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MEMS微壓壓力傳感器的制作方法

文檔序號:11985994閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種MEMS微壓壓力傳感器,其特征在于:包括MEMS壓力傳感器芯片、ASIC調(diào)理芯片、陶瓷線路板、塑料外殼和金屬引腳,所述陶瓷線路板的一面粘貼在所述塑料外殼內(nèi),另一面上固定連接所述MEMS壓力傳感器芯片和ASIC調(diào)理芯片,所述陶瓷線路板上設(shè)有通孔,所述通孔對應(yīng)于MEMS壓力傳感器芯片的位置,所述塑料外殼上設(shè)有與所述通孔連通的導氣孔;所述金屬引腳固定在所述塑料外殼外側(cè),且與ASIC調(diào)理芯片連接;所述MEMS壓力傳感器芯片和ASIC調(diào)理芯片連接。

2.如權(quán)利要求1所述MEMS微壓壓力傳感器,其特征在于:所述MEMS壓力傳感器芯片經(jīng)陶瓷線路板與ASIC調(diào)理芯片相連。

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