功耗；引出線通過焊接方式焊接在敏感柵的焊接?xùn)盘?；覆蓋物保護(hù)膜是一層Si3N4防護(hù)層，可以起到對(duì)敏感柵的熱、腐蝕、水、電等外界條件的防護(hù)作用，防止敏感柵過早、過快氧化，防止受到外界環(huán)境的化學(xué)破壞。本實(shí)用新型能夠應(yīng)用于無線應(yīng)變測(cè)量，具有功耗低、高分辨率、高可靠性、高測(cè)量精度等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：王文卷;戚龍;潘婷;郇光周;張苗
受保護(hù)的技術(shù)使用者：陜西電器研究所
文檔號(hào)碼：201621369002
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.13
技術(shù)公布日：2017.07.28